JPH0757474B2 - 防災対策形清浄作業台 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は清浄作業台に係り、清浄度の維持とともにクリ
ーンルーム内で用いられて作業空間内で空気より比重の
大きい可燃性又は爆発性を有する物質などを取り扱う場
合の安全性の向上に好適な防災対策形清浄作業台に関す
る。

〔従来の技術〕

従来の排気形の清浄作業台は例えば実開昭44−23514号
公報，特公昭52−3160号公報等に開示されている。

これらに示されるように従来の排気形清浄作業台の一般
的な構成は第27図に示すように、作業室101は四方に設
けられた側面壁102と背面壁103、前面扉104および床面
に設けられた通気性を有するパンチング板105および上
面に設けられた清浄空気吹出口119により包囲され、清
浄作業台下部に、プレフイルタ106,フアン107とを備
え、フアン107は給気ダクト108を介して作業室101の上
方に設けられた高性能フイルタ109に供給し、高性能フ
イルタ109により浄化された空気を作業室101内へ清浄空
気110として清浄空気吹出口119より垂直に供給する構成
となつている。

このような清浄作業台内に、作業時に引火性あるいは可
燃性の物質を扱う装置を設置する場合、例えば、半導体
製造用のスピンナ装置を清浄作業台内で用いる場合に
は、作業室101内に設置するスピンナ装置11は空気より
比重の大きい可燃性ガス12を発生しそのガスは、パンチ
ング板105および排気ダクト113を介し機外へ排出される
が、前面扉104を開放の際、室外へ流出する場合もあつ
た。また作業室101内には、可燃性ガスが充満するおそ
れがあるので室内の雰囲気に対する安全度を高めた照明
灯114を用い、これら照明灯114,フアン107などの電気品
を制御するコントロールボツクス115を清浄作業台の脚
部前面に設置していた。

そのためコントロールボツクス115が可燃性ガスの雰囲
気中となることもあり、通常の電気品を使用すると安全
性の問題があるともに、安全上防爆仕様のものを使用す
るとコントロールボツクス115が大形化し、作業の障害
になるという問題があり、安全性と機能性を同時に満た
すようには配慮されていなかつた。

なお、上記の他にこの種の装置として関連するものは実
公昭47−36683号が挙げられるが、作業空間内で可燃性
の物質を扱うことへの対策については開示されていな
い。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は第28図に示すよう前面扉104を開放した
際、天井ケース116の前部下面にデツドスペースがある
ため、外気117を誘引し作業室101内の清浄度が維持でき
ない。また前面扉104の開放により室内の空気が室外へ
流出しやすく、なおかつ室内に露出した照明灯114があ
るため、その下部は対流現象が起きスピンナ装置11より
発生した可燃性ガス12は、室外へ流出する。可燃性ガス
12が空気より比重が大きいので室外へ流出した場合、清
浄作業台下部に設置しているフアン107、コントロール
ボツクス115内に収納している開閉器などの火花により
引火し、爆発する危険性がある。

この流出した可燃性ガス12は、清浄作業台の下部に位置
しているフアン107により吸引され、さらに給気ダクト1
08を介して作業室101内へリサイクルする悪循環をくり
返す。給気ダクト108内は外気に対し正圧のため、この
ダクトが外気と接する全ての面は密閉度が高くないと室
外へ流出し拡散する可能性がある。

また前記コントロールボツクス115を含め、内部の開閉
器類の安全性を高めた防爆仕様のものを使用した場合、
ボツクそのものが大きくなり、作業者が作業を行う際の
障害となるとともに、作業台外部へのはみ出し部分が大
きくなり、作業者がぶつかることがあるという安全上の
問題もある。

本発明の目的は従来の高清浄化はもちろんのこと、作業
室内にて発生する可燃性ガス，爆発性ガスの作業室内で
の対流および室外への流出を防止し、各種の災害を未然
に防ぎ安全度を高めた清浄作業台を提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、前面に開口部を有し、内部に可燃性物質を
扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の上方に配
設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連通し
て前記作業空間内の空気を排気する排気部とを備えて成
る防災対策形清浄作業台において、隔離気流形成手段と
電気品格納箱とを備え、前記隔離気流形成手段は前記作
業空間の上方に配設され、前記電気品格納箱は前記隔離
気流形成手段により形成される気流に対し前記機器より
上流側に前記作業空間から隔離されて配設するととも
に、前記作業空間外の空気が前記電気品格納箱内を貫流
するよう空気流通孔を前記電気品格納箱形成することに
より達成される。

