JPH0756495B2 - 信号処理装置 - Google Patents
信号処理装置Info
- Publication number
- JPH0756495B2 JPH0756495B2 JP60141640A JP14164085A JPH0756495B2 JP H0756495 B2 JPH0756495 B2 JP H0756495B2 JP 60141640 A JP60141640 A JP 60141640A JP 14164085 A JP14164085 A JP 14164085A JP H0756495 B2 JPH0756495 B2 JP H0756495B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- synchronous
- synchronous addition
- distribution
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 S/N比が低い信号の測定等においては同期加算か多く用
いられているが,複数回数の加算を行なうために時間を
多く必要とする。本発明は必要とするS/N比に入るよう
に同期加算の回数を制御し,効率のよいS/Nの改善を行
なう。
いられているが,複数回数の加算を行なうために時間を
多く必要とする。本発明は必要とするS/N比に入るよう
に同期加算の回数を制御し,効率のよいS/Nの改善を行
なう。
〔産業上の利用分野〕 本発明は白色雑音等を多量に含みS/N比が低い信号のS/N
比を改善する装置に係り,特に同期加算を行なって信号
のS/N比を改善する信号処理装置に関する。
比を改善する装置に係り,特に同期加算を行なって信号
のS/N比を改善する信号処理装置に関する。
白色雑音等を多量に含み,S/N比が低下している信号のS/
N比を高くする方式として同期加算方式がある。この方
式の原理は信号に同期して加算することによって信号レ
ベルのみを高め,雑音は同期加算してもそのレベルは高
くならないことを応用したものである。たとえば,電子
ビームを用いた電圧測定装置は測定に用いる2次電子信
号強度は非常に低く多くの雑音成分を有している。この
電圧測定装置は,一般的に被測定点における繰り返し信
号に同期したクロックで測定を行ない加算している。そ
してそのクロックの位相すなわち時間の遅れを変化させ
て1周期の波形を測定している。
N比を高くする方式として同期加算方式がある。この方
式の原理は信号に同期して加算することによって信号レ
ベルのみを高め,雑音は同期加算してもそのレベルは高
くならないことを応用したものである。たとえば,電子
ビームを用いた電圧測定装置は測定に用いる2次電子信
号強度は非常に低く多くの雑音成分を有している。この
電圧測定装置は,一般的に被測定点における繰り返し信
号に同期したクロックで測定を行ない加算している。そ
してそのクロックの位相すなわち時間の遅れを変化させ
て1周期の波形を測定している。
従来,前述した電子ビームを用いた電圧測定装置は測定
する前に同期加算回数を入力していた。このため,入力
信号のS/N比がきわめて低下していた場合には同期加算
した結果も目的のS/N比にならないことがあった。この
ような問題があるので,最も低いS/N比の信号であると
仮定して多数回の同期加算を行ない,目的のS/N比以上
になるようにしている。しかしながら,S/N比が比較的に
高い信号であっても同様な回数の同期加算を行なってい
るので,測定に多くの時間を有するという問題を有して
いた。
する前に同期加算回数を入力していた。このため,入力
信号のS/N比がきわめて低下していた場合には同期加算
した結果も目的のS/N比にならないことがあった。この
ような問題があるので,最も低いS/N比の信号であると
仮定して多数回の同期加算を行ない,目的のS/N比以上
になるようにしている。しかしながら,S/N比が比較的に
高い信号であっても同様な回数の同期加算を行なってい
るので,測定に多くの時間を有するという問題を有して
いた。
本発明は前記問題点を解決するものであり,その特徴と
するところは,入力信号の信号強度分布を測定して同期
加算の回数を出力する分布測定手段と, 該分布測定手段の結果が加わり,該結果によって加算回
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置にある。
するところは,入力信号の信号強度分布を測定して同期
加算の回数を出力する分布測定手段と, 該分布測定手段の結果が加わり,該結果によって加算回
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置にある。
入力信号を同期加算する前に入力信号の信号強度分布を
分布測定手段によって求める。求めた信号強度分布と,
あらかじめ入力され必要とする信号強度分布すなわちS/
N比とより同期加算回数を前記分布測定手段によって求
め,同期加算手段に加える。そして前記同期加算手段に
よって加わった回数の同期加算を行ない,目的のS/N比
となった信号を出力する。
分布測定手段によって求める。求めた信号強度分布と,
あらかじめ入力され必要とする信号強度分布すなわちS/
N比とより同期加算回数を前記分布測定手段によって求
め,同期加算手段に加える。そして前記同期加算手段に
よって加わった回数の同期加算を行ない,目的のS/N比
となった信号を出力する。
以下,図面を用いて本発明を詳細に説明する。
第1図は本発明の実施例の回路構成図である。図示しな
い装置たとえば電子ビームによる電圧測定装置の信号出
力端子に一端が接続された信号線103ならびに一端が同
期トリガ端子に接続された同期加算トリガ線のそれぞれ
の他端はスイッチ4−1,4−2のコモン端子に接続され
る。動作開始直後はスイッチ4−1,4−2は制御回路の
制御によってa側に接続されている。よって信号線103
ならびに同期加算トリガ線106を介して加わった出力信
号並びに同期加算トリガ信号は信号線105,同期加算トリ
ガ線108を介して信号処理装置3に入力する。信号処理
装置3は加わる信号を同期加算トリガ信号でサンプリン
グする。信号処理装置3におけるサンプリングは特定ト
リガ数なされる。特定トリガ数サンプリングが終了する
と,信号処理装置3は得られたサンプリングデータの分
布を求める。
い装置たとえば電子ビームによる電圧測定装置の信号出
力端子に一端が接続された信号線103ならびに一端が同
期トリガ端子に接続された同期加算トリガ線のそれぞれ
の他端はスイッチ4−1,4−2のコモン端子に接続され
る。動作開始直後はスイッチ4−1,4−2は制御回路の
制御によってa側に接続されている。よって信号線103
ならびに同期加算トリガ線106を介して加わった出力信
号並びに同期加算トリガ信号は信号線105,同期加算トリ
ガ線108を介して信号処理装置3に入力する。信号処理
装置3は加わる信号を同期加算トリガ信号でサンプリン
グする。信号処理装置3におけるサンプリングは特定ト
リガ数なされる。特定トリガ数サンプリングが終了する
と,信号処理装置3は得られたサンプリングデータの分
布を求める。
第2図は入力信号の分布特性図である。x軸の信号強度
は2次電子信号量であり,y軸の信号強度分布は同一の信
号量となったサンプルの回数である。白色雑音が信号に
加わった場合には,この分布は正規分布であり,信号処
理装置3はこの分布より信号強度ピーク値SPと信号強度
半値幅S1/2を求める。なお,信号強度ピーク値とは測
定したサンプルの回数が最大である点の信号量であり,
信号強度半値幅S1/2とはサンプルの回数の最大の1/2と
なる上下方向の信号量の幅である。
は2次電子信号量であり,y軸の信号強度分布は同一の信
号量となったサンプルの回数である。白色雑音が信号に
加わった場合には,この分布は正規分布であり,信号処
理装置3はこの分布より信号強度ピーク値SPと信号強度
半値幅S1/2を求める。なお,信号強度ピーク値とは測
定したサンプルの回数が最大である点の信号量であり,
信号強度半値幅S1/2とはサンプルの回数の最大の1/2と
なる上下方向の信号量の幅である。
さらに信号処理装置3は,求めた値SP,S1/2より加算回
路AVN を求める。ここでxは制御装置1より加わる信号であり
S/N比を改善した信号のS1/2/SPを表している。尚,こ
の値xはS/Nに関係した値であり,特にS1/2/SPが小と
なればS/Nが大となる関係を有している。
路AVN を求める。ここでxは制御装置1より加わる信号であり
S/N比を改善した信号のS1/2/SPを表している。尚,こ
の値xはS/Nに関係した値であり,特にS1/2/SPが小と
なればS/Nが大となる関係を有している。
そして,演算した結果すなわち加算回数AVNは信号処理
装置3より出力された制御信号線109を介して同期加算
装置2に加わる。制御装置1は同期加算装置に加算回路
AVNが加わり取り込まれたことを確認後,スイッチ4−
1,4−2を切り換える。この切り換えによって信号線103
並びに同期トリガ線106より加わる入力信号と同期加算
トリガ信号はスイッチ4−1,4−2より信号線104,同期
加算トリガ線107を介して同期加算装置2に加わる。同
期加算装置2は同期加算トリガ信号に同期して入力する
信号を同期加算する。この同期加算の回数は前述した信
号処理装置3より加わる値AVNである。AVNで指定された
回数分同期加算を行なった後,同期加算装置2は同期加
算結果出力線102を介して制御装置1に出力する。そし
て制御装置1は図示しない装置たとえば表示装置に出力
する。
装置3より出力された制御信号線109を介して同期加算
装置2に加わる。制御装置1は同期加算装置に加算回路
AVNが加わり取り込まれたことを確認後,スイッチ4−
1,4−2を切り換える。この切り換えによって信号線103
並びに同期トリガ線106より加わる入力信号と同期加算
トリガ信号はスイッチ4−1,4−2より信号線104,同期
加算トリガ線107を介して同期加算装置2に加わる。同
期加算装置2は同期加算トリガ信号に同期して入力する
信号を同期加算する。この同期加算の回数は前述した信
号処理装置3より加わる値AVNである。AVNで指定された
回数分同期加算を行なった後,同期加算装置2は同期加
算結果出力線102を介して制御装置1に出力する。そし
て制御装置1は図示しない装置たとえば表示装置に出力
する。
第3図は本発明の実施例より出力された結果の分布特性
図である。第2図と同様にx軸の信号強度は2次電子信
号量であり,y軸の信号強度分布は同一の信号量となった
サンプルの回数である。尚,第3図は同期加算した結果
を加算回路で割った平均値でありx軸の信号強度は第2
図と同一スケールである。
図である。第2図と同様にx軸の信号強度は2次電子信
号量であり,y軸の信号強度分布は同一の信号量となった
サンプルの回数である。尚,第3図は同期加算した結果
を加算回路で割った平均値でありx軸の信号強度は第2
図と同一スケールである。
同期加算を行なう前の信号の分布すなわちS1/2/SPは約
0.39であるが,本発明の実施例の出力でS1/2/SPは0.12
となっている。前述したxはとは目的とするS1/2/SPの
値を表した値であり,第3図はx=0.1とした時の結果
であり,それらの値はほぼ一致している。
0.39であるが,本発明の実施例の出力でS1/2/SPは0.12
となっている。前述したxはとは目的とするS1/2/SPの
値を表した値であり,第3図はx=0.1とした時の結果
であり,それらの値はほぼ一致している。
以上述べたように本発明はあらかじめ入力信号S/Nに関
係する値すなわちS1/2/SPを求め,その値と目標とする
S1/2/SP値xより同期加算回路を算出し,同期加算処理
を行なっているので,不必要な同期加算を行なう必要が
ない。よって本発明によれば最小限の同期加算で目的の
S/N比の信号を出力する信号処理装置を得ることができ
る。
係する値すなわちS1/2/SPを求め,その値と目標とする
S1/2/SP値xより同期加算回路を算出し,同期加算処理
を行なっているので,不必要な同期加算を行なう必要が
ない。よって本発明によれば最小限の同期加算で目的の
S/N比の信号を出力する信号処理装置を得ることができ
る。
第1図は本発明の実施例の回路構成図, 第2図は入力信号の分布特性図, 第3図は本発明の実施例の出力信号の分布特性図であ
