JPH0772013B2 - クリーンチューブ搬送装置 - Google Patents
クリーンチューブ搬送装置Info
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- JPH0772013B2 JPH0772013B2 JP29490689A JP29490689A JPH0772013B2 JP H0772013 B2 JPH0772013 B2 JP H0772013B2 JP 29490689 A JP29490689 A JP 29490689A JP 29490689 A JP29490689 A JP 29490689A JP H0772013 B2 JPH0772013 B2 JP H0772013B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、清浄度の高い搬送物を搬送するクリーンチュ
ーブ装置に関し、特に保守・点検のためのクリーンブー
スを併設したクリーンチューブに係わる。
ーブ装置に関し、特に保守・点検のためのクリーンブー
スを併設したクリーンチューブに係わる。
［従来技術］ 一般に、半導体ウエハー等高い清浄度が要求される物を
搬送するには、クリーンルーム内をクリーンコンベヤで
搬送したり、あるいは建屋と建屋間を搬送する際には、
第７図に示すようなクリーンチューブを用いたりしてい
る。
搬送するには、クリーンルーム内をクリーンコンベヤで
搬送したり、あるいは建屋と建屋間を搬送する際には、
第７図に示すようなクリーンチューブを用いたりしてい
る。
第７図に示すクリーンチューブ１は、角筒状の本体２を
セパレータ３を用いて搬送トンネル４と、走行駆動用ト
ンネル５に区画し、前記駆動用トンネルに配置した駆動
機構６に台車７を連結した上で、この台車７の上に搬送
物を載置して搬送させる。また搬送トンネル４の天井面
の吹き出し口には、高精度フィルタ８を配置し、トンネ
ル内の清浄度を一定基準に保つようにしている。
セパレータ３を用いて搬送トンネル４と、走行駆動用ト
ンネル５に区画し、前記駆動用トンネルに配置した駆動
機構６に台車７を連結した上で、この台車７の上に搬送
物を載置して搬送させる。また搬送トンネル４の天井面
の吹き出し口には、高精度フィルタ８を配置し、トンネ
ル内の清浄度を一定基準に保つようにしている。
［発明が解決しようとする課題］ ところで前記従来形のクリーンチューブには以下のよう
な難点があり、改善が望まれている。
な難点があり、改善が望まれている。
すなわちクリーンチューブは、前記の通り一般室内ある
いは建屋と建屋を連結するため屋外に設置され、チュー
ブ内は一定の清浄度が保持されているため、汚染空気混
入のおそれがある保守・点検は作業時、ライン停止時に
しか行うことができない。また駆動部等の些細な故障の
修理に際しても前記の通り汚染空気の混入があるため、
全ラインを停止させてから行う必要があり、多大の時間
と手間を費やさなければならない。
いは建屋と建屋を連結するため屋外に設置され、チュー
ブ内は一定の清浄度が保持されているため、汚染空気混
入のおそれがある保守・点検は作業時、ライン停止時に
しか行うことができない。また駆動部等の些細な故障の
修理に際しても前記の通り汚染空気の混入があるため、
全ラインを停止させてから行う必要があり、多大の時間
と手間を費やさなければならない。
本発明は前記従来形の難点を排除するためになされたも
ので、その目的とするところは、ラインを停止させなく
とも保守・点検を行うことのできるクリーンチューブを
提供することにある。
ので、その目的とするところは、ラインを停止させなく
とも保守・点検を行うことのできるクリーンチューブを
提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するために、本発明のクリーンチューブ
搬送装置は、チューブ本体内に配置した駆動装置によ
り、チューブ内の清浄空間に台車を走行させるクリーン
チューブ搬送装置において、前記チューブ本体の側壁に
一定間隔で開閉可能な開口部を設けると共に、前記チュ
ーブ本体の側部にはチューブ本体に沿って移動可能でし
かも空気清浄手段を備えたクリーンブースを併設し、か
つこのクリーンブースの前記チューブ本体に設けた開口
部側には密着装置を備えた作業用開口を設けたものであ
る。
搬送装置は、チューブ本体内に配置した駆動装置によ
り、チューブ内の清浄空間に台車を走行させるクリーン
チューブ搬送装置において、前記チューブ本体の側壁に
一定間隔で開閉可能な開口部を設けると共に、前記チュ
ーブ本体の側部にはチューブ本体に沿って移動可能でし
かも空気清浄手段を備えたクリーンブースを併設し、か
つこのクリーンブースの前記チューブ本体に設けた開口
部側には密着装置を備えた作業用開口を設けたものであ
る。
［作用］ 前記構成のクリーンチューブ搬送装置は、チューブ内に
配置した駆動装置により、台車がチューブ内を走行す
る。そして故障、保守・点検の必要が生じた場合には、
当該箇所にクリーンブースを移動させた上で、クリーン
ブースに配置した密着装置でチューブとブースを密着さ
せ、チューブ側の開口と、ブース側の作業用開口を連通
させ、ブース側から修理あるいは保守・点検を行う。
配置した駆動装置により、台車がチューブ内を走行す
る。そして故障、保守・点検の必要が生じた場合には、
当該箇所にクリーンブースを移動させた上で、クリーン
ブースに配置した密着装置でチューブとブースを密着さ
せ、チューブ側の開口と、ブース側の作業用開口を連通
させ、ブース側から修理あるいは保守・点検を行う。
［実施例］ 以下図示の実施例に基づき本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略的側面図、第２図
は同上の一部を示す平面図で図中符号10がクリーンチュ
ーブで、建屋11、11間に配置したチューブ本体12とチュ
ーブの側部に移動可能に配置したクリーンブース13およ
び送風装置14を主要構成部材とする。
は同上の一部を示す平面図で図中符号10がクリーンチュ
ーブで、建屋11、11間に配置したチューブ本体12とチュ
ーブの側部に移動可能に配置したクリーンブース13およ
び送風装置14を主要構成部材とする。
チューブ12本体は第２図に示すように角筒状のチューブ
ユニット15を複数個連結して建屋11、建屋11間に配置さ
れている。各ユニット15は第３図のようにウレタン等の
断熱材16の表裏をステンレススチールの表面板17、17で
サンドイッチ状にしたパネル18で４側壁を構成し、セパ
レータ19、20により高さ方向に走行室21、駆動室22及び
ダクト室23の３層に分割されている。走行室21は、駆動
室22に配置した駆動装置24に連結した台車25が搬送物を
載置して走行する区画であって、天井面には送風装置14
に連結された給気口26が形成されこの下面にはHEPAフィ
ルタ27が設置されている。駆動室22は、前記台車25を走
行させる駆動装置24が配置される。この駆動装置24はブ
ラケット28上に敷設した走行レール29とこのレール29に
沿って走行する走行駆動部30から構成され、前記走行駆
動部は、ブラケット28に敷設した給電用レール（図示省
略）から電気の供給を受けて駆動する。また走行室21と
駆動室22を区画するセパレータ19の中央部には中央空気
路31が長手方向に穿設され、この空気路31には走行駆動
部30の中央に立設固着した台車支持用のブラケット32が
挿通されており、この上部に台車25を支持している。
ユニット15を複数個連結して建屋11、建屋11間に配置さ
れている。各ユニット15は第３図のようにウレタン等の
断熱材16の表裏をステンレススチールの表面板17、17で
サンドイッチ状にしたパネル18で４側壁を構成し、セパ
レータ19、20により高さ方向に走行室21、駆動室22及び
ダクト室23の３層に分割されている。走行室21は、駆動
室22に配置した駆動装置24に連結した台車25が搬送物を
載置して走行する区画であって、天井面には送風装置14
に連結された給気口26が形成されこの下面にはHEPAフィ
ルタ27が設置されている。駆動室22は、前記台車25を走
行させる駆動装置24が配置される。この駆動装置24はブ
ラケット28上に敷設した走行レール29とこのレール29に
沿って走行する走行駆動部30から構成され、前記走行駆
動部は、ブラケット28に敷設した給電用レール（図示省
略）から電気の供給を受けて駆動する。また走行室21と
駆動室22を区画するセパレータ19の中央部には中央空気
路31が長手方向に穿設され、この空気路31には走行駆動
部30の中央に立設固着した台車支持用のブラケット32が
挿通されており、この上部に台車25を支持している。
ダクト室23は、駆動室22とセパレータ20で区画され、こ
のセパレータ20には一定間隔で排気孔33を穿設してあ
り、走行室21の天井面から吹き出した清浄空気は、走行
室21から中央空気路31を経て駆動室22へ、そして前記排
気孔33を経て順次清浄度を低下させながらダクト室22を
通って、前記排気孔33からダクト室23に流れ込む構造と
なっている。そしてこのダクト室23に入った清浄度の低
下した空気は、第１図に示すように一定間隔で配置した
空気浄化装置を備えた送風装置14に連結されて一定基準
の清浄空気となり、再び走行室21に配置した給気口26か
ら走行室21内に吹き出すものである。
のセパレータ20には一定間隔で排気孔33を穿設してあ
り、走行室21の天井面から吹き出した清浄空気は、走行
室21から中央空気路31を経て駆動室22へ、そして前記排
気孔33を経て順次清浄度を低下させながらダクト室22を
通って、前記排気孔33からダクト室23に流れ込む構造と
なっている。そしてこのダクト室23に入った清浄度の低
下した空気は、第１図に示すように一定間隔で配置した
空気浄化装置を備えた送風装置14に連結されて一定基準
の清浄空気となり、再び走行室21に配置した給気口26か
ら走行室21内に吹き出すものである。
またチューブ本体12を構成するチューブユニット15の側
部パネル18の一方には、後述するクリーンブース13を用
いて保守・点検をするための開口部34が設けられ、この
開口部には開閉自在に扉35が取付けられている。なお第
３図において符号36は扉35に設けた内部視認用の窓であ
って透明な合成樹脂製のプレートが嵌め込まれている。
部パネル18の一方には、後述するクリーンブース13を用
いて保守・点検をするための開口部34が設けられ、この
開口部には開閉自在に扉35が取付けられている。なお第
３図において符号36は扉35に設けた内部視認用の窓であ
って透明な合成樹脂製のプレートが嵌め込まれている。
つぎにクリーンブース13について説明する。クリーンブ
ース13は、第２図及び第３図に示すようにチューブ本体
12の側部に移動自在に設けられる。すなわちチューブ本
体13の側部に本体と平行に一対のレール37、37を敷設
し、この上面にブース13に軸支した車輪38を乗せ、前記
レール37に沿って移動するものであって、このブース13
は、サブルーム39とメインルーム40とから構成されてい
る。ブース13の大きさは、チューブ本体を構成するチュ
ーブユニット15とほぼ同寸法であって、チューブユニッ
ト同様にウレタン系の断熱材41をステンレススチール製
の表面板42でサンドイッチ状にしたパネル43を用いて箱
型に形成したものである。そしてこのブース13は第２図
のように内部を仕切り材44を用いて面積の狭いサブルー
ム39とこれより面積の広い作業空間たるメインルーム40
に区画しており、サブルーム39側に外部から入るための
扉45が取付けられると共に、前記各室は仕切り材44に設
けた扉46によって連通している。前記各室はそれぞれ、
ステンレススチール製のパネル47を用いて壁面13aとの
間にダクト48が形成され、このダクトは床面に配置した
グレーチング49、天井面に配置した空気浄化装置50及び
