JPH0765342A - ヘッドスライダ - Google Patents
ヘッドスライダInfo
- Publication number
- JPH0765342A JPH0765342A JP5212830A JP21283093A JPH0765342A JP H0765342 A JPH0765342 A JP H0765342A JP 5212830 A JP5212830 A JP 5212830A JP 21283093 A JP21283093 A JP 21283093A JP H0765342 A JPH0765342 A JP H0765342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head slider
- magnetic disk
- flying rail
- flying
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バーニッシュ時間がかからず、しかも磁性膜
に加えられる損傷が少なくなるヘッドスライダを提供す
ることを目的とする。 【構成】 ヘッドスライダ１に浮上レール２，３をそれ
ぞれ設け、この浮上レール２，３に溝４を周期的に設
け、溝４の間に凸部５を設ける。又、凸部５には所定の
曲率を有する様に円弧加工が施されている。 【効果】 この構成によって、磁気ディスク上に形成さ
れた突起をヘッドスライダ１で取り除く際に磁気ディス
クに大きなダメージを与えることはない。
に加えられる損傷が少なくなるヘッドスライダを提供す
ることを目的とする。 【構成】 ヘッドスライダ１に浮上レール２，３をそれ
ぞれ設け、この浮上レール２，３に溝４を周期的に設
け、溝４の間に凸部５を設ける。又、凸部５には所定の
曲率を有する様に円弧加工が施されている。 【効果】 この構成によって、磁気ディスク上に形成さ
れた突起をヘッドスライダ１で取り除く際に磁気ディス
クに大きなダメージを与えることはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクの表面に
形成された突起を取り除く製造装置等に用いられるヘッ
ドスライダに関するものである。
形成された突起を取り除く製造装置等に用いられるヘッ
ドスライダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクの製造において、磁気ディ
スク上に突起切削用のヘッドスライダを浮上させ、磁気
ディスク上に形成された不要な突起をヘッドスライダに
て取り除き、磁気ディスク表面を平坦化する工程が行な
われている。このヘッドスライダとして、一対の平行な
浮上レールを有し、浮上レールの媒体対向面が平坦なも
のがある。しかしながら、この媒体対向面が平坦なヘッ
ドスライダでは、磁気ディスク上の突起を取り除く（バ
ーニッシュ）時間がかかりすぎるために、浮上レールの
媒体対向面に複数の溝を設けて、突起の除去能力を向上
させたものが用いられている。
スク上に突起切削用のヘッドスライダを浮上させ、磁気
ディスク上に形成された不要な突起をヘッドスライダに
て取り除き、磁気ディスク表面を平坦化する工程が行な
われている。このヘッドスライダとして、一対の平行な
浮上レールを有し、浮上レールの媒体対向面が平坦なも
のがある。しかしながら、この媒体対向面が平坦なヘッ
ドスライダでは、磁気ディスク上の突起を取り除く（バ
ーニッシュ）時間がかかりすぎるために、浮上レールの
媒体対向面に複数の溝を設けて、突起の除去能力を向上
させたものが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記従来
の構成では、浮上レールの媒体対向面に複数の溝を設け
て、浮上レールを荒すことで突起の除去能力は向上し、
バーニッシュ時間は短くなったものの、磁気ディスクの
保護膜や磁性膜にダメージを与え、ミッシングパルスエ
ラーの数が増え、不良率が高くなるという問題点があっ
た。ミッシングパルスエラーとは、一旦磁気ヘッドにて
磁気ディスクに所定の信号を書き込み、その後に書き込
んだ信号を磁気ヘッドにて再生し、当初に書き込んだ信
号と同一か否かをチェックし、同一でない場合のビット
数をカウントするものである。すなわちバーニッシュ動
作によって、磁性膜に損傷があると当然のことながら信
号を書き込んでも、書き込みができないので、磁気ヘッ
ドで再生したときに、信号を再生することができない。
従ってミッシングパルスエラーの数が多いと、それだけ
磁性膜に損傷があるということである。
の構成では、浮上レールの媒体対向面に複数の溝を設け
て、浮上レールを荒すことで突起の除去能力は向上し、
バーニッシュ時間は短くなったものの、磁気ディスクの
保護膜や磁性膜にダメージを与え、ミッシングパルスエ
ラーの数が増え、不良率が高くなるという問題点があっ
た。ミッシングパルスエラーとは、一旦磁気ヘッドにて
磁気ディスクに所定の信号を書き込み、その後に書き込
んだ信号を磁気ヘッドにて再生し、当初に書き込んだ信
号と同一か否かをチェックし、同一でない場合のビット
数をカウントするものである。すなわちバーニッシュ動
作によって、磁性膜に損傷があると当然のことながら信
号を書き込んでも、書き込みができないので、磁気ヘッ
ドで再生したときに、信号を再生することができない。
従ってミッシングパルスエラーの数が多いと、それだけ
磁性膜に損傷があるということである。
【０００４】一方、浮上レールに溝を設けていないヘッ
ドスライダでは、前述の様に、バーニッシュ時間はかか
るものの、ミッシングパルスエラーの数はきわめて少な
い。
ドスライダでは、前述の様に、バーニッシュ時間はかか
るものの、ミッシングパルスエラーの数はきわめて少な
い。
【０００５】本発明は前記従来の課題を解決するもの
で、バーニッシュ時間がかからず、しかも磁性膜に加え
られる損傷が少ないヘッドスライダを提供することを目
的としている。
で、バーニッシュ時間がかからず、しかも磁性膜に加え
られる損傷が少ないヘッドスライダを提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、浮上レールの媒体対向面側の部分に浮上レールの長
手方向と垂直方向に複数の溝を形成し、溝と溝の間に所
定の曲率を有した凸部を設けるとともに、浮上レールの
長手方向に沿って凸部が周期的に繰り返される構成とし
た。
に、浮上レールの媒体対向面側の部分に浮上レールの長
手方向と垂直方向に複数の溝を形成し、溝と溝の間に所
定の曲率を有した凸部を設けるとともに、浮上レールの
長手方向に沿って凸部が周期的に繰り返される構成とし
た。
【０００７】又、浮上レールの媒体対向面に弾性体を介
してラッピングシートを設けた。
してラッピングシートを設けた。
【０００８】
【作用】この構成により、ヘッドスライダと磁気ディス
ク上に形成された不要な突起との衝突の際のダメージを
小さくすることができる。
ク上に形成された不要な突起との衝突の際のダメージを
小さくすることができる。
【０００９】
（実施例１）図１（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明の第１
の実施例におけるヘッドスライダを示す側面図及び正面
図である。図１（ａ）（ｂ）において、１はヘッドスラ
イダで、ヘッドスライダ１には、一対の互いに平行な浮
上レール２，３が設けられている。又浮上レール２，３
の媒体対向面側にはダイシングソー等の手段を用いて浮
上レール２，３の長手方向に対して垂直な方向に沿った
複数の溝４が周期的に形成されている。溝４と溝４の間
には凸部５が設けられており、しかも凸部５には円弧加
工が施されている。すなわち図２に示す様に構成されて
いる。本実施例では、溝４と溝４の間隔は３００μｍと
し、凸部５の曲率半径はＲ＝５００μｍに設定したが、
これら寸法関係は磁気ディスクの種類等によって異なら
せる必要がある。
の実施例におけるヘッドスライダを示す側面図及び正面
図である。図１（ａ）（ｂ）において、１はヘッドスラ
イダで、ヘッドスライダ１には、一対の互いに平行な浮
上レール２，３が設けられている。又浮上レール２，３
の媒体対向面側にはダイシングソー等の手段を用いて浮
上レール２，３の長手方向に対して垂直な方向に沿った
複数の溝４が周期的に形成されている。溝４と溝４の間
には凸部５が設けられており、しかも凸部５には円弧加
工が施されている。すなわち図２に示す様に構成されて
いる。本実施例では、溝４と溝４の間隔は３００μｍと
し、凸部５の曲率半径はＲ＝５００μｍに設定したが、
これら寸法関係は磁気ディスクの種類等によって異なら
せる必要がある。
【００１０】この様に本実施例は、浮上レール２，３に
設けられた複数の半円状の凸部５で、磁気ディスク上に
形成された不要な突起を除去するので、磁性膜や保護膜
に大きなダメージを与えにくく、ミッシングパルスエラ
ーの数が減少する。
設けられた複数の半円状の凸部５で、磁気ディスク上に
形成された不要な突起を除去するので、磁性膜や保護膜
に大きなダメージを与えにくく、ミッシングパルスエラ
ーの数が減少する。
【００１１】なお本実施例では、凸部５が設けられる間
隔を一定周期としたが、周期を異ならせても良いし、
又、凸部５の高さを異ならせても良い。更に本実施例で
は凸部５の曲率は全て同一としたが、凸部５によって曲
率を異ならせても良い。
隔を一定周期としたが、周期を異ならせても良いし、
又、凸部５の高さを異ならせても良い。更に本実施例で
は凸部５の曲率は全て同一としたが、凸部５によって曲
率を異ならせても良い。
【００１２】従来例では、突起の除去速度を向上させる
ために、浮上レールに溝を形成していたが、この様な構
造のヘッドスライダでは、溝の角部が鋭利であったため
に不具合が生じていた。しかしながら本実施例では、上
述の様に構成したことによって、磁気ディスク上に形成
された不要な突起を大きく（効率良く）、しかも磁性膜
及び保護膜にダメージを与えることなく除去することが
できる。
ために、浮上レールに溝を形成していたが、この様な構
造のヘッドスライダでは、溝の角部が鋭利であったため
に不具合が生じていた。しかしながら本実施例では、上
述の様に構成したことによって、磁気ディスク上に形成
された不要な突起を大きく（効率良く）、しかも磁性膜
及び保護膜にダメージを与えることなく除去することが
できる。
【００１３】図３は本発明の第１の実施例におけるヘッ
ドスライダの動作を示す側面図である。
ドスライダの動作を示す側面図である。
【００１４】図３において、ヘッドスライダ１は磁気デ
ィスク６上を一定の間隔を有して浮上している。そして
磁気ディスク６上に形成された不要な突起７を凸部５に
て削り取り、磁気ディスク６の表面を平坦にする。
ィスク６上を一定の間隔を有して浮上している。そして
磁気ディスク６上に形成された不要な突起７を凸部５に
て削り取り、磁気ディスク６の表面を平坦にする。
【００１５】（実施例２）図４（ａ）（ｂ）はそれぞれ
本発明の第２の実施例におけるヘッドスライダを示す側
面図及び正面図である。図４（ａ）（ｂ）において、８
はヘッドスライダで、ヘッドスライダ８には一対の互い
に平行な浮上レール９，１０が設けられている。又、浮
上レール９，１０の媒体対向面には、弾性体１１を介し
てラッピングテープ１２が取り付けられている。この時
弾性体１１としてはウレタンやプラスチック等が用いら
れるとともに、弾性体１１の膜厚としては２００〜５０
０μｍ程度が好ましい。ラッピングテープ１２には＃８
０００〜＃１５０００のものが用いられる。弾性体１１
とヘッドスライダ８の間、及び弾性体１１とラッピング
テープ１２の間はそれぞれ例えばエポキシ樹脂系の接着
剤で接合する。又、弾性体１１として、シート状のもの
を張り付けるのでなく、固まったら弾性を有する接着剤
等で構成しても良い。
本発明の第２の実施例におけるヘッドスライダを示す側
面図及び正面図である。図４（ａ）（ｂ）において、８
はヘッドスライダで、ヘッドスライダ８には一対の互い
に平行な浮上レール９，１０が設けられている。又、浮
上レール９，１０の媒体対向面には、弾性体１１を介し
てラッピングテープ１２が取り付けられている。この時
弾性体１１としてはウレタンやプラスチック等が用いら
れるとともに、弾性体１１の膜厚としては２００〜５０
０μｍ程度が好ましい。ラッピングテープ１２には＃８
０００〜＃１５０００のものが用いられる。弾性体１１
とヘッドスライダ８の間、及び弾性体１１とラッピング
テープ１２の間はそれぞれ例えばエポキシ樹脂系の接着
剤で接合する。又、弾性体１１として、シート状のもの
を張り付けるのでなく、固まったら弾性を有する接着剤
等で構成しても良い。
【００１６】この様に構成することによって、鋭利な角
部を有するラッピングテープ１２を用いても、弾性体１
１を介して取り付けていることによって、保護膜や磁性
膜に大きなダメージを与えることはない。
部を有するラッピングテープ１２を用いても、弾性体１
１を介して取り付けていることによって、保護膜や磁性
膜に大きなダメージを与えることはない。
【００１７】以上の様に構成された（実施例１），（実
施例２）の各ヘッドスライダについて以下その効果につ
いて説明する。
施例２）の各ヘッドスライダについて以下その効果につ
いて説明する。
【００１８】先ず各サンプルを作製する。サンプル１は
浮上レールに何も加工を施さない従来のヘッドスライダ
とし、、サンプル２は浮上レールに鋭利な角部を有する
溝を施した従来のヘッドスライダとし、サンプル３は図
１に示す（実施例１）のヘッドスライダ１とし、サンプ
ル４は図４に示す（実施例２）のヘッドスライダ８とし
た。各サンプルを用いて、それぞれ５０枚の磁気ディス
クの表面に形成されている不要な突起を除去させた。こ
の時磁気ディスクとしては３．５インチのものを用い、
保護膜としては炭素膜を用いた。又、ヘッドスライダと
磁気ディスク間の距離（浮上高さ）は３μインチとし
た。図５には各サンプルの磁気ディスク１枚当りのバー
ニッシュ完了時間の平均をまとめた。図５から判るよう
にサンプル２は一番完了時間が短い。又サンプル３，４
それぞれもサンプル２と同等ぐらいに完了時間は短い。
又図６には各サンプルで磁気ディスクをバーニッシュし
た後の磁気ディスク１枚当りのミッシングパルスエラー
の数をまとめた。図６から判るように、サンプル２がミ
ッシングパルスエラーの数が最も多く、（実施例１），
（実施例２）で説明したサンプル３，４は他のサンプル
に比較してミッシングパルスエラーの数が少ないことが
判る。
浮上レールに何も加工を施さない従来のヘッドスライダ
とし、、サンプル２は浮上レールに鋭利な角部を有する
溝を施した従来のヘッドスライダとし、サンプル３は図
１に示す（実施例１）のヘッドスライダ１とし、サンプ
ル４は図４に示す（実施例２）のヘッドスライダ８とし
た。各サンプルを用いて、それぞれ５０枚の磁気ディス
クの表面に形成されている不要な突起を除去させた。こ
の時磁気ディスクとしては３．５インチのものを用い、
保護膜としては炭素膜を用いた。又、ヘッドスライダと
磁気ディスク間の距離（浮上高さ）は３μインチとし
た。図５には各サンプルの磁気ディスク１枚当りのバー
ニッシュ完了時間の平均をまとめた。図５から判るよう
にサンプル２は一番完了時間が短い。又サンプル３，４
それぞれもサンプル２と同等ぐらいに完了時間は短い。
又図６には各サンプルで磁気ディスクをバーニッシュし
た後の磁気ディスク１枚当りのミッシングパルスエラー
の数をまとめた。図６から判るように、サンプル２がミ
ッシングパルスエラーの数が最も多く、（実施例１），
（実施例２）で説明したサンプル３，４は他のサンプル
に比較してミッシングパルスエラーの数が少ないことが
判る。
【００１９】この様に本実施例のヘッドスライダは、バ
ーニッシュ完了時間は短く、更にミッシングパルスエラ
ーの数を飛躍的に減少させることができる。
ーニッシュ完了時間は短く、更にミッシングパルスエラ
ーの数を飛躍的に減少させることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、浮上レールの媒体対向面側の
部分に浮上レールの長手方向と垂直方向に複数の溝を形
成し、溝と溝の間に所定の曲率を有した凸部を設けると
ともに、浮上レールの長手方向に沿って凸部が周期的に
繰り返される構成とするか、又、浮上レールの媒体対向
面に弾性体を介してラッピングシートを設けたことによ
り、ヘッドスライダと磁気ディスク上に形成された不要
な突起の衝突の際のダメージを小さくすることができる
ので、バーニッシュ時間がかからず、しかも磁性膜に加
えられる損傷が少なくなる。
部分に浮上レールの長手方向と垂直方向に複数の溝を形
成し、溝と溝の間に所定の曲率を有した凸部を設けると
ともに、浮上レールの長手方向に沿って凸部が周期的に
繰り返される構成とするか、又、浮上レールの媒体対向
面に弾性体を介してラッピングシートを設けたことによ
り、ヘッドスライダと磁気ディスク上に形成された不要
な突起の衝突の際のダメージを小さくすることができる
ので、バーニッシュ時間がかからず、しかも磁性膜に加
えられる損傷が少なくなる。
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施例におけるヘッド
スライダを示す側面図 （ｂ）は本発明の第１の実施例におけるヘッドスライダ
を示す正面図
スライダを示す側面図 （ｂ）は本発明の第１の実施例におけるヘッドスライダ
を示す正面図
【図２】本発明の第１の実施例におけるヘッドスライダ
の部分拡大図
の部分拡大図
【図３】本発明の第１の実施例におけるヘッドスライダ
の動作を示す側面図
の動作を示す側面図
【図４】（ａ）は本発明の第２の実施例におけるヘッド
スライダを示す側面図 （ｂ）は本発明の第２の実施例におけるヘッドスライダ
を示す正面図
スライダを示す側面図 （ｂ）は本発明の第２の実施例におけるヘッドスライダ
を示す正面図
【図５】本発明の各実施例におけるヘッドスライダと従
来例との性能比較試験に用いた各サンプルとバーニッシ
ュ完了時間の関係を示すグラフ
来例との性能比較試験に用いた各サンプルとバーニッシ
ュ完了時間の関係を示すグラフ
【図６】本発明の各実施例におけるヘッドスライダと従
来例との性能比較試験に用いた各サンプルとミッシング
パルスエラーの関係を示すグラフ
来例との性能比較試験に用いた各サンプルとミッシング
パルスエラーの関係を示すグラフ
１ ヘッドスライダ ２，３ 浮上レール ４ 溝 ５ 凸部 ８ ヘッドスライダ ９，１０ 浮上レール １１ 弾性体 １２ ラッピングテープ
Claims (2)
- 【請求項１】浮上レールを備え、磁気ディスク表面に形
成された突起を前記浮上レールにて取り除くヘッドスラ
イダであって、浮上レールの媒体対向面側の部分に前記
浮上レールの長手方向と垂直方向に複数の溝を形成し、
前記溝と溝の間に所定の曲率を有した凸部を設けるとと
もに、前記浮上レールの長手方向に沿って前記凸部が周
期的に繰り返されることを特徴とするヘッドスライダ。 - 【請求項２】浮上レールを備え、磁気ディスク表面に形
成された突起を前記浮上レールにて取り除くヘッドスラ
イダであって、浮上レールの媒体対向面に弾性体を介し
てラッピングシートを設けたことを特徴とするヘッドス
ライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212830A JPH0765342A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212830A JPH0765342A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765342A true JPH0765342A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16629070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5212830A Pending JPH0765342A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765342A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6396663B1 (en) | 1999-03-15 | 2002-05-28 | Fujitsu Limited | Head slider and recording disk drive |
| US6497021B2 (en) | 1999-01-14 | 2002-12-24 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for providing a low cost contact burnish slider |
| US6591478B2 (en) | 1997-03-03 | 2003-07-15 | Alps Electric Co., Ltd | Method of producing magnetic head |
| US7054108B2 (en) * | 2001-10-10 | 2006-05-30 | Seagate Technology Llc | Slider for a data storage device having improved stiction control with reduced interference with air bearing pressurization |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP5212830A patent/JPH0765342A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6591478B2 (en) | 1997-03-03 | 2003-07-15 | Alps Electric Co., Ltd | Method of producing magnetic head |
| US6497021B2 (en) | 1999-01-14 | 2002-12-24 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for providing a low cost contact burnish slider |
| US6396663B1 (en) | 1999-03-15 | 2002-05-28 | Fujitsu Limited | Head slider and recording disk drive |
| US7054108B2 (en) * | 2001-10-10 | 2006-05-30 | Seagate Technology Llc | Slider for a data storage device having improved stiction control with reduced interference with air bearing pressurization |
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