JPH0770819B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は洗浄装置に関する。すな
わち、プリント配線基板の製造工程において用いられ、
プリント配線基板のスルホールを洗浄する洗浄装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板には、表裏両面の回路
の電気的接続用又は部品挿着用に、多数の小径の貫通穴
であるスルホールがドリルにて形成されることが多い。
そしてプリント配線基板の製造工程では、このようなス
ルホールの洗浄が度度行われるが、このような洗浄装置
としては従来、まず、高圧洗浄方式のものが用いられて
いた。すなわち従来のこの洗浄装置は、空気中において
ノズルにより５０kg／cm² 以上の圧力で洗浄液をプリン
ト配線基板に向け噴射し、もって、洗浄液を通過させる
ことによりスルホールを洗浄する方式よりなる。

【０００３】ところで、従来のこの高圧洗浄方式のスル
ホールの洗浄装置にあっては、次の問題が指摘されてい
た。すなわちプリント配線基板のスルホールは、まず第
１に、最近の回路の微細化・細密化に伴い、その穴径が
０．２mmから０．５mm程度と極めて小径のものが圧倒的
であり、又第２に、１つのプリント配線基板に例えば１
０００個程度と極めて多数形成され、更に第３に、不特
定・不規則に点在・分布している。しかも第４に、これ
に対しプリント配線基板の肉厚は例えば１．６mm程度
と、スルホールの穴径の数倍から１０倍近く（つまりス
ルホールの穴の形状は極めて細長く）、又第５に、ノズ
ルから噴射された洗浄液は、スルホール以外のプリント
配線基板面にも当たるので、スルホールを通過するため
の圧力が弱められる。これら第１，第２，第３，第４，
第５等により、極めて小径で多数が不規則に点在し細長
いスルホールを十分かつ確実に洗浄することは、最近特
に困難化していた。そこで、この従来の高圧洗浄方式の
洗浄装置では、スルホールにドリルのばり・切削くず・
切り粉、更にはレジストの付着物，酸化箇所，銅箔の汚
れ，内壁に付着したその他の異物、等々が洗浄除去され
ずに残ってしまい、もって、事後のスルホールめっきや
部品挿着用のはんだ付け等の不良の原因となっていた。

【０００４】このような実情に鑑み、発明者は最近、次
のようなスルホールの洗浄装置を新たに開発した。すな
わち、この最近開発した洗浄装置では、プリント配線基
板を、液槽中で洗浄液に浸漬しつつローラーコンベヤ群
にて搬送する。そして係る液槽の洗浄液中に、搬送され
るプリント配線基板に対向位置する吸引ノズルを設け、
洗浄液をプリント配線基板のスルホールを介し吸引する
方式よりなる。なお、この吸引ノズルのスリット状開口
部は、プリント配線基板の搬送方向と直角の横幅方向に
正確に沿い、直線的に配されていた。さて、この最近開
発した洗浄装置によると、極めて小径で多数が不規則に
点在し形状も細長いスルホールであっても、吸引ノズル
にて直線的に吸引され強力に吸引圧力が作用するので、
洗浄液がすべてのスルホールを確実に通過ようになる。
そこで、スルホール内は十分かつ確実に洗浄され、スル
ホールから、ドリルのばり・切削くず・切り粉，レジス
トの付着物，酸化箇所，銅箔の汚れ，内壁に付着したそ
の他の異物，等々が完全に洗浄除去されるようになり、
前述した従来の高圧洗浄方式の洗浄装置の問題点は解決
される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな利点がある反面、この最近開発した洗浄装置では、
次の問題が指摘されていた。すなわち、図３はこのよう
な最近開発した従来例の吸引ノズル等を示し、（１）図
はその要部の平面図、（２）図はその要部の正面説明図
である。同図にも示すごとく、プリント配線基板Ｐが液
槽内を搬送されて吸引ノズル３に至ると、搬送方向Ｙに
対し直角の横幅方向Ｘに沿い直線的に配された吸引ノズ
ル３のスリット状開口部Ｅからの吸引圧力により、プリ
ント配線基板Ｐの先端が一度に集中的に吸引される。そ
して、この吸引圧力が強力な抵抗として作用し、肉厚が
薄くフレキシブルなプリント配線基板Ｐは、損傷した
り、搬送が妨げられ、吸引されて停止し先端から折曲さ
れてローラーコンベヤ２上で重なり合い、搬送も洗浄も
不能となる等々、各種不良が発生しやすいという問題が
あった。なお図４は、このような従来例にて用いられる
コマ部材Ｍを示し、（１）図は正面図、（２）図は側面
図であり、このようなコマ部材Ｍの集合体が、搬送方向
Ｙに回動可能に吸引ノズル３のスリット状開口部Ｅ上に
配され、これを適宜開閉していた。