また、上記目的は前面に開口部を有し、内部に可燃性物
質を扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の上方
に配設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連
通して前記作業空間内の空気を排気する排気部と、前記
作業空間内の空気が前記開口部から外部へ流出するのを
防止する隔離気流形成手段とを備えて成る防災対策形清
浄作業台において、電気品格納箱と消火装置と防止ダン
パとを設え、前記電気品格納箱は前記隔離気流形成手段
により形成される気流に対し前記機器より上流側に前記
作業空間から隔離されて配設され、前記消火装置を前記
作業台下方に配設された消火剤容器と前記作業空間内で
前記機器の近傍に配設されて制御弁を介して前記消火剤
容器に接続されたノズルと前記機器の近傍に配設された
火災検出手段と、該火災検出手段の信号に基いて消火剤
を放出するよう前記制御弁を制御する制御部とにより構
成し、該制御部に動作状態の表示手段を設けるとともに
該制御部を前記電気品格納箱に格納し、前記防火ダンパ
を前記排気部内に設けて前記消火装置の動作に連動して
前記排気部を閉鎖するよう構成することにより達成され
る。

好ましい実施態様によれば前記消火装置は圧力気体容器
を備え、該圧力気体容器は第２の制御弁を介して前記防
火ダンパの駆動装置に接続され、前記制御部は前記消火
剤の放出時に前記第２の制御弁を制御して前記圧力気体
容器内の気体を放出し前記防火ダンパの閉動作を行うよ
う構成される。

〔作用〕

隔離気流形成手段は作業空間内を上方から下方に流れる
気流を形成して作業空間内で発生した可燃性物質の作業
空間外への流出を防止するとともに作業空間外から外気
の侵入を防止する。排気部は作業空間内で発生した可燃
性物質の作業空間外への排出を有効に行なう。

これにより作業空間内の可燃性物質の濃度を低くするこ
とができ、火災発生の危険性を少くすることができる。
電気品格納箱は隔離気流形成手段により形成される気流
に対し可燃性物質を扱う機器より上流側に前記作業空間
から隔離されて配設されているので、万一作業空間内に
可燃性物質が充満しても可燃性物質と電気品格納箱内の
機器との接触を防止する。

電気品格納箱に形成された空気流通孔は、電気品格納箱
の機器の発熱により電気品格納箱内を貫流する気流を形
成するので、万一可燃性物質が電気品格納箱内に侵入し
ても有効に外部への排出を行なえ、電気品格納箱内での
可燃性物質の滞留を防止する。

消火装置は、万一作業空間内で火災が発生したときに、
作業空間内に消火剤を噴射して消火を行うとともに、防
火ダンパを閉鎖して排気系統を通じての類焼を防止す
る。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を第１図〜第26図により説明する。

本発明の第１実施例を第１図〜第21図により説明する。

第１図は本発明の第１実施例における防災対策形清浄作
業台の構成を示す側断面図である。本実施例の防災対策
形清浄作業台はクリーンルーム内に設置され、作業空間
である作業室１は前面に開口部５が設けられ、両側面に
は側面壁2,背面には背面壁３がそれぞれ設けられ、天井
面には清浄空気を供給する吹出パンチング板19,底面に
は排気パンチング板20がそれぞれ設けられる。開口部５
には作業室１と外部とを隔離する前面扉４が開閉自在に
設けられる。本実施例においては前面扉４は引戸であ
り、外側戸4a,内側戸4bとにより両開の引戸となるよう
構成されている。作業室１の背面壁３にはその上方に埋
込形の照明灯14が設けられ、照明灯14の下方には消火ノ
ズル24が設けられる。作業室１の天井面に設けられた吹
出パンチング板19は前面側に他の部分と開孔率の異なる
エアカーテン吹出部19aが形成され、扉４が開放された
場合でもエアカーテンにより作業室１の内外を隔離でき
るよう構成される。作業室１の前面側上部には垂れ壁21
が着脱自在に設けられ、エアカーテン気流の形成を助長
する。

