JPH0771838B2 - 防湿性透明フィルム - Google Patents
防湿性透明フィルムInfo
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- JPH0771838B2 JPH0771838B2 JP63293493A JP29349388A JPH0771838B2 JP H0771838 B2 JPH0771838 B2 JP H0771838B2 JP 63293493 A JP63293493 A JP 63293493A JP 29349388 A JP29349388 A JP 29349388A JP H0771838 B2 JPH0771838 B2 JP H0771838B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は水蒸気の透過によって性能が大幅に劣化する太
陽電池や電場発光灯などのエレクトロニクス素子，医療
品や食品などの透明封止，包装材に適用され、かかる部
材の耐久性を大幅に向上せしめることを目的とする防湿
性透明フイルムに関する。
陽電池や電場発光灯などのエレクトロニクス素子，医療
品や食品などの透明封止，包装材に適用され、かかる部
材の耐久性を大幅に向上せしめることを目的とする防湿
性透明フイルムに関する。
［従来の技術とその問題点］ 防湿性透明フイルムとしては、フッ化オレフィン重合
体、すなわち、α−フルオルオレフィン特にパーフルオ
ル化されたあるいは弗素と共に水素を含有している化合
物の重合体、ハロゲン含有α−フルオロオレフィン、あ
るいはパーフルオロアルコキシエチレンの重合体、更に
前記α−フルオロオレフィン，ハロゲン含有α−オレフ
ィンあるいはパーフルオルオロアルコキシエチレンの少
くとも２種を用いた共重合体などのフッ素樹脂フイルム
が公知である。しかるに、かかるフッ素樹脂フイルムは
表面エネルギーが低く不活性なため、接着剤，インクな
どが附着せず、そのままでは接着が必要な用途に利用す
ることができなかった。
体、すなわち、α−フルオルオレフィン特にパーフルオ
ル化されたあるいは弗素と共に水素を含有している化合
物の重合体、ハロゲン含有α−フルオロオレフィン、あ
るいはパーフルオロアルコキシエチレンの重合体、更に
前記α−フルオロオレフィン，ハロゲン含有α−オレフ
ィンあるいはパーフルオルオロアルコキシエチレンの少
くとも２種を用いた共重合体などのフッ素樹脂フイルム
が公知である。しかるに、かかるフッ素樹脂フイルムは
表面エネルギーが低く不活性なため、接着剤，インクな
どが附着せず、そのままでは接着が必要な用途に利用す
ることができなかった。
又、高分子フイルム基板等を用いた可撓性アモルファス
シリコン太陽電池、あるいは薄膜型エレクトロルミネッ
センス表示体等においては、その耐久性面からその全体
を封止する必要があり、上述の接着性を有する可撓性の
防湿性透明フイルムが待望されている。
シリコン太陽電池、あるいは薄膜型エレクトロルミネッ
センス表示体等においては、その耐久性面からその全体
を封止する必要があり、上述の接着性を有する可撓性の
防湿性透明フイルムが待望されている。
［発明の目的］ 本発明は、かかる現状に鑑みなされたもので、防湿性透
明フイルムとして優れた防湿特性を有するフッ素樹脂フ
イルムを用い、その本来の機能を損なうことなく、接着
性を改良した防湿性透明フイルムを提供することを目的
とするものである。
明フイルムとして優れた防湿特性を有するフッ素樹脂フ
イルムを用い、その本来の機能を損なうことなく、接着
性を改良した防湿性透明フイルムを提供することを目的
とするものである。
［発明の構成及び作用］ 本発明者は上記目的から、フッ素樹脂フイルムの透明性
を損なうことなく、接着性を改善することを鋭意検討し
た結果、フッ素樹脂フイルムの表面にその光透過率を殆
んど損なわない非常に薄い特定の金属薄膜を設けること
により表面の接着性を改善することができることを見出
し、本発明に到達した。
を損なうことなく、接着性を改善することを鋭意検討し