る。 1……制御装置, 2……同期加算装置, 3……信号処理装置,
る。 1……制御装置, 2……同期加算装置, 3……信号処理装置,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/66 C 7630−4M (72)発明者 石塚 俊弘 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 尾崎 一幸 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特公 昭58−29846(JP,B2)
Claims (1)
- 【請求項1】入力信号の信号強度分布を測定して同期加
算の回数を出力する分布測定手段と, 該分布測定手段の結果が加わり,該結果によって加算回
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141640A JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141640A JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622168A JPS622168A (ja) | 1987-01-08 |
| JPH0756495B2 true JPH0756495B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=15296746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60141640A Expired - Lifetime JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0756495B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63166731U (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | ||
| JPH04122496U (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-04 | 正晴 大滝 | 管受装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5829846A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-22 | Kuraray Co Ltd | 吸水性複合体 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60141640A patent/JPH0756495B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS622168A (ja) | 1987-01-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5814622A (ja) | 遅延回路 | |
| US4907165A (en) | Electric energy measuring method | |
| JPS622168A (ja) | 信号処理装置 | |
| JPH0915273A (ja) | 基本波成分周波数の測定方法及び測定装置 | |
| JP2582906B2 (ja) | 半導体装置の直流電流・電圧特性の測定方法 | |
| JPS635859B2 (ja) | ||
| JPS5943374A (ja) | 二次電子増倍管の利得検出器 | |
| SU705438A2 (ru) | Управл емый датчик случайных чисел | |
| SU660058A1 (ru) | Устройство дл вычислени корневых годографов систем автоматического управлени | |
| SU596971A2 (ru) | Многонакальный электронный анализатор | |
| JPS59147228A (ja) | スペクトル分解処理装置 | |
| JPH073775B2 (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPH0712852A (ja) | 波形生成機能付き波形測定装置 | |
| JPS6227845Y2 (ja) | ||
| SU732915A1 (ru) | Анализатор законов распределени веро тностей | |
| SU1200182A1 (ru) | Способ измерени электрических и неэлектрических параметров | |
| JPS5914860B2 (ja) | 質量分析管のパルス又は交流変調自動補正方法 | |
| SU1658402A1 (ru) | Измеритель уровн шумов | |
| SU602778A1 (ru) | Автоматический стереофотограмметрический прибор | |
| JPS62282443A (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPS6159271A (ja) | ストロボ電子ビ−ム装置 | |
| JPS60227176A (ja) | 雑音余裕度の測定方法 | |
| SU789915A2 (ru) | Анализатор импульсных сигналов | |
| SU702323A2 (ru) | Устройство дл автоматического контрол и регулировани параметров радиоэлектронной аппаратуры | |
| JPH04286965A (ja) | 実効値測定装置 |