JPH076535A - サスペンジョン装置およびデータ貯蔵装置 - Google Patents
サスペンジョン装置およびデータ貯蔵装置Info
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- JPH076535A JPH076535A JP5220216A JP22021693A JPH076535A JP H076535 A JPH076535 A JP H076535A JP 5220216 A JP5220216 A JP 5220216A JP 22021693 A JP22021693 A JP 22021693A JP H076535 A JPH076535 A JP H076535A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】小型のヘッドおよびスライダに対して垂直方向
に所望の可撓性を与え同時に水平方向の屈曲を防止する
に十分な剛性を維持するサスペンジョン装置を提供す
る。 【構成】撓み部は極端に薄いシート材で作られる。撓み
部はロード・ビームに取り付けられる。ロード・ビーム
はバネ部分に食刻された溝を有する。ロード・ビームの
溝はロード・ビームがバネ部分で上向きまたは下向きに
屈曲することを可能にする。撓み部はジンバル部を支持
する可撓部を有する。スライダがジンバル部に取り付け
られる。撓み部は中心で食刻された溝を有する２つの脚
部材より成る。食刻された溝は撓み部が垂直方向に屈曲
するのを可能にし、かつジンバル部が適切にピッチング
およびローリングするのを可能にする。同時に、撓み部
は水平方向の屈曲に逆らう。
に所望の可撓性を与え同時に水平方向の屈曲を防止する
に十分な剛性を維持するサスペンジョン装置を提供す
る。 【構成】撓み部は極端に薄いシート材で作られる。撓み
部はロード・ビームに取り付けられる。ロード・ビーム
はバネ部分に食刻された溝を有する。ロード・ビームの
溝はロード・ビームがバネ部分で上向きまたは下向きに
屈曲することを可能にする。撓み部はジンバル部を支持
する可撓部を有する。スライダがジンバル部に取り付け
られる。撓み部は中心で食刻された溝を有する２つの脚
部材より成る。食刻された溝は撓み部が垂直方向に屈曲
するのを可能にし、かつジンバル部が適切にピッチング
およびローリングするのを可能にする。同時に、撓み部
は水平方向の屈曲に逆らう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はサスペンジョン装置に関
し、さらに具体的にはデータ貯蔵装置のためのヘッド・
サスペンジョン・アッセンブリに関する。
し、さらに具体的にはデータ貯蔵装置のためのヘッド・
サスペンジョン・アッセンブリに関する。
【０００２】
【従来の技術】直接アクセス型貯蔵装置（ＤＡＳＤ）ま
たはディスク・ドライブでは回転可能な磁気記録ディス
クの同芯状トラック上に情報を記録する。磁気ヘッドま
たは変換素子が所望の情報の読み取りまたは記録を行う
べくトラックからトラックへと移動される。典型的に
は、磁気ヘッドはディスクが回転するにつれてディスク
表面上方に浮上する空気ベアリング・スライダ上に置か
れる。最近提案されたあるディスクでは、スライダ（ま
たはキャリア）はディスク上の液体フイルムまたは液体
ベアリング上に乗っている。ヘッド・サスペンジョン・
アッセンブリはスライダを回転式アクチュエータまたは
線形アクチュエータに接続する。サスペンジョンはスラ
イダに対する支持を与え、スライダがその方位を適切に
調節するために回動することを可能にする。
たはディスク・ドライブでは回転可能な磁気記録ディス
クの同芯状トラック上に情報を記録する。磁気ヘッドま
たは変換素子が所望の情報の読み取りまたは記録を行う
べくトラックからトラックへと移動される。典型的に
は、磁気ヘッドはディスクが回転するにつれてディスク
表面上方に浮上する空気ベアリング・スライダ上に置か
れる。最近提案されたあるディスクでは、スライダ（ま
たはキャリア）はディスク上の液体フイルムまたは液体
ベアリング上に乗っている。ヘッド・サスペンジョン・
アッセンブリはスライダを回転式アクチュエータまたは
線形アクチュエータに接続する。サスペンジョンはスラ
イダに対する支持を与え、スライダがその方位を適切に
調節するために回動することを可能にする。
【０００３】ヘッド・サスペンジョン・アッセンブリは
典型的にはアクチュエータ・アームに取り付けられたロ
ード・ビームと、ロード・ビームに取り付けられた撓み
部と、撓み部に取り付けられたスライダより成る。この
ようなサスペンジョン・システムの例は米国特許第３９
３１６４１号、第４１６７７６５号、第４２６１０２４
号、第４８０７０５４号、第４８６０１３７号、第４８
６８６９４号、第４８８４１５４号、第４９９６６１６
号、ドイツ特許第ＤＥ１９０９２４５号、欧州特許出願
第９０３１４４３４．３号およびＩＢＭテクニカル・デ
ィスクロージャ・ブレティン第３２巻第３Ａ号（１９８
９年８月１９日）に見られる。
典型的にはアクチュエータ・アームに取り付けられたロ
ード・ビームと、ロード・ビームに取り付けられた撓み
部と、撓み部に取り付けられたスライダより成る。この
ようなサスペンジョン・システムの例は米国特許第３９
３１６４１号、第４１６７７６５号、第４２６１０２４
号、第４８０７０５４号、第４８６０１３７号、第４８
６８６９４号、第４８８４１５４号、第４９９６６１６
号、ドイツ特許第ＤＥ１９０９２４５号、欧州特許出願
第９０３１４４３４．３号およびＩＢＭテクニカル・デ
ィスクロージャ・ブレティン第３２巻第３Ａ号（１９８
９年８月１９日）に見られる。
【０００４】ディスク・ドライブはそのサイズが段々小
さくなってきており、同時にデータ貯蔵容量はかなり大
きくなっている。ディスクのデータ記録密度は著しく増
大しておりデータ・トラックは一層小さくなりかつ互い
に接近している。記録ヘッドとスライダのサイズも減少
した。これら軽量のヘッドおよびスライダは、それを支
持するための一層可撓性のサスペンジョンを必要とす
る。従来のディスク・ドライブに使われていた大型のサ
スペンジョンは堅すぎて新型の小型のスライダの位置調
整には向かない。サスペンジョンは垂直方向に可撓性で
あるとともにスライダのピッチングとローリングを可能
としなければならず、同時にサスペンジョンは不所望の
側面移動を避けるために水平または横方向に剛性でなけ
ればならない。
さくなってきており、同時にデータ貯蔵容量はかなり大
きくなっている。ディスクのデータ記録密度は著しく増
大しておりデータ・トラックは一層小さくなりかつ互い
に接近している。記録ヘッドとスライダのサイズも減少
した。これら軽量のヘッドおよびスライダは、それを支
持するための一層可撓性のサスペンジョンを必要とす
る。従来のディスク・ドライブに使われていた大型のサ
スペンジョンは堅すぎて新型の小型のスライダの位置調
整には向かない。サスペンジョンは垂直方向に可撓性で
あるとともにスライダのピッチングとローリングを可能
としなければならず、同時にサスペンジョンは不所望の
側面移動を避けるために水平または横方向に剛性でなけ
ればならない。
【０００５】伝統的に、この問題はますます薄型のサス
ペンジョン部材を用い、幅対厚みの比をそれに比例して
大きくすることにより解決されてきた。しかし材料を加
工するに必要な厚みの下限にまで達しつつある。鋼は
０．０２５ｍｍの厚みまで正確に加工できる。比較のた
めに述べると、紙片は０．１ｍｍの厚みまで加工でき
る。厚み０．０２５ｍｍ以下では、鋼の粒構造における
不規則性が厚みに大きな変動を引き起こし、その材料は
サスペンジョンに使うには不向きになる。
ペンジョン部材を用い、幅対厚みの比をそれに比例して
大きくすることにより解決されてきた。しかし材料を加
工するに必要な厚みの下限にまで達しつつある。鋼は
０．０２５ｍｍの厚みまで正確に加工できる。比較のた
めに述べると、紙片は０．１ｍｍの厚みまで加工でき
る。厚み０．０２５ｍｍ以下では、鋼の粒構造における
不規則性が厚みに大きな変動を引き起こし、その材料は
サスペンジョンに使うには不向きになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、小型のヘッドおよびスライダに対して垂直方向に所
望の可撓性を与え同時に水平方向の屈曲を防止するに十
分な剛性を維持するサスペンジョン装置を提供するにあ
る。
は、小型のヘッドおよびスライダに対して垂直方向に所
望の可撓性を与え同時に水平方向の屈曲を防止するに十
分な剛性を維持するサスペンジョン装置を提供するにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、撓み部
は極端に薄いシート材で作られる。撓み部はロード・ビ
ームに取り付けられる。ロード・ビームはバネ部分に食
刻された溝を有する。ロード・ビームの溝はロード・ビ
ームがバネ部分で上向きまたは下向きに屈曲することを
可能にする。撓み部はジンバル部を支持する可撓部を有
する。スライダがジンバル部に取り付けられる。撓み部
は中心で食刻された溝を有する２つの脚部材より成る。
食刻された溝は撓み部が垂直方向に屈曲するのを可能に
し、かつジンバル部が適切にピッチングおよびローリン
グするのを可能にする。同時に、撓み部は水平方向の屈
曲に逆らう。
は極端に薄いシート材で作られる。撓み部はロード・ビ
ームに取り付けられる。ロード・ビームはバネ部分に食
刻された溝を有する。ロード・ビームの溝はロード・ビ
ームがバネ部分で上向きまたは下向きに屈曲することを
可能にする。撓み部はジンバル部を支持する可撓部を有
する。スライダがジンバル部に取り付けられる。撓み部
は中心で食刻された溝を有する２つの脚部材より成る。
食刻された溝は撓み部が垂直方向に屈曲するのを可能に
し、かつジンバル部が適切にピッチングおよびローリン
グするのを可能にする。同時に、撓み部は水平方向の屈
曲に逆らう。
【０００８】
【実施例】図１および図２はそれぞれ本発明のディスク
・ドライブ装置の上面図および側面図であり、参照番号
１０で示される。装置１０はスピンドル１４に装着され
た複数の磁気記録ディスク１２を有する。ディスク１２
はこの分野で知られている微粒子または薄膜の記録ディ
スクでもよく、また最近提案された液体ベアリング型の
ものでもよい。スピンドル１４はスピンドル・モータ１
６に取り付けられ、モータ１６はスピンドル１４および
ディスク１２を回転させる。台２０にモータ１６が取り
付けられる。シャフト３０が台２０に取り付けられる。
ハブ・アッセンブリ３２がシャフト３０の回りを回転し
複数のアクチュエータ・アームを支持している。堆積さ
れたアーム３４は櫛といわれることもある。回転型ボイ
ス・コイル・モータが台２０とアーム３４の後部に取り
付けられている。
・ドライブ装置の上面図および側面図であり、参照番号
１０で示される。装置１０はスピンドル１４に装着され
た複数の磁気記録ディスク１２を有する。ディスク１２
はこの分野で知られている微粒子または薄膜の記録ディ
スクでもよく、また最近提案された液体ベアリング型の
ものでもよい。スピンドル１４はスピンドル・モータ１
６に取り付けられ、モータ１６はスピンドル１４および
ディスク１２を回転させる。台２０にモータ１６が取り
付けられる。シャフト３０が台２０に取り付けられる。
ハブ・アッセンブリ３２がシャフト３０の回りを回転し
複数のアクチュエータ・アームを支持している。堆積さ
れたアーム３４は櫛といわれることもある。回転型ボイ
ス・コイル・モータが台２０とアーム３４の後部に取り
付けられている。
【０００９】複数のヘッド・サスペンジョン・アッセン
ブリ５０がアーム３４に取り付けられている。複数の変
換ヘッド５２がサスペンジョン・アッセンブリ５０に取
り付けられている。ヘッド５０はディスク１２と電磁的
に結合するように、そしてディスク１２からデータを読
み取ったりそこにデータを書き込んだりできるようにデ
ィスク１２の近くに置かれている。モータ４０は、ヘッ
ド・サスペンジョン・アッセンブリ５０をディスク１２
上の所望の位置に移動するためにシャフト３０の回りに
アーム３４を回転させる。シャフト３０、ハブ３２、ア
ーム３４およびモータ４０は回転型アクチュエータ・ア
ッセンブリと呼ばれる。
ブリ５０がアーム３４に取り付けられている。複数の変
換ヘッド５２がサスペンジョン・アッセンブリ５０に取
り付けられている。ヘッド５０はディスク１２と電磁的
に結合するように、そしてディスク１２からデータを読
み取ったりそこにデータを書き込んだりできるようにデ
ィスク１２の近くに置かれている。モータ４０は、ヘッ
ド・サスペンジョン・アッセンブリ５０をディスク１２
上の所望の位置に移動するためにシャフト３０の回りに
アーム３４を回転させる。シャフト３０、ハブ３２、ア
ーム３４およびモータ４０は回転型アクチュエータ・ア
ッセンブリと呼ばれる。
【００１０】図３、図４および図５はそれぞれヘッド・
アッセンブリ５０の上面図、側面図および底面図を示
す。アッセンブリ５０は支持板１００、ロード・ビーム
１０２、撓み部１０４およびスライダ１０６より成る。
スライダ１０６は流体ベアリング・スライダであり、使
用されるディスクの型に応じて空気ベアリング・スライ
ダでも液体ベアリング・スライダでもよい。支持板１０
０はロード・ビーム１０２をアーム３４に接続するため
の良好な支持面を与えるためにアーム３４とロード・ビ
ーム１０２の間に置かれる。支持板１００は好ましくは
ステンレス・スチールのごとき剛性の材料で作られる。
アーム３４および支持板１００はタップ・コネクタもし
くはリベット・コネクタ１１２または同等の取り付け具
で一体に取り付けられている。支持板１００とロード・
ビーム１０２は複数の溶着部１１３により一体に取り付
けられている。
アッセンブリ５０の上面図、側面図および底面図を示
す。アッセンブリ５０は支持板１００、ロード・ビーム
１０２、撓み部１０４およびスライダ１０６より成る。
スライダ１０６は流体ベアリング・スライダであり、使
用されるディスクの型に応じて空気ベアリング・スライ
ダでも液体ベアリング・スライダでもよい。支持板１０
０はロード・ビーム１０２をアーム３４に接続するため
の良好な支持面を与えるためにアーム３４とロード・ビ
ーム１０２の間に置かれる。支持板１００は好ましくは
ステンレス・スチールのごとき剛性の材料で作られる。
アーム３４および支持板１００はタップ・コネクタもし
くはリベット・コネクタ１１２または同等の取り付け具
で一体に取り付けられている。支持板１００とロード・
ビーム１０２は複数の溶着部１１３により一体に取り付
けられている。
【００１１】矢印１０８は横方向の軸を示し、矢印１０
９は長手方向の軸を示し、矢印１１０は垂直方向の軸を
示す。
９は長手方向の軸を示し、矢印１１０は垂直方向の軸を
示す。
【００１２】ロード・ビーム１０２は薄片で出来てい
る。好ましい実施例では、この材料は０．０３乃至０．
０８ｍｍの厚みの範囲にあるステンレス・スチールであ
る。ロード・ビーム１０２は垂直および水平方向の屈曲
に抗するためにその長さ方向に沿って剛性であるのが望
ましい。垂直方向のこわさを増すために、１対のフラン
ジ部材１２０がビーム１０２の縁に沿って屈曲されてい
る。軸１２２が支持板１００の近くで横方向にロード・
ビーム１００を通過している。ロード・ビーム１０２は
その長さ方向に沿って剛性であることが望ましいが、ビ
ーム１０２は動作中スライダ１０６により発生される空
気ベアリング力を補償するための垂直方向のバネ力を与
えることが必要である。ビーム１０２が軸１２２の回り
に僅かに屈曲するのを可能にするために、フランジ１２
０は軸１２２の近傍位置まで延びていない。軸１２２の
近傍のビーム１０２のこの部分はバネ部として知られて
いる。ビーム１０２はバネ部１２４で軸１２２に沿って
回転的に屈曲することにより僅かに上下に移動すること
が出来る。
る。好ましい実施例では、この材料は０．０３乃至０．
０８ｍｍの厚みの範囲にあるステンレス・スチールであ
る。ロード・ビーム１０２は垂直および水平方向の屈曲
に抗するためにその長さ方向に沿って剛性であるのが望
ましい。垂直方向のこわさを増すために、１対のフラン
ジ部材１２０がビーム１０２の縁に沿って屈曲されてい
る。軸１２２が支持板１００の近くで横方向にロード・
ビーム１００を通過している。ロード・ビーム１０２は
その長さ方向に沿って剛性であることが望ましいが、ビ
ーム１０２は動作中スライダ１０６により発生される空
気ベアリング力を補償するための垂直方向のバネ力を与
えることが必要である。ビーム１０２が軸１２２の回り
に僅かに屈曲するのを可能にするために、フランジ１２
０は軸１２２の近傍位置まで延びていない。軸１２２の
近傍のビーム１０２のこの部分はバネ部として知られて
いる。ビーム１０２はバネ部１２４で軸１２２に沿って
回転的に屈曲することにより僅かに上下に移動すること
が出来る。
【００１３】撓み部１０４は複数の溶着部１３０により
ロード・ビーム１０２に取り付けられている。開口１３
１がロード・ビーム１０２と撓み部１０４の両者を通っ
て延びている。溶着プロセスの間、ロード・ビーム１０
２と撓み部１０４の適正な整列を保証するためにピンが
開口１３１に一時的に挿入される。溶着の完了後ピンは
取り除かれる。撓み部１０４は好ましくはステンレス・
スチールのごとき薄い金属シートで作られる。シートは
出来る限り薄くすべきである。良好な実施例では、厚み
の下限は製造プロセスの拘束で決まる。ステンレス・ス
チールの場合、厚みの下限は０．０２ｍｍ乃至０．０３
ｍｍ、好ましくは０．０２５ｍｍである。
ロード・ビーム１０２に取り付けられている。開口１３
１がロード・ビーム１０２と撓み部１０４の両者を通っ
て延びている。溶着プロセスの間、ロード・ビーム１０
２と撓み部１０４の適正な整列を保証するためにピンが
開口１３１に一時的に挿入される。溶着の完了後ピンは
取り除かれる。撓み部１０４は好ましくはステンレス・
スチールのごとき薄い金属シートで作られる。シートは
出来る限り薄くすべきである。良好な実施例では、厚み
の下限は製造プロセスの拘束で決まる。ステンレス・ス
チールの場合、厚みの下限は０．０２ｍｍ乃至０．０３
ｍｍ、好ましくは０．０２５ｍｍである。
【００１４】撓み部１０４は１対の長手方向脚または側
部１４０と端部１４２により取り囲まれた開口１３４を
有する。タブ部または舌部１４４が端部１４２から開口
１３４内へ延びている。脚部１４０は可撓部と呼ばれ、
タブ１４４は舌部またはジンバル部と呼ばれる。タブ１
４４はディンプル１５０をその上面に圧着されている。
ディンプル１５０はその上面がロード・ビーム１０２か
ら延びているロード支持部材１５２と係合している。
部１４０と端部１４２により取り囲まれた開口１３４を
有する。タブ部または舌部１４４が端部１４２から開口
１３４内へ延びている。脚部１４０は可撓部と呼ばれ、
タブ１４４は舌部またはジンバル部と呼ばれる。タブ１
４４はディンプル１５０をその上面に圧着されている。
ディンプル１５０はその上面がロード・ビーム１０２か
ら延びているロード支持部材１５２と係合している。
【００１５】スライダ１０６は適当な接着剤によりタブ
部１４４の底面に取り付けられている。磁気変換素子１
６０がスライダ１０６に取り付けられている。スライダ
１０６は、スライダがスライダと回転しているディスク
の間に流体ベアリングを形成することが出来るように空
気力学的表面を有する。電線１６４が素子１６０につな
がれ、適当な接着剤でロード・ビームにとめられる。
部１４４の底面に取り付けられている。磁気変換素子１
６０がスライダ１０６に取り付けられている。スライダ
１０６は、スライダがスライダと回転しているディスク
の間に流体ベアリングを形成することが出来るように空
気力学的表面を有する。電線１６４が素子１６０につな
がれ、適当な接着剤でロード・ビームにとめられる。
【００１６】スライダ１０６とタブ１４４はディンプル
１５０とロード支持部材１５２の間の接触点の回りで回
動することによりジンバル運動する。これによりスライ
ダ１０６はピッチング（横方向軸１０８の回りの回転）
およびローリング（長手方向軸の回りの回転）をするこ
とが出来る。この運動を達成するためには、脚部１４０
は垂直方向に屈曲できることが必要である。
１５０とロード支持部材１５２の間の接触点の回りで回
動することによりジンバル運動する。これによりスライ
ダ１０６はピッチング（横方向軸１０８の回りの回転）
およびローリング（長手方向軸の回りの回転）をするこ
とが出来る。この運動を達成するためには、脚部１４０
は垂直方向に屈曲できることが必要である。
【００１７】図６は撓み部１０４の上面図である。脚部
１４０の各々は脚部１４０の中央部分に沿って長手方向
に走っている溝または凹所２００を有する。溝２００は
好ましくは撓み部１０４内にフォトリソグラフで食刻さ
れる。撓み部の材料となる金属のシートがフォトレジス
トで被覆される。フォトレジストは撓み部１０４の所望
の形状のパターンで両側から露光される。しかし、片側
だけが溝部２００のパターンで露光される。フォトレジ
ストは現像され、露光部分が除去される。ついでシート
はシートの厚みの半分を各側面から酸で食刻するに十分
な時間酸浴中に置かれる。その結果、撓み部は完全にシ
ートから分離され撓み部の片面の溝は材料の厚みの約半
分の深さに食刻される。代案として、溝２００は任意の
深さに別々に作られてもよい。好ましい実施例では、溝
は撓み部１０４の厚みの４０ー８０％であり、理想的に
は６０％である。
１４０の各々は脚部１４０の中央部分に沿って長手方向
に走っている溝または凹所２００を有する。溝２００は
好ましくは撓み部１０４内にフォトリソグラフで食刻さ
れる。撓み部の材料となる金属のシートがフォトレジス
トで被覆される。フォトレジストは撓み部１０４の所望
の形状のパターンで両側から露光される。しかし、片側
だけが溝部２００のパターンで露光される。フォトレジ
ストは現像され、露光部分が除去される。ついでシート
はシートの厚みの半分を各側面から酸で食刻するに十分
な時間酸浴中に置かれる。その結果、撓み部は完全にシ
ートから分離され撓み部の片面の溝は材料の厚みの約半
分の深さに食刻される。代案として、溝２００は任意の
深さに別々に作られてもよい。好ましい実施例では、溝
は撓み部１０４の厚みの４０ー８０％であり、理想的に
は６０％である。
【００１８】図７は脚部１４０の１つの横断面図であ
る。脚部１４０の幅はＷで示され、溝２００の幅はｂ＊
Ｗ（ただし０＜ｂ＜１）で示され、脚部１４０の厚みは
Ｔで示され、溝２００の脚部１４０の上面からの深さは
ａ＊Ｔ（ただし０＜ａ＜１）で示される。垂直方向の中
性軸ＸＸ（重心）の位置はＣで示される。脚部１４０が
中性軸ＸＸの回りに回転することにより垂直方向に屈曲
する能力はＸＸ軸（ＩＸＸ）の回りの慣性モーメントに
より決まる。慣性モーメントが小さいほど、部材は一層
可撓性になりまたは一層屈曲しやすい。脚部１４０に対
して次式が成り立つ。
る。脚部１４０の幅はＷで示され、溝２００の幅はｂ＊
Ｗ（ただし０＜ｂ＜１）で示され、脚部１４０の厚みは
Ｔで示され、溝２００の脚部１４０の上面からの深さは
ａ＊Ｔ（ただし０＜ａ＜１）で示される。垂直方向の中
性軸ＸＸ（重心）の位置はＣで示される。脚部１４０が
中性軸ＸＸの回りに回転することにより垂直方向に屈曲
する能力はＸＸ軸（ＩＸＸ）の回りの慣性モーメントに
より決まる。慣性モーメントが小さいほど、部材は一層
可撓性になりまたは一層屈曲しやすい。脚部１４０に対
して次式が成り立つ。
【００１９】
【式１】 IXX=W*T*[C2(1-a*b)-C*T*(1-a2*b)+T2*(1-a3*b)/3] ただし Ｃ＝T*(1-a2*b)／2*(1-a*b) 脚部１４０が軸ＹＹの回りに屈曲する能力は軸ＹＹの回
りの慣性モーメント（ＩＹＹ）で決まる。脚部１４０に
対して、次式が成り立つ。
りの慣性モーメント（ＩＹＹ）で決まる。脚部１４０に
対して、次式が成り立つ。
【００２０】
【式２】IYY=T*W3*(1-a*b3)/12 前述のごとく、脚部１４０はスライダ１０６がジンバル
運動（ピッチングおよびローリング）出来るように垂直
方向（軸ＸＸの回りの回転）の屈曲を可能にするに十分
な可撓性を持たなければならない。同時に、脚部１４０
は水平方向（軸ＹＹの回りの回転）の屈曲に抗するに十
分なように剛性でなければならない。食刻された溝２０
０は、溝を持たない脚部の慣性モーメントとほとんど変
わらないＩＹＹを維持しつつＩＸＸを減らすことによ
り、これを達成する。
運動（ピッチングおよびローリング）出来るように垂直
方向（軸ＸＸの回りの回転）の屈曲を可能にするに十分
な可撓性を持たなければならない。同時に、脚部１４０
は水平方向（軸ＹＹの回りの回転）の屈曲に抗するに十
分なように剛性でなければならない。食刻された溝２０
０は、溝を持たない脚部の慣性モーメントとほとんど変
わらないＩＹＹを維持しつつＩＸＸを減らすことによ
り、これを達成する。
【００２１】図８はＩＸＸ対脚部１４０の溝の深さを示
すグラフである。溝の深さは脚部の厚みの１部分ａとし
て示される。５つの異なる溝幅が脚部の幅Ｗの１部分と
して示される。溝深さ０は溝２００を持たない脚部１４
０に相当する。良好な実施例では、溝幅ｂ＊Ｗは脚部１
４０の幅Ｗの２０ー８０％（理想的には５０％）の範囲
にあるべきであり、溝深さａ＊Ｔは脚部１４０の厚みＴ
の４０ー８５％（理想的６０％）の範囲にあるべきであ
る。これにより、溝のない部分のＩＸＸの４０ー９０％
（理想的には７０％）という所望の範囲のＩＸＸが与え
られる。本発明者等は本発明の付加的な利点を見いだし
た。４０ー８５％の溝深さの範囲では、各曲線は本質的
に平坦でありＩＸＸはほとんど変化しないことに注目さ
れたい。このことは、撓み部の製造段階で、食刻深さに
対する公差の限界が極めて大きいことを意味する。例え
ば、理想的なケースとして溝を６０％の深さに食刻する
場合を考える。この場合、４０ー８５％の範囲内で溝が
食刻されれば、性能はほとんど同じであり、受容出来
る。これにより製造プロセスが容易になり一層経済的に
なる。
すグラフである。溝の深さは脚部の厚みの１部分ａとし
て示される。５つの異なる溝幅が脚部の幅Ｗの１部分と
して示される。溝深さ０は溝２００を持たない脚部１４
０に相当する。良好な実施例では、溝幅ｂ＊Ｗは脚部１
４０の幅Ｗの２０ー８０％（理想的には５０％）の範囲
にあるべきであり、溝深さａ＊Ｔは脚部１４０の厚みＴ
の４０ー８５％（理想的６０％）の範囲にあるべきであ
る。これにより、溝のない部分のＩＸＸの４０ー９０％
（理想的には７０％）という所望の範囲のＩＸＸが与え
られる。本発明者等は本発明の付加的な利点を見いだし
た。４０ー８５％の溝深さの範囲では、各曲線は本質的
に平坦でありＩＸＸはほとんど変化しないことに注目さ
れたい。このことは、撓み部の製造段階で、食刻深さに
対する公差の限界が極めて大きいことを意味する。例え
ば、理想的なケースとして溝を６０％の深さに食刻する
場合を考える。この場合、４０ー８５％の範囲内で溝が
食刻されれば、性能はほとんど同じであり、受容出来
る。これにより製造プロセスが容易になり一層経済的に
なる。
【００２２】図９はＩＹＹ対脚部１４０の溝深さのグラ
フを示す。前述の良好な実施例では、溝幅ｂ＊Ｗは脚部
１４０の幅Ｗの２０ー８０％（理想的には５０％）の範
囲にあり、溝深さａ＊Ｔは脚部１４０の厚みＴの４０ー
８５％（理想的には６０％）の範囲内にある。これによ
り、溝のない部分のＩＹＹの６０ー９９％（理想的には
９３％）という所望の範囲のＩＹＹが与えられる。
フを示す。前述の良好な実施例では、溝幅ｂ＊Ｗは脚部
１４０の幅Ｗの２０ー８０％（理想的には５０％）の範
囲にあり、溝深さａ＊Ｔは脚部１４０の厚みＴの４０ー
８５％（理想的には６０％）の範囲内にある。これによ
り、溝のない部分のＩＹＹの６０ー９９％（理想的には
９３％）という所望の範囲のＩＹＹが与えられる。
【００２３】図１０は本発明のヘッド・サスペンジョン
・アッセンブリの他の実施例を示し、参照番号３００で
示される。装置３００の各要素は装置５０の要素とほぼ
同じであり、ダッシュ付きの番号で示されている。装置
３００での唯一の相違点はロード・ビーム１０２'のば
ね部１２４’に溝３０２を有する点である。溝３０２は
軸１２２’に沿って延びている。溝３０２は溝２００に
関連して上に述べたと同様のプロセスでフォトリソグラ
フでビーム１０２’内に食刻される。溝３０２は軸１２
２’の回りの慣性モーメントを減らしビーム１０２’が
バネ部１２４’において一層可撓性を持つようにする。
所望の可撓性の量は上述の式で与えられる慣性モーメン
トにより決まり、これは溝の深さと長さ（ビーム１０
２’の幅を横切る長さ）に依存する。良好な実施例で
は、溝の深さは総厚の４０ー８５％（理想的には６０
％）の範囲にあり、溝の幅は総幅の２０ー８０％（理想
的には５０％）の範囲にある。
・アッセンブリの他の実施例を示し、参照番号３００で
示される。装置３００の各要素は装置５０の要素とほぼ
同じであり、ダッシュ付きの番号で示されている。装置
３００での唯一の相違点はロード・ビーム１０２'のば
ね部１２４’に溝３０２を有する点である。溝３０２は
軸１２２’に沿って延びている。溝３０２は溝２００に
関連して上に述べたと同様のプロセスでフォトリソグラ
フでビーム１０２’内に食刻される。溝３０２は軸１２
２’の回りの慣性モーメントを減らしビーム１０２’が
バネ部１２４’において一層可撓性を持つようにする。
所望の可撓性の量は上述の式で与えられる慣性モーメン
トにより決まり、これは溝の深さと長さ（ビーム１０
２’の幅を横切る長さ）に依存する。良好な実施例で
は、溝の深さは総厚の４０ー８５％（理想的には６０
％）の範囲にあり、溝の幅は総幅の２０ー８０％（理想
的には５０％）の範囲にある。
【００２４】図１１および図１２は本発明の脚部の他の
実施例を示し、参照番号３００で示される。脚部３００
はその片面に１対の溝３０２を有する。
実施例を示し、参照番号３００で示される。脚部３００
はその片面に１対の溝３０２を有する。
【００２５】図１３および図１４は本発明の脚部の他の
実施例を示し、参照番号３１０で示される。脚部３１０
はその片面から延びる１本の溝３１２と他方の面に形成
された１対の溝３１４を有する。
実施例を示し、参照番号３１０で示される。脚部３１０
はその片面から延びる１本の溝３１２と他方の面に形成
された１対の溝３１４を有する。
【００２６】図１５および図１６は本発明の脚部の他の
実施例を示し、参照番号３２０で示される。脚部３２０
は千鳥状に３列に配列された複数の溝３２２を有する。
脚部３００、３１０および３２０に示す全ての溝は前述
の溝２００と同様な方法で形成される。
実施例を示し、参照番号３２０で示される。脚部３２０
は千鳥状に３列に配列された複数の溝３２２を有する。
脚部３００、３１０および３２０に示す全ての溝は前述
の溝２００と同様な方法で形成される。
【００２７】本発明は他の形式で実施されてもよい。食
刻部は種々の形状を得るよう所望のパターンで形成され
てよい。例えば、凹所は溝以外の形状であってもよい。
食刻された凹所は撓み部に対して非対称に配列されても
よい。
刻部は種々の形状を得るよう所望のパターンで形成され
てよい。例えば、凹所は溝以外の形状であってもよい。
食刻された凹所は撓み部に対して非対称に配列されても
よい。
【００２８】
【発明の効果】本発明のよれば、撓み部はジンバル部を
支持する２つの脚部を有し、２つのなが手方向の溝が脚
部の中央部分内に形成されているので、水平方向の屈曲
を阻止しつつ十分な垂直方向の屈曲を与えるヘッド・サ
スペンジョン用の撓み部が提供される。
支持する２つの脚部を有し、２つのなが手方向の溝が脚
部の中央部分内に形成されているので、水平方向の屈曲
を阻止しつつ十分な垂直方向の屈曲を与えるヘッド・サ
スペンジョン用の撓み部が提供される。
【図１】本発明のディスク・ドライブ装置の上面図であ
る。
る。
【図２】図１の装置の側面図である。
【図３】本発明のサスペンジョン装置の上面図である。
【図４】図３の装置の側面図である。
【図５】図３の装置の底面図である。
【図６】本発明の撓み部の上面図である。
【図７】図６の撓み部の１部分の横断面図である。
【図８】本発明の撓み部の慣性モーメントＩＸＸ対溝深
さのグラフである。
さのグラフである。
【図９】本発明の撓み部の慣性モーメントＩＹＹ対溝深
さのグラフである。
さのグラフである。
【図１０】本発明のサスペンジョン装置の他の実施例の
上面図である。
上面図である。
【図１１】本発明の撓み部の他の実施例の上面図であ
る。
る。
【図１２】図１１の撓み部の横断面図である。
【図１３】本発明の撓み部の他の実施例の上面図であ
る。
る。
【図１４】図１３の撓み部の横断面図である。
【図１５】本発明の撓み部の他の実施例の上面図であ
る。
る。
【図１６】図１５の撓み部の横断面図である。
１０ ディスク・ドライブ装置 １２ 磁気記録ディスク １４ スピンドル １６ スピンドル・モータ ２０ 台 ３０ シャフト ３２ ハブ・アッセンブリ ３４ アーム ５０ ヘッド・サスペンジョン・アッセンブ
リ ５２ 変換ヘッド １００ 支持板 １０２ ロード・ビーム １０４ 撓み部 １０６ スライダ １２０ フランジ １３１ 開口 １３４ 開口 １４０ 脚部 １４４ タブ部 １５０ ディンプル １５２ ロード支持部材
リ ５２ 変換ヘッド １００ 支持板 １０２ ロード・ビーム １０４ 撓み部 １０６ スライダ １２０ フランジ １３１ 開口 １３４ 開口 １４０ 脚部 １４４ タブ部 １５０ ディンプル １５２ ロード支持部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アラン・ポール・ジョルギ アメリカ合衆国カリフォルニア州キュパー チノ ウイルキンソン・アベニユー11070
Claims (13)
- 【請求項１】支持部材と、 ロード部材と、 前記ロード部材を前記支持部材につなぐためのサスペン
ジョン部材と、 より成り、 前記サスペンジョン部材はその表面に凹所を形成されて
いることを特徴とするサスペンジョン装置 - 【請求項２】前記ロード部材は変換器ヘッドである請求
項１のサスペンジョン装置 - 【請求項３】前記サスペンジョン部材は撓み部である請
求項１のサスペンジョン装置。 - 【請求項４】前記サスペンジョン部材はヘッド・サスペ
ンジョン・アッセンブリのロード・ビームである請求項
１のサスペンジョン装置。 - 【請求項５】前記凹所は食刻プロセスで形成したもので
ある請求項１のサスペンジョン装置。 - 【請求項６】ロード・ビームと、 前記ロード・ビームにつながれ、表面に溝が形成された
２つの側部および一つの端部に取り囲まれた開口と前記
端部から前記開口内へ延びているタブ部とを有する撓み
部と、 前記タブ部に取り付けられた変換器アッセンブリと、 より成るサスペンジョン装置。 - 【請求項７】前記溝の深さおよび幅は前記側部の横方向
の軸の回りの慣性モーメントが溝を持たない側部の横方
向の軸の回りの慣性モーメントの４０ー９０％の範囲に
入るように設計されている請求項６のサスペンジョン装
置。 - 【請求項８】前記溝の深さは撓み部の厚みの４０ー８５
％の範囲にある請求項６のサスペンジョン装置。 - 【請求項９】前記溝の幅は前記側部の幅の２０ー８０％
の範囲にある請求項６のサスペンジョン装置。 - 【請求項１０】前記溝はフォトリソグラフによる食刻プ
ロセスで形成したものである請求項６のサスペンジョン
装置。 - 【請求項１１】ロード・ビームと、 前記ロード・ビームにつながれ、表面に溝が形成された
２つの側部および一つの端部に取り囲まれた開口と前記
端部から前記開口内へ延びているタブ部とを有する撓み
部と、 前記タブ部に取り付けられた変換器アッセンブリと、 前記変換器アッセンブリに近接して置かれたデータ記録
用ディスクと、 前記ディスクを回転させるため前記ディスクにつながれ
た回転手段と、 前記変換器アッセンブリを前記ディスクに対して移動さ
せるため前記ロード・ビームにつながれた移動手段と、 より成るデータ貯蔵装置。 - 【請求項１２】表面に溝を形成されたバネ部を有するロ
ード・ビームと、 前記ロード・ビームにつながれた撓み部と、 前記撓み部に取り付けられた変換器アッセンブリと、 より成るサスペンジョン装置。 - 【請求項１３】表面に溝を形成されたバネ部を有するロ
ード・ビームと、 前記ロード・ビームにつながれた撓み部と、 前記撓み部に取り付けられた変換器アッセンブリと、 前記変換器アッセンブリに近接して置かれたデータ記録
用ディスクと、 前記ディスクを回転させるため前記ディスクにつながれ
た回転手段と、 前記変換器アッセンブリを前記ディスクに対して移動さ
せるため前記ロード・ビームにつながれた移動手段と、 より成るデータ貯蔵装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/974,043 US5353181A (en) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | Etched suspension system |
| US07/974043 | 1992-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH076535A true JPH076535A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=25521506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5220216A Pending JPH076535A (ja) | 1992-11-10 | 1993-09-03 | サスペンジョン装置およびデータ貯蔵装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5353181A (ja) |
| JP (1) | JPH076535A (ja) |
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