JPH0760203A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 洗浄室内の被洗浄物にノズル装置から洗浄液
を噴出して洗浄を行う場合に、大容量のポンプを用いる
ことなく洗浄効果を高める。 【構成】 洗浄室ハウジング２内の洗浄室３に被洗浄物
Ｗが洗浄バスケット１７を介して収容され、これがバス
ケットホルダ１８により回転させられた状態でノズル装
置４から流体が噴出させられる。流体の供給配管系統１
６は洗浄液管路１０とエア管路１５とが途中で合流した
形態であり、その部分に切換装置６８が設けられる。こ
の切換装置６８によりノズル装置４から噴出される流体
は、通常の洗浄液、エア、洗浄液・エア混合流体の３系
統のいずれかに設定され、洗浄工程では洗浄液又は洗浄
液・エア混合流体が用いられ、乾燥工程ではエアが用い
られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、加工部品や回路基板
等を洗浄する洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、被洗浄物を洗浄室内に収容し、必
要に応じて回転させつつ、ノズル装置から洗浄液を噴出
させ、これを被洗浄物に吹き付けることにより、洗浄を
行う洗浄装置が知られている。また、洗浄に続く乾燥機
能を有する洗浄装置では、乾燥工程でノズル装置から必
要に応じて加熱されたエアを被洗浄物に吹き付けて乾燥
を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、洗浄液の噴出
により高い洗浄力を得るためには、洗浄液の噴出力を高
める必要があるが、そのためには容量の大きなポンプを
選定しなければならず、装置が高価となる問題がある。
また容量の大きなポンプを選定することは、ポンプ自体
を大きくし、洗浄装置の全体が大型化してしまう問題が
ある。

【０００４】本発明の課題は、容量の大きなポンプを選
定することなく洗浄力を高めて洗浄装置をコンパクトに
し、かつ安価なものとすることにある。

【課題を解決するための手段】

【０００５】本発明では、被洗浄物を収容する洗浄室
と、その洗浄室内の被洗浄物に対し流体を吹き付けるノ
ズル装置とを備えた洗浄装置において、そのノズル装置
に洗浄液とエアが混合された洗浄液・エア混合流体を供
給する供給配管系統を設けたことを特徴とする。

【０００６】また、その供給配管系統に、ノズル装置に
供給される流体を、洗浄液、エア、洗浄液・エア混合流
体の３系統のいずれかに選択的に切り換える切換装置を
設けることができる。

【０００７】

【作用及び効果】本発明によれば、洗浄工程でノズル装
置から洗浄液とエアが混合された洗浄液・エア混合流体
が噴出される。これは気泡を含んだ洗浄液ということが
でき、被洗浄物に対する衝撃力が増し、洗浄液のみを噴
出する場合に比べ、洗浄力が増大して、高い洗浄効果が
得られる。このため洗浄能力を高める上で容量の大きな
ポンプを用いる必要がなく、従って小型で安価な洗浄装
置を提供することができる。また、複雑な形状の部品等
に対し高い洗浄効果が発揮される。

【０００８】供給配管系統に切換装置を設けた発明で
は、ノズル装置から洗浄液、エア、洗浄液・エア混合流
体の３系統のいずれかを噴出させることができ、例えば
通常の洗浄では洗浄液のみを、高い洗浄効果を得たい場
合は洗浄液・エア混合流体を、さらに洗浄装置で乾燥工
程をも行う場合はエアを噴出させるようにすれば、被洗
浄物の形態や汚れの度合、乾燥の必要等に対応して最適
なパターンを選ぶことができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１に概念的に示すように本実施例に係る洗浄
装置は、装置本体１と、この上に設けられた洗浄室ハウ
ジング２と、この内部に形成された洗浄室３と、洗浄室
３内に収容された被洗浄物Ｗに洗浄液等の流体を吹き付
けるノズル装置４と、このノズル装置４に洗浄液、エア
又はこれらの混合流体を供給する流体管路５と、洗浄室
３の温風吹出口６に温風を供給する温風供給装置７とを
備えている。

【００１０】装置本体１には洗浄液タンク８が設けら
れ、ここに収容された洗浄液が、ポンプ９により洗浄液
管路１０及び流体管路５を経てノズル装置４に供給され
るようになっている。洗浄液タンク８の洗浄液はヒータ
１２で所定温度に加熱され、この洗浄液内に浸漬された
ヒートパイプ１３を通るようにエアがエアコンプレッサ
１４によりエア管路１５及び流体管路５を経て上述のノ
ズル装置４に供給される。そして、これらの洗浄液管路
１０、エア管路１５及び流体管路５を含んで洗浄液及び
エアの供給配管系統１６が構成されている。

【００１１】被洗浄物Ｗは、洗浄バスケット１７を介し
て保持回転体としてのバスケットホルダ１８に収容さ
れ、バスケットホルダ１８はモータ４０で垂直軸周りに
回転させられるようになっている。

【００１２】各部についてさらに詳しく説明する。図２
に示すように、装置本体１の洗浄液タンク８には、上述
のヒータ１２、ヒートパイプ１３の他、液面監視用のプ
ロートスイッチ２０、液面確認用のレベルゲージ２１、
タンク８内の洗浄液を排出するドレンコック２２、洗浄
液の汚れを除去するフィルタ２３等が設けられている。

【００１３】供給配管系統１６は、前述の洗浄液の供給
・循環のためのポンプ９の他、洗浄液の汚れ及び微細ご
みを除去するフィルタ２４、フィルタ背圧監視用の圧力
ゲージ２５、さらに洗浄液管路１０の途上に設けられた
吐出圧確認用の圧力ゲージ２７等を有している。ノズル
装置４から洗浄室３内に供給された洗浄液は、洗浄室ハ
ウジング２の底部から下方に延びる洗浄液排出口２８を
フィルタ２９を介して通り、洗浄液タンク８に戻され
る。

【００１４】前述の洗浄室３を形成する洗浄室ハウジン
グ２は、有底の箱体の形態をなし、その上部開口が開閉
扉３０で開閉されるようになっている。開閉扉３０は、
支点Ｏを中心に水平な閉鎖状態からほぼ垂直な開放状態
まで、約９０度の範囲で開閉するようになっており、ノ
ズル装置４はこの開閉扉３０に固定されている。この開
閉が可能となるように、流体管路５は曲げ自在な配管材
料とされるか、もしくはユニバーサルジョイント３５等
が用いられる。

【００１５】開閉扉３０の中央部には、洗浄室３内を見
るための覗き窓３１が形成され、さらに自由端部には取
手３２が設けられている。洗浄室ハウジング２には、開
閉扉３０の開閉を確認するセンサ３３、開閉扉３０を閉
鎖位置にロックする開閉ロックシリンダ３４が設けら
れ、このセンサ３３が開閉扉３０の閉鎖状態を確認する
ことに基づき、開閉ロックシリンダ３４がロック状態と
なり、洗浄室３内における洗浄および乾燥中はロックシ
リンダ３４の作用で開閉扉３０が開かないように安全上
の配慮がなされている。開閉ロックシリンダ３４に代え
てソレノイドを用いることも可能である。

【００１６】洗浄室３に設けられた前記バスケットホル
ダ１８は、有底円筒状のもので、図３に示すように、そ
の底部の中心部にフランジ部材３６を介して回転軸３７
が下方に延びるように一体的に固定されている。回転軸
３７は、洗浄室ハウジング２の底部に設けられた軸受部
３８により回転可能に保持され、その下端部に固定され
た従動プーリ３９とモータ４０の出力軸に固定の駆動プ
ーリ４１との間にベルト４２が巻き掛けられ、モータ４
０はブラケット４３を介して洗浄室ハウジング２の底面
に固定されている。このモータ４０は、図１３のインバ
ータ４４を介して駆動され、図３に示す洗浄室３内でバ
スケットホルダ１８を垂直軸周りに回転させる。

【００１７】図７に示す洗浄バスケット１７は有底円筒
状の形態をなし、図８に示すようにバスケットホルダ１
８の内側へ嵌め入れられるもので、上部に取手４５を有
している。洗浄バスケット１７は、バスケットホルダ１
８の内面に垂直方向に設けられたリブ状の弾性体（ゴム
凸条等）４６に外周面が密着して、バスケットホルダ１
８に一体化される。弾性体４６としては、ゴムの他、軟
質樹脂あるいは板ばね、もしくは内向きに付勢されたプ
ランジャ等を用いることができる。また、このような弾
性体４６をなくし、バスケットホルダ１８の内周と洗浄
バスケット１７の外周とが直接接触するように装着する
こと、さらには洗浄バスケット１７を用いないで、バス
ケットホルダ１８に被洗浄物を直接入れてもよい。洗浄
バスケット１７およびバスケットホルダ１８の各々の上
面、底面及び側面は、必要に応じ網目状になっている。

【００１８】バスケットホルダ１８の代わりに、図９に
示すように、回転プレート４７をフランジ部材３６に取
り付け、この回転プレート４７の上に被洗浄物を固定し
てもよい。この場合、被洗浄物の固定方法としては、ね
じによる固定、位置決めピンによる固定等がある。

【００１９】バスケットホルダ１８は、洗浄バスケット
１７の寸法に応じてサイズの異なるものに交換すること
ができる。また、図１に示すように、洗浄バスケット１
７の寸法確認用のセンサ４８が、洗浄室ハウジング２の
底部に設けられている。このセンサ４８は、洗浄バスケ
ット１７の交換時にそのバスケット寸法を確認する役割
を果たし、これに応じてモータ４０の回転速度を調節す
ることができる。

【００２０】図３に示す前記バスケットホルダ１８、回
転軸３７、軸受部３８、駆動プーリ４１及び従動プーリ
３９、さらにモータ４０等を含む回転機構部５０は、洗
浄室ハウジング２に吊り下げ形態で取り付けられてい
る。洗浄室ハウジング２と装置本体１との間には適数の
ゴム弾性体５１が介在させられ、洗浄室ハウジング２
は、このゴム弾性体５１を介して装置本体１の上面で弾
性的に支持されている。ゴム弾性体５１は、環状のもの
でもよいし、均等に複数設けられたものでもよい。回転
機構部５０が駆動し、バスケットホルダ１８が回転する
状態では、洗浄室ハウジング２にその回転に伴う振動が
生じるが、この振動がゴム弾性体５１で吸収ないしは緩
和されて、装置本体１に伝わることが防止ないしは抑制
される。

【００２１】このような弾性支持機構としては、図１０
に示すような弾性ゴム、弾性樹脂等の弾性ブロック（５
１）の他に、図１１に示すような複数の圧縮コイルばね
５２を用いたり、図１２に示すような引張コイルばね５
３を用いることもできる。この引張コイルばね５３の上
端は、装置本体１上に立設された複数のステー５４に支
持され、下端が洗浄室ハウジング２の底部に引っ掛けら
れている。

【００２２】図２に戻って、洗浄室３内に開口する前述
の温風吹出口６は、洗浄室３の内面とバスケットホルダ
１８の外面との間のスペースに温風を吹き出すように位
置し、ダクト５５により前述の温風供給装置７につなが
っている。温風供給装置７は、図５に模式的に示すよう
に、ハウジング５６、その内部に設けられた電熱ヒータ
５７、この後方においてモータ５８により回転させられ
るファン５９を有し、ファン５９の回転により電熱ヒー
タ５７の近傍の加熱された空気が温風としてダクト５５
側へ吹き出され、図６に示すように、洗浄室３内に温風
吹出口６から吹き出される。この温風吹出口６には、洗
浄室３内において対流効果をもたせるように、羽根状の
風向板を設けることもできる。このような風向板は、温
風吹出口からの逆流防止機能も果たすものである。さら
に、図２に示すように、温風吹出口６より上側には温風
排出口６０が洗浄室ハウジング２に設けられ、洗浄室３
内を循環した温風がこの温風排出口６０から大気に排出
されるようになっている。

【００２３】図１に示す供給配管系統１６の一部には、
洗浄液管路１０及びエア管路１５の合流部の近傍に切換
装置６８が設けられている。この部分を拡大して図４に
示す。洗浄液管路１０とエア管路１５とは接続部６１で
合流するが、これより上流側に位置して洗浄液管路１０
には、洗浄液開閉弁６２、洗浄液の吐出量（吐出圧）を
制御する例えばニードル式の洗浄液流量制御弁６３及び
逆止弁６４が、接続部６１に向かってこの順で設けられ
ている。また、エア管路１５にも同様に、エア開閉弁６
５、エアの吐出量（吐出圧）を制御するニードル式等の
エア流量制御弁６６及び逆止弁６７が設けられている。

【００２４】洗浄液開閉弁６２を開き、エア開閉弁６５
を閉じることにより、洗浄液が洗浄液管路１０から洗浄
液開閉弁６２、流量制御弁６３、逆止弁６４、接続部６
１及び流体管路５を経て前述のノズル装置４から噴出さ
れる。このとき、洗浄液のエア管路１５側への流入は逆
止弁６７で止められる。一方、洗浄液開閉弁６２を閉
じ、エア開閉弁６５を開くことにより、加熱されたエア
がエア管路１５、エア開閉弁６５、流量制御弁６６、逆
止弁６７、接続部６１及び流体管路５を経て前述のノズ
ル装置４へ導かれ、洗浄液管路１０側へのエアの進入
は、逆止弁６４で止められる。さらに、洗浄液開閉弁６
２及びエア開閉弁６５を共に開いた状態とすることによ
り、洗浄液とエアとが混合された洗浄液・エア混合流体
が接続部６１及び流体管路５を経てノズル装置４から噴
出される。

【００２５】このように供給配管系統１６の一部に切換
装置６８を設けたことにより得られた混合流体は、気泡
を含んだ洗浄液となり、被洗浄物に対する衝撃力が増
し、洗浄液のみを噴出する場合に比べて洗浄力が増大す
る。この場合、洗浄液もしくはエアを断続的に供給する
ようにすれば、その混合流体は脈流となり、洗浄力をさ
らに高める上で有効である。また、ニードル式等の洗浄
液流量制御弁６３及びエア流量制御弁６６により、上述
の混合流体の混合比率や噴出力を制御することができ
る。なお、乾燥工程では、加熱エアのみがノズル装置４
から噴出されることとなる。

【００２６】図１３は制御系を簡略に示すブロック図で
ある。その制御部７０はＣＰＵ７１及びプログラムメモ
リ７２、タイマ７３等を備え、この制御部７０に各種の
入力を行う操作盤７４が接続されるとともに、図２で示
した開閉扉３０の開閉状態を確認するセンサ３３及びバ
スケットホルダ１８に収容される洗浄バスケット１７の
大きさを確認するセンサ４８等が接続されている。その
バスケットホルダ１８を回転させるモータ４０は、イン
バータ４４を介して制御部７０に接続され、さらにこの
制御部７０には、前述の温風供給装置７、洗浄液開閉弁
６２、エア開閉弁６５、洗浄液流量制御弁６３、エア流
量制御弁６６、開閉ロックシリンダ３４、洗浄液ポンプ
９及びエアコンプレッサ１４等が接続されている。

【００２７】バスケットホルダ１８の回転駆動源たるモ
ータ４０がインバータ制御されることにより、洗浄工程
及び乾燥工程でのモータ回転速度を可変とすることがで
き、例えば洗浄工程より乾燥工程の方がバスケットホル
ダ１８の回転速度を高めるように設定することができ
る。また、回転方向に関して正転・逆転の切換ができる
とともに、設定回転速度までの加速時間、設定回転速度
からの減速時間の設定等が容易にできる。さらに、ブレ
ーキモータとの併用により瞬時停止が可能となる。な
お、洗浄時間及び乾燥時間は、上記タイマ７３により自
由にそれぞれの時間を設定できる。

【００２８】次に、本実施例の洗浄装置の使用方法並び
に作動について説明する。 （１）被洗浄物を洗浄バスケット１７に入れる。これは
洗浄装置外の作業である。 （２）洗浄装置における図２の開閉扉３０を開く（人手
による）。 （３）被洗浄物が入った洗浄バスケット１７をバスケッ
トホルダ１８に装着、又は被洗浄物を図９の回転プレー
ト４７に固定する（人手による）。 （４）洗浄装置の図２の開閉扉３０を閉じる（人手によ
る）。 （５）スタートスイッチを押す（人手による）。 （６）図２の開閉ロックシリンダ３４が作動し、開閉扉
３０を閉鎖状態に固定する（自動）。

【００２９】（７）洗浄工程スタート（自動）。 （８）図１のバスケットホルダ１８が回転を開始し、か
つノズル装置４から洗浄液・エアの混合流体が噴出さ
れ、これが洗浄バスケット１７内の被洗浄物に吹き付け
られて洗浄が行われる。つまり、図４の切換装置６８で
開閉弁６２及び６５がともに開状態とされる。回転バス
ケット１８を駆動するモータ４０はインバータ制御さ
れ、予め設定された回転速度で回転する。なお、図１に
示すセンサ４８が洗浄バスケット１７の大きさを検出
し、その大きさに基づいてバスケットホルダ１８の回転
速度を調節する。例えば、洗浄バスケット１７が大きい
ほど上記回転速度を遅くするというような調節である。
また、温風供給装置７が作動し、温風吹出口６から洗浄
室３内に温風が循環させられて、それが温風排出口６０
から排出される。

【００３０】（９）洗浄中は、バスケットホルダ１８を
正転・逆転させる制御を繰り返す。 （10）タイマ７３による洗浄工程の設定時間が終了すれ
ば、バスケットホルダ１８の回転が停止し、ノズル装置
４からの混合洗浄流体の噴出も停止する。

【００３１】（11）乾燥工程スタート（自動）。 （12）バスケットホルダ１８が回転を開始し、ノズル装
置４から加熱エアが噴出する。すなわち、図４の洗浄液
開閉弁６２が閉じ、エア開閉弁６５が開いた状態とされ
る。この乾燥工程におけるバスケットホルダ１８の回転
速度は前述のインバータ４４で制御され、その回転速度
を洗浄工程のそれと同じにすることもできるし、それよ
り一定量速く設定することも可能である。

【００３２】（13）乾燥工程でも、バスケットホルダ１
８の回転方向を正逆両方向に切り換えることが望まし
い。 （14）タイマ７３でセットされた乾燥工程の設定時間が
経過すれば、バスケットホルダ１８の回転が停止し、か
つ図４のエア開閉弁６５が閉じて、図１のノズル装置４
からのエアの噴出も停止する。

【００３３】（15）その後、開閉ロックシリンダ３４
（図２）が解除される（自動）。 （16）洗浄装置の開閉扉３０を開ける（人手による）。 （17）図１の被洗浄物が入った洗浄バスケット１７をバ
スケットホルダ１８より外す。又は、被洗浄物を図９の
回転プレート４７から外す（人手による）。 （18）被洗浄物を洗浄バスケット１７から取り出す（洗
浄装置外の作業）。

【００３４】以上の工程で、温風供給装置７からの温風
供給は常に行うことが望ましい。温風供給は乾燥効率を
高めるのみならず、洗浄工程でも洗浄室内を高温に保つ
ことにより、洗浄効果を上げることに寄与するからであ
る。また、洗浄工程パターンは予め複数のパターンを設
定しておき、そのパターンの中から適宜のものを選択す
るように構成することもできる。

【００３５】以上のように本実施例では、洗浄工程で洗
浄液とエアの混合流体（気泡を含む洗浄液）が被洗浄物
に吹き付けられることにより、吹付時の衝撃力が増し、
高い洗浄効果が得られる。

【００３６】また、乾燥工程では、（１）エアを被洗浄
物に当てることにより、表面に付着している水分を飛ば
しての乾燥、（２）特に加熱されたエアを被洗浄物に当
てて暖めることによる乾燥、（３）被洗浄物を回転させ
ることに基づく遠心脱水効果による乾燥、（４）温風を
洗浄室内に供給し、洗浄室内を高温に保つことによる乾
燥、という複数の併用効果により乾燥効率が高く、乾燥
時間も短縮される。なお、これらの併用による乾燥は、
必要に応じ適宜組合せ可能である。

【００３７】また、本実施例では、バスケットホルダ１
８等の回転機構部５０を取り付けた洗浄室ハウジング２
が、装置本体１に対し弾性部材（５１）を介して支持さ
れているため、その回転機構部５０の回転による振動を
洗浄室ハウジング２の振動に止めることができ、回転数
を上げても洗浄室ハウジング２のみの振動として、これ
が装置本体１に伝わりにくい。そのため、振動が抑制さ
れた高速回転対応の設備として洗浄及び乾燥に高い効果
が得られるとともに、被洗浄物の積載重量を多くするこ
とができる。また、弾性部材（５１）は、洗浄室ハウジ
ング２に振動により発生する力を逃がし、これが１箇所
に集中することを防止して、回転機構部５０に無理な力
が加わらないようにする役割も果たしている。

【００３８】以上の説明において、ノズル装置４は、必
ずしも洗浄室３の上部のみならず、その下部、側方、あ
るいは各々の組合せの形態で設けることもできる。例え
ば、図２に示すように、サイドノズル装置７５をバスケ
ットホルダ１８の中心線に関し均等に例えば３箇所に設
け、被洗浄物に対し側方からも洗浄液又は気泡入り洗浄
液（洗浄液・エア混合流体）を吹き付けるようにするこ
ともできる。また、そのようなノズル装置は洗浄室ハウ
ジング２に取り付けてもよいし、開閉扉３０に取り付け
てもよい。

【００３９】また、温風供給装置７について言えば、必
ずしも装置本体１に取り付けられていなくてもよく、か
つ他の熱源より温風を取り入れてもよい。熱源として
は、前述の電熱ヒータ以外に、洗浄液タンク８内に設け
られたエアを加熱するためのヒートパイプ１３と同様な
ヒートパイプを設け、これを熱源としてもよい。さら
に、温風吹出口６は、洗浄室３の側面、上面、下面等の
いずれの位置にあってもよく、またその数は１箇所ある
いは複数箇所等に設定することができる。

【００４０】さらに、洗浄液及びエアの供給配管系統１
６について言えば、図４に示す切換装置６８を廃止し
て、常に洗浄液とエアとの混合流体が供給されるよう構
成することもできる。このような構成は、特に洗浄専用
機に好適であり、乾燥工程も行うものでは、その乾燥時
に常温エア又は加熱エアを供給できるよう切換装置を設
けるのがよい。

【００４１】また、バスケットホルダ１８の回転駆動源
としては、モータに限らず、例えば図１４に示すよう
に、側方に設けられたノズル７６から液又はエアを噴出
させ、バスケットホルダ１８や洗浄バスケット１７及び
被洗浄物等に当てることにより、バスケットホルダ１８
を回転させる構成も採り得る。さらには図１５に示すよ
うに、回転軸３７に羽根車７７を取付け、この羽根車７
７に向かって側方のノズル７８から液又はエアを吹き付
けることにより、バスケットホルダ１８を回転させるよ
うに構成することもできる。いずれの方法でも、噴出力
制御、ノズル位置、ノズル本数の設定等により、インバ
ータ制御と同様な回転制御が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を模型的に示す説明図。

【図２】それをより具体的に示す断面説明図。

【図３】回転機構部の断面図。

【図４】供給配管系統の切換装置の正面図。

【図５】温風供給装置を摸式的に示す説明図。

【図６】温風供給のためのダクトと洗浄室ハウジングと
の接続形態を示す平面図。

【図７】洗浄バスケットの正面図。

【図８】その洗浄バスケットがバスケットホルダに装着
された状態の正面断面図。

【図９】バスケットホルダに代わる回転プレートを示す
一部を切り欠いた断面図。

【図１０】装置本体と洗浄室ハウジングとの間に弾性体
として弾性ブロックが設けられた場合の正面図。

【図１１】同じく圧縮コイルばねが設けられた場合の正
面図。

【図１２】同じく引張コイルばねが設けられた場合の正
面図。

【図１３】制御系のブロック図。

【図１４】バスケットホルダの回転駆動源の変形例を示
す正面図。

【図１５】その回転駆動源のさらに別の例を示す正面
図。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ 洗浄室ハウジング ３ 洗浄室 ４ ノズル装置 ５ 流体管路 ６ 温風吹出口 ７ 温風供給装置 １０ 洗浄液管路 １３ ヒートパイプ １５ エア管路 １６ 供給配管系統 １７ 洗浄バスケット １８ バスケットホルダ（保持回転体） ３７ 回転軸 ４７ 回転プレート（保持回転体） ５０ 回転機構部 ５１ ゴム弾性体 ５２ 圧縮コイルばね ５３ 引張コイルばね ６２ 洗浄液開閉弁 ６３ 洗浄液流量制御弁 ６５ エア開閉弁 ６６ エア流量制御弁 ６８ 切換装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物を収容する洗浄室と、 その洗浄室内の被洗浄物に対し流体を吹き付けるノズル
   装置と、 そのノズル装置に、洗浄液とエアが混合された洗浄液・
   エア混合流体を供給する供給配管系統と、 を含むことを特徴する洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記供給配管系統は、前記ノズル装置に
   供給される流体を、洗浄液、エア、洗浄液・エア混合流
   体の３系統のいずれかに選択的に切り換える切換装置を
   有する請求項１記載の洗浄装置。