JPH0765767A - 走査電子顕微鏡用試料台 - Google Patents
走査電子顕微鏡用試料台Info
- Publication number
- JPH0765767A JPH0765767A JP5207828A JP20782893A JPH0765767A JP H0765767 A JPH0765767 A JP H0765767A JP 5207828 A JP5207828 A JP 5207828A JP 20782893 A JP20782893 A JP 20782893A JP H0765767 A JPH0765767 A JP H0765767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron microscope
- scanning electron
- sample stage
- sample stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 サンプリングが容易で、試料汚染が少なく作
業時間が大幅に短縮される走査電子顕微鏡用試料台を提
供する。 【構成】 導電性材料からなる試料台の表面に、試料の
少なくとも一部を差し込むための切り込み部を設けた。
業時間が大幅に短縮される走査電子顕微鏡用試料台を提
供する。 【構成】 導電性材料からなる試料台の表面に、試料の
少なくとも一部を差し込むための切り込み部を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査電子顕微鏡用試料台
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、走査電子顕微鏡用試料台の表面は
平坦であり、観察試料の断面を観察する際の試料の支持
の方法としては、観察試料を立てたままカーボン等の導
電性のある接着剤により接着する方法、バネ等の観察試
料を押さえる治具を用いて試料台に固定する方法などが
あった。
平坦であり、観察試料の断面を観察する際の試料の支持
の方法としては、観察試料を立てたままカーボン等の導
電性のある接着剤により接着する方法、バネ等の観察試
料を押さえる治具を用いて試料台に固定する方法などが
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような方法によって観察試料を支持すると、以下のよ
うな問題を生じる。
たような方法によって観察試料を支持すると、以下のよ
うな問題を生じる。
【０００４】カーボン等導電性のある接着剤により、観
察試料を立てて試料台に接着する方法においては、断面
観察の時には切り出した試料の反対側の断面を試料台に
置き、試料を立てるのであるが、シリコンウエハなど試
料が非常に薄い場合にはこのウエハを殆ど垂直にしたま
ま試料台に接着させるのは非常に困難であり、高度な技
術と多くの作業時間を要する。
察試料を立てて試料台に接着する方法においては、断面
観察の時には切り出した試料の反対側の断面を試料台に
置き、試料を立てるのであるが、シリコンウエハなど試
料が非常に薄い場合にはこのウエハを殆ど垂直にしたま
ま試料台に接着させるのは非常に困難であり、高度な技
術と多くの作業時間を要する。
【０００５】またこの場合、試料の接着が困難である為
に接着剤を多量に必要とし、これにより試料汚染、ＳＥ
Ｍ鏡筒内汚染等の問題も生じる。
に接着剤を多量に必要とし、これにより試料汚染、ＳＥ
Ｍ鏡筒内汚染等の問題も生じる。
【０００６】バネ等の押さえる治具を用いて試料台に装
着する方法においては、バネの力により試料が破損して
しまったり、また治具の形態や大きさ等により、試料の
大きさや形態が制限されてしまい、サンプリング（切り
出し）等も困難であった。
着する方法においては、バネの力により試料が破損して
しまったり、また治具の形態や大きさ等により、試料の
大きさや形態が制限されてしまい、サンプリング（切り
出し）等も困難であった。
【０００７】一般にＳＥＭ観察の際のワーキングディス
タンスの制限から、断面切り出しの際には試料を非常に
小さく切り出さなくてはならないので、この点からも高
度な技術と多くの作業時間を必要としていた。
タンスの制限から、断面切り出しの際には試料を非常に
小さく切り出さなくてはならないので、この点からも高
度な技術と多くの作業時間を必要としていた。
【０００８】また、上記いずれの方法においても、試料
台と試料との接触面積が小さい場合が多く、観察の際チ
ャージアップ等の問題が生じていた。
台と試料との接触面積が小さい場合が多く、観察の際チ
ャージアップ等の問題が生じていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決する為に成されたものであり、本発明は、導電性材料
からなる試料台の表面に、試料の少なくとも一部を差し
込むための切り込み部を設けたことを特徴とする。
決する為に成されたものであり、本発明は、導電性材料
からなる試料台の表面に、試料の少なくとも一部を差し
込むための切り込み部を設けたことを特徴とする。
【００１０】
【実施例】図１に本発明の試料台の実施例を示す。
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を装着
したところを表している。
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を装着
したところを表している。
【００１１】１は断面形状が矩形であるところの切り込
み部、２は試料台の表面、３は試料、４はカーボンペー
ストなどの接着剤である。
み部、２は試料台の表面、３は試料、４はカーボンペー
ストなどの接着剤である。
【００１２】このような試料台を用いてＳＥＭ観察を行
なえば、従来よりも切り込み部の大きさの分だけサンプ
リング試料の大きさを大きくすることができ、試料切り
出しが容易となる。また、カーボンペーストなどの接着
剤も従来の３分の１程度でよく、それによって試料汚染
も少なく、ＳＥＭ観察の際に鮮明な像が得られる。
なえば、従来よりも切り込み部の大きさの分だけサンプ
リング試料の大きさを大きくすることができ、試料切り
出しが容易となる。また、カーボンペーストなどの接着
剤も従来の３分の１程度でよく、それによって試料汚染
も少なく、ＳＥＭ観察の際に鮮明な像が得られる。
【００１３】図２に本発明の試料台の他の実施例を示
す。（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を
装着したところを表している。
す。（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を
装着したところを表している。
【００１４】前述した図１の実施例との差異は、試料台
に複数の切り込み部を設けた点である。本実施例では３
個の切り込み部を設け、３個の試料を立て、カーボンペ
ーストで接着した。これにより従来困難であった同一試
料台による複数の試料の断面観察が可能となり、また試
料交換のためのＳＥＭリークの時間等の短縮が可能とな
った。
に複数の切り込み部を設けた点である。本実施例では３
個の切り込み部を設け、３個の試料を立て、カーボンペ
ーストで接着した。これにより従来困難であった同一試
料台による複数の試料の断面観察が可能となり、また試
料交換のためのＳＥＭリークの時間等の短縮が可能とな
った。
【００１５】図３に本発明の試料台の他の実施例を示
す。（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を
装着したところを表している。
す。（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は試料を
装着したところを表している。
【００１６】本実施例では試料台に形成される切り込み
部はＶ字形状をしており、この切り込み部内に試料をあ
る程度の傾きをもって立て、カーボンペーストで接着し
た。
部はＶ字形状をしており、この切り込み部内に試料をあ
る程度の傾きをもって立て、カーボンペーストで接着し
た。
【００１７】本実施例によると、他の実施例同様サンプ
リングは簡単かつ容易で作業時間も大幅に短縮され、ま
た、垂直に試料を立てて接着するよりも観察角度範囲が
広がるという更なる効果も有する。
リングは簡単かつ容易で作業時間も大幅に短縮され、ま
た、垂直に試料を立てて接着するよりも観察角度範囲が
広がるという更なる効果も有する。
【００１８】尚、本実施例において試料の接着される側
の断面とＶ字型の切り込み部の側面の傾きが一致するよ
うにして固定してもよい。
の断面とＶ字型の切り込み部の側面の傾きが一致するよ
うにして固定してもよい。
【００１９】本実施例は以上の実施例に限定されるもの
ではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の構成
が可能であることはいうまでもない。例えば同一の試料
台に複数の切り込み部を設ける際に夫々切り込み部の幅
や深さを異ならせてもよい。それによりある試料を固定
する際に、その試料の大きさや厚さから判断して最も好
ましい切り込み部を選び、固定することができる。
ではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の構成
が可能であることはいうまでもない。例えば同一の試料
台に複数の切り込み部を設ける際に夫々切り込み部の幅
や深さを異ならせてもよい。それによりある試料を固定
する際に、その試料の大きさや厚さから判断して最も好
ましい切り込み部を選び、固定することができる。
【００２０】また、複数の切り込み部の側面の傾きを互
いに異ならせ、それに合わせて複数の試料の固定する角
度を互いに異ならせてもよい。それにより垂直に立てた
試料と斜めに傾けた試料とを同一の試料台で観察するこ
とができる。
いに異ならせ、それに合わせて複数の試料の固定する角
度を互いに異ならせてもよい。それにより垂直に立てた
試料と斜めに傾けた試料とを同一の試料台で観察するこ
とができる。
【００２１】尚、本発明の試料台は、従来の表面観察に
も使用することができるのはいうまでもない。
も使用することができるのはいうまでもない。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の試料台を
用いることにより、以下の効果を有する。
用いることにより、以下の効果を有する。
【００２３】シリコンウエハ等、サンプルの厚さがうす
い場合でも、該サンプルを垂直若しくは所望の角度傾け
て試料台に接着させるのが容易になり、作業時間も大幅
に短縮される。
い場合でも、該サンプルを垂直若しくは所望の角度傾け
て試料台に接着させるのが容易になり、作業時間も大幅
に短縮される。
【００２４】カーボン等導電性のある接着剤により、観
察試料を立てて試料台に張り付ける際、接着剤が少量で
すみこれにより試料汚染、ＳＥＭ鏡筒内汚染等の問題が
生じにくくなる。
察試料を立てて試料台に張り付ける際、接着剤が少量で
すみこれにより試料汚染、ＳＥＭ鏡筒内汚染等の問題が
生じにくくなる。
【００２５】バネ等の試料を押さえるための治具を使う
必要もなくなり、バネの力による試料破損の問題もなく
なる。
必要もなくなり、バネの力による試料破損の問題もなく
なる。
【００２６】試料台表面に形成される切込部に試料の一
部が入るので、従来よりも切り出す試料の大きさを大き
くすることができ、切り出し作業が容易になる。
部が入るので、従来よりも切り出す試料の大きさを大き
くすることができ、切り出し作業が容易になる。
【００２７】切り込み部を複数個設けることにより、複
数の試料の断面観察を同一試料台で行なうことが可能と
なり、作業効率アップにつながる。
数の試料の断面観察を同一試料台で行なうことが可能と
なり、作業効率アップにつながる。
【図１】本発明の試料台の実施例を示す図
【図２】本発明の試料台の他の実施例を示す図
【図３】本発明の試料台の他の実施例を示す図
１ 切り込み部 ２ 試料台表面 ３ 試料 ４ カーボンペースト
Claims (5)
- 【請求項１】 導電性材料からなる試料台の表面に、試
料の少なくとも一部を差し込むための切り込み部を設け
たことを特徴とする走査電子顕微鏡用試料台。 - 【請求項２】 前記試料台の表面に前記切り込み部を複
数個設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の走査電子顕微鏡用試料台。 - 【請求項３】 前記切り込み部の断面形状が矩形である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１又は２項記載の走
査電子顕微鏡用試料台。 - 【請求項４】 前記切り込み部の側面が傾いていること
を特徴とする特許請求の範囲第１、２又は３項記載の走
査電子顕微鏡用試料台。 - 【請求項５】 前記複数の切り込み部は、大きさ又は形
状の少なくとも一方が互いに異なることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載の走査電子顕微鏡用試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207828A JPH0765767A (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 走査電子顕微鏡用試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207828A JPH0765767A (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 走査電子顕微鏡用試料台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765767A true JPH0765767A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16546195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5207828A Withdrawn JPH0765767A (ja) | 1993-08-23 | 1993-08-23 | 走査電子顕微鏡用試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765767A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003346693A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 試料台および試料観察方法 |
| CN107437488A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-12-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种聚焦离子束显微镜机台 |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP5207828A patent/JPH0765767A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003346693A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 試料台および試料観察方法 |
| CN107437488A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-12-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种聚焦离子束显微镜机台 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001031 |