JPH0769259B2 - 液体中の微粒子測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば集積回路の製造工程における洗浄等に
使用される純水や、その他各種の液体に含まれる微粒子
の測定装置に関する。

〔従来の技術〕

上記液体中の微粒子測定装置として、上部に被測定液の
排出ラインが接続された液体用セルに、被測定液を上方
に向けてセル内に噴出するノズルを設けると共に、当該
液体用セルに、前記ノズルの直上方部位の微粒子測定領
域にレーザ光を照射させる第１透過部と、前記レーザ光
をセル外に透過させる第２透過部、及び、前記微粒子測
定領域において被測定液中の微粒子に当たって散乱した
レーザ光を光検出器に透過させる第３の透過部を配設
し、更に、前記微粒子測定領域を挟んで前記第３透過部
とは反対側のセル部分にライトトラップを設けると共
に、パージ用のラインを前記液体用セルに接続して成る
ものがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

かゝる液体中の微粒子測定装置における従来のライトト
ラップは、上記第３のレーザ光透過部と同じように、散
乱したレーザ光を透過させる窓構造のものであって、そ
の窓を微粒子測定領域に近づけて配設すると、当該窓に
液体中の微粒子等が付着した場合に、前記散乱したレー
ザ光が微粒子に当たって迷光を生じる不都合があり、あ
るいは、かゝる不都合を回避するために前記窓を微粒子
測定領域から遠ざけて配設すると、セル容積が大きくな
ることから、セル内液体のパージに時間がかかると共に
多量の被測定液を要する欠点があった。

本発明は、ライトトラップの構造を変更して、その構造
を有効に利用したパージ形態をとることで、上記の不都
合を一挙に解消することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために本発明は、前記ライトトラ
ップを空洞構造にする一方、前記ノズルへの被測定液の
供給ラインを分岐してパージラインを構成し、かつ、当
該パージラインを前記空洞構造のライトトラップに接続
すると共に、パージ完了後に前記パージラインを閉じる
開閉弁を設けた点に特徴を有する。

〔作用〕

上記の特徴構成によれば、前記ノズルとパージラインか
らセル内に被測定液が供給されることでパージが行わ
れ、かつ、パージ完了後に前記パージラインが閉じられ
て、爾後は前記ノズルから液体用セル内に被測定液が供
給されて、該被測定液中の微粒子測定が行われる。

そして、かゝる液体中の微粒子測定装置においては、ラ
イトトラップが単なる空洞構造であるからセル容積の増
大が殆どなく、かつ、窓を省略したことで微粒子等の付
着に起因する迷光が防止される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図および第２図は液体中の微粒子測定装置を示し、
図において、１はアルミニウム等の金属製あるいは遮光
性を有する合成樹脂製の液体用セルで、上端にノズル２
を連設した被測定液の供給ライン３が底部に貫設され、
前記被測定液を上方に向けてセル１内に噴出するように
構成されている。４は前記供給ライン３の保持ブロック
で、Ｏリング５を介して袋状ナット６により前記セル１
に取り付けられている。

７は前記液体用セル１内の被測定液をセル１外に排出す
るための被測定液排出ラインで、前記液体用セル１の上
部に取り付けられたキャップ８に螺着されている。

９はヘリウムネオンレーザ等のレーザ光の発光器で、該
発光器９から照射されたレーザ光を前記ノズル２の直上
方部位の微粒子測定領域Ａに照射させる第１透過部10
と、前記微粒子測定領域Ａを通過したレーザ光をセル１
外に照射させる第２透過部11、及び、前記微粒子測定領
域Ａにおいて被測定液中の微粒子に当たって散乱したレ
ーザ光を光検出部12に透過させる第３透過部13が、前記
液体用セル１の周壁部に設けられている。

前記光検出部12は、支持筒14の内部の第３透過部13側に
２個の集光レンズ15を設けると共に、該支持筒14の他端
側の内部に、中央部にピンホール16が形成されたファイ
バー連結具17を螺進自在に螺着して成り、そして、前記
ファイバー連結具17に連結されたファイバー18の他端側
には光検出器19が連結されている。

20は空洞構造のライトトラップで、前記微粒子測定領域
Ａを挟んで前記第３透過部13とは反対側のセル周壁部に
設けられ、かつ、このライトトラップ20の端部にはパー
ジライン取付金具21が螺着されている。

22は前記ノズル２への被測定液の供給ライン３を分岐し
て構成したパージラインで、例えば時間設定に基づくパ
ージ完了信号を受けて閉弁操作される電磁開閉弁23を、
前記パージライン22の途中に介装すると共に、当該パー
ジライン22を前記ライトトラップ20の取付金具21に連結
してある。

上記の構成によれば、前記ノズル２とライトトラップ20
から前記液体用セル１の内部に被測定液が供給されると
共に、該被測定液が液体用セル１の上部から順次排出さ
れることで、当該液体用セル１に対する洗浄を含むパー
ジが行われる。

そして、予め設定されたパージ時間の経過後に前記開閉
弁23が閉止され、爾後は前記ノズル２を通して極く少量
の被測定液がセル１内に噴出される。

ここで、ノズル２から噴出された被測定液は、やがては
セル１内の被測定液と混合して或る流れの状態になる
が、噴出直後の域においては、ノズル２から供給された
被測定液の中心部分は混合を伴わない層流状況下に置か
れる。

この層流の域を液体中の微粒子測定の領域Ａとして、第
３図に示すように、当該微粒子測定領域Ａの被測定液に
向けて前記第１透過部10からレーザ光を照射すると、こ
の微粒子測定領域Ａを流れる被測定液中に微粒子が存在
しない場合は、前記レーザ光はそんまま第２透過部11を
通過してしまうが、前記微粒子測定領域Ａの被測定液中
に微粒子が存在する場合は、この微粒子に前記レーザ光
が当たって散乱し、その散乱したレーザ光の一部が前記
第３透過部13を通過して、前記２個のレンズ15で集光さ
れてピンホール16からファイバー18に入射され、該レー
ザ光が光検出器19でカウントされることで、単位量の被
測定液に含まれる微粒子が測定されるのである。

一方、前記微粒子測定領域Ａで散乱したレーザ光の残部
は、前記液体用セル１の周壁部に向けて散乱されるが、
前記微粒子測定領域Ａを挟んで前記第３透過部13とは反
対側の周壁部には、空洞構造のライトトラップ20を設け
ているので、前記散乱したレーザ光が迷光になって前記
第３透過部13でキャッチされることはない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明による液体中の微粒子測定
装置においては、ライトトラップとしてこれを従来の窓
構造に代えて空洞構造としたので、窓に付着する微粒子
等に起因する迷光の発生を防止でき、かつ、この空洞構
造のライトトラップを通じてセルのパージを行わせるこ
とで、当該ライトトラップの洗浄を同時に達成でき、こ
れらの相乗によって微粒子の測定精度を効果的に向上さ
せることができる。

そして上述したように、ライトトラップを空洞構造にし
たことで、従来の窓構造のライトトラップを微粒子測定
領域から遠ざけて設ける場合に比べてセル容積を小に構
成でき、而して、液体用セルに対するパージを短時間で
達成することができる。

しかも、上記セル容器が小さいことに加えて、パージ完
了後にはパージラインを閉じるように構成しているの
で、微粒子測定にとって必要な被測定液の量を少なくで
き、特に微量試料を対象にする微粒子測定にとって好適
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は微粒子測定装置の縦断側面図、第２図は液体中
の微粒子測定装置の縦断平面図、第３図は微粒子測定の
形態図である。 １…液体用セル、２…ノズル、３…被測定液供給ライ
ン、７…被測定液排出ライン、10…第１透過部、11…第
２透過部、12…光検出部、13…第３透過部、20…空洞構
造のライトトラップ、22…パージライン、23…開閉弁。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上部に被測定液の排出ラインが接続された
   液体用セルに、被測定液を上方に向けてセル内に噴出す
   るノズルを設けると共に、当該液体用セルに、前記ノズ
   ルの直上方部位の微粒子測定領域にレーザ光を照射させ
   る第１透過部と、前記レーザ光をセル外に透過させる第
   ２透過部、及び、前記微粒子測定領域において被測定液
   中の微粒子に当たって散乱したレーザ光を光検出部に透
   過させる第３の透過部を配設し、更に、前記微粒子測定
   領域を挟んで前記第３透過部とは反対側のセル部分にラ
   イトトラップを設けると共に、パージ用のラインを前記
   液体用セルに接続して成る液体中の微粒子測定装置にお
   いて、前記ライトトラップを空洞構造にする一方、前記
   ノズルへの被測定液の供給ラインを分岐してパージライ
   ンを構成し、かつ、当該パージラインを前記空洞構造の
   ライトトラップに接続すると共に、パージ完了後に前記
   パージラインを閉じる開閉弁を設けてあることを特徴と
   する液体中の微粒子測定装置。