JPH0750668B2 - 試料の固定装置 - Google Patents
試料の固定装置Info
- Publication number
- JPH0750668B2 JPH0750668B2 JP61300595A JP30059586A JPH0750668B2 JP H0750668 B2 JPH0750668 B2 JP H0750668B2 JP 61300595 A JP61300595 A JP 61300595A JP 30059586 A JP30059586 A JP 30059586A JP H0750668 B2 JPH0750668 B2 JP H0750668B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder body
- sample
- pin
- holder
- reference pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の属する技術分野］ 本発明は荷電ビーム描画装置等における試料の固定装置
に係り特に大型試料の固定装置に関する。
に係り特に大型試料の固定装置に関する。
荷電ビーム描画装置等において、試料の描画面の高さは
荷電ビーム鏡筒の焦点に高さを一致させるように構成し
てある。
荷電ビーム鏡筒の焦点に高さを一致させるように構成し
てある。
［従来技術］ 荷電ビーム描画装置における従来の試料固定装置の一例
を第４図により述べる。ホルダ本体21の底面に一側を接
したクランプバネ24により試料23は上方に押圧され、そ
の上面がホルダ本体21に固着された基準片22に接するこ
とにより、試料23は厚さが変化しても描画面の高さ方向
の位置は変化しないようになっている。
を第４図により述べる。ホルダ本体21の底面に一側を接
したクランプバネ24により試料23は上方に押圧され、そ
の上面がホルダ本体21に固着された基準片22に接するこ
とにより、試料23は厚さが変化しても描画面の高さ方向
の位置は変化しないようになっている。
このような方式において試料23が大型になると、これを
基準片22に押し付けかつ横方向にも位置ずれを起こさせ
ないようにするには、クランプバネ24の押付力を大きく
する必要がありこのためホルダ本体21が大きくなる欠点
があった。
基準片22に押し付けかつ横方向にも位置ずれを起こさせ
ないようにするには、クランプバネ24の押付力を大きく
する必要がありこのためホルダ本体21が大きくなる欠点
があった。
第５図は試料固定装置の従来の他例である。この例では
複数の基準ピン26を挿入した基準板28の上面に試料23は
載置され、基準ピン26の上面の高さは不図示プリセット
機構により試料23の上面に等しくされている。基準ピン
26はその下方をホルダ本体27に一側を接しているクラン
プバネ29に押し圧され、その上面はホルダ本体27に固着
された基準片25の下面に接している。また基準板28は横
押しバネ30を介して基準ピン26を押圧することによりそ
の高さ方向の位置を保持している。従って試料23は厚さ
が変ってもその描画面の高さは基準片25の下面と常に同
一である。
複数の基準ピン26を挿入した基準板28の上面に試料23は
載置され、基準ピン26の上面の高さは不図示プリセット
機構により試料23の上面に等しくされている。基準ピン
26はその下方をホルダ本体27に一側を接しているクラン
プバネ29に押し圧され、その上面はホルダ本体27に固着
された基準片25の下面に接している。また基準板28は横
押しバネ30を介して基準ピン26を押圧することによりそ
の高さ方向の位置を保持している。従って試料23は厚さ
が変ってもその描画面の高さは基準片25の下面と常に同
一である。
この方式において基準板28は横押しバネ30により基準ピ
ン26に位置決めされておりこのときの押圧力は、試料23
の重量を含む基準板28の重量に対し、横押しバネ30の押
圧力に摩擦係数をかけた数値以上の押圧力にする必要が
ある。このため試料23の大型化にともなって基準板28も
大型になり、さらにクランプバネ29や横押しバネ30も大
型になってホルダ本体27を含む装置全体が大型になる欠
点があった。
ン26に位置決めされておりこのときの押圧力は、試料23
の重量を含む基準板28の重量に対し、横押しバネ30の押
圧力に摩擦係数をかけた数値以上の押圧力にする必要が
ある。このため試料23の大型化にともなって基準板28も
大型になり、さらにクランプバネ29や横押しバネ30も大
型になってホルダ本体27を含む装置全体が大型になる欠
点があった。
［発明の目的］ 本発明はこのような欠点を除去したものでその目的は、
試料を上方向に向けてクランプするための押圧力を大き
くせずまた基準板の基準ピンに対する押圧力を大きくし
ないことにより、装置を大きくしないようにした試料の
固定装置を提供することにある。
試料を上方向に向けてクランプするための押圧力を大き