本実施例においては、前面扉４および垂れ壁21は安全の
ため網入りまたは線入りガラスを用いている。作業室１
の上方には給気浄化部18が設けられる。給気浄化部18
は、上面にプレフイルタ６が着脱自在に設けられるとと
もに天井ケース16の内部にはフアン7,フアン７の吹出口
に連通したチヤンバ26,チヤンバ26と圧力室31との間に
設けられ、フアン７から供給された空気を浄化する高性
能フイルタ９が設けられる。高性能フイルタ９により浄
化されて圧力室31に供給された清浄空気10は吹出パンチ
ング板19を介して作業空間１に供給される。給気浄化部
18の内部はフアン７の吸込口に連通しているため圧力が
周囲に対し負圧となり、フイルタ取付部におけるリーク
などがあつても清浄度に影響を与えないように配慮され
ている。給気浄化部18の天井ケース16の前面には第２図
に示すように段差16aが設けられ、この部分に操作回路
等を含む電気品30を収納するコントロールボツクス15お
よび操作パネル25とが取付けられる。操作パネル25には
空気流通孔25aが設けられる。コントロールボツクス15
は給気浄化部18と分離独立して設けられるとともに、作
業室１に面する側は密閉構造となるよう構成され、作業
室１内の空気がコントロールボツクス15内に侵入しない
よう構成されている。なお、操作パネル25は電気品30の
保守，点検が可能なよう、コントロールボツクス15に着
脱自在に取付けられる。コントロールボツクス15内に設
けられた電気品30からの電線の引出しは、第３図，第４
図に示すようにコントロールボツクス15の給気浄化部18
に面する側にコントロールボツクス15および給気浄化部
18を貫通する開口部15aを設け、開口部15aに密閉度の高
いコネクタを取付けることにより行う。

コネクタはパツキング35,レセプタクル36,プラグ37によ
り構成され、レセプタクル，プラグを接続した際、この
間の密閉度が高くなつており、空気の流通を防止するこ
とができる。なおコネクタは、コントロールボツクス15
内への空気の流入，流出防止、またフアン７その他給気
浄化部18内電装品の保守点検などを考慮し、コネクタを
プラグ37が上部に位置するよう取付けられる。またコネ
クタを用いることにより電装品接続用配線材38がコント
ロールボツクス15を貫通する部分の電線被覆の損傷防
止、電線の固定化なども図ることもできる。

コネクタ部の気密を高めるためには貫通部分にシール剤
40を充填してもよい。

コントロールボツクスの第１の変形例を第５図に示す。
本変形例はエアーカーテン部に清浄空気10がより多く流
れるようコントロールボツクス15の下部に勾配15bをつ
け、前面扉４と垂れ壁21間にエアーカーテン用スペース
29を設けたものである。清浄空気10は吹出パンチング板
19に空気抵抗があるため空気抵抗の小さいエアーカーテ
ン用スペース29に流れ、エアーカーテンが形成でき開口
部５における空気の流入，流出を防止できる。またコン
トロールボツクス15に勾配15bをつけることにより、コ
ントロールボツクス15内での空気の滞留を防止でき外気
17が空気流通孔25aから流入しやすくなりボツクス内部
に設けている電気品30の冷却効果も高めることができ
る。

第６図は給気浄化部の第１の変形例を示す。本変形例は
コントロールボツクス15の取付部を給気浄化部18の前面
の中間の高さに設けたものである。本変形例によれば、
圧力室31を給気浄化部18の前面にまで延長することがで
き、エアーカーテン形成部に清浄空気を多く供給でき、
エアーカーテンを有効に形成することができる。

第７図は給気浄化部の第２の変形例を示す。本変形例は
チユーブ41でチヤンバ26とコントロールボツクス15とを
連通させたものである。本変形例によれば、コントロー
ルボツクス15内が正圧となり、作業室１内の空気がコン
トロールボツクス１内に侵入するのを防止できるととも
に、コントロールボツクス内に強制的に気流を形成して
電気品30の冷却効果を高めることができる。

第８図は給気浄化部の第３の変形例を示す。本変形例
は、給気浄化部18の天井ケース16を段差16aを設けるこ
となく直方体状とし、その前面にコントロールボツクス
15を固定したものである。本変形例は作業室１の高さが
充分に高く、作業者がコントロールボツクスに頭をぶつ
ける心配のない場合に有効であり、天井ケース16の形状
が簡単になり、天井ケース16の製造が容易になる。ま
た、作業室１の高さがそれほど高くない場合には、作業
台34の前面をコントロールボツクス15の突出寸法と同程
度突出させ、物理的に作業者の頭部がコントロールボツ
クスに接近しないよう構成してもよい。

第９図は給気浄化部の第４の変形例を示す。

本変形例は、第３図の変形例と同様に天井ケース16を直
方体状とするとともに、その側面にコントロール15を固
定したものである。本変形例によれば、コントロールボ
ツクス15と作業室１との間に側面壁２が介在するので、
作業室１内で発生した可燃性の気体がコントロールボツ
クス15内へ侵入するのを有効に防止できる。

また、第３の変形例、第４の変形例においては、作業室
１の高さが高い場合には、コントロールボツクス15の下
面に操作スイツチを設けてもよく、あるいは操作スイツ
チをプルスイツチにしてもよい。

