JPH0769484B2 - 多層反射防止膜 - Google Patents
多層反射防止膜Info
- Publication number
- JPH0769484B2 JPH0769484B2 JP2185732A JP18573290A JPH0769484B2 JP H0769484 B2 JPH0769484 B2 JP H0769484B2 JP 2185732 A JP2185732 A JP 2185732A JP 18573290 A JP18573290 A JP 18573290A JP H0769484 B2 JPH0769484 B2 JP H0769484B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- antireflection
- film
- antireflection film
- sub
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、可視域から赤外域あるいは、近赤外域から赤
外域において吸収がなく、かつ比較的高い屈折率を有す
るガラス、結晶材、半導体、例えば、ZnS、ZnSe、Si、G
e、TiO2、SrTiO3、As2S3、各種レーザーロッド材、等の
基板に対する可視域と近赤外域、可視域と赤外域、ある
いは近赤外域と赤外域の２つの波長域で同時に反射防止
をなす多層反射防止膜に関するものである。
外域において吸収がなく、かつ比較的高い屈折率を有す
るガラス、結晶材、半導体、例えば、ZnS、ZnSe、Si、G
e、TiO2、SrTiO3、As2S3、各種レーザーロッド材、等の
基板に対する可視域と近赤外域、可視域と赤外域、ある
いは近赤外域と赤外域の２つの波長域で同時に反射防止
をなす多層反射防止膜に関するものである。
（従来技術） 従来は、基板の屈折率nsubに対して 程度の屈折率を有する薄膜を、その使用波長λ０に対し
てλ0/4の光学的膜厚で蒸着する単層反射防止膜が知ら
れている。例えば、ZnSe（nsub＝2.4）に対してはnL＝
1.55ならば、λ０において無反射となる。
てλ0/4の光学的膜厚で蒸着する単層反射防止膜が知ら
れている。例えば、ZnSe（nsub＝2.4）に対してはnL＝
1.55ならば、λ０において無反射となる。
通常、nL＝1.3〜1.7において充分な反射防止とするた
め、使用環境、製造の容易さを考慮し、金属酸化物（Si
O2、SiO、Al2O3、MgO、Y2O3等）、金属沸化物（MgF2、C
aF2、Na3AlF6、YF3、BuF、AlF、NaF、ThF4、LaF3、NbF3
等）、あるいはこれらの混合物等の中から、使用波長域
で吸収がない物質を選定して用いている。
め、使用環境、製造の容易さを考慮し、金属酸化物（Si
O2、SiO、Al2O3、MgO、Y2O3等）、金属沸化物（MgF2、C
aF2、Na3AlF6、YF3、BuF、AlF、NaF、ThF4、LaF3、NbF3
等）、あるいはこれらの混合物等の中から、使用波長域
で吸収がない物質を選定して用いている。
また、高屈折率基板に対しては、nsub＞n1＞n2＞‥‥＞
nk＞n0となるｋ層構成の多層反射防止が反射防止帯域を
広くするために用いられている。
nk＞n0となるｋ層構成の多層反射防止が反射防止帯域を
広くするために用いられている。
（発明が解決しようとする課題） 従来の上記単層反射防止膜及び反射防止帯域を広くした
多層反射防止膜は、設計の基準波長λ０及びその近傍で
反射防止効果をもち、さらにλ0/3、λ0/5‥‥λ0/（2m
＋１）（ｍ＝0,1,2‥‥）において高次の反射防止帯域
をもつが、その帯域は狭い。λ０より長波長側では、反
射防止効果は無くなり、基板の反射率に近づいていく。
多層反射防止膜は、設計の基準波長λ０及びその近傍で
反射防止効果をもち、さらにλ0/3、λ0/5‥‥λ0/（2m
＋１）（ｍ＝0,1,2‥‥）において高次の反射防止帯域
をもつが、その帯域は狭い。λ０より長波長側では、反
射防止効果は無くなり、基板の反射率に近づいていく。
ところで、最近、光学機器の高精度化、高機能化、コン
パクト化の要求が強く、同一光学系において可視光と赤
外光を透過させる必要が生じている。例えば、赤外光を
検知する光学機器において、アライメント光として可視
光を用いたり、また、暗い時は熱線像を検知し、明るい
時は可視像を検知する。この様な光学系では、使用する
二つの波長域では反射防止が必要となる。特に高屈折率
基板では、反射防止処理が無ければ光量の減少、ゴース
ト、フレアーの発生によって著しく性能が低下する。
パクト化の要求が強く、同一光学系において可視光と赤
外光を透過させる必要が生じている。例えば、赤外光を
検知する光学機器において、アライメント光として可視
光を用いたり、また、暗い時は熱線像を検知し、明るい
時は可視像を検知する。この様な光学系では、使用する
二つの波長域では反射防止が必要となる。特に高屈折率
基板では、反射防止処理が無ければ光量の減少、ゴース
ト、フレアーの発生によって著しく性能が低下する。
ところが、従来の反射防止膜は、基本的には、単波長域
の反射防止のため、λ１、λ２（λ１＜λ２）という２
つの波長域で反射防止が必要な場合、膜の設計基準波長
をλ１又はλ２とする。しかし、例えば、ZnSe基板（n
sub＝2.4）に対し、可視域（0.4〜0.7μｍ）と赤外域
（８〜12μｍ）で反射防止を施したい場合、波長λ１＝
0.55μｍ、膜構成nsub/1.5/airにおいて、設計基準波長
をλ１に一致させると、第３図及び第５図のグラフ10に
示すように、８〜12μｍでは反射防止効果は、ほとんど
無い。
の反射防止のため、λ１、λ２（λ１＜λ２）という２
つの波長域で反射防止が必要な場合、膜の設計基準波長
をλ１又はλ２とする。しかし、例えば、ZnSe基板（n
sub＝2.4）に対し、可視域（0.4〜0.7μｍ）と赤外域
（８〜12μｍ）で反射防止を施したい場合、波長λ１＝
0.55μｍ、膜構成nsub/1.5/airにおいて、設計基準波長
をλ１に一致させると、第３図及び第５図のグラフ10に
示すように、８〜12μｍでは反射防止効果は、ほとんど
無い。
また、設計基準波長をλ２に一致させると、第４図及び
第５図のグラフ12に示すように、λ１では無反射部分と
反射防止効果が無い部分と交互に現われ、反射防止効果
は充分でなく、透過光及び反射光に着色を生じてしま
う。
第５図のグラフ12に示すように、λ１では無反射部分と
反射防止効果が無い部分と交互に現われ、反射防止効果
は充分でなく、透過光及び反射光に着色を生じてしま
う。
このようにして、従来の単波長域についてのみ考慮した
反射防止膜では、二つの波長域について反射防止効果を
もつという要望に対応できなかった。
反射防止膜では、二つの波長域について反射防止効果を
もつという要望に対応できなかった。
本発明は従来の２波長反射防止に関するこのような問題
に鑑みてなされたものであって、可視光及び赤外域にわ
たる２波長域の光について有効な反射防止効果を有する
多層反射防止膜を提供することを目的とする。
に鑑みてなされたものであって、可視光及び赤外域にわ
たる２波長域の光について有効な反射防止効果を有する
多層反射防止膜を提供することを目的とする。
（発明の構成） 本発明は、基板上に、膜構成が nsub/nM・（2nL・2nM）ｉ・nL/n0 （ｉ＝1,2,3‥‥）であり、nsubは基板の屈折率、nMは
中間屈折率膜の屈折率、nLは低屈折率膜の屈折率、n0は
媒質の屈折率であり、nsub＞nM＞nL＞n0であって、波長
λ１と略これの正整数倍である波長λ２について反射防
止を行うことを特徴とする多層反射防止膜である。
中間屈折率膜の屈折率、nLは低屈折率膜の屈折率、n0は
媒質の屈折率であり、nsub＞nM＞nL＞n0であって、波長
λ１と略これの正整数倍である波長λ２について反射防
止を行うことを特徴とする多層反射防止膜である。
（実施例） 以下本発明の実施例を図に基づいて説明する。膜構成を
nsub/nM・（2nL・2nM）ｉ・nL/n0基板の屈折率をnsub＝
2.4、中間屈折率薄膜の屈折率をnM＝1.90、低屈折率薄
膜nLの屈折率をnL＝1.35、ｉ＝４とする。λ０＝0.55μ
ｍのときの本実施例の多層反射防止膜の分光透過率を第
１図に示す。本実施例においては、可視域0.4ないし0.7
μｍ及び赤外域８ないし12μｍについて反射防止と効果
を有する。第１図における可視光域の拡大を、第５図に
おいてグラフ１で示す。
nsub/nM・（2nL・2nM）ｉ・nL/n0基板の屈折率をnsub＝
2.4、中間屈折率薄膜の屈折率をnM＝1.90、低屈折率薄
膜nLの屈折率をnL＝1.35、ｉ＝４とする。λ０＝0.55μ
ｍのときの本実施例の多層反射防止膜の分光透過率を第
１図に示す。本実施例においては、可視域0.4ないし0.7
μｍ及び赤外域８ないし12μｍについて反射防止と効果
を有する。第１図における可視光域の拡大を、第５図に
おいてグラフ１で示す。
また、上記実施例において、ｉを１ないし４に変化させ
たときの分光透過率は、第２図のグラフ101、102、10
3、104に示すように、可視域0.4ないし0.7μｍは常に反
射防止され、ｉが大きくなると、赤外域の長波長側の反
射防止帯が長波長側へ移動する。
たときの分光透過率は、第２図のグラフ101、102、10
3、104に示すように、可視域0.4ないし0.7μｍは常に反
射防止され、ｉが大きくなると、赤外域の長波長側の反
射防止帯が長波長側へ移動する。
（発明の効果） 本発明の膜構成の式において、中心波長λ０＝λ１、反
射防止の帯域をλ１及びλ２とすると、（2nL、2nM）ｉ
は、λ１においては膜が無い状態と等価となり、nsub/n
M・nL/n0という２層反射防止膜として作用する。また、
λ２においては、nM、nLの薄い層の繰り返しと見なさ
れ、概ねＮ＝（nM＋nL）/2の単層膜（中心波長λ２＝
（4i＋２）λ１）と等価になる。従って、λ１、λ２の
２つの波長域について反射防止膜として作用することに
なる。
射防止の帯域をλ１及びλ２とすると、（2nL、2nM）ｉ
は、λ１においては膜が無い状態と等価となり、nsub/n
M・nL/n0という２層反射防止膜として作用する。また、
λ２においては、nM、nLの薄い層の繰り返しと見なさ
れ、概ねＮ＝（nM＋nL）/2の単層膜（中心波長λ２＝
（4i＋２）λ１）と等価になる。従って、λ１、λ２の
２つの波長域について反射防止膜として作用することに
なる。
第１図は本発明の実施例の分光透過率のグラフ図、第２
図は本発明においてｉを変化させたときの分光透過率の
グラフ図、第３図は従来の単層反射防止膜の分光透過率
のグラフ図、第４図は従来の単層反射防止膜の分光透過
率のグラフ図、第５図は上記本発明及び従来の反射防止
膜の可視域での分光透過率のグラフ図である。 １……本発明の多層反射防止膜の分光透過率 10、12……従来の単層反射防止膜の分光透過率
図は本発明においてｉを変化させたときの分光透過率の
グラフ図、第３図は従来の単層反射防止膜の分光透過率
のグラフ図、第４図は従来の単層反射防止膜の分光透過
率のグラフ図、第５図は上記本発明及び従来の反射防止
膜の可視域での分光透過率のグラフ図である。 １……本発明の多層反射防止膜の分光透過率 10、12……従来の単層反射防止膜の分光透過率
Claims (3)
- 【請求項１】基板上に、膜構成が nsub/nM・（2nL・2nM）ｉ・nL/n0であり、nsubは基板の
屈折率、nMは中間屈折率膜の屈折率、nLは低屈折率膜の
屈折率、n0は媒質の屈折率であり、nsub＞nM＞nL＞n
0（ｉ＝1,2,3‥‥）であって、波長λ１と略これの正整
数倍である波長λ２について反射防止を行うことを特徴
とする多層反射防止膜。 - 【請求項２】請求項第１項記載の多層反射防止膜におい
て、上記波長λ１、λ２は、λ２＝（4i＋２）λ１なる
関係にあることを特徴とする多層反射防止膜。 - 【請求項３】請求項第１項記載の多層反射防止膜におい
て、反射防止を行う波長λ１、λ２において、基板の屈
折率nsubが媒質の屈折率に対し比較的高い屈折率である
ことを特徴とする多層反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185732A JPH0769484B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 多層反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185732A JPH0769484B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 多層反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0473601A JPH0473601A (ja) | 1992-03-09 |
| JPH0769484B2 true JPH0769484B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=16175892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2185732A Expired - Lifetime JPH0769484B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 多層反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769484B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007148037A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Tamron Co Ltd | 反射防止膜およびその製造方法 |
| WO2023195524A1 (ja) | 2022-04-08 | 2023-10-12 | Ａｇｃ株式会社 | 透過部材 |
| CN118688883B (zh) * | 2024-06-14 | 2026-02-27 | 安徽光智科技有限公司 | 一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜及其制备方法 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2185732A patent/JPH0769484B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0473601A (ja) | 1992-03-09 |
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