JPH0771703B2 - 動圧型流体軸受の流体溝形成装置 - Google Patents
動圧型流体軸受の流体溝形成装置Info
- Publication number
- JPH0771703B2 JPH0771703B2 JP61180331A JP18033186A JPH0771703B2 JP H0771703 B2 JPH0771703 B2 JP H0771703B2 JP 61180331 A JP61180331 A JP 61180331A JP 18033186 A JP18033186 A JP 18033186A JP H0771703 B2 JPH0771703 B2 JP H0771703B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- workpiece
- fluid groove
- forming device
- hydrodynamic bearing
- Prior art date
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- Forging (AREA)
- Metal Extraction Processes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ミクロンオーダーで高精度塑性加工する動圧
型流体軸受の流体溝形成装置に関するものである。
型流体軸受の流体溝形成装置に関するものである。
従来の技術 近年、動圧型流体軸受は、回転精度が高く、軸受寿命の
長い小型軸受として、従来の玉軸受に替わる民生機器用
軸受として注目を浴びている。
長い小型軸受として、従来の玉軸受に替わる民生機器用
軸受として注目を浴びている。
以下図面を参照しながら、上述した従来の動圧型流体軸
受の流体溝形成装置の一例について説明する。
受の流体溝形成装置の一例について説明する。
第3図は従来の動圧型流体軸受の流体溝形成プロセスを
示すもので、洗浄,スクリーン印刷,エッチング
加工,水洗,レジスト除去,水洗の過程で完成す
る。第4図は前記工程での流体溝の成形過程図を示した
もので、1aはスクリーン、2aはスキージ、3aは印刷イン
ク、4aは加工物、5aはエッチング液、6aは印刷加工物で
ある。以下、流体溝が完成する迄の過程について説明す
る。
示すもので、洗浄,スクリーン印刷,エッチング
加工,水洗,レジスト除去,水洗の過程で完成す
る。第4図は前記工程での流体溝の成形過程図を示した
もので、1aはスクリーン、2aはスキージ、3aは印刷イン
ク、4aは加工物、5aはエッチング液、6aは印刷加工物で
ある。以下、流体溝が完成する迄の過程について説明す
る。
まず、固定されたスクリーン1aをはさんで、下に洗浄さ
れた加工物4aを置き、スクリーン1a上に印刷インク3aを
適量塗布し、加工物4aをスキージ2aの移動スピードと同
期させながら回転させながら、スキージ2aと共に横に移
動させ、加工物4aの表面に印刷インク3aを流体溝の形状
に均一に塗布させ印刷加工物6aを完成させる。前記印刷
加工物6aをエッチング液5aに浸漬させ、印刷インク6aの
塗布していない部分を化学的にエッチングし、後に水
洗、レジスト除去により印刷インク6a、レジストを取り
除き、流体溝7aを完成させる。
れた加工物4aを置き、スクリーン1a上に印刷インク3aを
適量塗布し、加工物4aをスキージ2aの移動スピードと同
期させながら回転させながら、スキージ2aと共に横に移
動させ、加工物4aの表面に印刷インク3aを流体溝の形状
に均一に塗布させ印刷加工物6aを完成させる。前記印刷
加工物6aをエッチング液5aに浸漬させ、印刷インク6aの
塗布していない部分を化学的にエッチングし、後に水
洗、レジスト除去により印刷インク6a、レジストを取り
除き、流体溝7aを完成させる。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような製造方法では、工程条件が最
適にマッチングすれば、高精度の流体溝加工精度を得ら
れるが、エッチング液の濃度、性能劣化など経時変化が
発生する事により、流体溝の加工精度が不安定になった
り、製造工程が多い為、生産のリードタイムが長いこと
や、流体溝の寸法形状の切替え変更する場合に、時間が
かかるという問題点を有していた。
適にマッチングすれば、高精度の流体溝加工精度を得ら
れるが、エッチング液の濃度、性能劣化など経時変化が
発生する事により、流体溝の加工精度が不安定になった
り、製造工程が多い為、生産のリードタイムが長いこと
や、流体溝の寸法形状の切替え変更する場合に、時間が
かかるという問題点を有していた。
本発明は、上記問題点について、ミクロンオーダーの流
体溝加工精度を安定かつ容易に得られ、安価な動圧型流
体軸受の流体溝形成装置を提供するものである。
体溝加工精度を安定かつ容易に得られ、安価な動圧型流
体軸受の流体溝形成装置を提供するものである。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の動圧型流体軸受の
流体溝形成装置は、工具軸の片端の外周に、加工物の加
工円筒内面を形成する円の径よりも大きい径にボールを
複数個固定した工具と、前記工具軸の回転と軸方向移動
とを駆動する駆動ユニットと、前記加工物を保持し、前
記円を含む面に平行な面内を移動自在とした調芯ユニッ
トと、前記調芯ユニットを固定する押えとからなり、前
記調芯ユニットは前記工具と前記加工物内径部との当接