くせずまた基準板の基準ピンに対する押圧力を大きくし
ないことにより、装置を大きくしないようにした試料の
固定装置を提供することにある。
［発明の要点］ 本発明における試料の固定装置は、試料を重力方向に支
持固定する縦基準面を有すると共に水平方向の位置を決
めるため力の作用する方向に対し２個の横基準面を形成
した孔を３個以上有するホルダ本体と、孔に挿入されそ
の一側をステージに接すると共にホルダ本体に対しその
長手方向の相対移動が自在でありかつ２個の横基準面に
接合する面を有する基準ピンと、基準ピンをホルダ本体
に押し付ける押付機構と、基準ピンとホルダ本体との間
に取り付けられることによりホルダ本体の高さ方向位置
を設定するカムとからなることを特徴にしている。
持固定する縦基準面を有すると共に水平方向の位置を決
めるため力の作用する方向に対し２個の横基準面を形成
した孔を３個以上有するホルダ本体と、孔に挿入されそ
の一側をステージに接すると共にホルダ本体に対しその
長手方向の相対移動が自在でありかつ２個の横基準面に
接合する面を有する基準ピンと、基準ピンをホルダ本体
に押し付ける押付機構と、基準ピンとホルダ本体との間
に取り付けられることによりホルダ本体の高さ方向位置
を設定するカムとからなることを特徴にしている。
［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例を示した第１図および第２図につ
いて説明する。試料23はホルダ本体１の重力方向である
縦基準面上に載置され不図示のバネを有するクランプ機
構２により固定されている。ホルダ本体１には一例とし
て３個の孔３があけられ各孔３は内側に向って角部を形
成する２面が横基準面として設けてあり、この孔３には
２面の横基準面に接する面を有する基準ピン４が挿入さ
れている。
いて説明する。試料23はホルダ本体１の重力方向である
縦基準面上に載置され不図示のバネを有するクランプ機
構２により固定されている。ホルダ本体１には一例とし
て３個の孔３があけられ各孔３は内側に向って角部を形
成する２面が横基準面として設けてあり、この孔３には
２面の横基準面に接する面を有する基準ピン４が挿入さ
れている。
基準ピン４は横基準面に接する側の反対側を平面にし、
この平面をホルダ本体１に設けた押付機構５が押し付け
ていることによりホルダ本体１と基準ピン４とは係合し
ている。押付機構５は先端を大径部６にした頭付ピン７
と皿状をなしホルダ本体１の端面に固着したバネ押さえ
８と、頭付ピン７の大径部６とバネ押え８との間に設け
たバネ９により構成されている。
この平面をホルダ本体１に設けた押付機構５が押し付け
ていることによりホルダ本体１と基準ピン４とは係合し
ている。押付機構５は先端を大径部６にした頭付ピン７
と皿状をなしホルダ本体１の端面に固着したバネ押さえ
８と、頭付ピン７の大径部６とバネ押え８との間に設け
たバネ９により構成されている。
前記説明の孔３において内側に向う角部の２面を横基準
面にしたが、第３図に示す非円形の孔は先づ円形の基準
ピン4Aと同径の孔3Aをホルダ本体1Aにあけ、この孔3Aの
反押付機構５側のほぼ120°の部分を横基準面にし、横
基準面以外の部分を上記孔3Aより若干小径の孔35で削除
したものである。このような形状にしても前述した孔３
および基準ピン４の方式と同等の効果になる。
面にしたが、第３図に示す非円形の孔は先づ円形の基準
ピン4Aと同径の孔3Aをホルダ本体1Aにあけ、この孔3Aの
反押付機構５側のほぼ120°の部分を横基準面にし、横
基準面以外の部分を上記孔3Aより若干小径の孔35で削除
したものである。このような形状にしても前述した孔３
および基準ピン４の方式と同等の効果になる。
基準ピン４にはホルダ本体１の下方へこれに接してカム
以下偏心カムとして説明する11が設けてあり、偏心カム
11を調整することによりホルダ本体１の高さ方向位置を
設定しており、偏心カム11の偏心量を小さくすることに
より偏心カム11がホルダ本体１等の荷重を受けたとき自
転しないようにしてある。12はホルダ本体１や基準ピン
４等を載置するステージであって基準ピン４はその下側
がステージ12に接し、上側はステージ12上に固着された
台13に回転自在に取り付けられたクランプ片14に接し、
かつクランプ片14がクランプバネ15を介して下方に付勢
されていることにより基準ピン４等はステージ12に固定
される。
以下偏心カムとして説明する11が設けてあり、偏心カム
11を調整することによりホルダ本体１の高さ方向位置を
設定しており、偏心カム11の偏心量を小さくすることに
より偏心カム11がホルダ本体１等の荷重を受けたとき自
転しないようにしてある。12はホルダ本体１や基準ピン
４等を載置するステージであって基準ピン４はその下側
がステージ12に接し、上側はステージ12上に固着された
台13に回転自在に取り付けられたクランプ片14に接し、