【０００６】本発明は、このような実情に鑑みこの最近
開発された従来例の問題点を解決すべく、発明者の鋭意
研究努力の結果なされたものであって、液槽の洗浄液中
に搬送されるプリント配線基板に対向位置する吸引ノズ
ルを設けると共に、そのスリット状開口部を所定のごと
く傾斜配列し、請求項２では更に、これにコマ部材を所
定のごとく配してなることにより、第１に、洗浄液をプ
リント配線基板のスルホールを介し吸引可能とし、スル
ホール内を十分かつ確実の洗浄できると共に、第２に、
その吸引圧力が分散されプリント配線基板がスムーズに
搬送される、洗浄装置を提案することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明の技術的手段は、次のとおりである。すなわち、この
洗浄装置は、プリント配線基板の製造工程において用い
られ、該プリント配線基板の両面間に多数設けられた小
径のスルホールを洗浄するものである。そして、該プリ
ント配線基板が浸漬される洗浄液の液槽と、該液槽の洗
浄液中に配され該プリント配線基板を挟み込んで送る上
下のローラーコンベヤ群と、該液槽の洗浄液中で該ロー
ラーコンベヤ群間に配された吸引ノズルと、該吸引ノズ
ルに連結された吸引機構と、を有してなる。そして該吸
引ノズルは、搬送される該プリント配線基板に対向位置
し、上記吸引機構の吸引圧力に基づき、該液槽中の洗浄
液を該プリント配線基板の上記スルホールを介し吸引可
能となっている。

【０００８】そしてこの洗浄装置にあっては、該吸引ノ
ズルには、該プリント配線基板の搬送方向と直角の横幅
方向に対し傾斜して配列されたスリット状開口部が形成
され、該プリント配線基板の横幅をカバーしている。請
求項２の洗浄装置は、このような請求項１記載の構成に
加え、次のようになっている。すなわち、該吸引ノズル
は該プリント配線基板下に配され、該吸引ノズルの上記
スリット状開口部上には、対向してその配列方向に沿い
コマ部材の集合体が互いに密接して配されており、該各
コマ部材は、軸に取り付けられ上記搬送方向に沿い回動
可能となっている。そして常時は、該各コマ部材はすべ
てが下降し、それぞれの端部で上記スリット状開口部を
閉鎖しており、他方、該プリント配線基板が上記スリッ
ト状開口部上を通過し搬送されている間は、該各コマ部
材はそれぞれ、このように通過中の該プリント配線基板
にて端部が押し上げられて順次回動変位し、対応する上
記スリット状開口部を開放するようになっている。

【０００９】

【作用】本発明は、このような手段よりなるので、次の
ように作用する。この洗浄装置では、プリント配線基板
は、液槽中で洗浄液に浸漬されつつローラーコンベヤ群
にて搬送される。そして、その全幅にわたり傾斜しつつ
対向位置する吸引ノズルのスリット状開口部を通過し、
吸引ノズルのスリット状開口部は、その吸引機構の吸引
圧力に基づき、洗浄液をプリント配線基板のスルホール
を介し吸引する。そこで第１に、スルホールは、極めて
小径で多数が不規則に点在し形状も細長いが、このよう
に吸引ノズルのスリット状開口部にて直接的に吸引さ
れ、強力に吸引圧力が作用するので、洗浄液がすべての
スルホールを通過するようになる。従って、極度に穴が
細い場合でもスルホール内は十分かつ確実に洗浄され、
スルホールからドリルのばり・切削くず・切り粉，レジ
ストの付着物，酸化箇所，銅箔の汚れ，内壁に付着した
その他の異物、等々が完全に洗浄除去される。

【００１０】これと共に第２に、吸引ノズルのスリット
状開口部が、横幅方向に対し傾斜配列されているので、
プリント配線基板に対する吸引圧力が、搬送方向および
横幅方向において分散され、もってプリント配線基板
は、損傷，折曲等が発生せず、スムーズに搬送される。
なお第３に、請求項２では、各コマ部材をスリット状開
口部上に配し、対応するスリット状開口部を開閉する方
式が採用されている。つまり、コマ部材がプリント配線
基板で押し上げられ回動変位せしめられている間、対応
するスリット状開口部が開放され、スルホールが吸引さ
れるようになっており、プリント配線基板は所定の吸引
圧力にて洗浄される。

【００１１】

【実施例】以下本発明を、図面に示すその実施例に基づ
いて詳細に説明する。図５は、本発明が適用される洗浄
装置の全体的な正面説明図であり、図６は、同側面説明
図である。図７は、プリント配線基板の拡大した正断面
図である。まずこれらの図面により、全体を説明する。

【００１２】この洗浄装置は、プリント配線基板Ｐの製
造工程において用いられ、プリント配線基板Ｐの両面間
に多数設けられた小径のスルホールＴを洗浄するもので
ある。まず、プリント配線基板Ｐについて述べる。プリ
ント配線基板Ｐは、ＯＡ用の両面基板，コンピューター
用の多層基板，計算機用その他のフレキシブル基板等
々、用途により多種多様であり、もってその製造工程も
多種多様であるが、多くの場合、図７に示したようにス
ルホールＴが形成されている。スルホールＴは、プリン
ト配線基板Ｐの表裏両面の回路の電気的接続・導通用、
又は部品挿着用、つまりプリント配線基板Ｐ上に搭載さ
れる半導体部品の脚廻りの挿着用として用いられ、ＮＣ
ボール盤等により貫通穴として形成される。そしてスル
ホールＴは、最近の回路の微細化・細密化に伴い、その
穴径が０．２mmから０．５mm程度と極めて小径のものが
圧倒的であり、又、１つのプリント配線基板Ｐに例えば
１０００個程度と極めて多数形成され、更に、不特定・
不規則に点在・分布しており、又、プリント配線基板Ｐ
の肉厚が例えば１．６mm程度であることに鑑み、その長
さつまり深さが穴径の数倍から１０倍近い等、細長く深
い穴形状よりなる。

【００１３】さて、このようなスルホールＴを備えたプ
リント配線基板Ｐは、例えば概略次のように製造され
る。すなわち、このプリント配線基板Ｐは、材料切断，
穴あけ加工，研磨・電解処理，スルホールＴめっき，研
磨・電解処理，レジスト貼付，露光，現像，エッチン
グ，レジスト剥膜，等々の工程を辿って製造される。ま
ず絶縁材の両面に銅箔が張り合わされた両面銅張り積層
板が、ワークサイズの短尺材に切断され、次に、スルホ
ールＴ用の穴あけ加工が施された後、洗浄および表面処
理として両面研磨又は電解処理が行われてから、めっき
液を用いたスルホールＴめっきが実施される。つまり、
表面の電気回路と裏面の電気回路を導通すべく、スルホ
ールＴの内壁にめっきが施される。しかる後、再び洗浄
および表面処理として両面研磨又は電解処理が行われて
から、感光性レジストを膜状に貼付ける処理が行われ、
それから回路のネガフィルムである回路写真をあてて露
光し、事後、レジストは露光され硬化した回路部分を残
し、他の部分は現像液の噴射により溶解除去される。そ
れからエッチングマシンにて、このようにレジストが硬
化した回路部分の銅箔を残し、上述によりレジストが溶
解除去された部分の銅箔が腐食液の噴射により溶解除去
される。しかる後、残っていた上述の硬化した回路部分
のレジストが、剥離液の噴射により溶解除去され、もっ
て、所定の電気回路が形成されたプリント配線基板Ｐが
製造されるに至る。そして、このようなプリント配線基
板Ｐの製造工程中において、スルホールＴ等を洗浄装置
にて洗浄することが、上述のスルホールＴめっき前を始
め、レジストの溶解除去後、最終的な製品仕上段階等
々、各工程において度度行われる。

【００１４】さて、このような洗浄に用いられるこの洗
浄装置は、図５および図６に示したように、次の液槽
１，ローラーコンベヤ２群，吸引ノズル３，吸引機構４
等を備えてなる。これらについて述べると、まず液槽１
は、プリント配線基板Ｐが浸漬されるものであり、水洗
水又は酸・アルカリ等の溶液からなる洗浄液Ｈの槽より
なり、装置本体５の処理室内に配設されている。ローラ
ーコンベヤ２群は、この液槽１の洗浄液Ｈ中に配され、
プリント配線基板Ｐを挟み込んで送るべく上下対をなし
並んで多数設けられており、更に、液槽１外では適宜下
側だけに設けられている。６は、このようなローラーコ
ンベヤ２群の駆動用のモータであり、７は、このモータ
６とローラーコンベヤ２群間の伝達部であり、ベルト，
プーリー等よりなる。

【００１５】吸引ノズル３はこのような液槽１の洗浄液
Ｈ中で、ローラーコンベヤ２群間に図示例では２個配さ
れている。そしてこの吸引ノズル３は、搬送されるプリ
ント配線基板Ｐの一面に対向位置し、吸引機構４の吸引
圧力に基づき、液槽１中の洗浄液Ｈをプリント配線基板
ＰのスルホールＴを介し吸引可能となっている。この吸
引ノズル３は、搬送されるプリント配線基板Ｐの一面に
対し、例えば０．５mm程度と、適宜当接することが可能
な程度の極く僅かな隙間を存し、対向位置決めされてい
るが、これによらず、常時当接するように対向位置決め
してもよく、更に常時当接しない隙間で対向位置決めし
てもよい。なお図示例の吸引ノズル３は、プリント配線
基板Ｐの下側、つまり下側のローラーコンベヤ２群間に
配されているが、プリント配線基板Ｐの上側、つまり上
側のローラーコンベヤ２群間に配してもよい。なお、こ
のような吸引ノズル３の詳細については後述する。

【００１６】次に吸引機構４は、液槽１外に配されると
共に、液槽１内の吸引ノズル３に連結されている。すな
わち、８は吸引機構４のモータであり、このモータ８
は、両クランク部９を介し２個のピストンポンプ１０に
接続されている。１１はタンクであり、このタンク１１
には、前述の２個の吸引ノズル３の基端側が、それぞれ
配管１２を介し接続されると共に、前述の液槽１の前端
側および後端側が、それぞれ配管１３を介し接続されて
おり、両配管１３には、それぞれタンク１１側から順に
逆止弁１４，上記ピストンポンプ１０，逆止弁１５，フ
ィルター１６等が設けられている。そこで吸引機構４で
は、モータ８の駆動によりクランク部９を介し両ピスト
ンポンプ１０が往復運動を行い、その吸引運動により、
タンク１１，逆止弁１４を介し吸引ノズル３に吸引圧力
が作用し、そのバキューム圧により液槽１中の洗浄液Ｈ
の吸引が行われる。又ピストンポンプ１０の吐出運動に
より、このように吸引された洗浄液Ｈが、ピストンポン
プ１０から逆止弁１５，フィルター１６を介し液槽１へ
と循環され、その際洗浄液Ｈは、フィルター１６にて汚
れが浄化還元される。図中１７は架台である。

