JPH076325A - 薄膜磁気ヘッド装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド装置Info
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- JPH076325A JPH076325A JP16754893A JP16754893A JPH076325A JP H076325 A JPH076325 A JP H076325A JP 16754893 A JP16754893 A JP 16754893A JP 16754893 A JP16754893 A JP 16754893A JP H076325 A JPH076325 A JP H076325A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アンダーシュート等の固有の歪みの発生をを
有効に抑制し、これにより正しいデータを正常に再生し
得る薄膜磁気ヘッド装置を提供すること。 【構成】 ギャップ層１を挟んで磁気回路を構成する一
方と他方の磁性薄膜２，３，２２，２３を有し、当該ギ
ャップ層１部分で磁気記憶媒体に対し情報の書き込み又
は読み出しを行うようになっている。ギャップ層１部分
の他方の磁性薄膜３，２３の膜厚は、情報の書き込み又
は読み出し部分のギャップ層１部分以外の磁性薄膜の膜
厚よりも厚く設定されている。
有効に抑制し、これにより正しいデータを正常に再生し
得る薄膜磁気ヘッド装置を提供すること。 【構成】 ギャップ層１を挟んで磁気回路を構成する一
方と他方の磁性薄膜２，３，２２，２３を有し、当該ギ
ャップ層１部分で磁気記憶媒体に対し情報の書き込み又
は読み出しを行うようになっている。ギャップ層１部分
の他方の磁性薄膜３，２３の膜厚は、情報の書き込み又
は読み出し部分のギャップ層１部分以外の磁性薄膜の膜
厚よりも厚く設定されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド装置に
かかり、とくにギャップ層を挟んで磁気回路を構成する
一方と他方の磁性薄膜を備えた薄膜磁気ヘッド装置に関
する。
かかり、とくにギャップ層を挟んで磁気回路を構成する
一方と他方の磁性薄膜を備えた薄膜磁気ヘッド装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】データ記憶装置，とくに大容量で高速に
しかもランダムなアクセスが可能な磁気ディスク装置に
おいては、一般に薄膜磁気ヘッドが用いられている。薄
膜磁気ヘッドは、パーマロイやセンダストなどの軟磁性
体による磁気回路および銅や金による誘電コイルを薄膜
技術により順次積層して構成するものである。
しかもランダムなアクセスが可能な磁気ディスク装置に
おいては、一般に薄膜磁気ヘッドが用いられている。薄
膜磁気ヘッドは、パーマロイやセンダストなどの軟磁性
体による磁気回路および銅や金による誘電コイルを薄膜
技術により順次積層して構成するものである。
【０００３】薄膜ヘッドは、物理的には小型で、電気的
な抵抗，即ちインピーダンスが小さく、且つ記録再生の
変換効率がすぐれている。このため、高速転送，高密度
記録に際しては好んで使われている。
な抵抗，即ちインピーダンスが小さく、且つ記録再生の
変換効率がすぐれている。このため、高速転送，高密度
記録に際しては好んで使われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】薄膜磁気ヘッドは、そ
の薄膜構造に起因する特徴的な出力波形を有している。
すなわち磁気ヘッドの記録再生ギャップ部は、非磁性体
空隙部を両側から二つの磁性体がはさんで成る構造を有
するが、薄膜ヘッドでは二つの磁性体，即ち磁極は金属
薄膜磁性体で形成されるので，薄膜の膜厚が記録媒体に
対向する磁極の長さとなっている。このため従来の薄膜
ヘッドではこの磁極長さからは、たかだか３〜４ミクロ
ンの有限長となる。
の薄膜構造に起因する特徴的な出力波形を有している。
すなわち磁気ヘッドの記録再生ギャップ部は、非磁性体
空隙部を両側から二つの磁性体がはさんで成る構造を有
するが、薄膜ヘッドでは二つの磁性体，即ち磁極は金属
薄膜磁性体で形成されるので，薄膜の膜厚が記録媒体に
対向する磁極の長さとなっている。このため従来の薄膜
ヘッドではこの磁極長さからは、たかだか３〜４ミクロ
ンの有限長となる。
【０００５】このようなヘッドを用いて信号を再生する