かつクランプ片14がクランプバネ15を介して下方に付勢
されていることにより基準ピン４等はステージ12に固定
される。
なお基準ピン４等は一例として３個設けたがこれに限定
することなく、横基準面を互いに向い合う方向にして４
個以上設けてもよい。
することなく、横基準面を互いに向い合う方向にして４
個以上設けてもよい。
次に前述した実施例の動作を説明する。先づホルダ本体
１と基準ピン４等をステージ12から取り外し不図示のプ
リセット機構にこれらを載置する。次に頭付ピン７を引
いてこれの押圧力が基準ピン４に働かないようにして、
偏心カム11を回転させてホルダ本体１を上下動させるこ
とにより、試料23の厚さに対応した規定量だけ基準ピン
４をホルダ本体１から突出させる。この後頭付ピン７を
自由状態にして基準ピン４を押圧しこれとホルダ本体１
とを係合させる。
１と基準ピン４等をステージ12から取り外し不図示のプ
リセット機構にこれらを載置する。次に頭付ピン７を引
いてこれの押圧力が基準ピン４に働かないようにして、
偏心カム11を回転させてホルダ本体１を上下動させるこ
とにより、試料23の厚さに対応した規定量だけ基準ピン
４をホルダ本体１から突出させる。この後頭付ピン７を
自由状態にして基準ピン４を押圧しこれとホルダ本体１
とを係合させる。
このようにセットされたホルダ本体１と基準ピン４等を
ステージ12上に搬送しクランプ片14により基準ピン４等
をステージ12にクランプする。基準ピン４がステージ12
上にクランプされた結果ホルダ本体１の上下方向は偏心
カム11に支えられ、水平方向はホルダ本体１と基準ピン
４とが横基準面においてバネ９により押し付けられてい
るため、隙間なく接合し、ホルダ本体１と基準ピン４と
の相対移動はない。
ステージ12上に搬送しクランプ片14により基準ピン４等
をステージ12にクランプする。基準ピン４がステージ12
上にクランプされた結果ホルダ本体１の上下方向は偏心
カム11に支えられ、水平方向はホルダ本体１と基準ピン
４とが横基準面においてバネ９により押し付けられてい
るため、隙間なく接合し、ホルダ本体１と基準ピン４と
の相対移動はない。
［発明の効果］ 本発明における試料の固定装置は以上説明したように、
試料を載置固定するホルダ本体に対しこれとの相対移動
を自在にした基準ピンを３個以上挿入し、かつこの挿入
孔に設けた横基準面に基準ピンを押付機構により押し付
けて両者の隙間をなくして係合させると共に、基準ピン
とホルダ本体との間にはカムを設けてホルダ本体を支持
しかつその高さ方向位置を設定するように構成した。そ
して基準ピンをクランプ片を介してステージ上に固定す
るようにした。
試料を載置固定するホルダ本体に対しこれとの相対移動
を自在にした基準ピンを３個以上挿入し、かつこの挿入
孔に設けた横基準面に基準ピンを押付機構により押し付
けて両者の隙間をなくして係合させると共に、基準ピン
とホルダ本体との間にはカムを設けてホルダ本体を支持
しかつその高さ方向位置を設定するように構成した。そ
して基準ピンをクランプ片を介してステージ上に固定す
るようにした。
このたホルダ本体はカムに位置決めされかつ支持される
ことにより従来のように試料を上方向に向けて押し圧す
るクランプバネは不要になる。またホルダ本体の水平方
向の位置決めはホルダ本体の孔に設けた横基準面に基準
ピンをバネにより押し圧して行っているが、このバネは
基準ピンを水平方向に移動させればよいため小型であり
ステージ上での移動時の加速度や振動による力を考慮す
る必要はない。この結果固定装置は構造が小さくかつ重
量も大幅に軽減されてコストが低くなる利点を有する。
ことにより従来のように試料を上方向に向けて押し圧す
るクランプバネは不要になる。またホルダ本体の水平方
向の位置決めはホルダ本体の孔に設けた横基準面に基準
ピンをバネにより押し圧して行っているが、このバネは
基準ピンを水平方向に移動させればよいため小型であり
ステージ上での移動時の加速度や振動による力を考慮す
る必要はない。この結果固定装置は構造が小さくかつ重
量も大幅に軽減されてコストが低くなる利点を有する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し第１図は
平面図、第２図は第１図の2-2線断面図、第３図は本発
明の他の実施例を示す部分平面図、第４図および第５図
は異なる形状の従来例の断面図である。 １……ホルダ本体,3……孔,4……基準ピン,5……押付機
構,11……カム,12……ステージ,23……試料。
平面図、第２図は第１図の2-2線断面図、第３図は本発
明の他の実施例を示す部分平面図、第４図および第５図
は異なる形状の従来例の断面図である。 １……ホルダ本体,3……孔,4……基準ピン,5……押付機
構,11……カム,12……ステージ,23……試料。
Claims (1)
- 【請求項１】試料を重力方向に支持固定する縦基準面を
有すると共に水平方向の位置を決めるため力の作用する
方向に対し２個の横基準面を形成した孔を３個以上有す
るホルダ本体と、前記孔に挿入されその一側をステージ
に接すると共に前記ホルダ本体に対しその長手方向の相
対移動が自在でありかつ前記２個の横基準面に接合する
面を有する基準ピンと、同基準ピンを前記ホルダ本体に
押し付ける押付機構と、前記基準ピンと前記ホルダ本体
との間に取り付けられて前記ホルダ本体の高さ方向位置
を設定するカムとからなる試料の固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61300595A JPH0750668B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 試料の固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61300595A JPH0750668B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 試料の固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63152121A JPS63152121A (ja) | 1988-06-24 |
| JPH0750668B2 true JPH0750668B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=17886735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61300595A Expired - Lifetime JPH0750668B2 (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 試料の固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750668B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3544884B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2004-07-21 | 株式会社東芝 | 荷電粒子ビーム照射装置 |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP61300595A patent/JPH0750668B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63152121A (ja) | 1988-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6141216U (ja) | 顕微鏡台の自動位置ぎめ装置 | |
| JPH06262586A (ja) | 紙截断機 | |
| JPH06170674A (ja) | ワーク位置決めピン | |
| KR101845727B1 (ko) | 롤러 밴딩장치 | |
| JPS63152121A (ja) | 試料の固定装置 | |
| JPS5817710Y2 (ja) | Ｘｙテ−ブルの直角移動機構 | |
| JPH06285736A (ja) | ワーク位置決治具 | |
| JPS5961430U (ja) | 対向接点形スイツチ | |
| JPH0353208Y2 (ja) | ||
| JPH1110234A (ja) | プレス型 | |
| JPH0728693Y2 (ja) | ウェハ保持具 | |
| JP2542740B2 (ja) | 把持装置 | |
| JP2532602B2 (ja) | 原稿又は記録材押え装置 | |
| JPS62176846U (ja) | ||
| JPS5856028Y2 (ja) | プレス装置 | |
| JPH11135225A (ja) | 端子圧着機アプリケータの端子金具送り装置 | |
| JP2760942B2 (ja) | ワーク把持装置 | |
| JP2926283B2 (ja) | ウェハホールド装置 | |
| JPH0144215Y2 (ja) | ||
| JPH05261441A (ja) | 板材曲げ型装置 | |
| SU1134345A1 (ru) | Устройство дл базировани и закреплени корпусных деталей | |
| JPS6317734U (ja) | ||
| JPH03114614A (ja) | 板材用曲げ型装置 | |
| CN121044315A (zh) | 供料移载装置及加工设备 | |
| JPH0513315A (ja) | ウエハホールド装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |