JPH077070A - ディスク状の物体用の支持体 - Google Patents
ディスク状の物体用の支持体Info
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- JPH077070A JPH077070A JP1349694A JP1349694A JPH077070A JP H077070 A JPH077070 A JP H077070A JP 1349694 A JP1349694 A JP 1349694A JP 1349694 A JP1349694 A JP 1349694A JP H077070 A JPH077070 A JP H077070A
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- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/78—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using vacuum or suction, e.g. Bernoulli chucks
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は、気体の流れがカム４５用の調
節機構によって損なわれないようにすること、及び破片
が気体と共に運ばれ、ノズル１２から、処理される物体
の方に吹き掛けられないことである。 【構成】支持シャフト（２）の、支持体（１）に設けら
れた端部からノズル（１２）に連通する空間（５０，５
３，５４）は、支持体（１）に形成され、カム（４５）
を作動するための歯車リム（４０）が収容されている空
間（３１，３３）から分離された空間である。
節機構によって損なわれないようにすること、及び破片
が気体と共に運ばれ、ノズル１２から、処理される物体
の方に吹き掛けられないことである。 【構成】支持シャフト（２）の、支持体（１）に設けら
れた端部からノズル（１２）に連通する空間（５０，５
３，５４）は、支持体（１）に形成され、カム（４５）
を作動するための歯車リム（４０）が収容されている空
間（３１，３３）から分離された空間である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エッチングが施される
最中のディスク状の物体、特に珪素製ディスク用の、ベ
ルヌ−イの原理に基づく支持体であって、該支持体の、
物体に向いた好ましくは環状の面、すなわち支持体とデ
ィスク状の物体との間にガスクッションを形成するため
に圧力ガスが送り込まれる面で支持体の周囲領域に配置
された少なくとも１つの好ましくは環状のノズルと、支
持体の、物体に向いた面で支持体の周囲領域に配置さ
れ、ディスク状の物体を横方向に支持し、かつ支持体に
回転自在に支承されたシャフトで該シャフトの回転軸に
対し偏心に配置されているカムによって形成されるスト
ッパとを有し、シャフトは支持体の中心軸を中心に捻回
可能に支持体に支承された歯車リムと歯合するピニオン
を有し、歯車リムは支持シャフトと結合し、該支持シャ
フトの一端には支持体が具備されており、中空に形成さ
れた支持シャフトの中を気体がノズルに流れ、支持シャ
フトにおいて支持体を回転させるために、間隔をあけ
て、支持シャフトの、支持体に対向する端部の上方で、
回転駆動装置、好ましくは歯車・歯付ベルト歯車装置が
係合し、支持体に関連してブレ−キが設置されてなる支
持体に関する。
最中のディスク状の物体、特に珪素製ディスク用の、ベ
ルヌ−イの原理に基づく支持体であって、該支持体の、
物体に向いた好ましくは環状の面、すなわち支持体とデ
ィスク状の物体との間にガスクッションを形成するため
に圧力ガスが送り込まれる面で支持体の周囲領域に配置
された少なくとも１つの好ましくは環状のノズルと、支
持体の、物体に向いた面で支持体の周囲領域に配置さ
れ、ディスク状の物体を横方向に支持し、かつ支持体に
回転自在に支承されたシャフトで該シャフトの回転軸に
対し偏心に配置されているカムによって形成されるスト
ッパとを有し、シャフトは支持体の中心軸を中心に捻回
可能に支持体に支承された歯車リムと歯合するピニオン
を有し、歯車リムは支持シャフトと結合し、該支持シャ
フトの一端には支持体が具備されており、中空に形成さ
れた支持シャフトの中を気体がノズルに流れ、支持シャ
フトにおいて支持体を回転させるために、間隔をあけ
て、支持シャフトの、支持体に対向する端部の上方で、
回転駆動装置、好ましくは歯車・歯付ベルト歯車装置が
係合し、支持体に関連してブレ−キが設置されてなる支
持体に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記種類の支持体はＵＳ−Ａ−４９０３
７１７から公知である。この公知の支持体では、カムを
捻回するための駆動装置は、部分的に、支持体に形成さ
れかつ圧力ガスがノズルに流れるときに通る空間に収容
されている。これが欠点であることが明らかになった。
何故ならば、カムが捻回されるときに発生する破片が、
圧力ガスによってノズルを通って外側に吹き飛ばされ
て、支持体に保持されているディスク状の物体の表面に
沈積するからである。他の欠点は支持体からノズルに流
れるガス流がカムを捻回するための駆動装置によって損
なわれることにある。
７１７から公知である。この公知の支持体では、カムを
捻回するための駆動装置は、部分的に、支持体に形成さ
れかつ圧力ガスがノズルに流れるときに通る空間に収容
されている。これが欠点であることが明らかになった。
何故ならば、カムが捻回されるときに発生する破片が、
圧力ガスによってノズルを通って外側に吹き飛ばされ
て、支持体に保持されているディスク状の物体の表面に
沈積するからである。他の欠点は支持体からノズルに流
れるガス流がカムを捻回するための駆動装置によって損
なわれることにある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、エッ
チングが施される最中のディスク状の物体、特に珪素製
ディスク用の、ベルヌ−イの原理に基づく支持体であっ
て、該支持体の、物体に向いた好ましくは環状の面、す
なわち支持体とディスク状の物体との間にガスクッショ
ンを形成するために圧力ガスが送り込まれる面で支持体
の周囲領域に配置された少なくとも１つの好ましくは環
状のノズルと、支持体の、物体に向いた面で支持体の周
囲領域に配置され、ディスク状の物体を横方向に支持
し、かつ支持体に回転自在に支承されたシャフトで該シ
ャフトの回転軸に対し偏心に配置されているカムによっ
て形成されるストッパとを有し、シャフトは支持体の中
心軸を中心に捻回可能に支持体に支承された歯車リムと
歯合するピニオンを有し、歯車リムは支持シャフトと結
合し、該支持シャフトの一端には支持体が具備されてお
り、中空に形成された支持シャフトの中を気体がノズル
に流れ、支持シャフトにおいて支持体を回転させるため
に、間隔をあけて、支持シャフトの、支持体に対向する
端部の上方で、回転駆動装置、好ましくは歯車・歯付ベ
ルト歯車装置が係合し、支持体に関連してブレ−キが設
置されてなる支持体を、上記欠点を有せず、かつ処理さ
れる物体のための調節可能なストッパを有するように構
成することである。
チングが施される最中のディスク状の物体、特に珪素製
ディスク用の、ベルヌ−イの原理に基づく支持体であっ
て、該支持体の、物体に向いた好ましくは環状の面、す
なわち支持体とディスク状の物体との間にガスクッショ
ンを形成するために圧力ガスが送り込まれる面で支持体
の周囲領域に配置された少なくとも１つの好ましくは環
状のノズルと、支持体の、物体に向いた面で支持体の周
囲領域に配置され、ディスク状の物体を横方向に支持
し、かつ支持体に回転自在に支承されたシャフトで該シ
ャフトの回転軸に対し偏心に配置されているカムによっ
て形成されるストッパとを有し、シャフトは支持体の中
心軸を中心に捻回可能に支持体に支承された歯車リムと
歯合するピニオンを有し、歯車リムは支持シャフトと結
合し、該支持シャフトの一端には支持体が具備されてお
り、中空に形成された支持シャフトの中を気体がノズル
に流れ、支持シャフトにおいて支持体を回転させるため
に、間隔をあけて、支持シャフトの、支持体に対向する
端部の上方で、回転駆動装置、好ましくは歯車・歯付ベ
ルト歯車装置が係合し、支持体に関連してブレ−キが設
置されてなる支持体を、上記欠点を有せず、かつ処理さ
れる物体のための調節可能なストッパを有するように構
成することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明に基
づいて、支持シャフトの、支持体に設けられた端部から
ノズルに連通する空間が、支持体に形成され、カムを作
動するための歯車リムが収容されている空間から分離さ
れた空間であることにより解決される。
づいて、支持シャフトの、支持体に設けられた端部から
ノズルに連通する空間が、支持体に形成され、カムを作
動するための歯車リムが収容されている空間から分離さ
れた空間であることにより解決される。
【０００５】本発明に基づいて提案されるように、ガス
流路を、横方向に保持するカムを調節し、かつディスク
状の物体を心合わせするための機械的駆動装置から分離
することによって、上記欠点が防止され、２つの空間
は、その時々に適当な目的（カム及びガス流を調節する
ための駆動装置の収容）のために最適に設計されかつ一
定の寸法に形成される。
流路を、横方向に保持するカムを調節し、かつディスク
状の物体を心合わせするための機械的駆動装置から分離
することによって、上記欠点が防止され、２つの空間
は、その時々に適当な目的（カム及びガス流を調節する
ための駆動装置の収容）のために最適に設計されかつ一
定の寸法に形成される。
【０００６】支持シャフトに支承された基体と、カムの
シャフトが捻回可能に支承されている環状体と、該環状
体の外縁で環状体と共にノズルを規定する中央体とによ
り構成される、本発明に基づく１実施例では、本発明の
提案に基づき、環状体は中央体に向いておりかつ該中央
体の肩部と接触している段を有すること、及び中央体は
基体と結合し、環状体を基体に対し保持していることが
規定されている。この１実施例では、ディスク状の物体
を中央体に正確に心合わせすると共に、追加的な措置な
しに、本発明の支持体に形成された２つの空間を本発明
に基づいて確実に分離するのである。
シャフトが捻回可能に支承されている環状体と、該環状
体の外縁で環状体と共にノズルを規定する中央体とによ
り構成される、本発明に基づく１実施例では、本発明の
提案に基づき、環状体は中央体に向いておりかつ該中央
体の肩部と接触している段を有すること、及び中央体は
基体と結合し、環状体を基体に対し保持していることが
規定されている。この１実施例では、ディスク状の物体
を中央体に正確に心合わせすると共に、追加的な措置な
しに、本発明の支持体に形成された２つの空間を本発明
に基づいて確実に分離するのである。
【０００７】本発明の支持体に形成された空間の分離が
損なわれずに実現され、カムの調節のために具備された
歯車リムが正確かつアクセス容易に案内される１実施例
は、基体では、歯車リムを支持する特にテフロン製の複
数の支持部材が、歯車リムの、支持シャフトから離隔し
た領域に具備されていることを特徴とする。
損なわれずに実現され、カムの調節のために具備された
歯車リムが正確かつアクセス容易に案内される１実施例
は、基体では、歯車リムを支持する特にテフロン製の複
数の支持部材が、歯車リムの、支持シャフトから離隔し
た領域に具備されていることを特徴とする。
【０００８】本発明の支持体の部品を空間的に好ましく
配列するのは、歯車リムが収容されている空間は、基体
と中央体との向かい合った面によって区画され、中心に
向かって半径方向には支持シャフトによって区画されて
いること、及び歯車リムは、空間の半径方向外側で、基
体と環状体との間に形成されたギャップ状の空間に延び
ている場合である。
配列するのは、歯車リムが収容されている空間は、基体
と中央体との向かい合った面によって区画され、中心に
向かって半径方向には支持シャフトによって区画されて
いること、及び歯車リムは、空間の半径方向外側で、基
体と環状体との間に形成されたギャップ状の空間に延び
ている場合である。
【０００９】流路が好適に形成されるのは、ノズルに気
体が供給されるときに通る空間が、中央体の中央に形成
されかつ支持シャフトの自由端に係合する盲穴と、中央
体に形成されかつ盲穴から半径方向外側に延びる２つ又
はそれ以上の流路と、環状体及び中央体の間に形成され
た環状の空間とによって形成されている本発明の実施例
の場合である。
体が供給されるときに通る空間が、中央体の中央に形成
されかつ支持シャフトの自由端に係合する盲穴と、中央
体に形成されかつ盲穴から半径方向外側に延びる２つ又
はそれ以上の流路と、環状体及び中央体の間に形成され
た環状の空間とによって形成されている本発明の実施例
の場合である。
【００１０】本発明の支持体に形成された２つの空間を
確実に密閉する簡単な構造が有する利点によって、本発
明に基づき、中央体の盲穴の自由端は、シ−ルによって
支持シャフトの自由端に対し密閉されていることが規定
されている。
確実に密閉する簡単な構造が有する利点によって、本発
明に基づき、中央体の盲穴の自由端は、シ−ルによって
支持シャフトの自由端に対し密閉されていることが規定
されている。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳述
する。ディスク状の物体が処理液で処理される（例え
ば、珪素製ディスクがエッチングを施される）間に、デ
ィスク状の物体を保持するために定められている支持体
１は、中空に形成された支持シャフト２（以下、中空支
持シャフトという）に取着され、該支持シャフト２によ
って軸１１を中心に回転される。そのためには、回転駆
動装置３が具備されている（ＵＳ−Ａ−４９０３７１７
を参照せよ）。
する。ディスク状の物体が処理液で処理される（例え
ば、珪素製ディスクがエッチングを施される）間に、デ
ィスク状の物体を保持するために定められている支持体
１は、中空に形成された支持シャフト２（以下、中空支
持シャフトという）に取着され、該支持シャフト２によ
って軸１１を中心に回転される。そのためには、回転駆
動装置３が具備されている（ＵＳ−Ａ−４９０３７１７
を参照せよ）。
【００１２】回転駆動装置３は中空支持シャフト２に固
着された歯車７と歯付ベルト６によって結合されている
被駆動ピニオン５を有する駆動モ−タ４により構成され
ている。
着された歯車７と歯付ベルト６によって結合されている
被駆動ピニオン５を有する駆動モ−タ４により構成され
ている。
【００１３】中空支持シャフト２に圧力下にある気体を
通すために、中空支持シャフト２の下端は深鍋状の形体
８に収容されており、該形体８は気体（例えば窒素）を
供給するための圧力ガス用導管９に接続され、中空支持
シャフト２の下端に対しラビリンスシ−ル１０によって
密閉されている。
通すために、中空支持シャフト２の下端は深鍋状の形体
８に収容されており、該形体８は気体（例えば窒素）を
供給するための圧力ガス用導管９に接続され、中空支持
シャフト２の下端に対しラビリンスシ−ル１０によって
密閉されている。
【００１４】支持体１はほぼ深鍋状に形成された基体２
０と、環状体２１と、ほぼプレ−ト状に形成された中央
体２２とにより構成されている。
０と、環状体２１と、ほぼプレ−ト状に形成された中央
体２２とにより構成されている。
【００１５】環状体２１は該環状体２１の外周に設けら
れた環状リブ２３を介して深鍋状の基体２０の外縁に載
置されている。更に、環状体２１は例えば円弧状の突出
部２４を介して基体２０の面２５に支持されている。
れた環状リブ２３を介して深鍋状の基体２０の外縁に載
置されている。更に、環状体２１は例えば円弧状の突出
部２４を介して基体２０の面２５に支持されている。
【００１６】中央体２２は環状体２１の段２７に載置さ
れる肩部２６を有する。
れる肩部２６を有する。
【００１７】中央体２２は複数の締付ねじ３０によって
基体２０に固定されている。環状体２１は基体２０と中
央体２２との間で締め付けられる。
基体２０に固定されている。環状体２１は基体２０と中
央体２２との間で締め付けられる。
【００１８】基体２０と中央体２２との間には空間３１
が形成されている。該空間３１は下方へは基体２０の面
２５によって区画され、上方へは中央体２２の面３２に
よって区画される。空間３１に連通しているギャップ状
の空間３３は、基体２０と環状体２１との向かい合った
面３４及び３５によって区画される。
が形成されている。該空間３１は下方へは基体２０の面
２５によって区画され、上方へは中央体２２の面３２に
よって区画される。空間３１に連通しているギャップ状
の空間３３は、基体２０と環状体２１との向かい合った
面３４及び３５によって区画される。
【００１９】空間３１及びギャップ状の空間３３には歯
車リム(Zahnkranz) ４０が収容され、該歯車リム４０は
中空支持シャフト２の上端４１と結合され、歯車リム４
０の、半径方向外側に設けられた歯４２は、環状体２１
の孔に捻回自在（verdrehbar) に収容されているシャフ
ト４４に設けられた歯車４３と歯合している。各々のシ
ャフト４４は該シャフト４４の回転軸に対し偏心に配置
されたカム４５を有する。歯車リム４０によってシャフ
ト４４を捻回することによって、カム４５と、支持体１
の回転軸１１との半径方向の間隔を変えることができ
る。カム４５は支持体１に保持されたディスク状の物体
（図示せず）（例えば珪素製ウエファ）を横方向に支持
するためのストッパとして用いられる。
車リム(Zahnkranz) ４０が収容され、該歯車リム４０は
中空支持シャフト２の上端４１と結合され、歯車リム４
０の、半径方向外側に設けられた歯４２は、環状体２１
の孔に捻回自在（verdrehbar) に収容されているシャフ
ト４４に設けられた歯車４３と歯合している。各々のシ
ャフト４４は該シャフト４４の回転軸に対し偏心に配置
されたカム４５を有する。歯車リム４０によってシャフ
ト４４を捻回することによって、カム４５と、支持体１
の回転軸１１との半径方向の間隔を変えることができ
る。カム４５は支持体１に保持されたディスク状の物体
（図示せず）（例えば珪素製ウエファ）を横方向に支持
するためのストッパとして用いられる。
【００２０】歯車リム４０は、基体２０の周囲に周設さ
れた支持部材４６によって支持されている。該支持部材
４６は例えばテフロンからなる。
れた支持部材４６によって支持されている。該支持部材
４６は例えばテフロンからなる。
【００２１】歯車リム４０にリセス（図示せず）が形成
されており、環状体２１の突出部２４及び締付ねじ３０
がリセス内を突出していることも記述せねばならない。
該リセスは、歯車リム４０を環状体２１従って支持体１
に対して捻回して、カム４５を所望の範囲に調節するこ
とができる寸法を有している。
されており、環状体２１の突出部２４及び締付ねじ３０
がリセス内を突出していることも記述せねばならない。
該リセスは、歯車リム４０を環状体２１従って支持体１
に対して捻回して、カム４５を所望の範囲に調節するこ
とができる寸法を有している。
【００２２】シャフト４４を調節することによってカム
４５を半径方向に捻回するときに、基体２０は、例えば
ＵＳ−Ａ−４９０３７１７に記載されかつチュ−ブブレ
−キとして形成されたブレ−キ装置（詳細に図示せず）
によって制動され、中空支持シャフト２は支持体１に対
し捻回される。支持体１と該支持体１の中空支持シャフ
ト２との間の相対運動によって、カム４５のシャフト４
４も捻回される。
４５を半径方向に捻回するときに、基体２０は、例えば
ＵＳ−Ａ−４９０３７１７に記載されかつチュ−ブブレ
−キとして形成されたブレ−キ装置（詳細に図示せず）
によって制動され、中空支持シャフト２は支持体１に対
し捻回される。支持体１と該支持体１の中空支持シャフ
ト２との間の相対運動によって、カム４５のシャフト４
４も捻回される。
【００２３】ＵＳ−Ａ−４９０３７１７から公知のチュ
−ブブレ−キの代わりに、シュ−ブレ−キも基体２０に
