JPH073775B2 - ストロボ電子ビ−ム装置 - Google Patents
ストロボ電子ビ−ム装置Info
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- JPH073775B2 JPH073775B2 JP61060836A JP6083686A JPH073775B2 JP H073775 B2 JPH073775 B2 JP H073775B2 JP 61060836 A JP61060836 A JP 61060836A JP 6083686 A JP6083686 A JP 6083686A JP H073775 B2 JPH073775 B2 JP H073775B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は、電子ビームパルスの位相走査を複数回繰返し
て得られる被検集積回路の所定照射点の電圧測定値デー
タ列に対して、各回毎のデータ列間の相関が最大となる
ように位相をシフトさせて加算平均処理を行う手段を有
し、それにより電子ビームパルスの照射位相制御回路ま
たは被検集積回路の駆動回路等のドリフトの影響による
観測電圧波形の時間分解能の低下を防ぐことができるス
トロボ電子ビーム装置である。
て得られる被検集積回路の所定照射点の電圧測定値デー
タ列に対して、各回毎のデータ列間の相関が最大となる
ように位相をシフトさせて加算平均処理を行う手段を有
し、それにより電子ビームパルスの照射位相制御回路ま
たは被検集積回路の駆動回路等のドリフトの影響による
観測電圧波形の時間分解能の低下を防ぐことができるス
トロボ電子ビーム装置である。
本発明は、時間分解能の高い電圧測定値データ列を得る
ことのできるストロボ電子ビーム装置に関する。
ことのできるストロボ電子ビーム装置に関する。
IC,LSIなどの内部動作を解析するためにストロボ電子ビ
ーム装置が注目されている。ストロボ電子ビーム装置は
繰り返し周期動作をする集積回路の特定位置に対して、
その動作クロックに同期して可変のディレイをかけて様
々な位相の電子ビームパルスを照射し、得られる２次電
子信号より各照射位相における上記特定位置の電圧測定
を行うものである。従って、該照射位相を電圧変化に対
して非常に細かく変化させて電圧測定を行うことによ
り、高速に動作する集積回路の各位置の電圧変化を高い
時間分解能で正確に観測することができる。
ーム装置が注目されている。ストロボ電子ビーム装置は
繰り返し周期動作をする集積回路の特定位置に対して、
その動作クロックに同期して可変のディレイをかけて様
々な位相の電子ビームパルスを照射し、得られる２次電
子信号より各照射位相における上記特定位置の電圧測定
を行うものである。従って、該照射位相を電圧変化に対
して非常に細かく変化させて電圧測定を行うことによ
り、高速に動作する集積回路の各位置の電圧変化を高い
時間分解能で正確に観測することができる。
そして、上記動作を可能にするために、電子ビームパル
スの照射位相を細かく変化させる制御回路が実現されて
いる。
スの照射位相を細かく変化させる制御回路が実現されて
いる。
上記従来方式においては、まず１回の位相走査によって
第５図（ａ）に示すように時間的に変化する所定位置の
試料電圧波形に対して、φｏ，・・・φｉ，・・・φｎ
というように各位相で電子ビームを照射して各電圧測定
値データ列を得る。そして、１回の測定ではノイズの影
響を受けやすいため、上記位相走査を複数回（例えば10
00回）繰返し、各位相毎に加算平均処理を行うことによ
りS/Nを上げている。
第５図（ａ）に示すように時間的に変化する所定位置の
試料電圧波形に対して、φｏ，・・・φｉ，・・・φｎ
というように各位相で電子ビームを照射して各電圧測定
値データ列を得る。そして、１回の測定ではノイズの影
響を受けやすいため、上記位相走査を複数回（例えば10
00回）繰返し、各位相毎に加算平均処理を行うことによ
りS/Nを上げている。
しかし、上記方式において各位相を高精度で細かく変化
させようとしても、位相制御回路がドリフト等の影響を
受けることにより、回を追う毎に電子ビームの照射位相
がある方向にゆらぐという現象が現れる（第５図（ａ）
の51）。これは、集積回路の駆動回路系についても同様
であり、試料電圧波形そのもののEBパルスに対する位相
がゆらぐ場合もある。このような状態で、各回の位相走
査で得られた電圧測定値データ列に対して各位相毎に加
算平均処理を行うと、位相のゆらぎにより電圧測定値の
時間分解能が低下し、第５図（ｂ）に示すように測定波
形が試料電圧波形に対してなまってしまうという問題点
を有していた。
させようとしても、位相制御回路がドリフト等の影響を
受けることにより、回を追う毎に電子ビームの照射位相
がある方向にゆらぐという現象が現れる（第５図（ａ）
の51）。これは、集積回路の駆動回路系についても同様
であり、試料電圧波形そのもののEBパルスに対する位相
がゆらぐ場合もある。このような状態で、各回の位相走
査で得られた電圧測定値データ列に対して各位相毎に加
算平均処理を行うと、位相のゆらぎにより電圧測定値の
時間分解能が低下し、第５図（ｂ）に示すように測定波
形が試料電圧波形に対してなまってしまうという問題点
を有していた。
本発明は上記問題点を除くために、各回の位相走査毎の
電圧測定値データ列間の相関が最大となるように位相を
シフトさせて加算平均処理を行うことにより、高時間分
解能の観測電圧波形を得ることができるストロボ電子装
置を提供することを目的とする。
電圧測定値データ列間の相関が最大となるように位相を
シフトさせて加算平均処理を行うことにより、高時間分
解能の観測電圧波形を得ることができるストロボ電子装
置を提供することを目的とする。
本発明は上記問題点を除くために、各位相走査毎に得ら
れる電圧測定値データ列（｛Si｝）と所定回目（例えば
１回目）の位相走査によって得られる電圧測定値データ
列（｛Wi｝）との相関関数値（Rl）を演算しその最大値
（Rn）に対応する位相ずれ量（ｎ）を算出する位相ずれ
量演算手段（141）と、前記電圧測定値データ列
（｛Si｝）の各位相を前記位相ずれ量（ｎ）だけずらし
たデータ列（｛Si+n｝）を各位相毎に対応するアドレス
に加算し記憶する電圧測定値データ列加算記憶手段（14
3）とを有する。
れる電圧測定値データ列（｛Si｝）と所定回目（例えば
１回目）の位相走査によって得られる電圧測定値データ
列（｛Wi｝）との相関関数値（Rl）を演算しその最大値
（Rn）に対応する位相ずれ量（ｎ）を算出する位相ずれ
量演算手段（141）と、前記電圧測定値データ列
（｛Si｝）の各位相を前記位相ずれ量（ｎ）だけずらし
たデータ列（｛Si+n｝）を各位相毎に対応するアドレス
に加算し記憶する電圧測定値データ列加算記憶手段（14
3）とを有する。
上記手段において、各位相走査毎に得られた電圧測定値
データ列（｛Si｝）は、位相ずれ量演算手段（141）に
おいて例えば第１回目の位相走査による電圧測定値デー
タ列（｛Wi｝）との相関が最大になるように位相ずれ量
（ｎ）が決定され、該位相ずれ量（ｎ）だけずらしたデ
ータ列（｛Si+n｝）として電圧測定値データ列加算記憶
手段（143）に足し込まれてゆく。これにより、各位相
走査毎に位相のゆらぎが発生しても、そのゆらぎに対応
する位相ずれ量（ｎ）を検出してデータをシフトしてか
ら加算平均処理を行うため、時間分解能の低下を防ぐこ
とができる。
データ列（｛Si｝）は、位相ずれ量演算手段（141）に
おいて例えば第１回目の位相走査による電圧測定値デー
タ列（｛Wi｝）との相関が最大になるように位相ずれ量
（ｎ）が決定され、該位相ずれ量（ｎ）だけずらしたデ
ータ列（｛Si+n｝）として電圧測定値データ列加算記憶
手段（143）に足し込まれてゆく。これにより、各位相
走査毎に位相のゆらぎが発生しても、そのゆらぎに対応
する位相ずれ量（ｎ）を検出してデータをシフトしてか
ら加算平均処理を行うため、時間分解能の低下を防ぐこ
とができる。
以下、本発明の実施例につき詳細に説明を行う。｛スト
ロボ電子ビーム装置の構成と動作（第２図）｝ 第２図は、本発明によるストロボ電子ビーム装置の構成
図である。電子ビーム鏡筒１内には、副偏向器２、主偏
向器３、エネルギ分析器４、試料IC5、２次電子検出器
６などが構成される。なお、電子銃、偏向レンズなどは
図示してあるが本発明とは直接関係ないため説明は省略
する。まず、試料IC5はICドライバ７からのIC駆動電圧
信号71によって駆動される。一方、これに同期してクロ
ック72がディレイユニット９へ出力される。ディレイユ
ニット９は演算記憶回路14からのディレイユニット制御
データ1402に従って前記クロック72に対して可変ディレ
イをかけ、副偏向器ドライバ11を介した副偏向器２、及
び固定ディレイ10、主偏向器ドライバ12を介した主偏向
器３により、電子ビームパルスを位相走査して試料IC5
上の特定点に照射する。これにより照射点から放出され
た２次電子は、電子測定回路８からのエネルギ分析器制
御信号81に従ってエネルギ分析器４でエネルギ分析さ
れ、２次電子検出器６で２次電子信号61として検出され
た後、電圧測定手段８に入力して電圧測定され波形デー
タ列82に変換される。この時の電圧測定動作は、演算記
憶回路14からの電圧測定回路制御データ1403によって制
御され、また２次電子信号61のサンプリングのタイミン
グは固定ディレイ10からのストローブ101によって制御
される。
ロボ電子ビーム装置の構成と動作（第２図）｝ 第２図は、本発明によるストロボ電子ビーム装置の構成
図である。電子ビーム鏡筒１内には、副偏向器２、主偏
向器３、エネルギ分析器４、試料IC5、２次電子検出器
６などが構成される。なお、電子銃、偏向レンズなどは
図示してあるが本発明とは直接関係ないため説明は省略
する。まず、試料IC5はICドライバ７からのIC駆動電圧
信号71によって駆動される。一方、これに同期してクロ
ック72がディレイユニット９へ出力される。ディレイユ
ニット９は演算記憶回路14からのディレイユニット制御
データ1402に従って前記クロック72に対して可変ディレ
イをかけ、副偏向器ドライバ11を介した副偏向器２、及
び固定ディレイ10、主偏向器ドライバ12を介した主偏向
器３により、電子ビームパルスを位相走査して試料IC5
上の特定点に照射する。これにより照射点から放出され
た２次電子は、電子測定回路８からのエネルギ分析器制
御信号81に従ってエネルギ分析器４でエネルギ分析さ
れ、２次電子検出器６で２次電子信号61として検出され
た後、電圧測定手段８に入力して電圧測定され波形デー
タ列82に変換される。この時の電圧測定動作は、演算記
憶回路14からの電圧測定回路制御データ1403によって制
御され、また２次電子信号61のサンプリングのタイミン
グは固定ディレイ10からのストローブ101によって制御
される。
次に電圧測定回路８からの波形データ列82は、演算記憶
回路14に入力し、ここで第１回目の波形データ列との相
関関数が演算され、その最大値に対応する位相ずれ量だ
けシフトされて加算処理が行われる。上記動作を必要回
数だけ繰返した後、平均処理を行った電圧波形データ14
01を制御用計算機15に出力する。なお、演算記憶回路14
は制御用計算機15からの演算記憶回路制御用データ151
によって制御される。また、電圧波形データ1401は表示
装置16により任意に表示できる。
回路14に入力し、ここで第１回目の波形データ列との相
関関数が演算され、その最大値に対応する位相ずれ量だ
けシフトされて加算処理が行われる。上記動作を必要回
数だけ繰返した後、平均処理を行った電圧波形データ14
01を制御用計算機15に出力する。なお、演算記憶回路14
は制御用計算機15からの演算記憶回路制御用データ151
によって制御される。また、電圧波形データ1401は表示
装置16により任意に表示できる。
｛演算記憶回路の構成（第１図）｝ 次に、本発明に直接関連する演算記憶回路14の構成を第
１図に示す。まず、電圧測定回路８（第２図）からの波
形データ列82は波形データ列記憶部144に一時記憶され
る。そして第１回目の位相走査による波形データ列
｛Wi｝は、第１図波形データ列記憶部145に記憶される
と共に、波形データ列加算記憶部143に初期値としてセ
ットされる。次に、第２回目以降の位相走査による波形
データ列｛Si｝と、第１図波形データ列記憶部145から
の第１図波形データ列｛Wi｝は位相ずれ量演算部141に