作業室１の底部には作業台34が配設され、作業台34は内
部が箱状に形成され、その底部34bには作業室１内の作
業に使用する機器が設置される。

本実施例においては機器としてスピンナ装置11が設置さ
れる。

作業室１の下部に設置するスピンナ装置11は、これより
発生する空気より比重の大きい可燃性ガス12を効率的に
排気して室外への流出を防止できるよう、床面の排気パ
ンチング板20内に落し込み可燃性ガス12の発生する部分
がパンチング板20に接近するようにして使用する。

排気パンチング板20には、第10図に示すように、略中央
部に機器11を落し込んで設置するための角孔20aが設け
られ、前面側には吹出パンチング板19のエアーカーテン
吹出部19bに対応してエアーカーテンを形成する吸込孔2
0bが形成される。背面側には気流のバランスをとるため
の吸込孔20cが形成される。本実施例においてはエアー
カーテンの効果を高めるため、前面の吸込孔20bの開孔
率を背面側の吸込孔20cの開口率より大きくしている。
スピンナ装置11から発生する可燃性ガスの吸込を有効に
行うためには、第11図に示すように、スピンナ装置11の
周囲にパンチング部20dを設けてもよい。

箱状に形成された作業台34の内部は、排気部として背面
に設けられた排気ダクト13に連通する。排気ダクト13は
接続部13aを介して作業台34の内部と連通し、内部に差
圧検出部27,温度センサ28とが設けられている。本実施
例では温度センサ28が差圧検出部27より上流側に設けら
れ、作業台内の温度上昇を迅速に検出できるよう構成さ
れている。排気ダクト13は、内部に防火ダンパとして排
気ダンパ22を備えている。

排気ダクト13中の排気ダンパ22は、給気浄化部18の給気
量と建屋からの排気量とのバランスをとるため風量調整
機構をもち、消火器23が作動した時信号経路23bを介し
て、消火器23と連動し全閉できる機構を設けている。

また、排気ダクト13は、建屋の排気系統（図示せず）に
接続され、該排気系統に設けられたフアン（図示せず）
により作業室１内の空気が吸引され排気される。作業台
34の下方には脚32が設けられ脚32にはキヤスタ８が取付
けらて搬入，据付時に清浄作業台を移動できるよう構成
されている。さらに脚32にはアジヤスタ42が取付けら
れ、据付時に清浄作業台を床面に安定して設置できるよ
う構成される。脚32の内側面には消火器23が設けられ、
作業室１内で火災発生時に消火剤を配管23aを介して消
火ノズル24から作業室１内に噴射するようコントロール
ボツクス15内に設けられた消火装置の制御部44により制
御される。

脚部32は本実施例において第12図に示すように、給気浄
化部18,中ケース33,作業台34,脚32を組み立てる際、上
記部品の製缶公差、組立公差などにより、脚部端面の合
わせに時間がかかるのを防止するため、脚部端面を作業
台34および中ケース33の端面より内側に引込め組立性を
向上させている。

作業室１の前面扉４は、作業室１の前面を全面開放した
際に生じる作業室内外の空気の流入，流出を防止するた
め、第13図，第14図に示すようにそれぞれ１組の内側戸
4a,外側戸4bとから成る４枚引戸式として、前面扉４を
全開しても作業室１の前面の全面積より小さくなるよう
にしている。また、本実施例では、扉４をサツシを用い
た引戸として開閉操作が容易に行えるよう構成してい
る。第13図は前面扉４を全閉とした状態、第14図は全開
とした状態をそれぞれ示している。さらにエアーカーテ
ン効果を高め空気の流入，流出を防止するため、前面扉
４と吹出パンチング板19との間に透視性の垂れ壁21を設
けている。

次に、本実施例における安全機構について第15図〜第21
図により説明する。

本実施例における防災対策形清浄作業台では、排気量の
減少に対する安全対策と、火災発生に対する安全対策と
が行われている。

排気量の減少に対する安全対策としては、第15図〜第18
図に示すように、排気量が基準値より減少した時、排気
ダクト13の接続部13a中に設けられた差圧検出部27が差
圧異常を検知し、操作回路46中の差圧スイツチが作動し
警報ブザー48および異常表示灯50により異常を報知す
る。差圧検出部27と操作回路46間は信号経路46aで接続
される。

差圧異常発生時には、第16図のフローチヤートに示すよ
うに、警報ブザー48および異常表示灯50による異常報知
に加えて給気フアン７を停止するようにしてもよい。

これにより排気量が少くなつた場合、給排気量のバラン
スがくずれ、作業室１内にて発生した可燃性ガス12が、
室外へ流出するのを防止できる。

また、扉４開放時における給排気量のバランスを保つた
めに、第17図に示すように前面扉４の上部に位置センサ
39を設け、第18図のフローチヤートに示すように前面扉
４を開放した時位置センサ39により扉開放状態を検知し
て信号線46bを介して操作回路46へ信号を伝達し、フア
ン７の回転数制御を行い給気風量を小さくする。これに
より、作業室１内の可燃性ガス12が室外へ流出するのを
防止するとともに、作業者に前面扉４開放の警告を表示
灯52により行う。