関連して設置されている。
−ブブレ−キの代わりに、シュ−ブレ−キも基体２０に
関連して設置されている。
【００２４】より小さな直径（例えば８インチ）を有す
る支持体１のために、図２及び３に基づくシュ−ブレ−
キが設けられている。固定軸６４を中心に回動自在に支
承されているほぼ半円状の２つのシュ−６０が、例えば
空気圧シリンダ（図示せず）によって調節される少なく
とも１つのエキセントリック６３によって、外側へ、詳
しくは基体２０に設けられた環状の挿入部材６２の内面
へ押圧されるのは、基体２０が制動される必要のある場
合である。ブレ−キシュ−６０を解放するために、少な
くとも１つの引張ばね６１が具備されており、該引張ば
ね６１はシュ−６０を基体２０の環状の挿入部材６２か
ら半径方向内側に引っ張る。
る支持体１のために、図２及び３に基づくシュ−ブレ−
キが設けられている。固定軸６４を中心に回動自在に支
承されているほぼ半円状の２つのシュ−６０が、例えば
空気圧シリンダ（図示せず）によって調節される少なく
とも１つのエキセントリック６３によって、外側へ、詳
しくは基体２０に設けられた環状の挿入部材６２の内面
へ押圧されるのは、基体２０が制動される必要のある場
合である。ブレ−キシュ−６０を解放するために、少な
くとも１つの引張ばね６１が具備されており、該引張ば
ね６１はシュ−６０を基体２０の環状の挿入部材６２か
ら半径方向内側に引っ張る。
【００２５】より大きな支持体１に対しては図４のブレ
−キが好適であり、該ブレ−キのシュ−７０は基体２０
の突出部７１の周囲に周設されている。シュ−７０は２
つの圧縮ばね７２によって離れるように付勢され、すな
わち突出部７１から離れるように移動される。制動のた
めに２つの空気圧シリンダ７３が具備されており、該空
気圧シリンダ７３は圧縮ばね７２の作用に抗してシュ−
７０を突出部７１に押圧する。
−キが好適であり、該ブレ−キのシュ−７０は基体２０
の突出部７１の周囲に周設されている。シュ−７０は２
つの圧縮ばね７２によって離れるように付勢され、すな
わち突出部７１から離れるように移動される。制動のた
めに２つの空気圧シリンダ７３が具備されており、該空
気圧シリンダ７３は圧縮ばね７２の作用に抗してシュ−
７０を突出部７１に押圧する。
【００２６】支持体１の中央体２２に盲穴５０が形成さ
れており、該盲穴５０には中空支持シャフト２の上端が
収容されており、中空支持シャフト２には孔５１が貫通
している。中空支持シャフト２の上端は中央体２２に対
しシ−ル５２によって密閉される。孔５１から中空支持
シャフト２に流出し、かつ盲穴５０によって形成された
空間に流入する気体は、複数の半径方向の孔５３を通っ
て環状空間５４に流れて、該空間５４からノズル１２に
流れ、該ノズル１２を通って支持体１から出ていく。
れており、該盲穴５０には中空支持シャフト２の上端が
収容されており、中空支持シャフト２には孔５１が貫通
している。中空支持シャフト２の上端は中央体２２に対
しシ−ル５２によって密閉される。孔５１から中空支持
シャフト２に流出し、かつ盲穴５０によって形成された
空間に流入する気体は、複数の半径方向の孔５３を通っ
て環状空間５４に流れて、該空間５４からノズル１２に
流れ、該ノズル１２を通って支持体１から出ていく。
【００２７】環状空間５４は中央体２２と環状体２１の
向かい合った面５５及び５６によって区画されている。
向かい合った面５５及び５６によって区画されている。
【００２８】偏心したカム４５用の回転駆動装置が収容
されている空間３１及びギャップ状の空間３３とが、圧
力ガスの流路から支持体１（盲穴５０、孔５３、環状空
間５４）を通ってノズル１２まで分離され、シ−ル５２
によって密閉されている。
されている空間３１及びギャップ状の空間３３とが、圧
力ガスの流路から支持体１（盲穴５０、孔５３、環状空
間５４）を通ってノズル１２まで分離され、シ−ル５２
によって密閉されている。
【００２９】ディスク状の物体を処理液で処理するとき
に、特に、珪素製ディスクにエッチングを施するとき
