JPH0754285Y2 - 蒸着装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は蒸着装置に関し、特にディジタルオーディオデ
ィスク及びディジタルビデオディスク等の光ディスク基
板の信号面上に金属を真空蒸着して反射膜を形成する蒸
着装置に関する。

背景技術 従来の蒸着装置としては第５図ないし第８図に示すもの
がある。

第５図に示すように、当該蒸着装置においては円形の基
台１を内部に載置したハウジング２によって真空下で金
属蒸気雰囲気を形成する蒸着室が画定される。基台１上
には複数の回転シャフト３が等ピッチにて設けられ、各
回転シャフト３には被蒸着体としての光ディスク基板５
を担持する平板状のディスクホルダ６が取り付けられて
いる。なお、図示してはいないが、基台１を回転せしめ
ると共に基台１の回転に伴って各回転シャフト３を基台
１に対して回転させる駆動手段が設けられている。

第６図に示すように、基台１の中央部には電極としての
一対の給電支柱８が互いに並行に設けられている。給電
支柱間には、光ディスク基板５に蒸着されるべき金属９
例えばAlを担持してこれを加熱して蒸発せしめる複数の
フィラメント10が平行に架設されている。フィラメント
10には、電源１からON−OFFスイッチ12を経て給電支柱
８を介してその両端に電圧が印加される。

第７図及び第８図にフィラメント10の端部を給電支柱８
に固定する固定手段を示す。

図示した如く、該固定手段は、給電支柱８にボルト14に
より固定されて給電支柱側にフィラメント10が挿通され
得る凹部15aを有する支持部材15と、支持部材15に螺合
して先端にてフィラメント10を給電支柱８に向けて押圧
する押圧ねじ16とから成る。

上記した従来の蒸着装置においては、給電支柱８に対す
るフィラメント10の接触面積は押圧ねじ16により押圧さ
れるスポット部分だけである故、給電支柱８とフィラメ
ント10との接触不良が生じ易く、これにより十分な濃度
の金属蒸気が得られずに光ディスク基板５に形成される
反射膜が均一なものとならず、反射率が規定値に満たな
い光ディスク基板が生産される場合があり、歩留りの向
上を図る上で解決されるべき問題となっていた。

また、第８図に示すように、押圧ねじ16の先端が支持部
材16の凹部15aにおいて露出している故、この露出した
ねじ部分に金属蒸気が付着し、フィラメント10の交換時
などに押圧ねじを緩めることが困難になるという不都合
があった。

更に、上記の構成においては、フィラメント10を給電支
柱に対して着脱するために押圧ねじ16を回す回数が多
く、フィラメントの交換に比較的長い時間を費さねばな
らないと共に作業者に煩わしい感じを与えていた。ま
た、第８図に示すように、押圧ねじ16を回すことにより
フィラメント10がずれ易く、フィラメントの位置決めが
難しいという問題もあった。

考案の概要 ［考案の目的］ 本考案は上記した点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところは蒸着により得られる製品の歩留り
が高く、しかも、フィラメントの交換作業を容易かつ迅
速に行なうことが出来る蒸着装置を提供することであ
る。

［考案の構成］ 本考案による蒸着装置においては、密閉容器内において
電極間に架設されて蒸着用金属を加熱するフィラメント
の端部を該電極に固定する固定手段が、電極に固定され
て電極側にフィラメントが挿通され得る凹部を有する支
持部材と、該支持部材に螺合して先端にてフィラメント
を押圧する押圧ねじとを含み、該凹部内においてフィラ
メントと押圧ねじとの間に介装される中間部材を有し、
該中間部材には、フィラメントに外嵌する嵌合溝及びフ
ィラメントが固定された状態で押圧ねじの上記凹部内に
位置する部分を囲繞すべく上記支持部材の外側面に沿っ
て張出する張出部が形成されていることを特徴としてい
る。

［考案の作用］ かかる構成の蒸着装置においては、フィラメントが中間
部材に形成された嵌合溝の全長に亘って電極に向けて押
圧され、押圧ねじの先端部が該中間部材により覆われ、
該中間部材に形成された嵌合溝によりフィラメントが電
極に対して位置決めされるのである。

実施例 以下、本考案の実施例としての蒸着装置を添付図面を参
照しつつ説明する。なお、当該蒸着装置は以下に説明す
る部分以外は第５図ないし第８図に示した従来の蒸着装
置とほぼ同様に構成されており、詳述はしない。また、
以下の説明において第５図ないし第８図に示した蒸着装
置と同一の部分については同じ参照符号を用いている。

第１図ないし第３図に示す如く、電極としての給電支柱
８には、各フィラメント10の取付位置に平面状の座グリ
部8aが形成されている。座グリ部8aにはねじ孔8bが形成
されており、このねじ孔8bに螺合する六角穴付ボルト14
によって支持部材21が給電支柱８に締付固定されてい
る。支持部材21は導電性材料である銅などを直方体状に
形成して成り、ボルト14のねじ部は該支持部材21に形成
された挿通孔21aに挿通されている。支持部材21には給
電支柱８側に、フィラメント10が挿通される断面が矩形
状の凹部21bが形成されている。支持部材21にはまた、
座グリ部21c及びねじ孔21dが同心的に且つ挿通孔21aと
平行に形成されており、該ねじ孔21dに螺合する押圧ね
じ16のねじ部先端が上記の凹部21bに突出する。なお、
押圧ねじ16は喋形の頭部を有するいわゆる喋ねじであ
る。

フィラメント10と押圧ねじ16との間には銅などの導電性
材料から成る中間部材23が介装されている。中間部材23
は、支持部材21の凹部21bに挿通され得る直方体状の挿
通部23aと、該挿通部23aの両端部に結合して支持部材21
の外側面に沿って張出する一対の矩形板状の張出部23b
とを互いに一体に形成して成る。また、支持部材23には
給電支柱８側に、挿通部23a及び両張出部23bに亘って断
面形状が略半円の嵌合溝23cが形成されており、断面が
円形のフィラメント10にこの嵌合溝23cにて外嵌してい
る。

上記の如く、押圧ねじ16の先端部とフィラメント10との
間に中間部材23を介装し、該中間部材23に形成した嵌合
溝23cの全長に亘ってフィラメント10を給電支柱８に向
けて押圧する構成の故、給電支柱８に対するフィラメン
ト10の接触面積が大となり、給電支柱８とフィラメント
10との接触不良が起こり難い。

また、押圧ねじ16の先端部は中間部材23の張出部23bに
より覆われ、支持部材21及び中間部材23により画定され
る閉塞空間内に位置する故、該先端部に金属蒸気が付着
することがなく、金属蒸気の付着に起因する押圧ねじ16
と支持部材21との固着状態は生じ得ない。

更に、上記の如くフィラメント10と押圧ねじ16との間に
中間部材23の挿通部23aが介在した構成の故、フィラメ
ント10を給電支柱８に対して押圧する際に押圧ねじ16を
回す回数がこの挿通部23aの厚み分だけ少なくなり、押
圧ねじ16の操作時間が短縮されている。また、フィラメ
ント10はこれに嵌合する中間部材23の嵌合溝23cにより
位置決めされる故、押圧ねじ16を回すことによりずれる
ことがない。

次に、上記の構成の蒸着装置においてフィラメント10の
交換をなす場合の作業につき簡単に説明する。

まず、押圧ねじ16を緩めて中間部材23の嵌合溝23cをフ
ィラメント10から離間せしめる。なお、このとき、押圧
ネジ16の先端部と中間部材23とを互いに枢着した構成と
しておけば、押圧ねじ16を緩めるのに伴って中間部材23
がフィラメント10から離脱する故、押圧ねじ16の緩め作
業とは別に中間部材23をフィラメント10から離脱させる
作業を行なう手間が省かれる。

中間部材23がフィラメント10から離脱したらフィラメン
トを新たなものと交換し、再び押圧ネジ16を締め付け、
新たなフィラメントを給電支柱８に対して固定する。

なお、支持部材21の凹部21b及びこれに挿通された中間
部材23の挿通部23aの相互が、断面形状が矩形であるよ
うに形成されている故、これによって中間部材23を押圧
ねじ16の回転中心軸に平行に案内する案内手段が構成さ
れている。故に、押圧ねじ16を回しても中間部材23が凹
部21b内でぐらつくことはなく直線的に移動し、中間部
材23の嵌合溝23cをフィラメント10に外嵌せしめる作業
を容易になし得る。

考案の効果 以上詳述した如く、本考案による蒸着装置においては、
電極に固定されて電極側に金属加熱用フィラメントが挿
通される凹部を有する支持部材に螺合して該フィラメン
トを電極に向けて押圧す押圧ねじと該フィラメントとの
間に中間部材を介装することとし、該中間部材に形成し
た嵌合溝の全長に亘ってフィラメントを電極に押圧して
いる。

よって、電極とフィラメントとの接触不良が起こり難
く、常に十分な濃度の金属蒸気が得られて全ての被蒸着
体に対して均一な厚さの蒸着層を形成することが出来、
歩留りが向上するのである。

更に、本願考案による蒸着装置においては、押圧ねじの
先端部が該中間部材に覆われる故、該先端部に金属蒸気
が付着することによる押圧ねじと支持部材との固着状態
は生じ得ない。また、フィラメントと押圧ねじとの間に
中間部材が介装されている故、フィラメントを電極に対
して着脱するために押圧ねじを回す回数が少なくて済
み、押圧ねじの操作時間が短縮されている。また、フィ
ラメントはこれに嵌合する中間部材の嵌合溝によって位
置決めされ、押圧ネジを回すことによりずれることがな
い。

故に、フィラメントの交換作業が容易かつ迅速に行なわ
れ、作業性の向上が達成されているのである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案の実施例としての蒸着装置の
要部の各々拡散分解斜視図、及び平断面図、第３図は第
２図に関するIII−III断面図、第４図は第２図及び第３
図に関するIV−IV矢視図、第５図及び第６図は従来の蒸
着装置の各々斜視図及び縦断面図、第７図及び第８図は
第５図及び第６図に示した蒸着装置の要部の拡大図であ
る。 主要部分の符号の説明 １……基台、２……ハウジング ５……光ディスク基板 ６……ディスクホルダ ８……給電支柱、９……蒸着用金属 10……フィラメント 16……押圧ねじ、21……支持部材 23……中間部材

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】密閉容器内において電極間に架設されて被
   蒸着体に蒸着さるべき蒸着用金属を加熱するフィラメン
   トの端部を前記電極に固定する固定手段を含み、前記固
   定手段は前記電極に固定されて前記電極側に前記フィラ
   メントが挿通され得る凹部を有する支持部材と、前記支
   持部材に螺合して先端にて前記フィラメントを押圧する
   押圧ねじとを有する蒸着装置であって、 前記凹部内において前記フィラメントと前記押圧ねじと
   の間に介装される中間部材を有し、 前記中間部材には、前記フィラメントに外嵌する嵌合溝
   及び前記フィラメントが固定された状態で前記押圧ねじ
   の前記凹部内に位置する部分を囲繞すべく前記支持部材
   の外側面に沿って張出する張出部が形成されている、 ことを特徴とする蒸着装置。
2. 【請求項２】前記中間部材を前記押圧ねじの回転中心軸
   に並行に案内する案内手段を有することを特徴とする請
   求項１記載の蒸着装置。
3. 【請求項３】前記押圧ねじ及び前記中間部材が互いに枢
   着されていることを特徴とする請求項１又は２記載の蒸
   着装置。