た結果、フッ素樹脂フイルムの表面にその光透過率を殆
んど損なわない非常に薄い特定の金属薄膜を設けること
により表面の接着性を改善することができることを見出
し、本発明に到達した。
すなわち本発明は、フッ素樹脂フイルムよりなる防湿性
透明フイルムにおいて、少なくともその１面に該表面を
活性化する効果を有する金属であるTiからなる金属薄膜
を、波長550nmにおけるフイルム全体の光透過率が85％
以上となる膜厚である２Å〜90Åの膜厚で積層したこと
を特徴とする防湿性透明フイルムである。
透明フイルムにおいて、少なくともその１面に該表面を
活性化する効果を有する金属であるTiからなる金属薄膜
を、波長550nmにおけるフイルム全体の光透過率が85％
以上となる膜厚である２Å〜90Åの膜厚で積層したこと
を特徴とする防湿性透明フイルムである。
なお、本発明の如く光透過率を損なわないような非常に
薄い具体的には100Å以下、極端な場合は数Åという連
続膜とは言えないような金属薄膜により接着性が改良さ
れる理由は明確ではないが、積層した金属によるフイル
ム表面の活性化によるものと思われる。
薄い具体的には100Å以下、極端な場合は数Åという連
続膜とは言えないような金属薄膜により接着性が改良さ
れる理由は明確ではないが、積層した金属によるフイル
ム表面の活性化によるものと思われる。
以下、本発明の詳細を説明する。
本発明に用いるフッ素樹脂フイルムには、前述のフッ化
オレフィン重合体、すなわちα−フルオルオレフィン、
特にパーフルオル化されあるいは弗素と共に水素を含有
する化合物の重合体、ハロゲン含有α−フルオロオレフ
ィン、あるいはパーフルオロアルコキシエチレン重合
体、更に前記α−フルオロレフィン，ハロゲン含有α−
オレフィンあるいはパーフルオルオロアルコキシエチレ
ンの少なくとも２種を用いた共重合体などの公知のフッ
素樹脂フイルムが全て利用できる。前記α−フルオロオ
レフィンの炭素数は好ましくは２〜６、特に好ましくは
２〜４である。なかでもテトラフルオロエチレン−ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体（FEP），クロルトリフ
ルオロエチレン重合体（CTFE），クロルトリフルオロエ
チレンとビニリデンフロライドとの共重合体からなるフ
イルムは好適であり、厚さはその可撓性面から通常約25
〜300μｍのものが用いられる。
オレフィン重合体、すなわちα−フルオルオレフィン、
特にパーフルオル化されあるいは弗素と共に水素を含有
する化合物の重合体、ハロゲン含有α−フルオロオレフ
ィン、あるいはパーフルオロアルコキシエチレン重合
体、更に前記α−フルオロレフィン，ハロゲン含有α−
オレフィンあるいはパーフルオルオロアルコキシエチレ
ンの少なくとも２種を用いた共重合体などの公知のフッ
素樹脂フイルムが全て利用できる。前記α−フルオロオ
レフィンの炭素数は好ましくは２〜６、特に好ましくは
２〜４である。なかでもテトラフルオロエチレン−ヘキ
サフルオロプロピレン共重合体（FEP），クロルトリフ
ルオロエチレン重合体（CTFE），クロルトリフルオロエ
チレンとビニリデンフロライドとの共重合体からなるフ
イルムは好適であり、厚さはその可撓性面から通常約25
〜300μｍのものが用いられる。
又、本発明において上記フッ素樹脂フイルムの少なくと
も一面に設ける金属薄膜は、前述したところによりフッ
素樹脂フイルムの低エネルギー表面を活性化する効果を
有する金属原子からなるものである。かかる金属原子と
しては後述の実施例に示すTi,Alの他、同様の効果が得
られる遷移金属、具体敵にはZr,Cr,Mo,W,Fe,Co,Niの各
金属元素が挙げられる。中でも、Ti,Zrは実施例に示す
ように接着力上昇効果が大きく、その表層が酸化されて
も透明性のよい酸化物となり透明性が劣化しない点で特
に好ましい。なお、本発明の金属薄膜は、その表層が用
いる金属によっては大気中で酸化されるので、かかる酸
化物層を表層に有するものを含むことは言うまでもな
い。本発明においては、上記活性化面からそのフッ素樹