なお、第15図において、46cはフアン７へ操作回路46で
制御された電力を供給する接続線である。

なお、本実施例では差圧検出部27で差圧を電気信号に変
換して電線により構成された信号経路46aを介して操作
回路46に伝達し、この信号に基いて動作するコンタクタ
を差圧スイツチとしているが、差圧スイツチとして空気
圧により機械的にON・OFFする接点を備えたスイツチを
用いて、差圧検出部27からの空気圧をチユーブにより形
成された信号経路46aを介してこのスイツチに導いて動
作させるようにしてもよい。

また、本実施例において、扉の位置センサ39としては、
リミツトスイツチ，リードスイツチあるいは光電スイツ
チが用いられる。

火災発生に対する安全対策としては、第19図〜第21図に
示すように、作業室１内にて火災が発生した場合、排気
ダクト13の接続部13a中に設けている温度センサ28が温
度異常を検知し、室外へ炎を出さぬようフアン７を停止
するとともに消火装置を起動し、消火器23に配管23aを
介して接続された消火ノズル24により消火剤を作業室１
内へ放出し室内の消火を行なう。火災発生時において消
火装置の制御部44は、信号線44cを介して温度センサ28
からの信号を受信すると、操作回路46へフアン７を停止
させる信号を伝達し、フアンの停止を行うとともに、信
号線44dを介して消火器23内に設けられた消火剤容器で
ある消火剤ボンベ54に設けられた制御弁58を開くよう制
御して作業室１内に消火剤を噴射させる。また、本実施
例においては、火災による他のダクトへの防煙，防火の
ため排気ダンパ22を全閉させる連動機構を設けている。

本実施例における排気ダンパ22の全閉機構は、停電時に
そなえ消火器23内に設けられた圧力気体ボンベ56に充填
された圧力気体のガス圧により行う。

消火装置の制御部44は、火災発生時に信号線44dを介し
て消火剤ボンベ54の制御弁58を開くとともに、圧力気体
容器である圧力気体ボンベ56に設けられた第２の制御弁
59を開くよう制御する。圧力気体ボンベ56に充填された
圧力気体の圧力はチユーブにより形成された信号経路23
bを介して排気ダンパ22の駆動機構22bに伝達され、この
圧力により駆動機構22bはダンパの羽根22aを全閉する。
第19図ではダンパの羽根22aは１枚のものが図示されて
いるが、これに限ることはなく、羽根枚数を複数枚とし
てリンク等で互いに連動するようにしたものを用いても
よい。また、本実施では停電を考慮してガス圧でダンパ
を駆動したが、非常電源等が確保できる場合には電動で
全閉するようにしてもよい。

また、ダンパ22に温度ヒユーズ（図示せず）を設けてお
き、熱により温度ヒユーズが溶断した時にもダンパが全
閉するよう構成することにより、フエイルセルフの機能
を持たせることができ、安全性が向上する。

本実施例において、消火装置の制御部44は第20図のフロ
ーチヤートに示すように、消火剤を放出するとともに警
報ブザー44aによる警報，異常表示灯44bの点灯による表
示を行なう。このような防災対策形清浄作業台を第21図
に示すように複数台並べて使用する場合は、消火装置起
動とともに、制御部44が非常信号を発生し、この信号を
隣接する他の防災形清浄作業台に伝達して各作業台の給
気フアン７の停止、あるいは消火剤の噴射を行わせるよ
うにしてもよい。本実施例において、火災発生の判断
は、排気ダクト内の温度により行つたが、作業室内の温
度を検出してもよく、また、温度以外の光，煙等を検出
してもよく、さらには、これらをAND,OR等の条件付けを
して組合せてもよい。また、火災発生を他の作業台へ伝
達するのに、警報ブザーの周波数あるいは波形を特殊な
ものにしておき、この周波数あるいは波形を検知するこ
とにより火災発生を検知できるようにしてもよい。

以上の実施例において、消火装置の制御部44は充電可能
な電池によるバツクアツプ電源を設けておくことによ
り、停電時においても消火装置を作動させることができ
る。

また、消火装置の制御部44および操作回路46はリレーに
よるシーケンス回路で構成されていてもよく、また、マ
イクロコンピユータを用いた論理回路により構成されて
いてもよい。