により前記工具に対し、前記加工物の軸芯を調芯すると
ともに、調芯状態で前記押えにより固定されることを特
徴とする。
流体溝形成装置は、工具軸の片端の外周に、加工物の加
工円筒内面を形成する円の径よりも大きい径にボールを
複数個固定した工具と、前記工具軸の回転と軸方向移動
とを駆動する駆動ユニットと、前記加工物を保持し、前
記円を含む面に平行な面内を移動自在とした調芯ユニッ
トと、前記調芯ユニットを固定する押えとからなり、前
記調芯ユニットは前記工具と前記加工物内径部との当接
により前記工具に対し、前記加工物の軸芯を調芯すると
ともに、調芯状態で前記押えにより固定されることを特
徴とする。
作用 本発明装置によれば、従来の化学的な反応により流体溝
を成形する時間より早く流体溝を加工形成でき、かつ条
件設定を機械的寸法で決めることができるとともに、工
具と加工物内径部とが当接するだけで両者の軸芯を調芯
することができ、また押えにより調芯ユニットを固定す
ることができ、調芯された状態を維持しながら加工が行
えるため、加工精度を向上させることができる。
を成形する時間より早く流体溝を加工形成でき、かつ条
件設定を機械的寸法で決めることができるとともに、工
具と加工物内径部とが当接するだけで両者の軸芯を調芯
することができ、また押えにより調芯ユニットを固定す
ることができ、調芯された状態を維持しながら加工が行
えるため、加工精度を向上させることができる。
実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図は、本発明の実施例における動圧型流体軸受の流
体溝形成装置を示すものである。第1図において、1は
スライドベース支持体、2は送りボールネジ、3はボー
ルネジ支持軸受、4はスライドモータ、5はスライドモ
ータ取付板、6はカップリングA、7はスライドベース
本体、8は回転軸ブラケット、9は回転軸、10は回転軸
軸受、11は回転軸モータ、12は回転軸モータ取付板、13
はカップリングB、14は加工物、15はチャック、16はリ
ニアスライドユニット、17はリニアスライド押え、18は
シリンダー、19はガイドポスト、20は加工工具である。
体溝形成装置を示すものである。第1図において、1は
スライドベース支持体、2は送りボールネジ、3はボー
ルネジ支持軸受、4はスライドモータ、5はスライドモ
ータ取付板、6はカップリングA、7はスライドベース
本体、8は回転軸ブラケット、9は回転軸、10は回転軸
軸受、11は回転軸モータ、12は回転軸モータ取付板、13
はカップリングB、14は加工物、15はチャック、16はリ
ニアスライドユニット、17はリニアスライド押え、18は
シリンダー、19はガイドポスト、20は加工工具である。
前記加工工具20の工具軸21の片端の外周には、加工物14
の内径よりも大きい径に等分割にボール22が複数個固定
されている。
の内径よりも大きい径に等分割にボール22が複数個固定
されている。
前記加工工具20に回転と摺動を同時に与える為、摺動部
は、スライドモータ4を回転させればカップリングA6を
介して送りボールネジ2に回転が伝達され、スライドベ
ース7が摺動する。又、回転部は、回転軸モータ11を回
転させる事により、カップリングB13を介して、回転軸
9に回転が伝達される。このようにして加工工具20に回
転と摺動が与えられる。又、加工物14の固定はチャック
15の開閉で行なわれ、軸芯は、前記加工工具20が回転、
摺動しながら加工物14に挿入されるとリニアスライドユ
ニット16がX,Y2方向へ任意に動き、自動調芯される。前
記自動調芯されたリニアスライドユニット16は、シリン
ダー18の上下動によりリニアスライド押え17により固定
される。第2図は第1図の動圧型流体軸受の流体溝形成
装置における加工フローを示すもので、加工物14を挿入
後、加工物をチャッキングし、前記第1図のスライドベ
ース本体7を前進および回転軸9を正転させることによ
り加工物14に加工工具20を挿入する。加工工具20と加工
物14が接触すると加工工具20中心に沿うように加工物軸
芯が移動し、軸芯が自動調芯、固定され、流体溝成形加
工が行なわれる。流体溝形成加工の完了直後、加工工具
20前進軌跡と逆軌跡で加工工具20を戻し、加工物14から
加工工具20を抜きリニアスライド押え17を上昇させ、自
動調芯固定を解除し、チャック15を開放し、加工物14を
取出す。
は、スライドモータ4を回転させればカップリングA6を
介して送りボールネジ2に回転が伝達され、スライドベ
ース7が摺動する。又、回転部は、回転軸モータ11を回
転させる事により、カップリングB13を介して、回転軸
9に回転が伝達される。このようにして加工工具20に回
転と摺動が与えられる。又、加工物14の固定はチャック
15の開閉で行なわれ、軸芯は、前記加工工具20が回転、
摺動しながら加工物14に挿入されるとリニアスライドユ
ニット16がX,Y2方向へ任意に動き、自動調芯される。前
記自動調芯されたリニアスライドユニット16は、シリン
ダー18の上下動によりリニアスライド押え17により固定
される。第2図は第1図の動圧型流体軸受の流体溝形成
装置における加工フローを示すもので、加工物14を挿入
後、加工物をチャッキングし、前記第1図のスライドベ
ース本体7を前進および回転軸9を正転させることによ
り加工物14に加工工具20を挿入する。加工工具20と加工
物14が接触すると加工工具20中心に沿うように加工物軸
芯が移動し、軸芯が自動調芯、固定され、流体溝成形加
工が行なわれる。流体溝形成加工の完了直後、加工工具