に、本発明の支持体１は、ＵＳ−Ａ−４９０３７１７に
記載されているように利用される。ディスク状の物体
は、空気力学的なパラドックス（ベルヌ−イの原理）に
基づいて、ノズル１２から流出する気体内で、ディスク
状の物体と、支持体１の、物体に向いた面との間に生起
する低圧によって、均衡状態で自由に懸架しつつ安定し
て確実に保持されるので、ディスク状の物体は処理液で
処理される。
に、特に、珪素製ディスクにエッチングを施するとき
に、本発明の支持体１は、ＵＳ−Ａ−４９０３７１７に
記載されているように利用される。ディスク状の物体
は、空気力学的なパラドックス（ベルヌ−イの原理）に
基づいて、ノズル１２から流出する気体内で、ディスク
状の物体と、支持体１の、物体に向いた面との間に生起
する低圧によって、均衡状態で自由に懸架しつつ安定し
て確実に保持されるので、ディスク状の物体は処理液で
処理される。
【００３０】要約すれば、本発明を例えば以下のように
記述することができる。
記述することができる。
【００３１】ディスク状の物体用の支持体１は、ベルヌ
−イの原理に基づき、環状のノズル１２から、支持体１
の、物体に向いた面へと流出する圧力ガスで作動する。
支持体１には、環状のノズル１２の周囲にカム４５が、
ディスク状の物体用の横方向ストッパとして設けられて
いる。カム４５は支持体１に捻回可能なシャフト４４に
偏心で配置されている。シャフト４４は、支持体１に収
容されかつカム４５を半径方向に調節する歯車リブ４０
によって捻回される。歯車リブ４０が収容されている空
間３１、３３は、圧力ガスがノズル１２に流れるときに
通る空間５０、５３、５４に対し分離され、密閉されて
いる。かくして、気体の流れがカム４５用の調節機構に
よって損なわれること、及び破片が気体と共に運ばれ、
ノズル１２から、処理される物体の方に吹き掛けられる
ことが防止される。
−イの原理に基づき、環状のノズル１２から、支持体１
の、物体に向いた面へと流出する圧力ガスで作動する。
支持体１には、環状のノズル１２の周囲にカム４５が、
ディスク状の物体用の横方向ストッパとして設けられて
いる。カム４５は支持体１に捻回可能なシャフト４４に
偏心で配置されている。シャフト４４は、支持体１に収
容されかつカム４５を半径方向に調節する歯車リブ４０
によって捻回される。歯車リブ４０が収容されている空
間３１、３３は、圧力ガスがノズル１２に流れるときに
通る空間５０、５３、５４に対し分離され、密閉されて
いる。かくして、気体の流れがカム４５用の調節機構に
よって損なわれること、及び破片が気体と共に運ばれ、
ノズル１２から、処理される物体の方に吹き掛けられる
ことが防止される。
【図１】図１は支持体の縦断面図である。
【図２】図２はブレ−キの略平面図である。
【図３】図３は図２のブレ−キの部分断面図である。
【図４】図４はブレ−キの他の実施例を示す図である。
１…支持体、２…支持シャフト、３…回転駆動装置、
５，６，７…歯車・歯付ベルト歯車装置、１１…中心
軸、１２…ノズル、３１，３３…空間、４０…歯車リ
ム、４３…ピニオン、４４…シャフト、４５…カム、５
０，５３，５４…空間。
５，６，７…歯車・歯付ベルト歯車装置、１１…中心
軸、１２…ノズル、３１，３３…空間、４０…歯車リ
ム、４３…ピニオン、４４…シャフト、４５…カム、５
０，５３，５４…空間。
Claims (6)
- 【請求項１】 エッチングが施される最中のディスク状
の物体、特に珪素製ディスク用の、ベルヌ−イの原理に
基づく支持体（１）であって、該支持体（１）の、前記
物体に向いた好ましくは環状の面、すなわち前記支持体
（１）と前記ディスク状の物体との間にガスクッション
を形成するために圧力ガスが送り込まれる面で前記支持
体（１）の周囲領域に配置された少なくとも１つの好ま
しくは環状のノズル（１２）と、前記支持体（１）の、
前記物体に向いた面で前記支持体（１）の周囲領域に配
置され、前記ディスク状の物体を横方向に支持し、かつ
前記支持体（１）に回転自在に支承されたシャフト（４
４）で該シャフト（４４）の回転軸に対し偏心に配置さ
れているカム（４５）によって形成されるストッパとを
有し、前記シャフト（４４）は前記支持体（１）の中心
軸（１１）を中心に捻回可能に前記支持体（１）に支承
された歯車リム（４０）と歯合するピニオン（４３）を
有し、前記歯車リム（４０）は支持シャフト（２）と結
合し、該支持シャフト（２）の一端には前記支持体
（１）が具備されており、中空に形成された前記支持シ
ャフト（２）の中を気体が前記ノズル（１２）に流れ、
前記支持シャフト（２）において前記支持体（１）を回
転させるために、間隔をあけて、前記支持シャフト
（２）の、前記支持体（１）に対向する端部の上方で、
回転駆動装置（３）、好ましくは歯車・歯付ベルト歯車
装置（５，６，７）が係合し、前記支持体（１）に関連
してブレ−キが設置されてなる支持体において、 前記支持シャフト（２）の、前記支持体（１）に設けら
れた端部から前記ノズル（１２）に連通する空間（５
０，５３，５４）は、前記支持体（１）に形成され、前
記カム（４５）を作動するための前記歯車リム（４０）
が収容されている空間（３１，３３）から分離された空
間であること、を特徴とする支持体。 - 【請求項２】 前記支持シャフト（２）に支承された基
体（２０）と、前記カム（４５）の前記シャフト（４
４）が捻回可能に支承されている環状体（２１）と、該
環状体（２１）の外縁でこの環状体（２１）と共に前記
ノズル（１２）を規定する中央体（２２）とにより構成
される支持体（１）において、 前記環状体（２１）は前記中央体（２２）に向いており
かつ該中央体（２２）の肩部（２６）と接触している段
（２７）を有すること、及び前記中央体（２２）は前記
基体（２０）と結合し、前記環状体（２１）を前記基体
（２０）に対し保持していること、を特徴とする請求項
１に記載の支持体。 - 【請求項３】 前記基体（２０）では、前記歯車リム
（４０）を支持する特にテフロン製の複数の支持部材
（４６）が、前記歯車リム（４０）の、前記支持シャフ
ト（２）から離隔した領域に具備されていること、を特
徴とする請求項２に記載の支持体。 - 【請求項４】 前記歯車リム（４０）が収容されている
前記空間（３１）は、前記基体（２０）と前記中央体
（２１）との向かい合った面（２５，３２）によって区
画され、中心に向かって半径方向には前記支持シャフト
（２）によって区画されていること、及び前記歯車リム
（４０）は、前記空間（３１）の半径方向外側で、前記
基体（２０）と前記環状体（２１）との間に形成された
ギャップ状の空間（３３）に延びていること、を特徴と
する請求項２又は３に記載の支持体。 - 【請求項５】 前記ノズル（１２）に気体が供給される
ときに通る空間は、前記中央体（２２）の中央に形成さ
れかつ前記支持シャフト（２）の自由端に係合する盲穴
（５０）と、前記中央体（２２）に形成されかつ前記盲
穴（５０）から半径方向外側に延びる２つ又はそれ以上
の流路（５３）と、前記環状体（２１）及び前記中央体
（２２）の間に形成された環状の空間（５４）とによっ
て形成されていること、を特徴とする請求項２乃至４の
いずれか１に記載の支持体。 - 【請求項６】 前記中央体（２２）の前記盲穴（５０）
の自由端は、シ−ル（５２）によって前記支持シャフト
（２）の自由端に対し密閉されていること、を特徴とす
る請求項５に記載の支持体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT220/93 | 1993-02-08 | ||
| AT22093 | 1993-02-08 |
Publications (2)
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| JP (1) | JP2648449B2 (ja) |
| AT (2) | ATE174155T1 (ja) |
| DE (1) | DE59407361D1 (ja) |
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