脂フイルムと接する側の底層部が金属原子からなること
が肝要である。
も一面に設ける金属薄膜は、前述したところによりフッ
素樹脂フイルムの低エネルギー表面を活性化する効果を
有する金属原子からなるものである。かかる金属原子と
しては後述の実施例に示すTi,Alの他、同様の効果が得
られる遷移金属、具体敵にはZr,Cr,Mo,W,Fe,Co,Niの各
金属元素が挙げられる。中でも、Ti,Zrは実施例に示す
ように接着力上昇効果が大きく、その表層が酸化されて
も透明性のよい酸化物となり透明性が劣化しない点で特
に好ましい。なお、本発明の金属薄膜は、その表層が用
いる金属によっては大気中で酸化されるので、かかる酸
化物層を表層に有するものを含むことは言うまでもな
い。本発明においては、上記活性化面からそのフッ素樹
脂フイルムと接する側の底層部が金属原子からなること
が肝要である。
上記金属薄膜は、真空蒸着法，スパッタリング法，イン
プレーティング法などの公知のフッ素樹脂表面の活性化
効果を有する物理蒸着法で形成される。例えば、スパッ
タリング法では上記フッ素樹脂フイルムを基板とし、対
向電極に例えばTi金属からなるターゲットを配し、雰囲
気を10-3TorrのAr不活性雰囲気として両電極間に直流電
圧を印加してグロー放電を発生させてTi金属をスパッタ
リングしてフッ素樹脂フイルム上にTi金属原子からなる
薄膜を形成する。
プレーティング法などの公知のフッ素樹脂表面の活性化
効果を有する物理蒸着法で形成される。例えば、スパッ
タリング法では上記フッ素樹脂フイルムを基板とし、対
向電極に例えばTi金属からなるターゲットを配し、雰囲
気を10-3TorrのAr不活性雰囲気として両電極間に直流電
圧を印加してグロー放電を発生させてTi金属をスパッタ
リングしてフッ素樹脂フイルム上にTi金属原子からなる
薄膜を形成する。
このようにしてTi又はZr等の遷移元素等の金属からなる
金属薄膜がフッ素樹脂フイルムの少なくとも一方の面に
被覆されるが、本発明の目的であるフッ素樹脂フイルム
の本来の透明性を保持させるため及び後述の実施例から
明らかなように大きな接着力が得られるという点から、
その表面に被覆される該金属薄膜の厚さはフイルムも含
めた全体の550nmにおける光透過率が85％以上となる厚
さとする。フッ素樹脂フイルム本来の光透過率は膜厚及
びフッ素樹脂の種類等により異なるが87〜95％である。
又、太陽電池や電場発光灯等の用途分野では、防湿性透
明部材にガラス板が用いられているが、400〜1100nmの
波長域ではソーダライムガラスの光透過率は84％前後、
白板ガラスでは91.6％前後といわれている。ガラス板の
かかる光学特性を考慮すれば、前記膜厚で太陽電池等の
高性能分野を含む各種適用分野で必要な透明性に対して
十分であることがわかる。と同時に後述の実施例から明
らかなように、驚くべきことにこの膜厚範囲ではピーク
に近い接着力が得られるのである。かかる光透過率を与
える金属原子の膜厚は、適用される金属原子の種類によ
り異なり、一義的に決めることは困難である。例えば実
施例に示すTi金属原子からなる金属薄膜では90Å以下、
Al金属原子からなる金属薄膜では30Å以下となる。一
方、金属薄膜の膜厚の下限はフッ素樹脂フイルムの接着
性の改良効果を引き出さねばならぬが、実施例に示すよ
うにTiでは単原子層の厚さがあればフッ素樹脂フイルム
表面の高エネルギー化に十分であることがわかった。
又、特にフッ素樹脂フイルムの透明性を実質的に損なう
ことなく、かかる効果を発現せしめるためにはTiの場合
当該金属薄膜の厚さは90Å以下２Å以上であることが必
要であり、更に接着性を考慮すると２〜70Åが好まし
い。又、防湿性面からは金属薄膜がフイルム全面に連続
膜として形成されていることが好ましく、かかる点を考
慮すると10Å以上が特に好ましい。
金属薄膜がフッ素樹脂フイルムの少なくとも一方の面に
被覆されるが、本発明の目的であるフッ素樹脂フイルム
の本来の透明性を保持させるため及び後述の実施例から
明らかなように大きな接着力が得られるという点から、
その表面に被覆される該金属薄膜の厚さはフイルムも含
めた全体の550nmにおける光透過率が85％以上となる厚
さとする。フッ素樹脂フイルム本来の光透過率は膜厚及
びフッ素樹脂の種類等により異なるが87〜95％である。
又、太陽電池や電場発光灯等の用途分野では、防湿性透
明部材にガラス板が用いられているが、400〜1100nmの
波長域ではソーダライムガラスの光透過率は84％前後、
白板ガラスでは91.6％前後といわれている。ガラス板の
かかる光学特性を考慮すれば、前記膜厚で太陽電池等の
高性能分野を含む各種適用分野で必要な透明性に対して
十分であることがわかる。と同時に後述の実施例から明
らかなように、驚くべきことにこの膜厚範囲ではピーク
に近い接着力が得られるのである。かかる光透過率を与
える金属原子の膜厚は、適用される金属原子の種類によ
り異なり、一義的に決めることは困難である。例えば実
施例に示すTi金属原子からなる金属薄膜では90Å以下、
Al金属原子からなる金属薄膜では30Å以下となる。一
方、金属薄膜の膜厚の下限はフッ素樹脂フイルムの接着
性の改良効果を引き出さねばならぬが、実施例に示すよ
うにTiでは単原子層の厚さがあればフッ素樹脂フイルム
表面の高エネルギー化に十分であることがわかった。
又、特にフッ素樹脂フイルムの透明性を実質的に損なう
ことなく、かかる効果を発現せしめるためにはTiの場合
当該金属薄膜の厚さは90Å以下２Å以上であることが必
要であり、更に接着性を考慮すると２〜70Åが好まし
い。又、防湿性面からは金属薄膜がフイルム全面に連続
膜として形成されていることが好ましく、かかる点を考
慮すると10Å以上が特に好ましい。
本発明ではフッ素樹脂フイルムの少なくとも一面に非常
に薄い金属薄膜を設けるが、例えば一方の面は接着性の
改良、他方の面は印刷性の改良などに応用できる。即
ち、かかる金属薄膜を被覆したフッ素樹脂フイルムの表
面は、被覆面が高エネルギー物質の代表である金属薄膜
で構成されているため、表面特性が改善される。該フイ
ルムの金属薄膜被覆面と例えば高分子基板との可撓性ア
モルファスシリコン太陽電池の光電変換面とを対向さ
せ、その間にエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂膜を挿
入して両者を熱ロールを用いて加熱圧着した結果、両者
は強固に張り合わされ、容易に剥離することはできなか
った。一方、従来の金属薄膜を被覆していない面を同様
に前述の太陽電池に張り合わせた場合、両者は簡単に剥
離し、エチレン−酢酸ビニル共重合体膜は太陽電池の光
電変換面側に付着していた。
に薄い金属薄膜を設けるが、例えば一方の面は接着性の
改良、他方の面は印刷性の改良などに応用できる。即
ち、かかる金属薄膜を被覆したフッ素樹脂フイルムの表
面は、被覆面が高エネルギー物質の代表である金属薄膜
で構成されているため、表面特性が改善される。該フイ
ルムの金属薄膜被覆面と例えば高分子基板との可撓性ア
モルファスシリコン太陽電池の光電変換面とを対向さ
せ、その間にエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂膜を挿
入して両者を熱ロールを用いて加熱圧着した結果、両者
は強固に張り合わされ、容易に剥離することはできなか
った。一方、従来の金属薄膜を被覆していない面を同様
に前述の太陽電池に張り合わせた場合、両者は簡単に剥
離し、エチレン−酢酸ビニル共重合体膜は太陽電池の光
電変換面側に付着していた。
このように本発明になる金属薄膜を被覆したフッ素樹脂
フイルムからなる防湿性透明フイルムはその表面特性が
大幅に改良され、透明性を損なうことなくフッ素樹脂フ
イルム特有の防湿性を生かすことができ、接着性，防湿
性及び透明性の３特性に同時に優れ、且つ必要に応じ可
撓性も得られるものである。
フイルムからなる防湿性透明フイルムはその表面特性が
大幅に改良され、透明性を損なうことなくフッ素樹脂フ
イルム特有の防湿性を生かすことができ、接着性，防湿
性及び透明性の３特性に同時に優れ、且つ必要に応じ可
撓性も得られるものである。