と、例えば極めて低周波のいわゆる孤立波形の場合、ア
ンダーシュート，またはネガティブパルスと呼ばれる特
徴的な小さなコブが発生することが、従来より知られて
いる。再生信号にこのようなコブがあると、媒体上に記
録された信号を再生する際に、信号を誤認識してしまう
場合があり、高密度記録再生用薄膜ヘッドの用途を著し
く制限するものであった。
と、例えば極めて低周波のいわゆる孤立波形の場合、ア
ンダーシュート，またはネガティブパルスと呼ばれる特
徴的な小さなコブが発生することが、従来より知られて
いる。再生信号にこのようなコブがあると、媒体上に記
録された信号を再生する際に、信号を誤認識してしまう
場合があり、高密度記録再生用薄膜ヘッドの用途を著し
く制限するものであった。
【０００６】そして、このような薄膜ヘッドの欠点を補
うべく従来の薄膜ヘッドでは、例えば、特開昭６１−１
０７５１５号公報や特開昭６１−２１０５１０号公報に
示されるような対策が開示されている。具体的には、ギ
ャップを構成する磁性膜の媒体対向部に切り欠きを設
け、これにより、前述のアンダーシュートを小さくする
ことを狙っている。しかしながら、かかるこれらの方法
はその実現方法はきわめて困難であり、いずれも発想レ
ベルに留まるものであり、全く実用できるような方法で
はなかった。
うべく従来の薄膜ヘッドでは、例えば、特開昭６１−１
０７５１５号公報や特開昭６１−２１０５１０号公報に
示されるような対策が開示されている。具体的には、ギ
ャップを構成する磁性膜の媒体対向部に切り欠きを設
け、これにより、前述のアンダーシュートを小さくする
ことを狙っている。しかしながら、かかるこれらの方法
はその実現方法はきわめて困難であり、いずれも発想レ
ベルに留まるものであり、全く実用できるような方法で
はなかった。
【０００７】これとは別に、例えば、特開昭６２−１０
７４１７号公報、特開昭６２−１０７４１８号公報に
は、薄膜ヘッドの変形として、上部磁性膜と下部磁性膜
からなる磁気回路のうち、上部磁性膜を第一、第二の二
つの膜から構成し、第二の上部磁性膜を平坦化する構造
が示されている。かかる公報記載の発明は、磁性膜の段
差部を局部的に肥大化させることにより、劣化下した第
一の磁性膜の特性を補償したり、過飽和による悪影響を
取り除くことを意図したものである。従って、波形のア
ンダーシュートについては何らふれておらず、しかも上
部磁性層膜の平坦化を含む複数回のプロセスによって作
成するこを提案しており、きわめて複雑かつコストの高
い方法であり実用的なものではなかった。
７４１７号公報、特開昭６２−１０７４１８号公報に
は、薄膜ヘッドの変形として、上部磁性膜と下部磁性膜
からなる磁気回路のうち、上部磁性膜を第一、第二の二
つの膜から構成し、第二の上部磁性膜を平坦化する構造
が示されている。かかる公報記載の発明は、磁性膜の段
差部を局部的に肥大化させることにより、劣化下した第
一の磁性膜の特性を補償したり、過飽和による悪影響を
取り除くことを意図したものである。従って、波形のア
ンダーシュートについては何らふれておらず、しかも上
部磁性層膜の平坦化を含む複数回のプロセスによって作
成するこを提案しており、きわめて複雑かつコストの高
い方法であり実用的なものではなかった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくにアンダーシュート（又はネガティブパ
ルス）等の固有の歪みの発生をを有効に抑制し、これに
より正しいデータを正常に再生し得る薄膜磁気ヘッド装
置を提供することを、その目的とする。
を改善し、とくにアンダーシュート（又はネガティブパ
ルス）等の固有の歪みの発生をを有効に抑制し、これに
より正しいデータを正常に再生し得る薄膜磁気ヘッド装
置を提供することを、その目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、ギャップ層
を挟んで磁気回路を構成する一方と他方の磁性薄膜を有
し、当該ギャップ層部分で磁気記憶媒体に対し情報の書
き込み又は読み出しを行う薄膜磁気ヘッド装置におい
て、ギャップ層部分のいずれか一方の磁性薄膜の膜厚
を、ギャップ層部分以外の磁性薄膜の膜厚よりも厚く形
成する、等の構成をとっている。これによって前述した
目的を達成しようとするものである。
を挟んで磁気回路を構成する一方と他方の磁性薄膜を有
し、当該ギャップ層部分で磁気記憶媒体に対し情報の書
き込み又は読み出しを行う薄膜磁気ヘッド装置におい
て、ギャップ層部分のいずれか一方の磁性薄膜の膜厚
