JPS637278A - 防災対策形清浄作業台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は清浄作業台Ｖこ係り、清浄度の維持とともに％
にクリーンルーム内で用いられて作業空間内１・空気よ
り比重の大きい可燃性又は４発性を有する物質などを取
り扱う場合の安全性の向上ｒ（好適な防災対策形清浄作
業台に関する。

〔従来の技術〕

従来の排気形の清浄作業台は例えは実開昭４４−２３５
１４号公報０％公昭５２−３１６０号公報等に開示され
ている。

これらに示されるように従来の排気形清浄作業台の一般
的な構成は第２７図に示すように、作業室１０１は四方
に設けられた側面壁１０２と背面壁１０３、前面扉】０
４および床面に設けられた通気性を有するパンチング板
１０５および上面に設けられた清浄空気吹出口】１９に
より包囲され、清浄作業台下部に、プレフィルタ１０６
．ファン】０７とを備え、ファン】０７は給気ダクト】
０８を介して作業室】０】の上方に設けられた高性能フ
ィルタ】０９に供給し、高性能フィルタ１０９により浄
化された空気を作業室】０】内へ清浄空気１】０として
清浄空気吹出口１】９より垂直に供給する′！ＩＩｔａ
となっている。

このような清浄作業台内に、作業時に引火性あるいは可
燃性の物質を扱う装置を設置する場合、例えば、半導体
製造用のヌビンナ装置を清浄作業台内で用いる場合には
、作業室】０１内に設訂るスピンナ装に１１は空気よ）
比重の大きい可燃性カス１２を発失しそのガスは、パン
チング板１０５および排気ダク）１１３を介し機外へ排
出されるが、前面扉】０４を開放の際、意外へ流出する
場合もあった。また作業室】０１内には、可燃性ガスが
充満するおそれがあるので室内のネ囲気に対する安全度
を高めた照明灯１１４を用い、これら照明灯１１４．フ
ァン】０７などの電気品を制御するコントロールボック
ス】】５を清浄作業台の脚部前面に設置していた。

そのためコントロールボックス１】５が可燃性ガス（ｆ
）ｔｆ７囲気中となることもあり、通常の電気品を使用
すると安全性の問題がおるとともに、安全上防爆仕様の
ものを使用するとコントロールボックス】】５が大形化
し、作業の障害になるという問題がらり、安全性と機能
性を同時に満たすようには配慮されていなかった。

なお、上記の他にこの種の装置として関連するものには
実公１％４７−３６６８３号が挙けられるが、作業空間
内で可燃性の物質を扱うことへの対策ｒ（つい１は開示
され１いない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は第２８図に示すよう前面Ｊｋ１０４を開
放した際、天井ケーク】】６の前部下面にデッドスペー
スかめるため、外気】】７を誘引し作業室】０］内の清
浄度が維持できない。また前面扉１０４の開放により室
内の空気か室外へ流出しやすぐ、なおかつ室内に露出し
た照明灯１１４があるため、その下部は対流現象か起き
ヌビンナ装鵠】】より発生した可燃性ガス】２は、意外
へ流出する。可燃性カス１２が空気よシ比重が大きいの
で室外へ流出した場合、清浄作業台下部に設置している
ファン】０７、コントロールポック２】１５内に収納し
ている開閉器などの火花により引火し、爆発する危険性
がある。

この流出した可燃性カス】２は、清浄作業台の下部に位
置しているファン】０７により吸引され、さらに給気ダ
クト】０８を介し作業室１０】内ヘリサイクルする悪循
環をくり返す。給槃ノ゛クト】０８内は外気に対し正圧
のため、このタクトが外気と接する全ての面は密閉度が
高くないと意外へ流出し拡散する可能性がある。

また前記コントロールボックス１１５を含め、内部の開
閉器類の安全性を高めた防爆仕様のものを使用した場合
、ボックスそのものが大きくなり、作業者が作業を行う
際の障害となるとともに、作業台外部へのはみ出し部分
が太き−ぐたり、作業者がぶつかることがあるという安
全上の問題もある。

本発明の目的は従来の高清浄化はもちろんのこと、作業
室内にて発生する可燃性ガス、爆発性ガスの作業室内で
の対流および室外への流出を防止し、各種の災害を未然
に防ぎ安全度を高めた清浄作業台を提供することにある
。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、前面に開口部を有し、内部ｒＣ′５′Ｊ燃
性物質を扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の
上方に配設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方
に連通して前記作業空間内の空気を排気する排気部とを
備えて成る防災対策形清浄作業台において、隔離気流形
成手段と電気品格納箱とを備え、前記隔離気流形成手段
は削記作業空間の上方に配設され、前記電気品格納箱を
前記隔離気流形成手段により形成される気流に対し前記
機器より上流側に前記作業空間から隔離して配設すると
ともに、削記作業空間外の空気がｍ」起電気品格納箱内
を貫流するよう空気流通孔をｍｊ記方気品格納箱に形成
することにより達成される。

また、上記目的は前面に開口部を有し、内部に可燃性物
質を扱う機器を格納する作業空間と、該作業空間の上方
に配設された空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連
通して前記作業空間内の空気を排気する排気部と、前記
作業全開内の空気が前記開口部から外部へ流出するのを
防止する隔離気流形成手段とを備えで成る防災対策形清
浄作業台において、電気品格納箱と消火装置と防火ダン
パとを設け、前記電気品格納箱を前記隔離気流形成手段
に・より形成される気流に対し前記機器より上流側に前
記作業空間から隔離して配設し、前記消火装置を前記作
業台下方に配設された消火剤容器と前記作業空間内で前
記機器の近傍に配設されて制御弁を介して前記消火剤容
器に接続てれたノズルと前記機器の近傍に配設された火
災検出手段と、該火災検出手段の信号に基いて消火剤を
放出するよう前記制御弁を制御する制御部とにより構成
し、該制御部に動作状態の表示手段を設けるとともに該
制御部を前記電気品格納箱に格納し、前記防火ダンパを
前記排気部内に設けて前記消火装置の動作に連動して前
記排気部を閉鎖するよう構成することにより達成される
。

好ましい実施態様によれば前記消火装置は圧力気体容器
を備え、該圧力気体容器は第２の制御弁を介して前記防
火ダンパの駆動装＃に接続され、削記制御部は削記消火
剤の放出時に前記第２の制御弁を制御して前記圧力気体
容器内の気体を放出し前記防火ダンパの閉動作を行うよ
う横取キれる。

〔作用〕

隔離気流形成手段は作業空間内を上方から下方に流れる
気流を形成して作業空間内で発生した可燃性物質の作業
空間外への流出を防止するとともに作業空間外から外気
の侵入を防止する。排気部は作業空間内で発生した可燃
性物質の作業空間外への排出を有効に行なう。

これにより作業空間内の可燃性物質の濃度全像くするこ
とができ、火災発生の危険性を少くすることができる。

電気品格納箱は隔離気流形成手段により形成される気流
に対し可燃性物質を扱う機器より上流側に前記作業空間
から隔離されて配設されているので、刀−作業空間内に
可燃性物質か充満しても可燃性物質と電気品格納箱内の
機器との接触を防止する。

電気品格納箱に形成された空気流通孔は、電気品格納箱
内の機器の発熱により電気品格納箱内を貫流する気流を
形成するので、万一可燃性物質が電気品格納箱内に侵入
しても有効に外部への排出を行なえ、電気品格納箱内で
の可燃性物質の滞留を防止する。

消火装置は、万−作業空間内で火災が発生したときに、
作業空間内に消火剤を噴射して消火を行うとともに、防
火ダンパを閉鎖して排気系統を通じての類焼を防止する
。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を第１図〜第２６図により説明する
。

本発明の第１実施例を第】図〜第２】図により説明する
。

第１図は本発明の第１実施例における防災対策形清浄作
業台の構成を示す側断面図である。本実施例の防災対策
形清浄作業台はクリーンルーム内に設置され、作業空間
である作業室】は前面に開口部５が設けられ、両側面に
は側面壁２．背面には背面壁３がそれぞｆｌ−設けられ
、天井面には清浄空気を供給する吹出パンチング板】９
．底面には排気パンチング板２０がそれぞれ設けられる
。開口部５には作業室１と外部とを隔離する前面扉４か
開閉自在に設けられる。本実施例においては前面扉４は
引戸であジ、外部」戸４ａ、内側戸４ｂとにより両開の
引戸となるよう構成されている。作業室】の背面壁３に
はその上方に埋込形の照明灯１４が設けられ、照明灯１
４の下方には消火ノズル２４が設けられる。作業室１の
天井面に設けられた吹出パンチング板１９は前面側に他
の部分と開孔率の異なるエアカーテン吹出部１９ａが形
成され、扉４が開放された場合でもエアカーテンにより
作業室ｌの内外を隔離でさるよう構成される。

作業室】の前面側土部には垂れ壁２１か着脱自在に設け
られ、エアカーテン気流の形成を助長する。

本実施例においては、前面Ｂ４および垂れ壁２１は安全
のため網入シまたは線入フカラスを用いている。作業室
１の上方には給気浄化部１８か設けられる。給気浄化部
１８は、上面にプレフィルタ６か着脱自在に設けられる
とともに天井ケース】６の内部には、ファン７、ファン
７の吹出口に連通したチャンバ２６．チャンバ２６と圧
力室３１との間に設けられ、フナン７から供給された空
気を浄化する高性能フィルタ９が設けられる。高性能フ
ィルタ９により浄化されて圧力室３】Ｖ（供給された清
浄空気］０は吹出パンチング板１９を介し１作業空間１
に供給される。給気浄化部】８の内部はファン７の吸込
口に連通しているため圧力が周囲に対し負圧となり、フ
ィルタ取句部におけるリークなどがあっても清浄度に影
普を与えないよう配慮されている。給気浄化部１８の天
井ケース１６の前面には第２図に示すように段差１６ａ
が設けられ、この部分に操作回路等を含む電気品３０を
収納するコントロールボックス】５および操作パネル２
５とが取付けられる。操作パネル２５には空気流通孔２
５ａが設けられる。コントロールボックス１５は給気浄
化部１８と分離独立して設けられるとともに、作業室１
に面する側は密閉構造となるよう構成され、作業室】内
の空気がコントロールボックス１５内に侵入しないよう
構成されている。なお、操作パネル２５は電気品３０の
保守１点検が可能なよう、コントロールボックス１５に
着脱自在に取付けられる。コントロールボックス】５内
に設けられた電気品３０からの電線の引出しは、第３図
、第４図に示すようにコントロールボックス１５の給気
浄化部１８に面する側にコントロールボックス】５およ
び給気浄化部】８を貫通する開口部１５ａを設け、開口
部１５ａに密閉度の高いコネクタを取付けることにより
行う。

コネクタはバッキング３５．レセプタクル３６゜プラグ
３７により構成され、レセフフクル、プラグを接続した
際、この間の密閉度か筒〈なつ１おり、空気の流通を防
止することがて゛きる。なおコネクタは、コントロール
ボックス１５内への空気の流入、流出防止、またファン
７その他給気浄化部】８内電装品の保守点検などを考慮
し、コネクタのプラグ３７が上部に位置するよう取付け
られる。またコネクタを用いることにより電装品接続用
配線材３８がコントロールボックス】５をＸ通する部分
の雷線被株の損傷防止、電線の固定化なども図ることも
できる。

コネクタ部の気密を高めるためには貫通部分にシール剤
４０を充填してもよい。

コントロールボックスの第１の変形例を第５図に示ｆ。

本変形例はエアーカーテン部に清浄空気】０がより多く
流れるようコントロールボックス１５の下部に勾装置５
ｂをつけ、前面扉４と垂れ壁２１の間にエアーカーテン
用スペース２９を設けたものである。清浄空気】Ｏは吹
出パンチング板１９に空気抵抗かあるため空気抵抗の小
さいエアーカーテン用スペース２９に流れ、エアーカー
テンか形成でき開口部５における空気の流入、流出を防
止できる。１だコントロールボックス１５に勾装置５ｂ
をつりることにより、コントロールボックス１５内での
空気の滞留を防止でき外気】７が空気流通孔２５ａから
流入しゃすくなシホツクス内部に設けている電気品３０
の冷却効果も高めることができる。

第６図は給気浄化部の第】の変形例を示す。本変形例は
コントロールホックス１５の取付部を給気浄化部】８の
前面の中間の高さに設けたものである。本変形例によれ
は、圧力室３１を給気浄化部】８の肖１４面に１で延長
することか１き、エアーカーテン形成部に清浄堅気を多
く供給でき、エアーカーテンを有効に形成することかで
きる。

第７図は給気浄化部の第２の変形例を示す。本変形例は
チューブ４１でチャンバ２６とコントロールボックス１
５とを連通させたものでめる。本変形例によれは、コン
トロールホックス１５内が正圧となり、作業室１内の空
気がコントロールボックス】内に侵入するのを防止でき
るとともＫ、コントロールボックス内に強制的に気流を
形成して電気品３０の冷却効果を高めることができる。

第８図は給気浄化部の第３の変形例を示す。本変形例は
、給気浄化部１８の天井ケース１６を段差１６ａを設け
ることなく直方体状とし、その前面にコントロールボッ
クス１５を固定したものである。本変形例は作業室】の
高さが充分に高く、作業者がコントロールボックスに頭
をぶつける心配のない場合に有効であり、天井ケース１
６の形状が簡単になり、天井ケース１６の↓造が容易に
なる。でた、作業室１の高さがそれほど高くない場合に
は、作業台３４の前面をコントロールボックス１５の突
出寸法と同程度突出させ、物理的に作業者の頭部がコン
トロールボックスに接近しないよう構成してもよい。

第９図は給気浄化部の第４の変形例を示す。

本変形例は、第３の変形例と同様に天井ケース１６を直
方体状とするととも罠、その側面にコントロール１５を
固定したものである。本変形例によれは、コントロール
ボックス１５と作業室１との間に側面壁２か介在するの
で、作業室】内で発生した可燃性の気体がコン）ＣＩ−
ルポツクヌ】５内へ侵入するのを有効に防止できる。

また、第３の変形例、第４の変形例において、作業室ｌ
の高さが高い場合には、コントロールボックス１５の下
面に操作スイッチを設けてもよく、あるいは操作２イツ
チをプルスイッチにしてもよい。

作業室１の底部には作業台３４が配設され、作業台３４
は内部が箱状に形成され、その底部３４ｂには作業室】
内の作業に使用する機器が設置される。

本実施例においては機器としてスピンナ装置１１が設置
される。

作業室ｌの下部に設置する２ビンナ装伽１１は、これよ
多発生する空気より比重の大きい可燃性ガス１２を効率
的に排気して室外への流出を防止できるよう、床面の排
気パンチング板２０内に落し込み可燃性ガス１２の発生
する部分がパンチング板２０に接近するようにして使用
する。

排気パンチング板２０ｒ（は、第１０図に示すように、
略中矢部に機器１１を落し込んで設電するための角孔２
０ａ７５−設けられ、前面側には吹出パンチング板１９
のエアーカーテン吹出９１９”ｂに対兄、してエアーカ
ーテンを形成する吸込孔２’Ｏｂが形成される。背面側
には気流のバランスをとるための吸込孔２０ｃが形成さ
れる。本実側”例ｉｃおいてはエアーカーテンの効果を
高めるため、前面の吸込孔２０’ｌ）の開孔率を背面側
の吸込孔２０ｃの開口率より太きくしている。スピンナ
装置】】から発生する可燃性ガスの吸込を有効に行うた
めｒ（は、第１１図に示すよう洸、スピンナ製画］１の
周囲にパンチング部２０（ｉを設けてもよい。

箱状に形成された作業台３４の内部は、排気部として背
面に設けられた排気ダクト］３に連通する。排気ダクト
】３は接続部１３ａを介して作業台３４の内部と連通し
、内部に差圧検出部２７．。

温度センサ２８とが＆けられている。本実施例では温度
センサ２８か差圧検出部２７より上流側に設けられ、作
業台内の温度上昇を迅速に検出でさるよう構成されてい
る。排気ダクト１３は、内部に防火ダンパとして排気ダ
ンパ２２を備えている。

排気ダクト１３中の排気ダイパ２２は、給気浄化部１８
の給気量と建屋からの排気量とのバランスをとるため風
量調整機構をもち、消火器２３が作動した時信号経路２
３ｂを介して、消火器２３と連動し全閉できる機構を設
けている。

また、排気ダクト】３は、建屋の排気系統（図示せず）
に接続され、該排気系統に設けらｆ−′したンアン（図
示せず）により作業室】内の空気が吸引され排気される
。作業台３４の下方には脚３２が設けられ脚３２にはキ
ャスタ８か取付けられて搬入、据付時に清浄作業台を移
動できるよう構成さ、ヤ れでいる。ζらに脚３２にはアシースタ４２が取付けら
れ、据付時に清浄作業台を床面に安定し１設置できるよ
う構成される。脚３２の内側面には消火器２３が設けら
れ、作業室１内での火災発生時に消火剤を配管２３ａを
介して消火ノズル２４から作業室１内に噴射するようコ
ントロールホックス１５内に設けられた消火装置の制御
部４４により制御される。

脚部３２は本実施例において第】２図に示すように、給
気浄化部】８．中ターフ３３９作業台３４゜脚３２を組
み立てる際、上記部品ＯｆＢ缶公差、組立公差などによ
り、脚部端面の合わせに時間かがかるのを防止するため
、脚部端面を作業台３４および中ケース３３の端面より
内側に引込め組立性を向上させている。

作業室Ｊのル１面＃４は、作業室１の前面を全面開放し
た際に生じる作業室内外の空気の流入、流出を防止する
ため、第１３図、第１４図に示すようにそれぞれ】組の
内側戸４ａ、外側片４ｂとがら成る４枚引戸式として、
前面扉４を全開しても作業室】の前面の全面積よシ小さ
くなるようにしている。また、本実施例では、＃４をサ
ツシを用いた引戸として開閉操作が容易に行えるよう構
成している。第１３図は前面＃４を全閉とした状態、第
１４図は全開とした状態をそれぞれ示している。

さらにエアーカーテン効果を高め空気の流入、流出を防
止するため、前面扉４と吹出パンチング板１９との間に
透視性の垂れ壁２】を設けている。

次に、本実施例における安全機構について第１５図〜第
２１図により説明する。

本実施例における防災対策形清浄作業台では、排気量の
減少に対する安全対策と、火災発生処対する安全対策と
か行われている。

排気量の減少に対する安全対策としては、第１５図〜第
】８図に示すように、排気量か基準値より減少した時、
排気ダクト１３の接続部１３ａ中に設けられた差圧検出
部２７か差圧異常を検知し、操作回路４６中の差圧スイ
ッチが作動し警報フサ−４８および異常表示灯５０によ
り異常を報知する。差圧検出部２７と操作回路４６間は
信号経路４６ａで接続される。

差圧異常発生時には、第１６図のフローチャートに示す
ように、舎報ブｆ−４８および異常表示灯５０による異
常報知に加えて給気ファン７を停止するようにしでもよ
い。

これにより排気量か少くなつｆｃ場合、給排気量のバラ
ンスかくすれ、作業ｍｌ内にて発生した可燃性ガス１２
か、室外へ流出するのを防止できる。

また、＃４開放時における給排気量のバランスを保つた
めに、第１７図に示すように前面扉４の上部に位動セン
サ３９を設け、第１８図のフローチャートに示すように
前面Ａ４を開放した時位負センサ３９により扉開放状態
を検知して信号線４６ｂを介して操作回路４６へ信号を
伝達し、ファン７の回転数制御を行い給気風量を小さく
する。これにより、作業室ｌ内の可燃性ガス】２が案外
へ流出するのを防止するとともに、作業者に前面扉４開
放の警告を表示灯５ｚＫＪ：ｔ）行う。

なお、第１５図において、４６ｃはンアン７へ操作回路
４６で制御づれた電力を供給する接続線である。

なお、本実施例では差圧検出部２７で差圧を宮気信号に
変換して電ａＫより構成された信号経路４６ａを介して
操作回路４６に伝達し、この信号ｒ（基いて動作するコ
ンタクタを差圧スイッチとしているが、差圧スイッチと
して空気圧により機械的にＯＮ・ＯＦＦする接点を備え
たスイッチを用いて、差圧検出部２７からのを気圧をチ
ューブにより形成された信号経路４６ａを介してこのス
イッチに導いて動作させるようにしてもよい。

また、本実施例において、扉の位置センサ３９としては
、リミットスイッチ、１ノードスイツチあるいは光電ス
イッチか用いられる。

火災発生に対する安全対策としては、第】９図〜第２１
図に示すように、作業室」内にて火災が発生した場合、
排気ダクト１３の接続部１３ａ中に設けている温度セン
サ２８が温度異常を検知し、室外へ炎を出さぬようファ
ン７を停止するとともに消火装置を起動し、消火器２３
に配管２３ａを介して接続された消火ノズル２４により
消火剤を作業室」内へ放出し室内の消火を行なう。火災
発生時において消火装置の制御部４４は、信号線４４Ｃ
を介して温度センサ２８からの信号を受信すると、操作
回路４６ヘフアン７を停止させる信号を伝達し、ファン
の停止を行うとともに、信号線４４ｄを介して消火器２
３内に設けられた消火剤容器である消火剤ボンベ５４に
設けられた制御弁５８を開くよう制御して作業室１内に
消火剤を噴射さ書せる。’Ｆ７’Ｃ，本実施例において
は、火災による他のダクトへの防煙、防火のため排気ダ
ンパ２２を全閉させる連動機構を設けている。

本実施例における排気ダンパ２２の全閉機構は、停電時
にそなえ消火器２３内に設けられた圧力気体ボンベ５６
に充填さｈｆｒ−圧力気体のガス圧により行う。

消火装置の制衡部４４は、火災発生時に信号線４４ｄを
介して消火剤ボンベ５４の制御弁５８を開くとともに、
圧力気体容器である圧力気体ボンベ５６に３けられた第
２の制御弁５９を開くよう制御する。圧力気体ボンベ５
６に充填された圧力気体の圧力はチューブ洗よ多形成さ
れた信号経路２３ｂを介して排気ダンパ２２の駆動機構
２２ｂに伝達され、この圧力にょシ駆動機構２２ｔ）は
タンパの羽根２２ａを全閉する。第】９図ではダンパの
羽根２２ａは１枚のものが図示されているが、これに限
ることはなく、羽根枚数を複数枚としてリンク等で互い
に連動するようにしたものを用いてもよい。でた、本実
施では停電を考慮してガス圧でダンパを駆動したが、非
常電源等が確保できる場合には電動で全閉するようにし
てもよい。

また、ダンパ２２に温度ヒユーズ（図示せず）を設けて
おき、熱により温度ヒユーズが溶断した時にもダンパが
全閉するよう構成することにより、フェイルセイフの機
能を持たせることができ、安全性が向上する。

本実施例において、消火装置の制御部４４は第２０図の
フローチャートに示すように、消火剤を放出するととも
に警報ブザ−４４ａによる警報。

異常表示灯４４１）の点灯による表示を行なう。このよ
うな防災対策形清浄作業台を第２１図如示すようり、数
台差べて使用する場合は、消火ｈｋ起動とともに、制御
部４４が非常信号を発生し、この信号を隣接する他の防
災形清浄作業台に伝達して各作業台の給気ファン７の停
止、あるいは消火剤の噴射を行わせるようにしてもよい
。本実施例におい１、火災発生の判断は、排気ダクト内
の温度により行ったが、作業室内の温度を検出してもよ
く、また、温度以外の元、煙等を検出してもよく、さら
には、これらをＡＮＤ、ＯＲ等の条件付けをして組合せ
てもよい。また、火災発生を他の作業台へ伝達するのに
、警報プサーの周波数あるいは波形を特殊なものにして
おき、この周波数あるいは波形を検知することにより火
災発生を検知できるようにしてもよい。

以上の実施例において、消火Ｍ＆の制御部４４は充電可
能な電池によるバックアップ電源を設けておくことによ
り、停電時においても消火装置を作動させることかでき
る。

また、消火装置の制御部４４および操作回路４６はリレ
ーによるシーケンヌ回路で構成されていてもよ（、また
、マイクロコンピュータを用いた論だ、消火ノズル２４
の下流に形＆てれる乱流により、可燃性ガヌが作業室１
内の気流の上流側へ運ばれて作業室１内に拡散するのを
防止する上でも、作業室Ｊの下刃でスピンナ装置から適
切な距離を保った位置に取付けられるのが望ましい。

本発明の第２実施例を第２２図〜第、２６図により説明
する。

本実施例は作業室１内にスピンナ装置ｌ】を２台格納で
きるよう構成したものである。

本実施例において、給気浄化ｆａ、】８内には第２３図
に示すようにファン７、チャンバ２６．Ｔａ性能フィル
タ９．圧力室３１とか設けられ、天井％にはプレフィル
タ６および端子箱６０とが設けられる。なお、７ａは防
振ゴムである。給気浄化部１８の前面にはコントロール
ボックス】５か設けられ、コントロールボックスの前面
には操作パネル２５が給気浄化部の前面と同一面になる
よう、かつ着脱自在ｒＣ取付けられる。コントロールボ
ックス１５の内部には操作回路４６および消火ｈａの制
徂部４４か設けられる。コントロールボックス１５は内
部に格納された電気品を作業室１内の空気から隔離でき
るよう構成されている。給気浄化部１８の前面には、泥
２２図に示すように、操作パネル２５の上刃処ファン７
の運転状態を根株的に表示する差圧計６８か設けられ、
操作パネル２５には漏電ブレーカ６６、消火装置の制御
部４４．差圧異常を報知する警報ブザー４８．電源表示
灯６５゜ファン運転表示灯６２．ファン異常表示灯６４
゜差圧異常表示灯５０．　　ファン運転スイッチ７】。

ファン停止スイッチ７２．照明点灯スイッチ７３゜照明
消灯スイッチ７４．ブザー停止スイッチ７５とが設けら
れている。火災発生時の警報ブザー４４ａ、火災発生表
示灯４４ｂは制御部４４に設けられている。

操作パネル２５の上、下端には空気流通孔２５ａか設け
られ、空気流通孔２５ａを介して、本実施例の防災対策
形清浄作業台が設置されたクリーンルームノ空気ヲコン
トロールボックス１５内に貫流させて、内蔵された電気
品の放熱を良好にする。

本実施例において、操作パネル２５の位置が高目となり
、例えば床面から操作パネル下端１ての高さが約１５０
０Ｗ位となるため、ファン運転スイッチ７１．フアン停
止スイツチ７２．照明点灯スィッチ７３．照明消灯ヌイ
ツチ７４ の高いスイッチ類を操作パネル２５の下方妊配設し、表
示灯勢子を触れなくて済むものを操作パネル２５の上方
に配設し、操作性を向上している。

また、表示灯が高い位置に配設窟れているので、作業台
前方に置かれた障害物の影響を受けＫ＜＜遠方からでも
表示灯の状態を容易に確認できる。

本実施例における防災対策形清浄作業台の電気接続図を
第２５図，第２６図に示す。第２５図は全体の電気系統
を示す接続図、第２６図は消火装置の電気系統を示す接
続図である。第２５図において、ＥＬＢは漏電ブレーカ
６６、ＦＬは照明灯１４、ＦＭはファン７、ＰＬＩ〜Ｐ
Ｌ４はそれぞれ電源表示灯６５，ファン異常表示灯６４
，ファン運転表示灯６２，差圧異常表示灯５０，ＦＢＩ
〜ＰＥ５はそれぞれファン運転スイッチ７１．ファン停
止スイッチ７２，照明点灯スイッチ７３。

照明消灯スイッチ７４．ブザー停止スイッチ７５。

４９−１はサーマルリレー、５２−１〜５２−４はそれ
ぞれ電磁接触器．Ｔはタイマ、６３は差圧スイッチ、Ｂ
Ｚはブザー４８，ＵＮＩＴ２は消火装置の制御部４４．
７１〜Ｔ１４．Ｔ２５．Ｔ２６はぞれそれ接続端子を示
す。また、第２６図においてＵＮＩＴ２は消火装置の制
御部４４，ＢＯＸは消火装置の消火器格納箱２３，ＴＩ
（は温度センサ２８，ＴＨ（：！１，ＴＨＯ２はそれぞ
れ温度センサの出力が基準値を超えると信号を発生する
信号発生回路でおる。本実施例では約７０℃で信号発生
回路が信号を発生するよう構成され消火を迅速に行える
ようにしている。

給気浄化部］８の下方に形成された作業室１はｍ１面に
開口部５、両側面に側面壁２．背面に背面壁３をそれぞ
れ備え、土面には吹出パンチング板】９．下面には排気
パンチング板２０をそれぞれ備えて成る。開口部５には
、外側片４ａ，内側戸４ｂとから成る引戸により構成さ
れた前面ｉ￥１４が開閉自在に設けられ、内部」戸４ｂ
と吹出パンチング板１９との間には垂れ壁２ｊか設けら
九ている。

吹出パンチング板１９は前面伽１九エアーカーテン吹出
口１９ａが形成され、＃４開放時洸作業呈１の内外を隔
離する。背面壁３には、作業室１内に設りされるスピン
ナ装置１】から発生する可燃性ガスに対する安全性を配
慮して防爆形の器具を用いた埋込形の照明灯】４が設け
られ、その下方には、スピンナ装置】１に対向して消火
ノズル２４が設けられている。本実施例においては、ス
ピンナ装置１１の局部排気も取れるよう、スピンナ装置
１】と背面壁３との間に、作業台３４を貫通するパイプ
８０が設けられている。本実施例では、消火剤容器５４
から消火ノズル２４への配管２３ａは、第２４図に示す
ように２つのノズルの中間で分岐して、分岐点から両ノ
ズルへの距離が等しくなるよう設けである。

作業台３４の下部に連通ずる排気部１３の接続部１３ａ
Ｋは、温度センサ２８として２ケのサミスタがそれぞれ
のスピンナの近傍に配役される。

各サミスタの出力は基準値を超えると信号を発生する信
号発生回路ＴＨＣ１，ＴＨＣ！２によ仄火災発住検知信
号として信号経路４４ｃを介して消火装置の制御部４４
に伝達される。

本実施例では、サミスタには数ＫＩＪ（７）抵抗を介し
て５ｖ程度の低電圧が印加され、０．１　ｍ　Ａ程度の
電流を流すよう設定されている。そのため、万一サミス
タが短絡しても火花発生を防止できる。

制御部４４は、ＴＨ（１，ＴＨＣ２の少くともいずれか
一方の出力が発生されたときに火災発生として消火装置
を起動する。本実施例では差圧異常の検出は操作回路４
６内に設けられた空気圧により機械的に接点をＯＮ、　
　ＯＦＦする差圧スイッチ６３を用い、差圧スイッチ６
３と管継手により構成された差圧検出部２７との間をチ
ューブにより形成された信号経路４６ａで接続してｂる
。

作業台３４に配設された消火器２３には、消火剤ボンベ
５４と、排気ダンパ閉鎖用の圧力気体ボンベ５６とが格
納され、消火剤ボンベ５４および圧力気体ボンベ５６に
は、それぞれ制御部４４からの信号によ朕駆動される制
御弁５８および第２の制御弁５９とが設けられている。

消火剤ボンベ５４には、通称「ハロン：ｔｉヌ」ど呼ば
れるハロゲン化物消火薬剤が充填され、圧力気体ボンベ
５６には圧力気体として二酸化炭素が充填されている。

消火器２３は前面に開閉自在な扉を有し、停電時等には
、扉のハンドル２３ｃを操作して扉を開け、手動操作で
消火剤の噴射もできるよう構成てれている。

本実施例において、圧力気体により駆動される排気ダン
パ２２は、駆動機構２２１１と、これにより開閉操作さ
れる３枚の羽根よ構成る羽根２２ａとにより構成され、
消火剤の噴射と連動してタンパの全閉を行う。なお、ダ
ンパ２２には温度ヒユーズ（図示せず）も設けてろ九万
−消火器が動作しない場合でもダンパの全閉ができるよ
う構成されている。

本実施例によれは、ダンパ駆動用に専用の圧力気体を用
いているため、消火開始時に消火剤のガス圧を全て消火
剤噴射に用いることができ、消火を有効に行うことがで
きる。でた、消火用の気体とダンパ開閉用圧力気体とを
分けることにより、それぞれボンベを小型化でき、装置
の小形化を図ることができる。

なお本実施例では特ンこ作業室３　ｃ）前面の気流の風
速を速くしてエアーカーテンを形成した力ζ気流的に作
業空間内外を隔離できるものであれはこれに限ることは
なく、プッシュプルフードのように略層流状態の気流を
作業室１の全面に流すようにしてもよい。