20前進軌跡と逆軌跡で加工工具20を戻し、加工物14から
加工工具20を抜きリニアスライド押え17を上昇させ、自
動調芯固定を解除し、チャック15を開放し、加工物14を
取出す。
以上のように、本実施例によれば、加工工具20を同時に
回転と摺動を与える駆動ユニットと加工物14の軸芯を加
工工具20の軸芯に精度よく自動調芯できる調芯ユニット
とを設け、ボール22を工具軸21の片端の外周に複数個固
定した加工工具20により塑性加工することで、ミクロン
オーダーの塑性加工で動圧型流体軸受の流体溝を精度よ
く素早く容易に得ることができる。
回転と摺動を与える駆動ユニットと加工物14の軸芯を加
工工具20の軸芯に精度よく自動調芯できる調芯ユニット
とを設け、ボール22を工具軸21の片端の外周に複数個固
定した加工工具20により塑性加工することで、ミクロン
オーダーの塑性加工で動圧型流体軸受の流体溝を精度よ
く素早く容易に得ることができる。
発明の効果 以上のように本発明は上記構成を有するので、流体溝の
成形精度を高精度かつ短時間に得られることができる動
圧型流体軸受の流体溝形成装置を提供する事ができる。
成形精度を高精度かつ短時間に得られることができる動
圧型流体軸受の流体溝形成装置を提供する事ができる。
第1図は、本発明の実施例における動圧型流体軸受の流
体溝形成装置の構造図、第2図は第1図の装置における
加工フロー図、第3図は、従来のエッチング法による流
体溝製造工程のフロー図、第4図は、第3図のフロー図
での流体溝の成形過程図である。 14……加工物、20……工具、21……工具軸、22……ボー
ル。
体溝形成装置の構造図、第2図は第1図の装置における
加工フロー図、第3図は、従来のエッチング法による流
体溝製造工程のフロー図、第4図は、第3図のフロー図
での流体溝の成形過程図である。 14……加工物、20……工具、21……工具軸、22……ボー
ル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 英明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−6427(JP,A) 特開 昭61−124726(JP,A) 実開 昭58−152334(JP,U)
Claims (1)
- 【請求項1】工具軸の片端の外周に、加工物の加工円筒
内面を形成する円の径よりも大きい径にボールを複数個
固定した工具と、前記工具軸の回転と軸方向移動とを駆
動する駆動ユニットと、前記加工物を保持し、前記円を
含む面に平行な面内を移動自在とした調芯ユニットと、
前記調芯ユニットを固定する押えとからなり、前記調芯
ユニットは前記工具と前記加工物内径部との当接により
前記工具に対し、前記加工物の軸芯を調芯するととも
に、調芯状態で前記押えにより固定されることを特徴と
する動圧型流体軸受の流体溝形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61180331A JPH0771703B2 (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61180331A JPH0771703B2 (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336939A JPS6336939A (ja) | 1988-02-17 |
| JPH0771703B2 true JPH0771703B2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=16081349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61180331A Expired - Lifetime JPH0771703B2 (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 動圧型流体軸受の流体溝形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0771703B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2624073B2 (ja) * | 1991-12-28 | 1997-06-25 | 凸版印刷株式会社 | 積層包装材料 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58152334U (ja) * | 1982-04-03 | 1983-10-12 | 東京貿易株式会社 | 管体に插入用の中子 |
| JPS616427A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体軸受の製造方法 |
| JPH0613135B2 (ja) * | 1984-11-19 | 1994-02-23 | 松下電器産業株式会社 | 溝付流体軸受の製造装置 |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP61180331A patent/JPH0771703B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6336939A (ja) | 1988-02-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |