JPH0752020A - 湿式研磨方法およびその装置 - Google Patents

湿式研磨方法およびその装置

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JPH0752020A
JPH0752020A JP5215179A JP21517993A JPH0752020A JP H0752020 A JPH0752020 A JP H0752020A JP 5215179 A JP5215179 A JP 5215179A JP 21517993 A JP21517993 A JP 21517993A JP H0752020 A JPH0752020 A JP H0752020A
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polished
buff wheel
rotary shaft
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Shuji Kawasaki
修司 川崎
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Asahi Tec Corp
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B B F YAMATE KK
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 回転するバフホイールの研磨面とワークの被
研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホ
イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法にお
いて、前記バフホイールの回転軸を前記ワークの被研磨
面に対して揺動させながらこの被研磨面を研磨する湿式
研磨方法である。 【効果】 研磨中において、バフホイールの研磨面とワ
ークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに浸入させ
やすいとともに簡単な機構でワークの被研磨面を均一に
研磨しやすいものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、バフホイールを使用
する湿式研磨方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるバフホイールを使用した湿
式研磨装置は、回転駆動手段によってバフホイールを回
転させ、液体研磨剤を供給しながら、このバフホイール
によってワークの被研磨面を研磨していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の湿式研磨装置にあっては、バフホイールの研磨面
がワークの被研磨面に常時接触していたため、バフホイ
ールの研磨面とワークの被研磨面との間に前記液体研磨
剤が浸入しにくいとともに均一に研磨しにくく、よっ
て、ワークの被研磨面を能率良く研磨しにくいという不
都合を有した。
【０００４】この発明の課題はかかる不都合を解消する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、回転する
バフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に液体
研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによって前記
ワークを研磨する湿式研磨方法において、
【０００６】前記バフホイールの回転軸を前記ワークの
被研磨面に対して揺動させながらこの被研磨面を研磨す
るものである。
【０００７】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、回転駆動手段とバフ
ホイールとを備え、前記回転駆動手段によって前記バフ
ホイールを回転させ、その研磨面によってワークを研磨
する湿式研磨装置において、前記バフホイールの回転軸
を前記ワークの被研磨面に対して揺動可能にしたもので
ある。
【０００８】なお、前記両発明において前記回転軸の揺
動中心をこの回転軸の軸心上に設置することもできる。
【０００９】また、前記回転軸をその軸方向に対して垂
直方向に往復動可能に設置するとともにこの往復動を前
記ワークに対して略平行にすることもできる。
【００１０】
【作用】この発明に係る湿式研磨方法は上記のように構
成されているため、研磨中において、バフホイールの研
磨面とワークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに
浸入させやすいとともに簡単な機構でワークの被研磨面
を均一に研磨しやすいものである。
【００１１】なお、前記回転軸の揺動中心をこの回転軸
の軸心上に設置すれば、かかる揺動をスムーズにするこ
とができる。
【００１２】また、前記回転軸をその軸方向に対して垂
直方向に往復動可能に設置するとともにこの往復動を前
記ワークに対して略平行にすれば、ワーク全体をむらな
く研磨することができる。
【００１３】また、この発明に係る湿式研磨装置は上記
のように構成されているため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
【００１４】
【実施例】図１において、１は支持盤、11はこの支持盤
１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１はこの
支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に回転さ
れる。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に載置さ
れている。このワークＷは上面を被研磨面としている。
【００１５】次に、２は第一回転駆動装置であり、モー
ター等の駆動原を有している。21は揺動中心であり、前
記第一回転駆動装置２の略中心部に設置されている。こ
の揺動中心21を中心として第一回転駆動装置２は適宜手
段（クランク機構、ラック・ピニオン機構等）を介して
水平方向に揺動する（図２を参照のこと）。22は回転軸
であり、前記回転駆動装置２において前記揺動中心21に
重なるように設置されている。この回転軸22は前記モー
ター等の動力によって軸心を中心として回転する。23は
第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固定さ
れている。このバフホイール23は回転しながらその外周
である研磨面231 によってワークＷを研磨する。このた
め、第一回転駆動装置２が適宜手段（クランク機構、ラ
ック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
と、バフホイール23は図２の仮想線が示すように揺動す
る。
【００１６】また、３は第二回転駆動装置であり、前記
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は揺動中心であり、前記第二回転駆動装置
３の略中心部に設置されている。この揺動中心31を中心
として第二回転駆動装置３は適宜手段（クランク機構、
ラック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
（図２を参照のこと）。32は回転軸であり、前記回転駆
動装置３において前記揺動中心31に重なるように設置さ
れている。この回転軸32は前記モーター等の動力によっ
て軸心を中心として回転する。33は第二バフホイールで
あり、前記回転軸32の先端に固定されている。このバフ
ホイール33は回転しながらその外周である研磨面331 に
よってワークＷを研磨する。このため、第二回転駆動装
置３が適宜手段（クランク機構、ラック・ピニオン機構
等）を介して水平方向に揺動すると、バフホイール22は
図２の仮想線が示すように揺動する。なお、第二バフホ
イール33は第一バフホイール23と逆方向に回転してい
る。また、第二バフホイール33の揺動方向は第一バフホ
イール23と同方向でも逆方向でもよい。
【００１７】図３は他の実施例を示したものである。
【００１８】この実施例にあっては、前記回転軸22を第
一回転駆動装置２とともにその軸方向に対して垂直方向
に往復動可能（矢印方向を参照のこと）に設置し、第一
バフホイール23を同方向に移動可能にしたものである。
この往復動は、前記支持盤１、即ち、前記ワークＷに対
して略平行に行われる（図３の二点鎖線の図を参照のこ
と）。
【００１９】なお、第二回転駆動装置３の場合も第一駆
動装置２と同様に往復動可能に設置することもできる。
【００２０】また、前記回転軸22を第一回転駆動装置２
とともにその軸方向に対して垂直方向に往復動可能に設
置する代わりに、前記支持盤１を水平方向に往復動させ
ることもできる（一点鎖線の図を参照のこと）。
【００２１】
【発明の効果】この発明に係る湿式研磨方法は、回転す
るバフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に液
体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによって前
記ワークを研磨する湿式研磨方法において、
【００２２】前記バフホイールの回転軸を前記ワークの
被研磨面に対して揺動させながらこの被研磨面を研磨す
るため、研磨中において、バフホイールの研磨面とワー
クの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに浸入させや
すいとともに簡単な機構でワークの被研磨面を均一に研
磨しやすいものである。
【００２３】よって、この湿式研磨方法を使用すれば、
ワークの被研磨面を均一な状態で能率良く研磨しやすい
ものである。
【００２４】なお、前記回転軸の揺動中心をこの回転軸
の軸心上に設置すれば、かかる揺動をスムーズにするこ
とができる。
【００２５】また、前記回転軸をその軸方向に対して垂
直方向に往復動可能に設置するとともにこの往復動を前
記ワークに対して略平行にすれば、ワーク全体をむらな
く研磨することができる。
【００２６】また、この発明に係る湿式研磨装置におい
ては、回転駆動手段とバフホイールとを備え、前記回転
駆動手段によって前記バフホイールを回転させ、その研
磨面によってワークを研磨する湿式研磨装置において、
前記バフホイールの回転軸を前記ワークの被研磨面に対
して揺動可能にしたため、前記湿式研磨方法を容易に実
施できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る湿式研磨装置の斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２に相当する他の実施例の図である。
【符号の説明】
２ … 第一回転駆動装置（回転駆動手段） 21 … 揺動中心 22 … 回転軸 23 … 第一バフホイール（バフホイール） 231 … 研磨面（バフホイールの） ３ … 第二回転駆動装置（回転駆動手段） 31 … 揺動中心 32 … 回転軸 33 … 第二バフホイール（バフホイール） 331 … 研磨面（バフホイールの） Ｗ … ワーク

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
    の被研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら、前記バ
    フホイールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法
    において、 前記バフホイールの回転軸を前記ワークの被研磨面に対
    して揺動させながらこの被研磨面を研磨することを特徴
    とする湿式研磨方法。
  2. 【請求項２】 前記回転軸の揺動中心をこの回転軸の軸
    心上に設置したことを特徴とする請求項１の湿式研磨方
    法
  3. 【請求項３】 前記回転軸をその軸方向に対して垂直方
    向に往復動可能に設置するとともにこの往復動を前記ワ
    ークに対して略平行にしたことを特徴とする請求項１の
    湿式研磨方法
  4. 【請求項４】 回転駆動手段とバフホイールとを備え、
    前記回転駆動手段によって前記バフホイールを回転さ
    せ、その研磨面によってワークを研磨する湿式研磨装置
    において、前記バフホイールの回転軸を前記ワークの被
    研磨面に対して揺動可能にしたことを特徴とする湿式研
    磨装置
  5. 【請求項５】 前記回転軸の揺動中心をこの回転軸の軸
    心上に設置したことを特徴とする請求項４の湿式研磨装
    置
  6. 【請求項６】 前記回転軸をその軸方向に対して垂直方
    向に往復動可能に設置するとともにこの往復動を前記ワ
    ークに対して略平行にしたことを特徴とする請求項４の
    湿式研磨装置。
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