［発明の効果］ 以上のように本発明になる防湿性透明フイルムは、透明
性及び防湿性の優れたフッ素樹脂フイルムを用い、その
透明性を殆んど損なわない薄い金属薄膜によりその表面
を改質して接着性を向上せしめたものである。従って、
金属薄膜を積層した該表面改質面側に接着層や粘着層を
積層したフッ素樹脂フイルムは太陽電池や電場発光灯な
どの防湿保護材に利用できる。特に高分子基板のアモル
ファスシリコン太陽電池素子や高分子フイルム基板の塗
工型の電場発光灯の場合該防湿性フイルムで張り合わせ
ることにより可撓性を損なうことなく、これらの素子を
封止できるので好適に応用できる。このように本発明
は、多方面の防湿用途に適用できる非常に有用なもので
ある。
性及び防湿性の優れたフッ素樹脂フイルムを用い、その
透明性を殆んど損なわない薄い金属薄膜によりその表面
を改質して接着性を向上せしめたものである。従って、
金属薄膜を積層した該表面改質面側に接着層や粘着層を
積層したフッ素樹脂フイルムは太陽電池や電場発光灯な
どの防湿保護材に利用できる。特に高分子基板のアモル
ファスシリコン太陽電池素子や高分子フイルム基板の塗
工型の電場発光灯の場合該防湿性フイルムで張り合わせ
ることにより可撓性を損なうことなく、これらの素子を
封止できるので好適に応用できる。このように本発明
は、多方面の防湿用途に適用できる非常に有用なもので
ある。
以下に本発明の実施例を示す。
［実施例］ 透明性の優れたフッ素樹脂フイルムとして、クロロトリ
フルオロエチレン（CTFE）重合体及びCTFEとフッ化ビニ
リデンとの共重合体からなる厚さ100μｍの２種のフイ
ルムを取り上げた。
フルオロエチレン（CTFE）重合体及びCTFEとフッ化ビニ
リデンとの共重合体からなる厚さ100μｍの２種のフイ
ルムを取り上げた。
これらのフイルムをロールツーロール型のDCスパッタリ
ング装置に装着し、金属ターゲットにTi金属及びAl金属
板を用い、アルゴンガスを導入し、1.3×10-3Torrの圧
力下で、Tiの場合にはスパッタ投入電力を0.5〜5KWの範
囲でフイルム速度を15〜40cm/分の範囲で、又Alの場合
にはスパッタ投入電力を１〜5KWの範囲でフイルム速度
を６〜30cm/分の範囲で夫々変化させて種々の膜厚の金
属薄膜を堆積した。なお、膜厚は蛍光×線法により測定
した。
ング装置に装着し、金属ターゲットにTi金属及びAl金属
板を用い、アルゴンガスを導入し、1.3×10-3Torrの圧
力下で、Tiの場合にはスパッタ投入電力を0.5〜5KWの範
囲でフイルム速度を15〜40cm/分の範囲で、又Alの場合
にはスパッタ投入電力を１〜5KWの範囲でフイルム速度
を６〜30cm/分の範囲で夫々変化させて種々の膜厚の金
属薄膜を堆積した。なお、膜厚は蛍光×線法により測定
した。
得られた金属被覆フイルムの各サンプルの550nmの光透
過率の測定値は表1,表２の通りである。
過率の測定値は表1,表２の通りである。
次にナイロンフイルムに厚さ50μｍのエチレン−エチル
アクリレート共重合体からなる熱可塑性のホットメルト
型接着剤層を設けたフイルムと上述の種々の膜厚の金属
被覆フッ素樹脂フイルムサンプルの金属被覆面を120℃
に加熱したロール間を通し4Kg/cm2の加圧下で張り合わ
せた。
アクリレート共重合体からなる熱可塑性のホットメルト
型接着剤層を設けたフイルムと上述の種々の膜厚の金属
被覆フッ素樹脂フイルムサンプルの金属被覆面を120℃
に加熱したロール間を通し4Kg/cm2の加圧下で張り合わ
せた。
その後これらの張り合わせた積層体を引張試験機（イン
ストロン社製）を用いてシール等の貼合せの剥離を近似
できるＴ形剥離（JIS K 6854）を検出感度の高い20cm/
分の引張速度で行い、ナイロンフイルムとフッ素樹脂フ
イルムの接着力を測定し、表1,表２に示す結果を得た。
ストロン社製）を用いてシール等の貼合せの剥離を近似
できるＴ形剥離（JIS K 6854）を検出感度の高い20cm/
分の引張速度で行い、ナイロンフイルムとフッ素樹脂フ
イルムの接着力を測定し、表1,表２に示す結果を得た。
従来例のサンプルNo.1,11に比し、本発明の実施例であ
るサンプルNo.3〜６と12〜14は非常に接着力が大きいこ
とがわかる。そして接着力は金属の膜厚に依存し、驚く
べきことにTiでは、透明性を殆んど損なわない２〜90
Å、更には２〜70Åの範囲でピークとなることがわか
る。又Alにおいても同様の傾向が見られる。膜厚が100
Åを越えると接着力が低下する理由は明確でないが、応
力集中が生ずるためと考えられる。
るサンプルNo.3〜６と12〜14は非常に接着力が大きいこ
とがわかる。そして接着力は金属の膜厚に依存し、驚く
べきことにTiでは、透明性を殆んど損なわない２〜90
Å、更には２〜70Åの範囲でピークとなることがわか
る。又Alにおいても同様の傾向が見られる。膜厚が100
Åを越えると接着力が低下する理由は明確でないが、応
力集中が生ずるためと考えられる。
なお、サンプルNo.2,3から明らかなように２Å以下とい
うほぼ単原子層に近い膜厚でも充分な接着力が得られて
いる。かかる膜厚の金属薄膜は公知の通りフイルム全面
にこの膜厚で均一に形成された連続膜ではなく、実質的
にはほぼフイルム全面を被覆しているが部分的に例えば
島状にフイルム面が露出した部分を有するものとなって
おり、防湿面では不利であるが、本発明の目的は達成し
ており、本発明の金属薄膜に含まれるものである。該連
続膜という点からは、少なくとも10Å以上が必要といわ
れており、従って防湿面を含めると本発明においては10
Å以上の金属薄膜が好ましい。
うほぼ単原子層に近い膜厚でも充分な接着力が得られて
いる。かかる膜厚の金属薄膜は公知の通りフイルム全面
にこの膜厚で均一に形成された連続膜ではなく、実質的
にはほぼフイルム全面を被覆しているが部分的に例えば
島状にフイルム面が露出した部分を有するものとなって
おり、防湿面では不利であるが、本発明の目的は達成し
ており、本発明の金属薄膜に含まれるものである。該連
続膜という点からは、少なくとも10Å以上が必要といわ
れており、従って防湿面を含めると本発明においては10
Å以上の金属薄膜が好ましい。
なお、比較例のサンプルNo.7,9,10,15,17,18と前述の実
施例を比較すると、金属薄膜の膜厚はフイルムを含めた
全体の光透過率が85％以上になる範囲にあれば充分であ
ることがわかる。これは金属薄膜自体でいえば、その膜
厚は金属薄膜による光透過率の低下が９％以下となる膜
厚である。
施例を比較すると、金属薄膜の膜厚はフイルムを含めた
全体の光透過率が85％以上になる範囲にあれば充分であ
ることがわかる。これは金属薄膜自体でいえば、その膜
厚は金属薄膜による光透過率の低下が９％以下となる膜
厚である。
以上、実施例，比較例から明らかなように、本発明にな
る金属被覆フッ素樹脂フイルムからなる防湿性透明フイ
ルムは透明性を損なうことなく金属被覆面の高エネルギ
ー化，換言すれば接着性が改善されており、この防湿性
透明フイルムは太陽電池，電場発光灯、特に高熱基板の
これらの素子の場合可撓性を損なうことなく好適に利用
できる。
る金属被覆フッ素樹脂フイルムからなる防湿性透明フイ
ルムは透明性を損なうことなく金属被覆面の高エネルギ
ー化，換言すれば接着性が改善されており、この防湿性
透明フイルムは太陽電池，電場発光灯、特に高熱基板の
これらの素子の場合可撓性を損なうことなく好適に利用
できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中谷 健司 東京都日野市旭が丘４丁目３番２号 帝人 株式会社薄膜材料研究所内 (72)発明者 谷田部 俊明 東京都千代田区内幸町２丁目１番１号 帝 人株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−135250（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−185868（ＪＰ，Ａ) 特開 昭47−39172（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−187345（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−118824（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】フッ素樹脂フィルムよりなる防湿性透明フ
ィルムにおいて、少くともその１面に該表面を活性化す
る効果を有する金属であるTiからなる金属薄膜を、波長
550nmにおけるフィルム全体の光透過率が85％以上とな
る膜厚である２Å〜90Åの膜厚で積層したことを特徴と
する防湿性透明フィルム。 - 【請求項２】前記金属薄膜の膜厚が10Å以上である請求
項第１項記載の防湿性透明フィルム。 - 【請求項３】前記金属薄膜が物理蒸着法により積層され
た蒸着薄膜である請求項第１項〜第２項記載のいずれか
の防湿性透明フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293493A JPH0771838B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 防湿性透明フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293493A JPH0771838B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 防湿性透明フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02141235A JPH02141235A (ja) | 1990-05-30 |
| JPH0771838B2 true JPH0771838B2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=17795451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63293493A Expired - Lifetime JPH0771838B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 防湿性透明フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0771838B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7372069B2 (en) * | 2003-01-14 | 2008-05-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Interface for UV-curable adhesives |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118824U (ja) * | 1981-01-19 | 1982-07-23 | ||
| JPS60135250A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-18 | 尾池工業株式会社 | 金属光沢フイルム |
| JPS62185868A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 蒸着フイルムの製造方法 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63293493A patent/JPH0771838B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02141235A (ja) | 1990-05-30 |
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Legal Events
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