JPH0765173B2 - 連続式真空処理装置のシール装置 - Google Patents
連続式真空処理装置のシール装置Info
- Publication number
- JPH0765173B2 JPH0765173B2 JP5238891A JP5238891A JPH0765173B2 JP H0765173 B2 JPH0765173 B2 JP H0765173B2 JP 5238891 A JP5238891 A JP 5238891A JP 5238891 A JP5238891 A JP 5238891A JP H0765173 B2 JPH0765173 B2 JP H0765173B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum processing
- sealing
- liquid
- rolls
- continuous vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続式真空処理装置の
シール装置に関するものである。
シール装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、帯
状材の連続式真空処理装置においては、装入口と抽出口
とにシール装置を設置して、真空処理室内と大気とを遮
断するようにしている。そして、このシール装置として
は、種々の形式のものが提案されているが、その一例と
して、特開昭６３−２４０６７号公報等に開示のベルト
シール方式のものがある。しかしながら、前記従来のベ
ルトシール方式においては、処理材とベルト間およびベ
ルトとハウジング間にどうしても間隙が形成され、完全
に真空処理室内に大気が流入するのを防止することがで
きなかった。また、シール装置自体も複雑な構成となり
高価なものであった。したがって、本発明は構成が簡単
で、かつ、外気の真空処理室内への侵入をほぼ完全に阻
止することのできる連続式真空処理装置のシール装置を
提供することを目的とする。
状材の連続式真空処理装置においては、装入口と抽出口
とにシール装置を設置して、真空処理室内と大気とを遮
断するようにしている。そして、このシール装置として
は、種々の形式のものが提案されているが、その一例と
して、特開昭６３−２４０６７号公報等に開示のベルト
シール方式のものがある。しかしながら、前記従来のベ
ルトシール方式においては、処理材とベルト間およびベ
ルトとハウジング間にどうしても間隙が形成され、完全
に真空処理室内に大気が流入するのを防止することがで
きなかった。また、シール装置自体も複雑な構成となり
高価なものであった。したがって、本発明は構成が簡単
で、かつ、外気の真空処理室内への侵入をほぼ完全に阻
止することのできる連続式真空処理装置のシール装置を
提供することを目的とする。
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属を貯留した略Ｕ字型シール槽を連設
して、前記シール槽の各封液面の上方に左右一対の反転
ロールを配設する一方、封液中に複数のガイドロールを
配設し、両縁部に互いに接離可能な接離手段を備えた２
本の幅広の撥液性無端ベルトを前記各ロールに巻回して
張設して、前記一対の無端ベルト間に帯状材を挟んで走
行させるとともに、前記シール槽の上流側の封液面上方
に前記接離手段を圧着係合する圧着部材とから構成した
ものである。
成するために、連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属を貯留した略Ｕ字型シール槽を連設
して、前記シール槽の各封液面の上方に左右一対の反転
ロールを配設する一方、封液中に複数のガイドロールを
配設し、両縁部に互いに接離可能な接離手段を備えた２
本の幅広の撥液性無端ベルトを前記各ロールに巻回して
張設して、前記一対の無端ベルト間に帯状材を挟んで走
行させるとともに、前記シール槽の上流側の封液面上方
に前記接離手段を圧着係合する圧着部材とから構成した
ものである。
【０００４】
【実施例】つぎに、本発明にかかる連続式真空処理装置
のシール装置を図面にしたがって説明する。図におい
て、１は連続式真空処理装置、たとえば鋼帯の連続真空
蒸着装置で、３は前記連続真空蒸着装置１の装入口２に
設置した本発明にかかるシール装置である。前記シール
装置３は、大略、内部に封液Ｗを貯えた略Ｕ字型シール
槽４と、複数のロール群５と、このロール群５に巻回さ
れ、両縁部に接離手段９を備えた２本の無端ベルト８，
８と圧着部材１０とからなる。
のシール装置を図面にしたがって説明する。図におい
て、１は連続式真空処理装置、たとえば鋼帯の連続真空
蒸着装置で、３は前記連続真空蒸着装置１の装入口２に
設置した本発明にかかるシール装置である。前記シール
装置３は、大略、内部に封液Ｗを貯えた略Ｕ字型シール
槽４と、複数のロール群５と、このロール群５に巻回さ
れ、両縁部に接離手段９を備えた２本の無端ベルト８，
８と圧着部材１０とからなる。
【０００５】前記シール槽４は略Ｕ字型をなし、一端は
前記連続式真空処理装置（以下、真空処理室という）１
の装入口２に連通し、他端は大気に解放されるととも
に、内部には融点が１００℃以下の比重の大なる低融点
の液体金属または合金、たとえば、水銀、ウッドメタル
等の封液Ｗが収容されている。
前記連続式真空処理装置（以下、真空処理室という）１
の装入口２に連通し、他端は大気に解放されるととも
に、内部には融点が１００℃以下の比重の大なる低融点
の液体金属または合金、たとえば、水銀、ウッドメタル
等の封液Ｗが収容されている。
【０００６】前記複数のロール群５は、前記Ｕ字型シー
ル槽４の前記封液Ｗの各上方に配設した一対の駆動兼反
転ロール６ａ，６ａと反転ロール６ｂ，６ｂと、封液Ｗ
内に浸漬し、下記する２本の無端ベルト８，８の各一方
側をガイドするガイドロール７ａ，７ａ，…と、２本の
無端ベルト８，８の対向する部分をガイドする共通ガイ
ドロール７ｂ，７ｂ，…とからなる。
ル槽４の前記封液Ｗの各上方に配設した一対の駆動兼反
転ロール６ａ，６ａと反転ロール６ｂ，６ｂと、封液Ｗ
内に浸漬し、下記する２本の無端ベルト８，８の各一方
側をガイドするガイドロール７ａ，７ａ，…と、２本の
無端ベルト８，８の対向する部分をガイドする共通ガイ
ドロール７ｂ，７ｂ，…とからなる。
【０００７】前記無端ベルト８は、撥液性材料、たとえ
ば、弗素樹脂系の弾性材料あるいはこれを張り合わせた
もので、図に示すように、中央部がやや厚肉となったベ
ルト本体の薄肉部である一側縁に先端に円形部を有する
凸条９ａを、また、他側縁に前記凸条９ａと離脱可能に
嵌合する凹条９ｂからなる接離手段９を設けたものであ
る。なお、前記無端ベルト８は、平坦形状であってもよ
い。そして、前記無端ベルト８は、前記凸条９ａと凹条
９ｂとを外側にして前記駆動兼反転ロール６ａと反転ロ
ール６ｂとガイドロール７ａ，７ａ，…，７ｂ，７ｂ，
…とにそれぞれ巻回され、かつ、２本の無端ベルト８，
８が対向する側縁部分において、前記一方の無端ベルト
８の凸条９ａは他方の無端ベルト８の凹条９ｂと対向す
るようになっている。
ば、弗素樹脂系の弾性材料あるいはこれを張り合わせた
もので、図に示すように、中央部がやや厚肉となったベ
ルト本体の薄肉部である一側縁に先端に円形部を有する
凸条９ａを、また、他側縁に前記凸条９ａと離脱可能に
嵌合する凹条９ｂからなる接離手段９を設けたものであ
る。なお、前記無端ベルト８は、平坦形状であってもよ
い。そして、前記無端ベルト８は、前記凸条９ａと凹条
９ｂとを外側にして前記駆動兼反転ロール６ａと反転ロ
ール６ｂとガイドロール７ａ，７ａ，…，７ｂ，７ｂ，
…とにそれぞれ巻回され、かつ、２本の無端ベルト８，
８が対向する側縁部分において、前記一方の無端ベルト
８の凸条９ａは他方の無端ベルト８の凹条９ｂと対向す
るようになっている。
【０００８】前記圧着部材１０は、前記２本の無端ベル
ト８，８の対向する側縁部分を圧着して前記対向する凸
条９ａと凹条９ｂとを嵌合するもので、前記実施例では
一対のロールからなる。そして、この一対のロール１０
は、シール槽４の上流側、すなわち大気側に位置する駆
動兼反転ロール６ａ，６ａの下方で封液Ｗより上方に位
置している。なお、前記圧着部材１０は２条の相対する
凹凸をガイドしてスライドするファスナであってもよ
い。
ト８，８の対向する側縁部分を圧着して前記対向する凸
条９ａと凹条９ｂとを嵌合するもので、前記実施例では
一対のロールからなる。そして、この一対のロール１０
は、シール槽４の上流側、すなわち大気側に位置する駆
動兼反転ロール６ａ，６ａの下方で封液Ｗより上方に位
置している。なお、前記圧着部材１０は２条の相対する
凹凸をガイドしてスライドするファスナであってもよ
い。
【０００９】なお、シール槽４は、図１に示すように、
槽自体が略Ｕ字型をなす場合の他、図２，３に示すよう
に、内部が実質的に略Ｕ字型をなしておればよく、これ
に対応して図３に示すように一つのガイドロール７ａ，
７ｂで複数のガイドロールを兼用してもよい。また、前
記実施例では無端ベルト８の一側縁に凸条９ａを、他側
縁に凹条９ｂを設けたが（図４参照）、一方の無端ベル
ト８の両側縁に凸条９ａを、他方の無端ベルト８に凹条
９ｂを設けてもよい。さらに、前記実施例では真空処理
室１の装入側に設けるシール装置３について説明した
が、抽出側においても同様構成のシール装置が配設され
る。ただし、前記圧着部材１０はシール槽４の上流側、
すなわち真空処理室１側に位置する反転ロール６ｂ，６
ｂの下方で封液Ｗより上方に設置する。
槽自体が略Ｕ字型をなす場合の他、図２，３に示すよう
に、内部が実質的に略Ｕ字型をなしておればよく、これ
に対応して図３に示すように一つのガイドロール７ａ，
７ｂで複数のガイドロールを兼用してもよい。また、前
記実施例では無端ベルト８の一側縁に凸条９ａを、他側
縁に凹条９ｂを設けたが（図４参照）、一方の無端ベル
ト８の両側縁に凸条９ａを、他方の無端ベルト８に凹条
９ｂを設けてもよい。さらに、前記実施例では真空処理
室１の装入側に設けるシール装置３について説明した
が、抽出側においても同様構成のシール装置が配設され
る。ただし、前記圧着部材１０はシール槽４の上流側、
すなわち真空処理室１側に位置する反転ロール６ｂ，６
ｂの下方で封液Ｗより上方に設置する。
【００１０】つぎに、前記構成からなるシール装置の作
動を説明する。まず、前記シール槽４に封液Ｗを注入し
て、真空処理室１の装入口２と抽出口とを大気から遮断
したのち真空処理室１内を所定真空度に保持する。つい
で、駆動兼反転ロール６ａ，６ａを回転させて、鋼帯Ｓ
を両無端ベルト８，８の対向面間に挿入すると、無端ベ
ルト８，８の両縁部は一対のロール１０により圧着さ
れ、対向する凸条９ａと凹条９ｂとが嵌合し、鋼帯Ｓは
無端ベルト８，８の対向面間に圧着封入された状態で、
無端ベルト８，８の移動とともに搬送されることにな
る。なお、前記のように、内部に鋼帯Ｓを封入した無端
ベルト８，８の両面には封液Ｗの液圧が作用し、前記封
入状態は更に強化される。前記のようにして、ストリッ
プＷを封入した無端ベルト８，８は、封液Ｗ上に位置す
る反転ロール６ｂ，６ｂに至ってその嵌合状態が解放さ
れ、鋼帯Ｓは真空処理室１内に搬送され、所定の蒸着処
理を経たのち、抽出口側のシール装置３を経て外方に搬
出される。
動を説明する。まず、前記シール槽４に封液Ｗを注入し
て、真空処理室１の装入口２と抽出口とを大気から遮断
したのち真空処理室１内を所定真空度に保持する。つい
で、駆動兼反転ロール６ａ，６ａを回転させて、鋼帯Ｓ
を両無端ベルト８，８の対向面間に挿入すると、無端ベ
ルト８，８の両縁部は一対のロール１０により圧着さ
れ、対向する凸条９ａと凹条９ｂとが嵌合し、鋼帯Ｓは
無端ベルト８，８の対向面間に圧着封入された状態で、
無端ベルト８，８の移動とともに搬送されることにな
る。なお、前記のように、内部に鋼帯Ｓを封入した無端
ベルト８，８の両面には封液Ｗの液圧が作用し、前記封
入状態は更に強化される。前記のようにして、ストリッ
プＷを封入した無端ベルト８，８は、封液Ｗ上に位置す
る反転ロール６ｂ，６ｂに至ってその嵌合状態が解放さ
れ、鋼帯Ｓは真空処理室１内に搬送され、所定の蒸着処
理を経たのち、抽出口側のシール装置３を経て外方に搬
出される。
【００１１】前記実施例では、無端ベルト８に設ける接
離手段９を、互いに嵌合する凸条９ａと凹条９ｂとで形
成したが、これに限らず、封液Ｗによって汚染されず、
繰り返し接着・剥離可能な接着テープあるいは接着剤を
無端ベルト８の側縁に設けてもよく、また、前記接離手
段９は無端ベルト８の側縁に取替え可能に設けてもよ
い。なお、前記のように、鋼帯Ｓを無端ベルト８，８で
封入しても、両無端ベルト８，８の封着部とストリップ
Ｓとの間には微細な隙間αが存在し、この隙間α内に空
気を包含することになるが、この部分は微少で、かつ、
長いため、この隙間を介して真空処理室１内に大気が流
入することは極めて少なく無視することができる。
離手段９を、互いに嵌合する凸条９ａと凹条９ｂとで形
成したが、これに限らず、封液Ｗによって汚染されず、
繰り返し接着・剥離可能な接着テープあるいは接着剤を
無端ベルト８の側縁に設けてもよく、また、前記接離手
段９は無端ベルト８の側縁に取替え可能に設けてもよ
い。なお、前記のように、鋼帯Ｓを無端ベルト８，８で
封入しても、両無端ベルト８，８の封着部とストリップ
Ｓとの間には微細な隙間αが存在し、この隙間α内に空
気を包含することになるが、この部分は微少で、かつ、
長いため、この隙間を介して真空処理室１内に大気が流
入することは極めて少なく無視することができる。
【００１２】また、封液Ｗが接離手段９に付着するよう
な場合には、圧着部材である一対のロール１０の上方
に、付着封液を除去する図示しないクリーナ手段を設け
てもよく、さらに、前記一対のロール１０の上方に接離
手段９が確実に圧着するように、ベルト位置規制部材を
設けてもよい。
な場合には、圧着部材である一対のロール１０の上方
に、付着封液を除去する図示しないクリーナ手段を設け
てもよく、さらに、前記一対のロール１０の上方に接離
手段９が確実に圧着するように、ベルト位置規制部材を
設けてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
かかるシール装置では、シール槽の封液により真空処理
室の装入口あるいは抽出口は完全にシールされ、そし
て、帯状材はこの封液中を２本の撥液性無端ベルトの対
向面間に封入された状態で移動するため、封液が付着す
ることがなく、その表面を何ら汚染することなく搬送す
ることができるばかりか、空気の真空処理室への侵入を
確実に防止することができ、真空排気装置を小型化する
ことができる。
かかるシール装置では、シール槽の封液により真空処理
室の装入口あるいは抽出口は完全にシールされ、そし
て、帯状材はこの封液中を２本の撥液性無端ベルトの対
向面間に封入された状態で移動するため、封液が付着す
ることがなく、その表面を何ら汚染することなく搬送す
ることができるばかりか、空気の真空処理室への侵入を
確実に防止することができ、真空排気装置を小型化する
ことができる。
【図１】 本発明にかかる連続式真空処理装置の装入口
に設けられたシール装置の説明図。
に設けられたシール装置の説明図。
【図２】 第２実施例の説明図。
【図３】 第３実施例の説明図。
【図４】 無端ベルトの圧着状態を示す断面図。
１…連続式真空処理装置、２…装入口、３…シール槽、
６ａ，６ｂ…反転ロール、７ａ，７ｂ…ガイドロール、
８…無端ベルト、９…接離手段、１０…圧着部材、Ｓ…
鋼帯、Ｗ…封液。
６ａ，６ｂ…反転ロール、７ａ，７ｂ…ガイドロール、
８…無端ベルト、９…接離手段、１０…圧着部材、Ｓ…
鋼帯、Ｗ…封液。
Claims (1)
- 【請求項１】 連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属を貯留した略Ｕ字型シール槽を連設
して、前記シール槽の各封液面の上方に左右一対の反転
ロールを配設する一方、封液中に複数のガイドロールを
配設し、両縁部に互いに接離可能な接離手段を備えた２
本の幅広の撥液性無端ベルトを前記各ロールに巻回して
張設して、前記一対の無端ベルト間に帯状材を挟んで走
行させるとともに、前記シール槽の上流側の封液面上方
に前記接離手段を圧着係合する圧着部材を設けたことを
特徴とする連続式真空処理装置のシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238891A JPH0765173B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5238891A JPH0765173B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04289169A JPH04289169A (ja) | 1992-10-14 |
| JPH0765173B2 true JPH0765173B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=12913424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5238891A Expired - Lifetime JPH0765173B2 (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765173B2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP5238891A patent/JPH0765173B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04289169A (ja) | 1992-10-14 |
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