JPH0760714B2 - 電流導入端子 - Google Patents
電流導入端子Info
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- JPH0760714B2 JPH0760714B2 JP60241055A JP24105585A JPH0760714B2 JP H0760714 B2 JPH0760714 B2 JP H0760714B2 JP 60241055 A JP60241055 A JP 60241055A JP 24105585 A JP24105585 A JP 24105585A JP H0760714 B2 JPH0760714 B2 JP H0760714B2
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- Insulators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空装置や圧力容器等の内部に外部より電流を
供給したり内部から外部へ測定用の微小の電気信号を取
り出す電流導入端子に関するものである。
供給したり内部から外部へ測定用の微小の電気信号を取
り出す電流導入端子に関するものである。
従来の技術 従来の電流端子を第２図に示す。銅あるいは真ちゅうの
金属棒1,1′をセラミック絶縁体２を介して金属フラン
ジ３に保持し、真空容器４に溶接された金属フランジ５
と金属フランジ３の間にシール用の銅リング６を挾み４
〜８個の締め付け用ボルト7,7′でそれぞれの金属フラ
ンジの突起部8,8′を銅リング６にくい込ませて真空シ
ールする。セラミック絶縁体２は熱膨張率が金属フラン
ジ３および金属棒1,1′に近い材質を選びセラミック材
料のもつ良好な接着性によって焼成する時に金属フラン
ジ３および金属棒1,1′との界面にリークが無いよう真
空シールされる。
金属棒1,1′をセラミック絶縁体２を介して金属フラン
ジ３に保持し、真空容器４に溶接された金属フランジ５
と金属フランジ３の間にシール用の銅リング６を挾み４
〜８個の締め付け用ボルト7,7′でそれぞれの金属フラ
ンジの突起部8,8′を銅リング６にくい込ませて真空シ
ールする。セラミック絶縁体２は熱膨張率が金属フラン
ジ３および金属棒1,1′に近い材質を選びセラミック材
料のもつ良好な接着性によって焼成する時に金属フラン
ジ３および金属棒1,1′との界面にリークが無いよう真
空シールされる。
発明が解決しようとする問題点 従来の技術はセラミック材料を封止用絶縁体として用い
ているため絶縁性が悪く、金属棒1,1′とアースされた
金属フランジの間のリーク電流が大きく10Vで1nA程度で
あり微小電流の測定には使えない。高電圧用碍子付の電
流導入端子は１桁〜２桁絶縁性が向上するが1pA程度の
微小電流測定にはやはり使えず、しかも１端子であるか
ら複数個の電流導入端子が必要である。また金属棒の部
分が4cm〜8cmと長いため電磁波ノイズの影響を受け易
い。通常測定用の電流導入端子としては熱電対導入用の
２端子と信号測定用の２端子の計４端子以上を持つこと
が望ましい。
ているため絶縁性が悪く、金属棒1,1′とアースされた
金属フランジの間のリーク電流が大きく10Vで1nA程度で
あり微小電流の測定には使えない。高電圧用碍子付の電
流導入端子は１桁〜２桁絶縁性が向上するが1pA程度の
微小電流測定にはやはり使えず、しかも１端子であるか
ら複数個の電流導入端子が必要である。また金属棒の部
分が4cm〜8cmと長いため電磁波ノイズの影響を受け易
い。通常測定用の電流導入端子としては熱電対導入用の
２端子と信号測定用の２端子の計４端子以上を持つこと
が望ましい。
問題点を解決するための手段 本発明は、リーク電流を低減するため体積固有抵抗と表
面抵抗の大きいフッ素樹脂を用い、フッ素系樹脂が接着
シールの出来ない点を解決するための金属棒および真空
容器のフランジとの真空シール部を、一体化した絶縁体
のフッ素系樹脂に直接機械的に圧着して真空シールする
ことにより得られる。
面抵抗の大きいフッ素樹脂を用い、フッ素系樹脂が接着
シールの出来ない点を解決するための金属棒および真空
容器のフランジとの真空シール部を、一体化した絶縁体
のフッ素系樹脂に直接機械的に圧着して真空シールする
ことにより得られる。
作用 フッ素系樹脂を代表するPTFE（４フッ化エチレン樹脂）
の体積固有抵抗は約1019Ωｍで表面抵抗は約1017Ωであ
り、すぐれたアルミナ磁器の体積固有抵抗1012Ωm,表面
抵抗109Ωに比べ絶縁性が大きく、湿度による表面抵抗
の低下も少なくリーク電流が低減できる。フッ素系樹脂
はまた他の樹脂に比べ熱的な寸法安定性が良く硬度が低
く男性を有するため、それ自体を真空シール材として銅
リングの代りに使えるので絶縁機能とシール機能を一体
化した第１図の実施例に示す様な構造が可能となる。
の体積固有抵抗は約1019Ωｍで表面抵抗は約1017Ωであ
り、すぐれたアルミナ磁器の体積固有抵抗1012Ωm,表面
抵抗109Ωに比べ絶縁性が大きく、湿度による表面抵抗
の低下も少なくリーク電流が低減できる。フッ素系樹脂
はまた他の樹脂に比べ熱的な寸法安定性が良く硬度が低
く男性を有するため、それ自体を真空シール材として銅
リングの代りに使えるので絶縁機能とシール機能を一体
化した第１図の実施例に示す様な構造が可能となる。
実施例 本発明による代表的実施例を第１図に示す。両端にネジ
部を持つ径が約2.6φで長さが約15mmのステンレス製の
複数の金属棒9,9′をフッ素系樹脂からなる円板状の絶
縁体10の中央部の貫通孔に固定しナット11,11′で締め
つけ金属棒のつば部12,12′を円板状の絶縁体10にくい
込ませて機械的に真空シールする。更に、真空容器13に
溶接したステンレス等のフランジ14と電流導入端子のス
テンレス等のフランジ15で円板状の絶縁体10の外周のつ
ば部16をはさみ、円周に沿ったそれぞれの突起部18,19
をくい込ませるように４〜８個の複数のボルト17,17′
を締めつけて機械的に真空シールする。機械的シール部
の金属はクロムメッキやステンレス等の硬質で酸化しに
くい表面が安定である。
部を持つ径が約2.6φで長さが約15mmのステンレス製の
複数の金属棒9,9′をフッ素系樹脂からなる円板状の絶
縁体10の中央部の貫通孔に固定しナット11,11′で締め
つけ金属棒のつば部12,12′を円板状の絶縁体10にくい
込ませて機械的に真空シールする。更に、真空容器13に
溶接したステンレス等のフランジ14と電流導入端子のス
テンレス等のフランジ15で円板状の絶縁体10の外周のつ
ば部16をはさみ、円周に沿ったそれぞれの突起部18,19
をくい込ませるように４〜８個の複数のボルト17,17′
を締めつけて機械的に真空シールする。機械的シール部
の金属はクロムメッキやステンレス等の硬質で酸化しに
くい表面が安定である。
第１図の実施例では絶縁体への充電電流を無くす２重シ
ールドの役割を果たす金属製の円筒状のシールド管20,2
0′を円板状の絶縁体10に溝を設けてはめ込んである。
微小電流測定系の２重シールド線の内側のシールド線を
円筒状のシールド管20,20′に接続し測定用信号線を9,
9′に接続すると、測定信号電圧が変化しても円筒状の
シールド管20は金属棒９と常に同電位を与えられるため
絶縁部21には電界が印加されずシールド管20へのリーク
電流も発生しない。２重シールド線の外側のシールド線
は真空容器13と電気的に接続したフランジ15に接続しア
ース電位にする。フッ素樹脂はPTFEのほかFEP（４フッ
化エチレンと６フッ化プロピレンのランダム共重合体）
やポリフッ化ビニル，ポリフッ化ビニリデン等を用い
る。
ールドの役割を果たす金属製の円筒状のシールド管20,2
0′を円板状の絶縁体10に溝を設けてはめ込んである。
微小電流測定系の２重シールド線の内側のシールド線を
円筒状のシールド管20,20′に接続し測定用信号線を9,
9′に接続すると、測定信号電圧が変化しても円筒状の
シールド管20は金属棒９と常に同電位を与えられるため
絶縁部21には電界が印加されずシールド管20へのリーク
電流も発生しない。２重シールド線の外側のシールド線
は真空容器13と電気的に接続したフランジ15に接続しア
ース電位にする。フッ素樹脂はPTFEのほかFEP（４フッ
化エチレンと６フッ化プロピレンのランダム共重合体）
やポリフッ化ビニル，ポリフッ化ビニリデン等を用い
る。
熱電対を取り出す場合は、2.6φの径のステンレスの金
属棒9,9′の中央に１φの貫通孔を通して熱電対の線を
さし込みエポキシ樹脂で封止した。熱電対の線と円板状
の絶縁板10と直接封止することはフッ素樹脂の接着性が
悪いためできない。
属棒9,9′の中央に１φの貫通孔を通して熱電対の線を
さし込みエポキシ樹脂で封止した。熱電対の線と円板状
の絶縁板10と直接封止することはフッ素樹脂の接着性が
悪いためできない。
発明の効果 本発明による第１図の実施例では、円筒状シールド管の
無い場合でもリーク電流は0.05pA以下であった。そこで
真空中のダイオードの逆方向電流を測定した結果10Vの
印加電圧で1pA以下の正確な電流測定が可能であり、外
気の湿度等による変化も無かった。フッ素樹脂の中でも
PTFEとFEPは比誘電率が約2.1と小さく高周波測定にも良
い。
無い場合でもリーク電流は0.05pA以下であった。そこで
真空中のダイオードの逆方向電流を測定した結果10Vの
印加電圧で1pA以下の正確な電流測定が可能であり、外
気の湿度等による変化も無かった。フッ素樹脂の中でも
PTFEとFEPは比誘電率が約2.1と小さく高周波測定にも良
い。
以上の様に本発明によれば、従来例では不可能な微小電
流の測定が真空容器あるいは圧力容器内の試料に対して
測定でき、更にシール部と絶縁部を一体化した簡単な構
造で複数の電気端子を導入でき、機械的衝撃にも破損せ
ず外気の湿度にも影響を受けないすぐれた電流導入端子
を供給することができる。
流の測定が真空容器あるいは圧力容器内の試料に対して
測定でき、更にシール部と絶縁部を一体化した簡単な構
造で複数の電気端子を導入でき、機械的衝撃にも破損せ
ず外気の湿度にも影響を受けないすぐれた電流導入端子
を供給することができる。
第１図は本発明による実施例の電流導入端子の構造断面
図、第２図は従来例の電流導入端子の構造断面図であ
る。 1,1′……金属棒、２……セラミック絶縁体、3,5……金
属フランジ、４……真空容器、６……銅リング、7,7′
……ボルト、8,8′……突起部。
図、第２図は従来例の電流導入端子の構造断面図であ
る。 1,1′……金属棒、２……セラミック絶縁体、3,5……金
属フランジ、４……真空容器、６……銅リング、7,7′
……ボルト、8,8′……突起部。
Claims (1)
- 【請求項１】フッ素系樹脂からなる絶縁体に中央部を貫
通する金属棒を保持し、この金属棒のつば部が前記絶縁
体に食い込むよう締めつけることにより直接にこの金属
棒を前記絶縁体に機械的に真空シールするとともに金属
性の圧力容器または真空容器側の突起部が前記絶縁体に
食い込むよう締めつけることにより直接に前記絶縁体の
外周部を機械的に真空シールしたことを特徴とする電流
導入端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241055A JPH0760714B2 (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 電流導入端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241055A JPH0760714B2 (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 電流導入端子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62100956A JPS62100956A (ja) | 1987-05-11 |
| JPH0760714B2 true JPH0760714B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=17068636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60241055A Expired - Fee Related JPH0760714B2 (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 電流導入端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760714B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2578700B2 (ja) * | 1991-08-07 | 1997-02-05 | コスモ石油株式会社 | ブッシング |
| US10294058B2 (en) | 2013-10-04 | 2019-05-21 | Sanwa Techno Co., Ltd. | Roller covered with covering comprising woven fabric, and apparatus employing same |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572028A (en) * | 1980-05-08 | 1982-01-07 | Philips Nv | Conductor passing section |
| JPS61101969U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-06-28 |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP60241055A patent/JPH0760714B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62100956A (ja) | 1987-05-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |