JPH0766266A - 基板搬送装置における集塵装置 - Google Patents
基板搬送装置における集塵装置Info
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- JPH0766266A JPH0766266A JP23542193A JP23542193A JPH0766266A JP H0766266 A JPH0766266 A JP H0766266A JP 23542193 A JP23542193 A JP 23542193A JP 23542193 A JP23542193 A JP 23542193A JP H0766266 A JPH0766266 A JP H0766266A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微粒子コレクターを清浄な状態に自己再生で
きるメンテナンス性に優れた基板搬送装置における集塵
装置を提供する。 【構成】 基板の搬送方向と直交する方向に配列された
複数の集塵電極６を有する微粒子コレクター１を基板搬
送装置の搬送経路上に配置し、微粒子コレクター１の個
々の集塵電極６の極性を切換可能な極性制御部４を設け
た。
きるメンテナンス性に優れた基板搬送装置における集塵
装置を提供する。 【構成】 基板の搬送方向と直交する方向に配列された
複数の集塵電極６を有する微粒子コレクター１を基板搬
送装置の搬送経路上に配置し、微粒子コレクター１の個
々の集塵電極６の極性を切換可能な極性制御部４を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板収納カセットから
取り出した基板を基板処理室に搬送する基板搬送装置に
関わり、特に、基板搬送装置によって搬送される基板の
ダストを集塵する集塵装置に関するものである。
取り出した基板を基板処理室に搬送する基板搬送装置に
関わり、特に、基板搬送装置によって搬送される基板の
ダストを集塵する集塵装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、基板処理工程、特に半導体ウエ
ハの処理工程では、ウエハの大口径化や生産性・歩留り
の向上を図るため、ウエハカセットから一枚ずつウエハ
を取り出して処理室に供給し、処理終了後は再び処理室
からウエハを取り出してウエハカセットに収納する自動
搬送方式が主流となっている。このような自動搬送方式
では、搬送系の周辺エリアを清浄化して発塵源をおさ
え、ウエハへのダスト付着を防止する対策が講じられて
きたが、半導体パターンの微細化が進む中で、発塵をお
さえるだけでは不十分となっている。このため最近で
は、静電気を利用して、ウエハに付着したダストを搬送
途中で強制的に取り除く搬送装置が提案されている。
ハの処理工程では、ウエハの大口径化や生産性・歩留り
の向上を図るため、ウエハカセットから一枚ずつウエハ
を取り出して処理室に供給し、処理終了後は再び処理室
からウエハを取り出してウエハカセットに収納する自動
搬送方式が主流となっている。このような自動搬送方式
では、搬送系の周辺エリアを清浄化して発塵源をおさ
え、ウエハへのダスト付着を防止する対策が講じられて
きたが、半導体パターンの微細化が進む中で、発塵をお
さえるだけでは不十分となっている。このため最近で
は、静電気を利用して、ウエハに付着したダストを搬送
途中で強制的に取り除く搬送装置が提案されている。
【０００３】図６はこの種の基板搬送装置を説明する図
である。図においては、複数の基板３３が収納された基
板収納カセット３０と、基板３３に所定の処理を施すた
めの基板処理室３１との間に基板搬送装置３２が設置さ
れている。この基板搬送装置３２は、基板収納カセット
３０から一枚ずつ基板３３を取り出して基板処理室３１
に供給するものである。ここで、基板処理室３１の入口
近傍には集塵装置３４が設置されており、基板搬送装置
３２によって搬送される基板３３のダストはこの集塵装
置３４によって集塵されるようになっている。
である。図においては、複数の基板３３が収納された基
板収納カセット３０と、基板３３に所定の処理を施すた
めの基板処理室３１との間に基板搬送装置３２が設置さ
れている。この基板搬送装置３２は、基板収納カセット
３０から一枚ずつ基板３３を取り出して基板処理室３１
に供給するものである。ここで、基板処理室３１の入口
近傍には集塵装置３４が設置されており、基板搬送装置
３２によって搬送される基板３３のダストはこの集塵装
置３４によって集塵されるようになっている。
【０００４】図７は従来の基板搬送装置における集塵装
置の構成を示す概略図である。図示した集塵装置は、微
粒子コレクター４０と電源部４１とを有しており、この
うち微粒子コレクター４０は、図示せぬ基板の大きさに
応じて形成された単一の集塵電極４２と、この集塵電極
４２を被覆する絶縁材４３とによって構成されている。
また、集塵電極４２の電極電位は、電源部４１との電気
的な接続によって常に負電位に維持されており、これに
よってウエハに付着したダストが、微粒子コレクター４
０を通過する際の静電吸着力によって吸い寄せられ、コ
レクター側に吸着されるようになっている。
置の構成を示す概略図である。図示した集塵装置は、微
粒子コレクター４０と電源部４１とを有しており、この
うち微粒子コレクター４０は、図示せぬ基板の大きさに
応じて形成された単一の集塵電極４２と、この集塵電極
４２を被覆する絶縁材４３とによって構成されている。
また、集塵電極４２の電極電位は、電源部４１との電気
的な接続によって常に負電位に維持されており、これに
よってウエハに付着したダストが、微粒子コレクター４
０を通過する際の静電吸着力によって吸い寄せられ、コ
レクター側に吸着されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の集塵装置においては、基板から吸着したダストが集塵
回数を重ねるうちに微粒子コレクターに蓄積して、基板
に対するコレクターの清浄機能が著しく損なわれたり、
コレクターに蓄積したダストが逆に基板の汚染源に成り
兼ねないという問題があった。したがって従来装置で
は、微粒子コレクターで吸着したダストを装置外部に排
出するため、人手に頼って頻繁に微粒子コレクターを清
掃しなければならないなど、メンテナンスの面で難点が
あった。
の集塵装置においては、基板から吸着したダストが集塵
回数を重ねるうちに微粒子コレクターに蓄積して、基板
に対するコレクターの清浄機能が著しく損なわれたり、
コレクターに蓄積したダストが逆に基板の汚染源に成り
兼ねないという問題があった。したがって従来装置で
は、微粒子コレクターで吸着したダストを装置外部に排
出するため、人手に頼って頻繁に微粒子コレクターを清
掃しなければならないなど、メンテナンスの面で難点が
あった。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、微粒子コレクターを清浄な状
態に自己再生できるメンテナンス性に優れた基板搬送装
置における集塵装置を提供することにある。
れたもので、その目的は、微粒子コレクターを清浄な状
態に自己再生できるメンテナンス性に優れた基板搬送装
置における集塵装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、複数の基板が収納された
基板収納カセットから基板を一枚ずつ取り出して基板処
理室に搬送する基板搬送装置において、基板搬送装置に
よって搬送される基板に付着したダストを集塵する集塵
装置であって、基板搬送装置の搬送経路上に配置され、
基板の搬送方向と直交する方向に配列された複数の集塵
電極を有する微粒子コレクターと、微粒子コレクターの
個々の集塵電極の極性を切換可能な極性制御部とを備え
たものである。また、上記複数の集塵電極は、２つおき
に電気的に接続された３つの電極群を備え、上記極性制
御部は、ダスト集塵の際は３つの電極群の各電極電位を
全て負電位に設定するとともに、コレクター再生の際は
３つの電極群の各電極電位を正電位、負電位、接地電位
の間で順に切り換えるものである。。さらに、集塵電極
の各電極電位の切り換えによって微粒子コレクターの端
部に集められたダストを基板搬送装置の外部に排出する
排出手段を設けたものである。
成するためになされたもので、複数の基板が収納された
基板収納カセットから基板を一枚ずつ取り出して基板処
理室に搬送する基板搬送装置において、基板搬送装置に
よって搬送される基板に付着したダストを集塵する集塵
装置であって、基板搬送装置の搬送経路上に配置され、
基板の搬送方向と直交する方向に配列された複数の集塵
電極を有する微粒子コレクターと、微粒子コレクターの
個々の集塵電極の極性を切換可能な極性制御部とを備え
たものである。また、上記複数の集塵電極は、２つおき
に電気的に接続された３つの電極群を備え、上記極性制
御部は、ダスト集塵の際は３つの電極群の各電極電位を
全て負電位に設定するとともに、コレクター再生の際は
３つの電極群の各電極電位を正電位、負電位、接地電位
の間で順に切り換えるものである。。さらに、集塵電極
の各電極電位の切り換えによって微粒子コレクターの端
部に集められたダストを基板搬送装置の外部に排出する
排出手段を設けたものである。
【０００８】
【作用】本発明の基板搬送装置における集塵装置におい
ては、極性制御部が微粒子コレクターの３つの電極群の
各電極電位を全て負電位に設定することにより、ウエハ
に付着したダストが微粒子コレクターに静電吸着され
る。また、極性制御部が微粒子コレクターの３つの電極
群の各電極電位を正電位、負電位、接地電位の間で順に
切り換えることにより、微粒子コレクターに吸着された
ダストが順次移動してコレクター端部に集められ、これ
により基板に対する微粒子コレクターの対向面が清浄な
状態に自己再生される。さらに、コレクター端部に集め
られたダストは排出手段によって基板搬送装置の外部に
排出されるため、人手に頼ったメンテナンス作業が一切
不要となる。
ては、極性制御部が微粒子コレクターの３つの電極群の
各電極電位を全て負電位に設定することにより、ウエハ
に付着したダストが微粒子コレクターに静電吸着され
る。また、極性制御部が微粒子コレクターの３つの電極
群の各電極電位を正電位、負電位、接地電位の間で順に
切り換えることにより、微粒子コレクターに吸着された
ダストが順次移動してコレクター端部に集められ、これ
により基板に対する微粒子コレクターの対向面が清浄な
状態に自己再生される。さらに、コレクター端部に集め
られたダストは排出手段によって基板搬送装置の外部に
排出されるため、人手に頼ったメンテナンス作業が一切
不要となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わる基板搬送
装置における集塵装置の一実施例を示す構成図である。
本実施例の集塵装置は、大きくは、図示せぬ基板搬送装
置の搬送経路上に配置される微粒子コレクター１と、こ
の微粒子コレクター１に所定の電極電位を与えるための
電源部２と、極性切換スイッチ３のスイッチング動作を
制御する極性制御部４とから構成される。
ながら詳細に説明する。図１は本発明に係わる基板搬送
装置における集塵装置の一実施例を示す構成図である。
本実施例の集塵装置は、大きくは、図示せぬ基板搬送装
置の搬送経路上に配置される微粒子コレクター１と、こ
の微粒子コレクター１に所定の電極電位を与えるための
電源部２と、極性切換スイッチ３のスイッチング動作を
制御する極性制御部４とから構成される。
【００１０】微粒子コレクター１は、絶縁材５によって
被覆された複数の集塵電極６を有しており、これらの集
塵電極６は基板の搬送方向Ｘ（図６参照）と直交する方
向に配列されている。さらに詳述すると、上記複数の集
塵電極６は、極性切換スイッチ３から引き出された３本
の配線を介して２つおきに電気的に接続された３つの電
極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）と、その両端部に配置された
電極（Ｄ）とから成るものである。
被覆された複数の集塵電極６を有しており、これらの集
塵電極６は基板の搬送方向Ｘ（図６参照）と直交する方
向に配列されている。さらに詳述すると、上記複数の集
塵電極６は、極性切換スイッチ３から引き出された３本
の配線を介して２つおきに電気的に接続された３つの電
極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）と、その両端部に配置された
電極（Ｄ）とから成るものである。
【００１１】一方、電源部２の陽極（＋）、接地電極
（Ｇ）、陰極（−）から引き出された配線はそれぞれ極
性切換スイッチ３に接続されており、この極性切換スイ
ッチ３のスイッチング動作によって、電源部２の陽極
（＋）、接地電極（Ｇ）、陰極（−）と、微粒子コレク
ター１の各集塵電極６との接続関係が切り換えられるよ
うになっている。ちなみに、極性切換スイッチ３として
は、例えばロータリースイッチ等が用いられる。
（Ｇ）、陰極（−）から引き出された配線はそれぞれ極
性切換スイッチ３に接続されており、この極性切換スイ
ッチ３のスイッチング動作によって、電源部２の陽極
（＋）、接地電極（Ｇ）、陰極（−）と、微粒子コレク
ター１の各集塵電極６との接続関係が切り換えられるよ
うになっている。ちなみに、極性切換スイッチ３として
は、例えばロータリースイッチ等が用いられる。
【００１２】極性制御部４は、先にも述べたように極性
切換スイッチ３のスイッチング動作を制御するもので、
この極性制御部４からの制御指令に基づいて微粒子コレ
クター１の個々の集塵電極６の極性が切り換えられるよ
うになっている。
切換スイッチ３のスイッチング動作を制御するもので、
この極性制御部４からの制御指令に基づいて微粒子コレ
クター１の個々の集塵電極６の極性が切り換えられるよ
うになっている。
【００１３】続いて、本実施例における集塵装置の動作
について説明する。まず、基板に付着したダストを集塵
する際は、極性制御部４の制御指令に基づく極性切換ス
イッチ３のスイッチング動作によって、微粒子コレクタ
ー１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）を全て電源部
２の陰極に電気的に接続し、これによって図２に示すよ
うに３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の各電極電位を
全て負電位に設定する。この状態で、図２に示すように
被搬送物である基板７をコレクター近傍で通過させる
と、基板７に付着したダストが微粒子コレクター１から
の静電吸引力によって吸い寄せられ、コレクター側に集
塵される。
について説明する。まず、基板に付着したダストを集塵
する際は、極性制御部４の制御指令に基づく極性切換ス
イッチ３のスイッチング動作によって、微粒子コレクタ
ー１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）を全て電源部
２の陰極に電気的に接続し、これによって図２に示すよ
うに３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の各電極電位を
全て負電位に設定する。この状態で、図２に示すように
被搬送物である基板７をコレクター近傍で通過させる
と、基板７に付着したダストが微粒子コレクター１から
の静電吸引力によって吸い寄せられ、コレクター側に集
塵される。
【００１４】次に、こうしてダストを集塵したコレクタ
ーを再生する際は、極性制御部４の制御指令に基づく極
性切換スイッチ３のスイッチング動作によって、微粒子
コレクター１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の各
電極電位を正電位、負電位、接地電位の間で順に切り換
えるようにする。すなわち、まず図４（ａ）に示すよう
に、Ａ群の電極電位を正電位、Ｂ群の電極電位を負電
位、Ｃ群の電極電位を接地電位に切り換え、次いで図４
（ｂ）に示すように、Ａ群の電極電位を接地電位、Ｂ群
の電極電位を正電位、Ｃ群の電極電位を負電位に切り換
え、さらに図４（ｃ）に示すように、Ａ群の電極電位を
負電位、Ｂ群の電極電位を接地電位、Ｃ群の電極電位を
正電位に切り換える。そして、以降は上記一連の切換動
作を集塵電極６の数に応じて適宜回数だけ繰り返す。こ
のとき、極性制御部４は、微粒子コレクター１の両端部
の集塵電極（Ｄ）６が常に負電位となるように極性切換
スイッチ３のスイッチング動作を制御する。
ーを再生する際は、極性制御部４の制御指令に基づく極
性切換スイッチ３のスイッチング動作によって、微粒子
コレクター１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の各
電極電位を正電位、負電位、接地電位の間で順に切り換
えるようにする。すなわち、まず図４（ａ）に示すよう
に、Ａ群の電極電位を正電位、Ｂ群の電極電位を負電
位、Ｃ群の電極電位を接地電位に切り換え、次いで図４
（ｂ）に示すように、Ａ群の電極電位を接地電位、Ｂ群
の電極電位を正電位、Ｃ群の電極電位を負電位に切り換
え、さらに図４（ｃ）に示すように、Ａ群の電極電位を
負電位、Ｂ群の電極電位を接地電位、Ｃ群の電極電位を
正電位に切り換える。そして、以降は上記一連の切換動
作を集塵電極６の数に応じて適宜回数だけ繰り返す。こ
のとき、極性制御部４は、微粒子コレクター１の両端部
の集塵電極（Ｄ）６が常に負電位となるように極性切換
スイッチ３のスイッチング動作を制御する。
【００１５】こうした一連の動作によって、微粒子コレ
クター１に集塵されたダストは、集塵電極６の各電極電
位の切り換えによって、微粒子コレクター１上を図３に
示すように順次移動し、コレクター端部に集められる。
また、こうしてコレクター端部に集められたダストは、
常に負電位に維持されたコレクター端部の集塵電極
（Ｄ）６によって吸着保持される。
クター１に集塵されたダストは、集塵電極６の各電極電
位の切り換えによって、微粒子コレクター１上を図３に
示すように順次移動し、コレクター端部に集められる。
また、こうしてコレクター端部に集められたダストは、
常に負電位に維持されたコレクター端部の集塵電極
（Ｄ）６によって吸着保持される。
【００１６】さらに本実施例では、微粒子コレクター１
の端部に集められたダストが以下の排出手段によって排
出される。すなわち、図５に示すように、その一端が基
板搬送装置（不図示）の外部に配置された排気ダクト１
０をコレクター端部に連結し、この排気ダクト１０を通
して真空引きを行うことによって、コレクター端部の集
塵電極（Ｄ）６に吸着保持されたダストが強制的に排出
される。
の端部に集められたダストが以下の排出手段によって排
出される。すなわち、図５に示すように、その一端が基
板搬送装置（不図示）の外部に配置された排気ダクト１
０をコレクター端部に連結し、この排気ダクト１０を通
して真空引きを行うことによって、コレクター端部の集
塵電極（Ｄ）６に吸着保持されたダストが強制的に排出
される。
【００１７】このとき、排気ダクト１０で真空引きを行
いながら、コレクター端部の集塵電極（Ｄ）６の電極電
位を負電位から正電位に切り換えるようにすれば、ダス
トがプラスの電荷をもっている場合は、集塵電極（Ｄ）
６とダストの電荷が等しくなって互いに反発しあうよう
になるため、微粒子コレクター１からのダストの遊離が
スムースになって、ダストの排出効率が高まる。また、
図例のようにエアーノズル１１をコレクター端部の集塵
電極（Ｄ）６に向けて設置し、このエアーノズル１１か
ら窒素（Ｎ2 ）等の不活性ガスを吹き付けるようにすれ
ば、吹き付けられたエアー圧によって微粒子コレクター
１からのダストの遊離が促進され、さらに効率良くダス
トを排出することができる。
いながら、コレクター端部の集塵電極（Ｄ）６の電極電
位を負電位から正電位に切り換えるようにすれば、ダス
トがプラスの電荷をもっている場合は、集塵電極（Ｄ）
６とダストの電荷が等しくなって互いに反発しあうよう
になるため、微粒子コレクター１からのダストの遊離が
スムースになって、ダストの排出効率が高まる。また、
図例のようにエアーノズル１１をコレクター端部の集塵
電極（Ｄ）６に向けて設置し、このエアーノズル１１か
ら窒素（Ｎ2 ）等の不活性ガスを吹き付けるようにすれ
ば、吹き付けられたエアー圧によって微粒子コレクター
１からのダストの遊離が促進され、さらに効率良くダス
トを排出することができる。
【００１８】このように本実施例の集塵装置において
は、極性制御部４の制御指令に基づいて極性切換スイッ
チ３をスイッチング動作させ、集塵電極６の各電極電位
を正電位、負電位、接地電位の間で順に切り換えること
によって、微粒子コレクター１に吸着したダストが順次
移動してコレクター端部に集められ、これによって基板
に対する微粒子コレクター１の対向面が清浄な状態に自
己再生される。したがって、基板を基板処理室に供給す
る前や基板処理中に、微粒子コレクター１の自己再生を
行うようにすれば、集塵直前に微粒子コレクター１が清
浄化されるため、常に高い集塵効率をもって基板に付着
したダストを集塵することができる。
は、極性制御部４の制御指令に基づいて極性切換スイッ
チ３をスイッチング動作させ、集塵電極６の各電極電位
を正電位、負電位、接地電位の間で順に切り換えること
によって、微粒子コレクター１に吸着したダストが順次
移動してコレクター端部に集められ、これによって基板
に対する微粒子コレクター１の対向面が清浄な状態に自
己再生される。したがって、基板を基板処理室に供給す
る前や基板処理中に、微粒子コレクター１の自己再生を
行うようにすれば、集塵直前に微粒子コレクター１が清
浄化されるため、常に高い集塵効率をもって基板に付着
したダストを集塵することができる。
【００１９】また本実施例の集塵装置では、微粒子コレ
クター１の端部に集められたダストが、排出手段である
排気ダクト１０からの真空引きによって基板搬送装置の
外部に排出されるようになっているため、従来のように
人手に頼ったメンテナンス作業が一切不要となる。
クター１の端部に集められたダストが、排出手段である
排気ダクト１０からの真空引きによって基板搬送装置の
外部に排出されるようになっているため、従来のように
人手に頼ったメンテナンス作業が一切不要となる。
【００２０】なお、上記実施例の説明では、微粒子コレ
クター１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の電極電
位を正電位→接地電位→負電位→・・・の順で繰り返し
切り換えるようにしたが、電極電位の切換順序として
は、負電位→接地電位→正電位→・・・の順で切り換え
るようにしてもよい。
クター１の３つの電極群（Ａ群，Ｂ群，Ｃ群）の電極電
位を正電位→接地電位→負電位→・・・の順で繰り返し
切り換えるようにしたが、電極電位の切換順序として
は、負電位→接地電位→正電位→・・・の順で切り換え
るようにしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の集塵装置に
よれば、極性制御部が微粒子コレクターの個々の集塵電
極の極性を適宜切り換えることにより、静電吸着力をも
って基板からコレクター側に吸着したダストを順次移動
させてコレクター端部に集めることができる。これによ
って、基板に対する微粒子コレクターの対向面を清浄な
状態に自己再生することができるため、常に高い集塵効
率をもって基板に付着したダストを集塵することが可能
となる。その結果、種々の基板処理工程の中でも、特に
高清浄度が要求される半導体ウエハの処理工程などで
は、ダストの付着に起因したパターン欠陥などの外観不
良の発生を低減することができるため、歩留りの向上が
期待できる。さらに本発明によれば、コレクター端部に
集めたダストを排出手段によって基板搬送装置の外部に
排出できるため、従来のような人手に頼ったメンテナン
ス作業が一切不要となる。
よれば、極性制御部が微粒子コレクターの個々の集塵電
極の極性を適宜切り換えることにより、静電吸着力をも
って基板からコレクター側に吸着したダストを順次移動
させてコレクター端部に集めることができる。これによ
って、基板に対する微粒子コレクターの対向面を清浄な
状態に自己再生することができるため、常に高い集塵効
率をもって基板に付着したダストを集塵することが可能
となる。その結果、種々の基板処理工程の中でも、特に
高清浄度が要求される半導体ウエハの処理工程などで
は、ダストの付着に起因したパターン欠陥などの外観不
良の発生を低減することができるため、歩留りの向上が
期待できる。さらに本発明によれば、コレクター端部に
集めたダストを排出手段によって基板搬送装置の外部に
排出できるため、従来のような人手に頼ったメンテナン
ス作業が一切不要となる。
【図１】本発明に係わる集塵装置の一実施例を示す構成
図である。
図である。
【図２】ダスト集塵時の電極電位の設定状態を示す図で
ある。
ある。
【図３】電極電位の切り換えによるダストの動きを説明
する図である。
する図である。
【図４】コレクター再生時の電極電位の切り換え状態を
示す図である。
示す図である。
【図５】実施例における排出手段を説明する図である。
【図６】集塵機能を備えた基板搬送装置の一例を説明す
る図である。
る図である。
【図７】従来の基板搬送装置における集塵装置の構成を
示す概略図である。
示す概略図である。
１ 微粒子コレクター ２ 電源部 ３ 極性切換スイッチ ４ 極性制御部 ５ 絶縁材 ６ 集塵電極
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の基板が収納された基板収納カセッ
トから基板を一枚ずつ取り出して基板処理室に搬送する
基板搬送装置において、前記基板搬送装置によって搬送
される基板に付着したダストを集塵する集塵装置であっ
て、 前記基板搬送装置の搬送経路上に配置され、前記基板の
搬送方向と直交する方向に配列された複数の集塵電極を
有する微粒子コレクターと、 前記微粒子コレクターの個々の集塵電極の極性を切換可
能な極性制御部とを備えたことを特徴とする基板搬送装
置における集塵装置。 - 【請求項２】 前記複数の集塵電極は、２つおきに電気
的に接続された３つの電極群を備え、 前記極性制御部は、ダスト集塵の際は前記３つの電極群
の各電極電位を全て負電位に設定するとともに、コレク
ター再生の際は前記３つの電極群の各電極電位を正電
位、負電位、接地電位の間で順に切り換えることを特徴
とする請求項１記載の基板搬送装置における集塵装置。 - 【請求項３】 前記集塵電極の各電極電位の切り換えに
よって前記微粒子コレクターの端部に集められたダスト
を前記基板搬送装置の外部に排出する排出手段を設けた
ことを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置における
集塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23542193A JPH0766266A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 基板搬送装置における集塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23542193A JPH0766266A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 基板搬送装置における集塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766266A true JPH0766266A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16985858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23542193A Pending JPH0766266A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 基板搬送装置における集塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0766266A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010225641A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
| US11123773B2 (en) * | 2017-12-28 | 2021-09-21 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus for and a method of removing contaminant particles from a component of an apparatus |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP23542193A patent/JPH0766266A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010225641A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
| US11123773B2 (en) * | 2017-12-28 | 2021-09-21 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus for and a method of removing contaminant particles from a component of an apparatus |
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