を、ギャップ層部分以外の磁性薄膜の膜厚よりも厚く形
成する、等の構成をとっている。これによって前述した
目的を達成しようとするものである。
【００１０】
【作 用】ギャップ部磁性膜の厚さを、ヘッドの媒体対
向部の記録波長方向の長さであるポール長をギャップ長
より十分長く設定したので、薄膜ヘッド特有のアンダー
シュートを大幅に低減することができ、これにより記録
したデータを正常に再生し得る。また、ギャップ部の磁
性膜を厚くすると、書き込み時のヘッドの過飽和も有効
に排除される。
向部の記録波長方向の長さであるポール長をギャップ長
より十分長く設定したので、薄膜ヘッド特有のアンダー
シュートを大幅に低減することができ、これにより記録
したデータを正常に再生し得る。また、ギャップ部の磁
性膜を厚くすると、書き込み時のヘッドの過飽和も有効
に排除される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図２に基
づいて説明する。この図１乃至図２に示す実施例は、ギ
ャップ層１を挟んで磁気回路を構成する一方と他方の磁
性薄膜２，３を有し、当該ギャップ層１部分で磁気記憶
媒体に対し情報の書き込み又は読み出しを行うようにな
っている。
づいて説明する。この図１乃至図２に示す実施例は、ギ
ャップ層１を挟んで磁気回路を構成する一方と他方の磁
性薄膜２，３を有し、当該ギャップ層１部分で磁気記憶
媒体に対し情報の書き込み又は読み出しを行うようにな
っている。
【００１２】ギャップ層１部分の他方の磁性薄膜３の膜
厚が、情報の書き込み又は読み出し部分のギャップ層１
部分以外の磁性薄膜の膜厚よりも厚く形成されている。
厚が、情報の書き込み又は読み出し部分のギャップ層１
部分以外の磁性薄膜の膜厚よりも厚く形成されている。
【００１３】これを更に詳述すると、図１において符号
１０はセラミック基板を示す。このセラミック基板１０
上に、アルミナ下地保護膜１１が形成されている。セラ
ミック基板１０は、磁気ヘッドスライダ材料として好ま
しい特性を有するＡl Ｔi Ｃを使用するが、これは他の
セラミック或いはフェライトでも代替してもよい。
１０はセラミック基板を示す。このセラミック基板１０
上に、アルミナ下地保護膜１１が形成されている。セラ
ミック基板１０は、磁気ヘッドスライダ材料として好ま
しい特性を有するＡl Ｔi Ｃを使用するが、これは他の
セラミック或いはフェライトでも代替してもよい。
【００１４】アルミナ下地保護膜１１は、スパッタリン
グにより成膜され、その厚さは１０〜２０ミクロンに設
定され、成膜後にラップして十分な鏡面を得る用になっ
ている。アルミナ下地保護膜１１上には、下部磁性膜２
が形成される。これはパーマロイをメッキにより付着さ
せるもので、その厚さは３．５ミクロンである。厚さは
磁気回路のインダクタンスをできるだけ小さく、かつ磁
気抵抗を不当に大きくしない範囲で決定される。３．５
ミクロンの厚さは２回のメッキで形成されるが、これは
一度にメッキをすると膜の磁気的な特性が劣化するため
である。
グにより成膜され、その厚さは１０〜２０ミクロンに設
定され、成膜後にラップして十分な鏡面を得る用になっ
ている。アルミナ下地保護膜１１上には、下部磁性膜２
が形成される。これはパーマロイをメッキにより付着さ
せるもので、その厚さは３．５ミクロンである。厚さは
磁気回路のインダクタンスをできるだけ小さく、かつ磁
気抵抗を不当に大きくしない範囲で決定される。３．５
ミクロンの厚さは２回のメッキで形成されるが、これは
一度にメッキをすると膜の磁気的な特性が劣化するため
である。
【００１５】磁性膜はメッキ形成する以外にも、スパッ
タデポジション又はイオンビームデポジションによる手
法も可能である。下部磁性膜３上には０．３８ミクロン
のギャップ層１，フォトレジスト層１３，コイル１４が
形成され、その後に上部磁性層１５が成膜されるように
なっている。
タデポジション又はイオンビームデポジションによる手
法も可能である。下部磁性膜３上には０．３８ミクロン
のギャップ層１，フォトレジスト層１３，コイル１４が
形成され、その後に上部磁性層１５が成膜されるように
なっている。
【００１６】フォトレジスト層１３は複数の層から成る
が、ここではまとめて符号１３で示す。上部磁性層３の
ギャップ近傍の拡大図を図２に示す。図２の破線の右側
の鎖線部分は、製品加工時に切断除去される部分であ
る。この図２においてわかるように、上部磁性層３は一
方の層３Ａと他方の層３Ｂとを備えており、本実施例に
よる有限長ポールは他方の層３Ｂによって達成される。
が、ここではまとめて符号１３で示す。上部磁性層３の
ギャップ近傍の拡大図を図２に示す。図２の破線の右側
の鎖線部分は、製品加工時に切断除去される部分であ
る。この図２においてわかるように、上部磁性層３は一
方の層３Ａと他方の層３Ｂとを備えており、本実施例に
よる有限長ポールは他方の層３Ｂによって達成される。
【００１７】また、上部磁性層３の内の一方の層３Ａは
パーマロイであり、下部磁性層と同様に２回のメッキに
よって形成され、その後、他方の層３Ｂがやはり２回の
メッキによって約３．５ミクロンの厚さで形成される。
他方の層３Ｂはフォトレジスト枠を用いるフレーム・プ
レーティングにより形成されるが、他にリフトオフ法或
いはアディティブプレーティングでも可能である。本実
施例では、磁気ヘッドギャップ部の磁性膜の厚さ，つま
り記録媒体面に対抗するポール長さを長くすることを意
図したものである。
パーマロイであり、下部磁性層と同様に２回のメッキに
よって形成され、その後、他方の層３Ｂがやはり２回の
メッキによって約３．５ミクロンの厚さで形成される。
他方の層３Ｂはフォトレジスト枠を用いるフレーム・プ
レーティングにより形成されるが、他にリフトオフ法或
いはアディティブプレーティングでも可能である。本実
施例では、磁気ヘッドギャップ部の磁性膜の厚さ，つま
り記録媒体面に対抗するポール長さを長くすることを意
図したものである。
【００１８】このため、エッチングにより不要な部分の
磁性膜を薄くして、ギャップ部磁性膜のみを厚くする手
法によってもよい。また、ギャップ部１の上部磁性膜３
は約７ミクロンの厚さを有することになる。７ミクロン
の厚さはギャップ長０．３８ミクロンのヘッドにおいて
は、アンダーシュートを大幅に低減するために十分厚い
寸法である。上部磁性膜３が形成された後、アルミナ下
地保護膜１１をオーバーコートする。
磁性膜を薄くして、ギャップ部磁性膜のみを厚くする手
法によってもよい。また、ギャップ部１の上部磁性膜３
は約７ミクロンの厚さを有することになる。７ミクロン
の厚さはギャップ長０．３８ミクロンのヘッドにおいて
は、アンダーシュートを大幅に低減するために十分厚い
寸法である。上部磁性膜３が形成された後、アルミナ下
地保護膜１１をオーバーコートする。
【００１９】図３に他の実施例を示す。この図３におい
て、下部磁性層２２は第１の磁性層２２Ａと第２の磁性
層２２Ｂとから構成されている。即ち下部磁性層２２
は、初めに第１の磁性膜２２Ａを成膜し、その後に第２
の磁性膜２２Ｂを上積みして成膜する。
て、下部磁性層２２は第１の磁性層２２Ａと第２の磁性
層２２Ｂとから構成されている。即ち下部磁性層２２
は、初めに第１の磁性膜２２Ａを成膜し、その後に第２
の磁性膜２２Ｂを上積みして成膜する。
【００２０】また、本実施例では上部磁性膜２３は、ま
ず初めに上部第１磁性膜２３Ａを形成し、その後に上部
第２磁性膜２３Ｂを形成する。かくしてギャップ２１を
挟む二つの磁性膜は、いずれも十分厚い寸法を有するこ
とになる。
ず初めに上部第１磁性膜２３Ａを形成し、その後に上部
第２磁性膜２３Ｂを形成する。かくしてギャップ２１を
挟む二つの磁性膜は、いずれも十分厚い寸法を有するこ
とになる。
【００２１】以上述べた実施例以外に、例えば、磁気回
路のギャップ以外の一部分の磁性膜の厚さが、ギャップ
部と同様に厚い寸法を有するように構成してもよい。ギ
ャップ部の磁性膜を厚くすると、書き込み時のヘッドの
過飽和を防止する効果もあり有用性が非常に大きいもの
となっている。
路のギャップ以外の一部分の磁性膜の厚さが、ギャップ
部と同様に厚い寸法を有するように構成してもよい。ギ
ャップ部の磁性膜を厚くすると、書き込み時のヘッドの
過飽和を防止する効果もあり有用性が非常に大きいもの
となっている。
【００２２】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、ギャップ部磁性膜の厚さを、他の
部分と同一の材料、製造方法により局部的に肥大化さ
せ、ヘッドの媒体対向部の記録波長方向の長さであるポ
ール長をギャップ長より十分長く設定したので、薄膜ヘ
ッド特有のアンダーシュートを大幅に低減することがで
き、これにより記録したデータを正常に再生し得るとい
う従来にない信頼性の高い薄膜磁気ヘッド装置を提供す
ることができる。
ので、これによると、ギャップ部磁性膜の厚さを、他の
部分と同一の材料、製造方法により局部的に肥大化さ
せ、ヘッドの媒体対向部の記録波長方向の長さであるポ
ール長をギャップ長より十分長く設定したので、薄膜ヘ
ッド特有のアンダーシュートを大幅に低減することがで
き、これにより記録したデータを正常に再生し得るとい
う従来にない信頼性の高い薄膜磁気ヘッド装置を提供す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１内のギャップ部を示す拡大説明図である。
【図３】他の実施例を示すギャップ部の拡大説明図であ
る。
る。
１ ギャップ層 ２，２２ 一方の磁性薄膜である下部磁性膜 ３，２３ 他方の磁性薄膜である上部磁性膜 １０ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 ギャップ層を挟んで磁気回路を構成する
一方と他方の磁性薄膜を有し、当該ギャップ層部分で磁
気記憶媒体に対し情報の書き込み又は読み出しを行う薄
膜磁気ヘッド装置において、 前記ギャップ層部分のいずれか一方の磁性薄膜の膜厚
が、前記ギャップ層部分以外の磁性薄膜の膜厚よりも厚
く形成されていることを特徴とした薄膜磁気ヘッド装
置。 - 【請求項２】 ギャップ層を挟んで磁気回路を構成する
一方と他方の磁性薄膜を有し、当該ギャップ層部分で磁
気記憶媒体に対し情報の書き込み又は読み出しを行う薄
膜磁気ヘッド装置において、 前記ギャップ層部分の磁性薄膜の膜厚が、全体的に前記
ギャップ層部分を除く他の磁性薄膜の膜厚よりも厚く形
成されていることを特徴とした薄膜磁気ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16754893A JPH076325A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16754893A JPH076325A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076325A true JPH076325A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15851761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16754893A Pending JPH076325A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076325A (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49102316A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-27 | ||
| JPS5233713A (en) * | 1975-09-10 | 1977-03-15 | Hitachi Ltd | Thin film magnetic head |
| JPS5329090A (en) * | 1976-08-31 | 1978-03-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor photo coupler |
| JPS6045916A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-12 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS60175208A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-09 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH01133212A (ja) * | 1987-04-10 | 1989-05-25 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JPH025215A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-10 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP16754893A patent/JPH076325A/ja active Pending
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