入力し、ここで上記１つのデータ列の相関関数値が演算
され、その最大値に対応する位相ずれ量ｎが波形データ
列シフト部142に出力される。波形データ列シフト部142
では、波形データ列記憶部144からの波形データ列
｛Si｝の位相を位相ずれ量ｎだけシフトし、データ列
｛Si+n｝として波形データ列加算記憶部143の各位相毎
に対応するアドレスに加算され記憶される。上記動作を
複数位相走査分繰返した後、平均処理を施された電圧波
形データ1401が波形データ列加算記憶部143から制御用
計算機15へ出力される。この時、演算制御部146は制御
用計算機15からの演算記憶回路制御データ151に従っ
て、ディレイユニット制御データ1402及び電圧測定回路
制御データ1403をディレイユニット９及び電圧測定回路
８へ出力する。また、位相ずれ量演算部141、波形デー
タ列シフト部142、波形データ列加算記憶部143、波形デ
ータ列記憶部144、及び第１回波形データ列記憶部145
を、各制御信号1401〜1405によって制御する。
１図に示す。まず、電圧測定回路８（第２図）からの波
形データ列82は波形データ列記憶部144に一時記憶され
る。そして第１回目の位相走査による波形データ列
｛Wi｝は、第１図波形データ列記憶部145に記憶される
と共に、波形データ列加算記憶部143に初期値としてセ
ットされる。次に、第２回目以降の位相走査による波形
データ列｛Si｝と、第１図波形データ列記憶部145から
の第１図波形データ列｛Wi｝は位相ずれ量演算部141に
入力し、ここで上記１つのデータ列の相関関数値が演算
され、その最大値に対応する位相ずれ量ｎが波形データ
列シフト部142に出力される。波形データ列シフト部142
では、波形データ列記憶部144からの波形データ列
｛Si｝の位相を位相ずれ量ｎだけシフトし、データ列
｛Si+n｝として波形データ列加算記憶部143の各位相毎
に対応するアドレスに加算され記憶される。上記動作を
複数位相走査分繰返した後、平均処理を施された電圧波
形データ1401が波形データ列加算記憶部143から制御用
計算機15へ出力される。この時、演算制御部146は制御
用計算機15からの演算記憶回路制御データ151に従っ
て、ディレイユニット制御データ1402及び電圧測定回路
制御データ1403をディレイユニット９及び電圧測定回路
８へ出力する。また、位相ずれ量演算部141、波形デー
タ列シフト部142、波形データ列加算記憶部143、波形デ
ータ列記憶部144、及び第１回波形データ列記憶部145
を、各制御信号1401〜1405によって制御する。
｛演算記憶回路の動作（第１図、第３図及び第４図）｝ 次に、上記演算記憶回路の動作につき、第３図の動作フ
ローチャート、及び第４図の動作説明図を用いて説明を
行う。
ローチャート、及び第４図の動作説明図を用いて説明を
行う。
まず、制御用計算機15からの演算記憶回路制御データ15
1により、演算制御部146は第３図の動作フローチャート
をスタートさせる（T1）。
1により、演算制御部146は第３図の動作フローチャート
をスタートさせる（T1）。
演算制御部146はこれにより位相走査回数を示す変数Ｉ
を１にセットし（T2）、ディレイユニット制御データ14
02によりディレイユニット９を制御し電子ビームパルス
（EBパルス）の照射位相を走査させながら、電圧測定回
路制御データ1403により電圧測定回路８を制御し電圧測
定を行なわせ、第４図に示す第１回目の位相走査に対応
する波形データ列82、即ち｛Si｝（ｉ＝1,2,・・・Ｋ）
を取得して波形データ列記憶部144に格納する（T3）。
次に、演算記憶部146は第４図に示すようにＫ個の位相
点のデータ列｛Si｝からの任意のＮ個（先頭ポイントか
らのずれ量＝ｋ）を切り出して、第１図波形データ列
｛Wi｝＝｛Si+k｝（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）として第１回波
形データ列記憶部145に記憶させると共に、波形データ
列加算記憶部143の加算波形データ列｛Ai｝（ｉ＝1,2,
・・・Ｎ）の初期値としてセットする（T3→T4→T5→T6
→T7）。なお、これらの動作は各制御信号1403,1404,14
05（第１図）により制御する。
を１にセットし（T2）、ディレイユニット制御データ14
02によりディレイユニット９を制御し電子ビームパルス
（EBパルス）の照射位相を走査させながら、電圧測定回
路制御データ1403により電圧測定回路８を制御し電圧測
定を行なわせ、第４図に示す第１回目の位相走査に対応
する波形データ列82、即ち｛Si｝（ｉ＝1,2,・・・Ｋ）
を取得して波形データ列記憶部144に格納する（T3）。
次に、演算記憶部146は第４図に示すようにＫ個の位相
点のデータ列｛Si｝からの任意のＮ個（先頭ポイントか
らのずれ量＝ｋ）を切り出して、第１図波形データ列
｛Wi｝＝｛Si+k｝（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）として第１回波
形データ列記憶部145に記憶させると共に、波形データ
列加算記憶部143の加算波形データ列｛Ai｝（ｉ＝1,2,
・・・Ｎ）の初期値としてセットする（T3→T4→T5→T6
→T7）。なお、これらの動作は各制御信号1403,1404,14
05（第１図）により制御する。
次に、演算記憶部146は前記と同様にして２回目のEBパ
ルスの位相走査を行い、電圧測定を行って第４図に示す
第２回以降のＫ個の波形データ列82、即ち｛Si｝（ｉ＝
1,2,・・・Ｋ）を取得して波形データ列記憶部144に格
納する（T8→T3）。その後、演算制御部146は制御信号1
401により位相ずれ量演算部141を起動し、波形データ列
記憶部144の波形データ列｛Si｝と第１回波形データ列
記憶部145の第１回波形データ列｛Wi｝との相関関数を
演算させる（T3→T4→T5→T9）。
ルスの位相走査を行い、電圧測定を行って第４図に示す
第２回以降のＫ個の波形データ列82、即ち｛Si｝（ｉ＝
1,2,・・・Ｋ）を取得して波形データ列記憶部144に格
納する（T8→T3）。その後、演算制御部146は制御信号1
401により位相ずれ量演算部141を起動し、波形データ列
記憶部144の波形データ列｛Si｝と第１回波形データ列
記憶部145の第１回波形データ列｛Wi｝との相関関数を
演算させる（T3→T4→T5→T9）。
次に、位相ずれ量演算部141では、変数ｌの値を０から
Ｋ−Ｎまで変化させるから、第４図に示すようにＫ個の
波形データ列｛Si｝の中からＮ個のデータ列（Si+l｝
（ｉ＝1,2,・・・,N）を順次切り出して、次式に示すよ
うに各位相点毎に第１回波形データ列｛Wi｝と乗算を
し、その和をとることにより各相関関数Rlを順次演算す
る（T9→T10→T11→T12→T9）。
Ｋ−Ｎまで変化させるから、第４図に示すようにＫ個の
波形データ列｛Si｝の中からＮ個のデータ列（Si+l｝
（ｉ＝1,2,・・・,N）を順次切り出して、次式に示すよ
うに各位相点毎に第１回波形データ列｛Wi｝と乗算を
し、その和をとることにより各相関関数Rlを順次演算す
る（T9→T10→T11→T12→T9）。
▲▼＝｛Si+l｝の平均値 ＝｛Wi｝の平均値 δsl 2＝｛Si+l｝の分散 δw 2＝｛Wi｝の分散 上記演算をデータ列の端（ｌ＝Ｋ−Ｎ）まで行った後、
各相関関数Rlの中から最大のものを見つける（T11→T1
3）。今、対象となっている波形データ列が第１回波形
データ列に対して位相のずれがない場合には、ｌ＝ｋと
した場合に２つの波形はほとんど重なるためその時の相
関関数Rkが最大となる。しかし、ディレイユニット９
（第２図）などの電気回路系のドリフトにより、その位
相が第４図に示すようにｍポイント分ずれているとする
と、ｌ＝Rk＋ｍとした場合に２つの波形がよく重なり、
その時の相関関数Rn＝RRk+mが最大となる。従って、相
関関数が最大となる値Rnに対応する位相ずれ量ｎ＝Rk＋
ｍを先頭値としてＮ個の波形データ列｛Si+n｝（ｉ＝1,
2,・・・,N）を切り出し、加算を行えばドリフトなどに
よる位相のゆらぎを除くことができる。
各相関関数Rlの中から最大のものを見つける（T11→T1
3）。今、対象となっている波形データ列が第１回波形
データ列に対して位相のずれがない場合には、ｌ＝ｋと
した場合に２つの波形はほとんど重なるためその時の相
関関数Rkが最大となる。しかし、ディレイユニット９
（第２図）などの電気回路系のドリフトにより、その位
相が第４図に示すようにｍポイント分ずれているとする
と、ｌ＝Rk＋ｍとした場合に２つの波形がよく重なり、
その時の相関関数Rn＝RRk+mが最大となる。従って、相
関関数が最大となる値Rnに対応する位相ずれ量ｎ＝Rk＋
ｍを先頭値としてＮ個の波形データ列｛Si+n｝（ｉ＝1,
2,・・・,N）を切り出し、加算を行えばドリフトなどに
よる位相のゆらぎを除くことができる。
上記のようにして位相ずれ量ｎが見つかったら、演算制
御部146は制御信号1402により波形データ列シフト部142
を起動し、記憶部144の波形データ列｛Si｝（ｉ＝1,2,
・・・,K）から位相ずれ量ｎを先頭として、Ｎ個のデー
タ列｛Si+n｝（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）を切り出し、波形デ
ータ列加算記憶部143の各加算波形データ列Aiに加算す
る。即ち、 Ai＝Ai+Si+n（ｉ＝1,2,・・・Ｎ） とする（T13→T14→T8）。
御部146は制御信号1402により波形データ列シフト部142
を起動し、記憶部144の波形データ列｛Si｝（ｉ＝1,2,
・・・,K）から位相ずれ量ｎを先頭として、Ｎ個のデー
タ列｛Si+n｝（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）を切り出し、波形デ
ータ列加算記憶部143の各加算波形データ列Aiに加算す
る。即ち、 Ai＝Ai+Si+n（ｉ＝1,2,・・・Ｎ） とする（T13→T14→T8）。
そして、演算制御部146は上記加算処理を必要な回数Ima
xだけ繰返した後、波形データ列加算記憶部143の各加算
波形データ列の平均を Ai＝Ai/Imax（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）として計算し（T4→T
15）、電圧波形データ1401として制御用計算機15へ出力
させ、表示装置16へ表示させる（T16）。
xだけ繰返した後、波形データ列加算記憶部143の各加算
波形データ列の平均を Ai＝Ai/Imax（ｉ＝1,2,・・・Ｎ）として計算し（T4→T
15）、電圧波形データ1401として制御用計算機15へ出力
させ、表示装置16へ表示させる（T16）。
以上のようにして、各位相走査毎の波形データ列の加算
平均を計算する場合に位相制御回路系のドリフト等によ
って位相ずれが発生しても、その位相ずれ量を自動的に
検出し補正を行うことができるため、高時間分解能での
波形データ列の取得が可能となる。
平均を計算する場合に位相制御回路系のドリフト等によ
って位相ずれが発生しても、その位相ずれ量を自動的に
検出し補正を行うことができるため、高時間分解能での
波形データ列の取得が可能となる。
〔発明の効果〕 本発明によれば、電子ビームパルスの照射位相制御回路
または被検集積回路の駆動回路等のドリフトの影響によ
って、各位相走査毎に発生する位相ずれを自動的に検出
でき、補正することが可能となるため、観測電圧波形の
時間分解能の低下を防ぐことが可能となる。
または被検集積回路の駆動回路等のドリフトの影響によ
って、各位相走査毎に発生する位相ずれを自動的に検出
でき、補正することが可能となるため、観測電圧波形の
時間分解能の低下を防ぐことが可能となる。
第１図は、演算記憶回路の構成図、 第２図は、本発明によるストロボ電子ビーム装置の構成
図、 第３図は、演算記憶回路の動作フローチャート、 第４図は、本発明の動作説明図、 第５図（ａ），（ｂ）は、従来の問題点の説明図であ
る。 ５……試料IC、８……電圧測定回路、９……ディレイユ
ニット、14……演算記憶回路、61……２次電子信号、14
1……位相ずれ量演算部、143……波形データ列加算記憶
部、Si……波形データ列、Wi……第１回波形データ列．
図、 第３図は、演算記憶回路の動作フローチャート、 第４図は、本発明の動作説明図、 第５図（ａ），（ｂ）は、従来の問題点の説明図であ
る。 ５……試料IC、８……電圧測定回路、９……ディレイユ
ニット、14……演算記憶回路、61……２次電子信号、14
1……位相ずれ量演算部、143……波形データ列加算記憶
部、Si……波形データ列、Wi……第１回波形データ列．
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大窪 和生 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 後藤 善朗 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−220940（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】被検集積回路（５）の繰返し周期動作に同
期したクロック（72）に可変のディレイを行って電子ビ
ームパルスを発生し前記被検集積回路（５）上に照射さ
せるディレイ可変手段（９）と、該各照射によって得ら
れる２次電子信号（61）より照射点の電圧を測定する電
圧測定手段（８）とを有するストロボ電子ビーム装置に
おいて、 前記電子ビームパルスの照射位相を前記ディレイ可変手
段（９）によって順次変化させながら位相走査を行うこ
とにより前記電圧測定手段（８）によって得られる電圧
測定値データ列（｛Si｝）と所定回目の位相走査により
得られる電圧測定値データ列（｛Wi｝）との相関関数値
（Rl）を演算しその最大値（Rn）に対応する位相ずれ量
（ｎ）を算出する位相ずれ量演算手段（141）と、 前記電圧測定値データ列（｛Si｝）の各位相を前記位相
ずれ量（ｎ）だけずらしたデータ列（｛Si+n｝）を各位
相毎に対応するアドレスに加算し記憶する電圧測定値デ
ータ列加算記憶手段（143）とを有し、 前記電圧測定値データ列（｛Si｝）の取得動作及びそれ
に対応する修正電圧測定値データ列（｛Si+n｝）の加算
・記憶動作を複数回繰返すことを特徴とするストロボ電
子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060836A JPH073775B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060836A JPH073775B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62219447A JPS62219447A (ja) | 1987-09-26 |
| JPH073775B2 true JPH073775B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=13153840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61060836A Expired - Lifetime JPH073775B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | ストロボ電子ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073775B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0747750Y2 (ja) * | 1988-06-08 | 1995-11-01 | 株式会社アドバンテスト | 電子ビームテストシステム |
| JP2552185Y2 (ja) * | 1990-05-30 | 1997-10-27 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP61060836A patent/JPH073775B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62219447A (ja) | 1987-09-26 |
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