【００１７】さて図示例では、このようなピストンポン
プ１０が２台設けられており、一方が吸引運動する時は
他方が吐出運動するように設定され、もって、その相互
作用により洗浄液Ｈの流れの強弱を少なく、つまり洗浄
液Ｈの吸引脈の波動を小さくしている。又このような吸
引機構４において、例えばタンク１１又は配管１２，１
３等には、減圧弁（図示せず）が付設されており、吸引
ノズル３に作用する吸引圧力を調整するようになってい
る。すなわち、前述のごとくプリント配線基板Ｐに形成
されたスルホールＴは、多数が不特定・不規則に点在・
分布しているので、吸引ノズル３がスルホールＴを介し
洗浄液Ｈを吸引する吸引圧力つまりバキューム圧が、吸
引するスルホールＴの大小，数，有無等にて大きく変動
してしまうことがないよう、この減圧弁が適宜開閉し、
洗浄液Ｈを別の配管（図示せず）へ逃がして再び循環さ
せるようになっている。なお、このように吸引圧力つま
りバキューム圧を一定にコントロールする減圧弁は、吸
引ノズル３に直接付設するようにしてもよい。

【００１８】次に、吸引ノズル３について詳述する。図
１は、本発明の実施例の要部の平面図であり、図２は、
そのコマ部材Ｎ等を示す正面図である。まず図１に示し
たように、吸引ノズル３は、プリント配線基板Ｐの搬送
方向Ｙと直角の横幅方向Ｘに対し、若干傾斜して配列さ
れたスリット状開口部Ｆが形成され、このようなスリッ
ト状開口部Ｆが、プリント配線基板Ｐの横幅をカバーす
る長さを有している。図示例のスリット状開口部Ｆは、
直線状の１本のものが傾斜配列されているが、このよう
な図示例によらず、傾斜したものを多列に配し各々間隔
を存し不連続的に配するようにしてもよい。

【００１９】次に、図２のコマ部材Ｎについて述べてお
く。図２に示したごとく、傾斜したスリット状開口部Ｆ
上には、対向してその配列方向に沿いコマ部材Ｎの集合
体が互いに密接して配されており、各コマ部材Ｎは、そ
れぞれ軸つまりシャフト１８に取り付けられ搬送方向Ｙ
に沿い回動可能である（前述した従来例に関する図４の
（２）図も参照）。そして常時は、各コマ部材Ｎはすべ
てが下降して、それぞれの端部でスリット状開口部Ｆを
完全に封止つまり閉鎖しており、他方、プリント配線基
板Ｐが対応するスリット状開口部Ｆ上を通過し搬送され
ている間は、各コマ部材Ｎはそれぞれ、このように通過
中のプリント配線基板Ｐにて端部が持ち上げられて順次
離反，回動変位し、もって、対応するスリット状開口部
Ｆを開放するようになっている。

【００２０】そして、図１のスリット状開口部Ｆ上にコ
マ部材Ｎが配されるので、このコマ部材Ｎも勿論所定の
ごとく直線的に傾斜して配され、プリント配線基板Ｐが
搬送されて来ると前側から順に開放されて行き、かつ、
前側から順に閉鎖されて行く。なお、又この各コマ部材
Ｎは、各種の横幅サイズのものが存するプリント配線基
板Ｐに対応して、スリット状開口部Ｆの全体的な両端部
の長さを調節する調節機構としても機能し、通過するプ
リント配線基板Ｐの横幅サイズに見合ったスリット状開
口部Ｆのみが開放され、この横幅サイズより外側のスリ
ット状開口部Ｆは、閉鎖されたままとなる。

【００２１】本発明は、以上説明したように構成されて
いる。そこで以下のようになる。この洗浄装置では、プ
リント配線基板Ｐは、液槽１中で洗浄液Ｈに浸漬されつ
つ、上下のローラーコンベヤ２群に挟み込まれて搬送さ
れる。そして、このように搬送されるプリント配線基板
Ｐは、ローラーコンベヤ２群間に配され、その全幅にわ
たり対向位置する吸引ノズル３のスリット状開口部Ｆを
通過し、吸引ノズル３のスリット状開口部Ｆは、その吸
引機構４の吸引圧力に基づき、プリント配線基板Ｐのス
ルホールＴを介し液槽１中の洗浄液Ｈを吸引する。つま
り吸引機構４のモータ８の駆動により、２台のピストン
ポンプ１０が吸引運動と吐出運動を交互に行い、液槽１
中の洗浄液Ｈが、スルホールＴ，吸引ノズル３のスリッ
ト状開口部Ｆ，配管１２，タンク１１，配管１３，逆止
弁１４，ピストンポンプ１０，逆止弁１５，フィルター
１６等を介し、再び液槽１へと循環する。

【００２２】さてそこで第１に、プリント配線基板Ｐの
スルホールＴは、極めて小径であり、しかも多数が不規
則に点在し形状も細長いが、このように液槽１の洗浄液
Ｈ中を搬送されつつ、その一面側に対向する吸引ノズル
３のスリット状開口部Ｆにて直接的に吸引され、もっ
て、すべてのスルホールＴに対し強力に吸引圧力つまり
バキューム圧が作用する。従って、このような吸引圧力
により、洗浄液ＨがすべてのスルホールＴを通過し、極
度に穴が細い場合でもプリント配線基板Ｐの表面ではじ
かれるようなこともなく、吸引ノズル３のスリット状開
口部Ｆに吸引される。このようにして、すべてのスルホ
ールＴ内は十分かつ確実に洗浄され、スルホールＴか
ら、前工程で発生したドリルのばり・切削くず・切り
粉，更にレジストの付着物，酸化箇所，銅箔の汚れ，内
壁に付着したその他の異物、等々が完全に洗浄除去され
る。

【００２３】これと共に第２に、吸引ノズル３のスリッ
ト状開口部Ｆが、横幅方向Ｘから搬送方向Ｙに傾斜配列
されている。そこで、通過するプリント配線基板Ｐに対
する吸引圧力が、搬送方向Ｙおよび横幅方向Ｘにおいて
分散され、もって、プリント配線基板Ｐの先端が一度に
集中して吸引され大きな抵抗を受けるようなことはなく
なり、プリント配線基板Ｐは、先端から徐々に吸引さ
れ、少しずつその搬送が妨げられない程度の抵抗を受け
る。従ってプリント配線基板Ｐは、肉厚が薄くフレキシ
ブルではあるが、損傷，折曲等が発生せず、スムーズに
搬送される。なお第３に、このようなプリント配線基板
Ｐの吸引ノズル３による吸引は、図２に示したように、
各コマ部材Ｎをスリット状開口部Ｆ上にそれぞれ配し、
これを開閉する方式にて行われている。つまり、あるコ
マ部材Ｎのグループが、搬送され通過するプリント配線
基板Ｐで押し上げられている間、対応するスリット状開
口部Ｆのみが開放され、もって、プリント配線基板Ｐの
スルホールＴが、常に所定の吸引圧力にて吸引，洗浄さ
れるようになっている。

【００２４】

【発明の効果】本発明に係る洗浄装置は以上説明したご
とく、液槽の洗浄液中に搬送されるプリント配線基板に
対向位置する吸引ノズルを設け、洗浄液をプリント配線
基板のスルホールを介し吸引可能とすると共に、そのス
リット状開口部を所定のごとく傾斜配列し、請求項２で
は更に、これにコマ部材を所定のごとく配してなること
により、次の効果を発揮する。

【００２５】すなわち第１に、プリント配線基板のスル
ホール内が十分かつ確実に洗浄されるようになる。つま
りスルホールから、ドリルのばり・切削くず・切り粉，
レジストの付着物，酸化箇所，銅箔の汚れ，内壁に付着
したその他の異物、等々が完全に洗浄除去され、もっ
て、事後のスルホールめっきや部品挿着用のはんだ付け
等が、パーフェクトに不良なく実現される。これと共に
第２に、吸引圧力が分散されプリント配線基板はスムー
ズに搬送される。つまりプリント配線基板は、損傷する
ことがなく、又、搬送が妨げられ吸引されて停止し先端
から折曲されて重なり合うようなことがなく、搬送も洗
浄もスムーズに行われ、各種不良の発生が回避される。
これらにより、高密度化，小型軽量化，高多層化が進
み、回路の微細化・細密化が進むプリント配線基板につ
いて、品質が安定し信頼性が著しく向上するようにな
る。このように、この種従来例に存した問題点が一掃さ
れる等、本発明の発揮する効果は顕著にして大なるもの
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置の実施例の要部の平面図
である。

【図２】そのコマ部材等を示す正面図である。

【図３】この種従来例の吸引ノズル等を示し、（１）図
はその要部の平面図、（２）図はその要部の正面説明図
である。

【図４】この種従来例のコマ部材等を示し、（１）図は
正面図、（２）図は側面図である。

【図５】この種洗浄装置の全体的な正面説明図である。

【図６】同側面説明図である。

【図７】プリント配線基板の拡大した正断面図である。

【符号の説明】

１ 液槽 ２ ローラーコンベヤ ３ 吸引ノズル ４ 吸引機構 ５ 装置本体 ６ モータ ７ 伝達部 ８ モータ ９ クランク部 １０ ピストンポンプ １１ タンク １２ 配管 １３ 配管 １４ 逆止弁 １５ 逆止弁 １６ フィルター １７ 架台 １８ シャフト Ｅ スリット状開口部（従来例） Ｆ スリット状開口部（本発明） Ｈ 洗浄液 Ｍ コマ部材（従来例） Ｎ コマ部材（本発明） Ｐ プリント配線基板 Ｔ スルホール Ｙ 搬送方向 Ｘ 横幅方向

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント配線基板の製造工程において用
   いられ、該プリント配線基板の両面間に多数設けられた
   小径のスルホールを洗浄する洗浄装置であって、 該プリント配線基板が浸漬される洗浄液の液槽と、該液
   槽の洗浄液中に配され該プリント配線基板を挟み込んで
   送る上下のローラーコンベヤ群と、該液槽の洗浄液中で
   該ローラーコンベヤ群間に配された吸引ノズルと、該吸
   引ノズルに連結された吸引機構と、を有してなり、該吸
   引ノズルは搬送される該プリント配線基板に対向位置
   し、上記吸引機構の吸引圧力に基づき、該液槽中の洗浄
   液を該プリント配線基板の上記スルホールを介し吸引可
   能となっている洗浄装置において、該吸引ノズルには、該プリント配線基板の搬送方向と直
   角の横幅方向に対し傾斜して配列されたスリット状開口
   部が形成され、該プリント配線基板の横幅をカバーして
   いること、を特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 該吸引ノズルは該プリント配線基板下に
   配され、該吸引ノズルの上記スリット状開口部上には、
   対向してその配列方向に沿いコマ部材の集合体が互いに
   密接して配されており、該各コマ部材は、軸に取り付け
   られ上記搬送方向に沿い回動可能であり、 常時は、該各コマ部材はすべてが下降し、それぞれの端
   部で上記スリット状開口部を閉鎖しており、他方、該プ
   リント配線基板が上記スリット状開口部上を通過し搬送
   されている間は、該各コマ部材はそれぞれ、このように
   通過中の該プリント配線基板にて端部が押し上げられて
   順次回動変位し、対応する上記スリット状開口部を開放
   すること、を特徴とする請求項１記載の洗浄装置。