消火ノズル24の位置は、発火点となる可能性の高いスピ
ンナ装置11に対して消火剤を有効に噴射できる位置が望
ましい。また、消火ノズル24の下流に形成される乱流に
より、可燃性ガスが作業室１内の気流の上流側へ運ばれ
て作業室１内に拡散するのを防止する上でも、作業室１
の下方でスピンナ装置から適切な距離を保つた位置に取
付けられるのが望ましい。

本発明の第２実施例を第22図〜第26図により説明する。

本実施例は作業室１内にスピンナ装置11を２台格納でき
るよう構成したものである。

本実施例において、給気浄化部18内には第23図に示すよ
うにフアン7,チヤンバ26,高性能フイルタ9,圧力室31と
が設けられ、天井部にはプレフイルタ６および端子箱60
とが設けられる。なお、7aは防振ゴムである。給気浄化
部18の前面にはコントロールボツクス15が設けられ、コ
ントロールボツクスの前面には操作パネル25が給気浄化
部の前面と同一面になるよう、かつ着脱自在に取付けら
れる。コントロールボツクス15の内部には操作回路46お
よび消火装置の制御部44が設けられる。コントロールボ
ツクス15は内部に格納された電気品を作業室１内の空気
から隔離できるよう構成されている。給気浄化部18の前
面には、第22図に示すように、操作パネル25の上方にフ
アン７の運転状態を機械的に表示する差圧計68が設けら
れ、操作パネル25には漏電ブレーカ66,消火装置の制御
部44,差圧異常を報知する警報ブザー48,電源表示灯65,
フアン運転表示灯62,フアン異常表示灯64,差圧異常表示
灯50,フアン運転スイツチ71,フアン停止スイツチ72,照
明点灯スイツチ73,照明消灯スイツチ74,ブザー停止スイ
ツチ75とが設けられている。火災発生時の警報ブザー44
a,火災発生表示灯44bは制御部44に設けられている。

操作パネル25の上，下端には空気流通孔25aが設けら
れ、空気流通孔25aを介して、本実施例の防災対策形清
浄作業台が設置されたクリーンルームの空気をコントロ
ールボツクス15内に貫流させて、内蔵された電気品の放
熱を良好にする。

本実施例において、操作パネル25の位置が高目となり、
例えば床面から操作パネル下端までの高さが約1500mm位
となるため、フアン運転スイツチ71,フアン停止スイツ
チ72,照明点灯スイツチ73,照明消灯スイツチ74等使用頻
度の高いスイツチ類を操作パネル25の下方に配設し、表
示灯等手を触れなくて済むものを操作パネル25の上方に
配設し、操作性を向上している。また、表示灯が高い位
置に配設されているので、作業台前方に置かれた障害物
の影響を受けにくく遠方からでも表示灯の状態を容易に
確認できる。

本実施例における防災対策形清浄作業台の電気接続図を
第25図，第26図に示す。第25図は全体の電気系統を示す
接続図、第26図は消火装置の電気系統を示す接続図であ
る。第25図において、ELBは漏電ブレーカ66,FLは照明灯
14,FMはフアン7,PL1〜PL4はそれぞれ電源表示灯65,フア
ン異常表示灯64,フアン運転表示灯62,差圧異常表示灯5
0,PB1〜PB5はそれぞれフアン運転スイツチ71,フアン停
止スイツチ72,照明点灯スイツチ73,照明消灯スイツチ7
4,ブザー停止スイツチ75,49−１はサーマルリレー,52−
１〜52−４はそれぞれ電磁接触器,Tはタイマ,63は差圧
スイツチ,BZはブザー48,UNIT2は消火装置の制御部44,T1
〜T14,T25,T26はそれぞれ接続端子を示す。また、第26
図においてUNIT2は消火装置の制御部44,BOXは消火装置
の消火器格納箱23,THは温度センサ28,THC1,THC2はそれ
ぞれ温度センサの出力が基準値を超えると信号を発生す
る信号発生回路である。本実施例では約70℃で信号発生
回路が信号を発生するよう構成され消火を迅速に行える
ようにしている。

給気浄化部18の下方に形成された作業室１は前面に開口
部５、両側面に側面壁2,背面に背面壁３をそれぞれ備
え、上面には吹出パンチング板19,下面には排気パンチ
ング板20をそれぞれ備えて成る。開口部５には、外側戸
4a,内側戸4bとから成る引戸により構成された前面扉４
が開閉自在に設けられ、内側戸4bと吹出パンチング板19
との間には垂れ壁21が設けられている。

吹出パンチング板19は前面側にエアーカーテン吹出口19
aが形成され、扉４開放時に作業室１の内外を隔離す
る。背面壁３には、作業室１内に設置されるスピンナ装
置11から発生する可燃性ガスに対する安全性を配慮して
防爆形の器具を用いた埋込形の照明灯14が設けられ、そ
の下方には、スピンナ装置11に対向して消火ノズル24が
設けられている。本実施例においては、スピンナ装置11
の局部排気も取れるよう、スピンナ装置11と背面壁３と
の間に、作業台34を貫通するパイプ80が設けられてい
る。本実施例では、消火剤容器54から消火ノズル24への
配管23aは、第24図に示すように２つのノズルの中間で
分岐して、分岐点から両ノズルへの距離が等しくなるよ
うに設けてある。

作業台34の下部に連通する排気部13の接続部13aには、
温度センサ28として２ケのサミスタがそれぞれのスピン
ナの近傍に配設される。各サミスタの出力は基準値を超
えると信号を発生する信号発生回路THC1,THC2により、
火災発生検知信号として信号経路44cを介して消火装置
の制御部44に伝達される。

本実施例では、サミスタには数ＫΩの抵抗を介して5V程
度の低電圧が印加され、0.1mA程度の電流を流すよう設
定されている。そのため、万一サミスタが短絡しても火
花発生を防止できる。

制御部44は、THC1,THC2の少くともいずれか一方の出力
が発生されたときに火災発生として消火装置を起動す
る。本実施例では差圧異常の検出は操作回路46内に設け
られた空気圧により機械的に接点をON,OFFする差圧スイ
ツチ63を用い、差圧スイツチ63と管継手により構成され
た差圧検出部27との間をチユーブにより形成された信号
経路46aで接続している。

作業台34に配設された消火器23には、消火剤ボンベ54
と、排気ダンパ閉鎖用の圧力気体ボンベ56とが格納さ
れ、消火剤ボンベ54および圧力気体ボンベ56には、それ
ぞれ制御部44からの信号により駆動される制御弁58およ
び第２の制御弁59とが設けられている。消火剤ボンベ54
には、通称「ハロンガス」と呼ばれるハロゲン化物消火
薬剤が充填され、圧力気体ボンベ56には圧力気体として
二酸化炭素が充填されている。消火器23は前面に開閉自
在な扉を有し、停電時等には、扉のハンドル23cを操作
して扉を開け、手動操作で消火剤の噴射もできるよう構
成されている。

本実施例において、圧力気体により駆動される排気ダン
パ22は、駆動機構22bと、これにより開閉操作される３
枚の羽根より成る羽根22aとにより構成され、消火剤の
噴射と連動してダンパの全閉を行う。なお、ダンパ22に
は温度ヒユーズ（図示せず）も設けてあり、万一消火器
が動作しない場合でもダンパの全閉ができるよう構成さ
れている。

本実施例によれば、ダンパ駆動用に専用の圧力気体を用
いているため、消火開始時に消火剤のガス圧を全て消火
剤噴射に用いることができ、消火を有効に行うことがで
きる。また、消火用の気体とダンパ開閉用圧力気体とを
分けることにより、それぞれボンベを小型化でき、装置
の小形化を図ることができる。

なお本実施例では特に作業室１の前面の気流の風速を速
くしてエアーカーテンを形成したが、気流的に作業空間
内外を隔離できるものであればこれに限ることなく、プ
ツシユプルフードのように略層流状態の気流を作業室１
の前面に流すようにしてもよい。

以上の実施例によれば、コントロールボツクス内で使用
する電気品が防爆仕様でなくても安全を確保でき、装置
の小形化を図ることができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、隔離気流形成手段により形成される気
流で作業空間内外を隔離するとともに、この気流に対し
可燃性ガスを発する機器より上流側に作業空間から隔離
して電気品格納箱を設けたことにより、可燃性ガスへの
電気火花による引火を防止でき、安全性の高い防災対策
形清浄作業台を得ることができる。また、本発明によれ
ば、防災形清浄作業台に消火装置を設け、該消火装置を
動作状態の表示手段を備えた制御部と消火剤容器部分と
に分割し、制御部を電気品格納箱に格納するとともに消
火剤容器部分を作業台下部に配設したことにより、火災
発生時に制御部が損傷を受けるのを防止でき、かつ、消
火剤容器から消火ノズルまで配管を短くできるので消火
剤噴射時の圧力損失を低下させることができ、確実に消
火を行うことができる安全性の高い防災形清浄作業台を
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における防災形清浄作業台
の構成を示す側断面図、第２図は本発明の第１実施例に
おける給気浄化部と電気品格納箱とを示す斜視図、第３
図は本発明の第１実施例における電気品格納箱からの電
線引出し状態を示す側断面図、第４図はコネクタの取付
状態を示す斜視図、第５図は本発明の第１実施例におけ
る電気品格納箱の第１の変形例を示す側断面図、第６
図，第７図はそれぞれ本発明の第１実施例における給気
浄化部の第１の変形例および第２の変形例を示す側断面
図、第８図，第９図はそれぞれ本発明の第１実施例にお
ける給気浄化部の第３の変形例および第４の変形例を示
す斜視図、第10図は本発明の第１実施例における排気パ
ンチング板とスピンナ装置との状態を示す平面図、第11
図は排気パンチング板の１変形例を示す平面図、第12図
は本発明の第１実施例における防災対策形清浄作業台の
作業台，中ケース，および脚部との関係を示す斜視図，
第13図，第14図はそれぞれ本発明の第１実施例における
防災形清浄作業台の前面扉の閉状態および開状態を示す
正面図、第15図，第16図はそれぞれ本発明の第１実施例
における防災形清浄作業台の差圧異常検知系統を示す側
断面図、および差圧異常検知系統の動作を示すフローチ
ヤート、第17図は本実施例において扉の位置センサを取
付けた状態を示す正面図、第18図は扉位置センサによる
動作の例を示すフローチヤート、第19図，第20図はそれ
ぞれ本発明の第１実施例における消火系統を示す側断面
図および消火系統の動作を示すフローチヤート、第21図
は本発明の第１実施例における防災対策形清浄作業台を
複数台並べて使用している状態を示す正面図、第22図は
本発明の第２実施例における防災対策形清浄作業台の外
観を示す正面図、第23図は本発明の第２実施例における
防災対策形清浄作業台の構成を示す側断面図、第24図は
本発明の第２実施例における防災対策形清浄作業台の作
業室底面の一部を断面表示した平面図、第25図，第26図
はそれぞれ本発明の第２実施例における防災対策形清浄
作業台の全体の電気接続図および消火装置の電気接続
図、第27図，第28図はそれぞれ従来の清浄作業台の前面
扉を半開した場合及び全開した場合を示す側断面図であ
る。 1:作業空間、5:開口部、11:機器、13,13a:排気部、15:
電気品格納箱、18:空気浄化手段、19,19a,20,20a,20b,2
0c,20d:隔離気流形成手段、22:防火ダンパ、22b:駆動装
置、23,44:消火装置、24:消火ノズル、25a:空気流通
孔、28:火災検出手段、44:制御部、44a,44b:表示手段、
54:消火剤容器、56:圧力気体容器、58:制御弁、59:第２
の制御弁

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】前面に開口部を有し、内部に可燃性物質を
   扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の上方に配
   設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連通し
   て前記作業空間内の空気を排気する排気部とを備えて成
   る防災対策形清浄作業台において、隔離気流形成手段と
   電気品格納箱とを備え、前記隔離気流形成手段は前記作
   業空間の上方に配設され、前記電気品格納箱は前記隔離
   気流形成手段により形成される気流に対し前記機器より
   上流側に前記作業空間から隔離されて配設されるととも
   に、前記作業空間外の空気が前記電気品格納箱内を貫流
   するよう空気流通孔が形成されて成ることを特徴とする
   防災対策形清浄作業台。
2. 【請求項２】前面に開口部を有し、内部に可燃性物質を
   扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の上方に配
   設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連通し
   て前記作業空間内の空気を排気する排気部と、前記作業
   空間内の空気が前記開口部から外部へ流出するのを防止
   する隔離気流形成手段とを備えて成る防災対策形清浄作
   業台において、電気品格納箱と消火装置と防止ダンパと
   を備え、前記電気品格納箱は前記隔離気流形成手段によ
   り形成される気流に対し前記機器より上流側に前記作業
   空間から隔離されて配設され、前記消火装置は前記作業
   台下方に配設された消火剤容器と前記作業空間内で前記
   機器の近傍に配設されて制御弁を介して前記消火剤容器
   に接続されたノズルと前記機器の近傍に配設された火災
   検出手段と、該火災検出手段の信号に基いて消火剤を放
   出するよう前記制御弁を制御する制御部とより成り、該
   制御部は動作状態の表示手段を備えて前記電気品格納箱
   に格納され、前記防火ダンパは前記排気部内に設けられ
   て前記消火装置の動作に連動して前記排気部を閉鎖する
   ように構成されたことを特徴とする防災対策形清浄作業
   台。
3. 【請求項３】前記消火装置は圧力気体容器を備え、該圧
   力気体容器は第２の制御弁を介して前記防火ダンパの駆
   動装置に接続され、前記制御部は前記消火剤の放出時に
   前記第２の制御弁を制御して前記圧力気体容器内の気体
   を放出し前記防火ダンパの閉動作を行うよう構成された
   ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の防災対策
   形清浄作業台。