以上の実施例によれは、コントロールポツクヌ内で使用
する電気品が防爆仕様でなくても安全を確保でき、装置
の小形化を図ることができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、隔離気流形成手段により形成される気
流て゛作業空間内外を隔離するとともに、この気流に対
し可燃性ガスを発する機器より上流側に作業空間から隔
離して電気品格納箱を設けたことにより、可燃性ガスへ
の電気火花による引火を防止でき、安全性の高い防災対
策形清浄作業台を得ることかできる。また、本発明によ
れは、防災形清浄作業台に消火装置を設け、該消火器＆
を動作状態の表示手段を備えた制御部と消火剤容器部分
とに分割し、制御部を電気品格納箱に格納するとともに
消火剤容器部分を作業台下部に配設したことにより、火
災発生時に制御部が損傷を受けるのを防止でき、かつ、
消火剤容器から消火ノズル１ての配管を短くできるので
消火剤噴射時の圧力損失を低下させることができ、確実
に消火を行うことができて安全性の高い防災形清浄作業
台を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における防災形清浄作業台
の構成を示す側断面図、第２図は本発明の第１実施例に
おける給気浄化部ど電気品格納箱とを示す斜視図、第３
図は本発明の第１実施例における電気品格納箱からの電
線引出し状態を示す側断面図、第４図はコネクタの取付
状態を示す斜視図、第５図は本発明の第】実施例におけ
る電気品格納箱の第】の変形例を示す側断面図、第６図
。 第７図はそれぞれ本発明の第１実施例における給気浄化
部の第１の変形例および第２の変形例を示す側断面図、
第８図、第９図はそれぞれ本発明の第１実施例における
給気浄化部の第３の変形例および第４の変形例を示す斜
視図、第】０図は本発明の第１実施例における排気パン
チング板とスピンナ装置との状態を示す平面図、第】１
図は排気パンチング板の】変形例を示す平面図、第１２
図は本発明の第１実施例における防災対策形清浄作業台
の作業台、中ケース、および脚部との関係を示す斜視図
、第１３図、第１４図はそれぞれ本発明の第１実施例に
おける防災形清浄作業台の前面扉の閉状態および開状態
を示す正面図、第１５図。 第１６図はそれぞれ本発明の第１実施例における防災形
清浄作業台の差圧異常検知系統を示す側断面図、および
差圧異常検知系統の動作を示すフローチャート、第】７
図は本実施例において扉の位置センサを取付けた状態を
示す正面図、第１８囚は扉位置センサによる動作の例を
示すフローチャート、第、１９図、第２０図はそれぞれ
本発明の第１実施例における消火系統を示す側断面図お
よび消火系統の動作を示すフローチャート、第２１図は
本発明の第１実施例における防災対策形清浄作業台を複
数台並べて使用している状態を示す正面図、第２２図は
本発明の第２実施例における防災対策形清浄作業台の外
観を示す正面図、第２３図は本発明の第２実施例におけ
る防災対策形清浄作業台の構成を示す側断面図、第２４
図は本発明の第２実施例における防災対策形清浄作業台
の作業室底面の一部を断面表示した平面図、第２５図。 第２６図はそれぞれ本発明の第２実施例における防災対
策形清浄作業台の全体の電気接続図および消火装置の電
気接続図、第２７図、第２８図はそれぞれ従来の清浄作
業台の前面扉を半開した場合及び全開し−ｆｃ場合を示
す側断面図である。 １：作業空間、５：開口部、１に機器、１３゜１３ａ：
排気部、１５：電気品格納箱、１８：空気浄化手段、１
９，１９ａ、２０，２０ａ、２０ｂ、　　２０　ｃ、　
　２０　ｄ　：隔離気流形成手段、２２：防火ダンパ、
２２ｂ：駆動装置、２３，４４：消火装置、２４：消火
ノズル、２５ａ：空気流通孔、２８：火災検出手抜、４
４：制御部、４４ａ、４４ｂ：表示手段、５４：消火剤
容器、５６：圧力気一ノ′ ｌｊ　ａ　Ａ　　　１８・−府先才化手炊第２０ 第３に　　　　　１１ 第５図 第６０ 第８０ 第９図 潴１５　ｉ 嘱／６１］ 第１７圀 第２３１２１ ４ｚ　　　　′６ 第２４図 第２８０ Ｏ○

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、前面に開口部を有し、内部に可燃性物質を扱う機器
   を格納する作業空間と、該作業空間の上方に配設された
   空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連通して前記作
   業空間内の空気を排気する排気部とを備えて成る防災対
   策形清浄作業台において、隔離気流形成手段と電気品格
   納箱とを備え、前記隔離気流形成手段は前記作業空間の
   上方に配設され、前記電気品格納箱は前記隔離気流形成
   手段により形成される気流に対し前記機器より上流側に
   前記作業空間から隔離されて配設されるとともに、前記
   作業空間外の空気が前記電気品格納箱内を貫流するよう
   空気流通孔が形成されて成ることを特徴とする防災対策
   形清浄作業台。 ２、前面に開口部を有し、内部に可燃性物質を扱う機器
   を格納する作業空間と、該作業空間の上方に配設された
   空気浄化手段と、前記作業空間の下方に連通して前記作
   業空間内の空気を排気する排気部と、前記作業空間内の
   空気が前記開口部から外部へ流出するのを防止する隔離
   気流形成手段とを備えて成る防災対策形清浄作業台にお
   いて、電気品格納箱と消火装置と防火ダンパとを備え、
   前記電気品格納箱は前記隔離気流形成手段により形成さ
   れる気流に対し前記機器より上流側に前記作業空間から
   隔離されて配設され、前記消火装置は前記作業台下方に
   配設された消火剤容器と前記作業空間内で前記機器の近
   傍に配設されて制御弁を介して前記消火剤容器に接続さ
   れたノズルと前記機器の近傍に配設された火災検出手段
   と、該火災検出手段の信号に基いて消火剤を放出するよ
   う前記制御弁を制御する制御部とより成り、該制御部は
   動作状態の表示手段を備えて前記電気品格納箱に格納さ
   れ、前記防火ダンパは前記排気部内に設けられて前記消
   火装置の動作に連動して前記排気部を閉鎖するよう構成
   されたことを特徴とする防災対策形清浄作業台。 ３、前記消火装置は圧力気体容器を備え、該圧力気体容
   器は第２の制御弁を介して前記防火ダンパの駆動装置に
   接続され、前記制御部は前記消火剤の放出時に前記第２
   の制御弁を制御して前記圧力気体容器内の気体を放出し
   前記防火ダンパの閉動作を行うよう構成されたことを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載の防災対策形清浄作
   業台。