この吹き出し口に配置したHEPAフィルター51に連通して
おり、フィルター51から吹き出した清浄空気は、グレー
チング49、ダクト48、清浄装置50を環流するようにして
いる。
ース13は、第２図及び第３図に示すようにチューブ本体
12の側部に移動自在に設けられる。すなわちチューブ本
体13の側部に本体と平行に一対のレール37、37を敷設
し、この上面にブース13に軸支した車輪38を乗せ、前記
レール37に沿って移動するものであって、このブース13
は、サブルーム39とメインルーム40とから構成されてい
る。ブース13の大きさは、チューブ本体を構成するチュ
ーブユニット15とほぼ同寸法であって、チューブユニッ
ト同様にウレタン系の断熱材41をステンレススチール製
の表面板42でサンドイッチ状にしたパネル43を用いて箱
型に形成したものである。そしてこのブース13は第２図
のように内部を仕切り材44を用いて面積の狭いサブルー
ム39とこれより面積の広い作業空間たるメインルーム40
に区画しており、サブルーム39側に外部から入るための
扉45が取付けられると共に、前記各室は仕切り材44に設
けた扉46によって連通している。前記各室はそれぞれ、
ステンレススチール製のパネル47を用いて壁面13aとの
間にダクト48が形成され、このダクトは床面に配置した
グレーチング49、天井面に配置した空気浄化装置50及び
この吹き出し口に配置したHEPAフィルター51に連通して
おり、フィルター51から吹き出した清浄空気は、グレー
チング49、ダクト48、清浄装置50を環流するようにして
いる。
前記各室の空気清浄度は、メインルーム40がクリーンチ
ューブ本体の走行室21と同一程度、サブルーム39はメイ
ンルームに入るための予備室であって、エアーシャワー
装置39aを備え、前記メインルームより若干低い程度の
清浄度を保持できるようにしている。
ューブ本体の走行室21と同一程度、サブルーム39はメイ
ンルームに入るための予備室であって、エアーシャワー
装置39aを備え、前記メインルームより若干低い程度の
清浄度を保持できるようにしている。
また前記メインルーム40のクリーンチューブ本体12側の
壁面には、チューブ本体12を構成するチューブユニット
15に設けた開口部34と対接する位置に作業用開口51が形
成され、この開口には、開閉自在の扉52が取り付けられ
ている。さらに前記開口51の外側には、クリーンチュー
ブ本体12との密着装置53が配置されている。
壁面には、チューブ本体12を構成するチューブユニット
15に設けた開口部34と対接する位置に作業用開口51が形
成され、この開口には、開閉自在の扉52が取り付けられ
ている。さらに前記開口51の外側には、クリーンチュー
ブ本体12との密着装置53が配置されている。
この密着装置53は第４図に示すように開口51の外側に取
付けた伸縮自在のジャバラ状筒体54とこの筒体54を伸縮
させる駆動手段55とから構成されている。ジャバラ状筒
体54は開口51の外側に固定板55を用いて固定され、前面
側４周には、支持部材57を介してゴム製のパッキン58が
装着されている。つぎに前記ジャバラ状筒体54を伸縮さ
せる駆動手段56について説明する。すなわち開口51の前
記ジャバラ状筒体54外側の４隅にブラケット59を固着
し、各ブラケットの先端には軸受け60を取付けると共
に、この軸受60にコイルスプリング61を巻装したシャフ
ト62を挿通する。そして前記シャフト62の先端部にはジ
ャバラ状筒体54の先端に取付けた支持部材57の一端を固
定する。さらに前記シャフト62の末端にはローラ63が軸
支されており、シャフト62と直交するように配置したス
ライド軸64に設けた斜面65を有するカム板66と当接する
ようにしている。前記スライド軸64は第６図に示すよう
に開口51の上下部に軸受67を用いて平行に配置されてお
り、前記の通り各ブラケット59に取付けたシャフト62の
ローラ63に対接する位置にはカム板66が固着されてい
る。そして下側のスライド軸64の一端側にはネジ部68が
遊嵌されると共に、このネジ部をメネジ軸受69に螺着
し、末端部にはハンドル70がとりつけられている。そし
て前記ハンドルを回転させ下側のスライド軸64が軸線方
向にスライドしたとき、上部のスライド軸もこれに同期
するように上下のスライド軸は、連結杆71で連結されて
いる（第５図及び第６図）。
付けた伸縮自在のジャバラ状筒体54とこの筒体54を伸縮
させる駆動手段55とから構成されている。ジャバラ状筒
体54は開口51の外側に固定板55を用いて固定され、前面
側４周には、支持部材57を介してゴム製のパッキン58が
装着されている。つぎに前記ジャバラ状筒体54を伸縮さ
せる駆動手段56について説明する。すなわち開口51の前
記ジャバラ状筒体54外側の４隅にブラケット59を固着
し、各ブラケットの先端には軸受け60を取付けると共
に、この軸受60にコイルスプリング61を巻装したシャフ
ト62を挿通する。そして前記シャフト62の先端部にはジ
ャバラ状筒体54の先端に取付けた支持部材57の一端を固
定する。さらに前記シャフト62の末端にはローラ63が軸
支されており、シャフト62と直交するように配置したス
ライド軸64に設けた斜面65を有するカム板66と当接する
ようにしている。前記スライド軸64は第６図に示すよう
に開口51の上下部に軸受67を用いて平行に配置されてお
り、前記の通り各ブラケット59に取付けたシャフト62の
ローラ63に対接する位置にはカム板66が固着されてい
る。そして下側のスライド軸64の一端側にはネジ部68が
遊嵌されると共に、このネジ部をメネジ軸受69に螺着
し、末端部にはハンドル70がとりつけられている。そし
て前記ハンドルを回転させ下側のスライド軸64が軸線方
向にスライドしたとき、上部のスライド軸もこれに同期
するように上下のスライド軸は、連結杆71で連結されて
いる（第５図及び第６図）。
［作用］ 次に前記構成による本実施例のクリーンチューブの作用
について説明する。
について説明する。
清浄空気は送風装置14により各チューブユニット15に設
けた給気口26からHEPAフィルタ27を経て走行室21に吹き
下り、走行室を所定の空気清浄度に保持する。そして所
定の清浄度に保たれた走行室21内を駆動装置24に連結さ
れた台車25が搬送物を載置して走行する。一方走行室21
内の清浄空気は中央空気路31において流路を絞られて、
前記走行室よりも低い空気圧で駆動室22に流入し、さら
に前記駆動室で発生する塵埃等が混入して、駆動室22と
ダクト室23を区画するセパレータ20に設けた排気孔33か
らダクト室23に流入し、さらにダクトから送風装置14に
流入して環流を繰り返すものである。
けた給気口26からHEPAフィルタ27を経て走行室21に吹き
下り、走行室を所定の空気清浄度に保持する。そして所
定の清浄度に保たれた走行室21内を駆動装置24に連結さ
れた台車25が搬送物を載置して走行する。一方走行室21
内の清浄空気は中央空気路31において流路を絞られて、
前記走行室よりも低い空気圧で駆動室22に流入し、さら
に前記駆動室で発生する塵埃等が混入して、駆動室22と
ダクト室23を区画するセパレータ20に設けた排気孔33か
らダクト室23に流入し、さらにダクトから送風装置14に
流入して環流を繰り返すものである。
さてチューブ本体12に故障が発生し、あるいは保守・点
検の必要が生じた場合には、当該チューブユニット15部
分にクリーンブース13を移動させ修理等を行うがその手
順について説明する。
検の必要が生じた場合には、当該チューブユニット15部
分にクリーンブース13を移動させ修理等を行うがその手
順について説明する。
前記のとおり修理等を必要とするチューブユニット15部
分にクリーンブース13を移動させる。次に密着装置53に
配置したハンドル70を回転させるとスライド軸64が軸線
方向に移動し、この軸に固着したカム板66がブラケット
に軸支したシャフト62末端のローラ63に当接する。さら
にハンドルを回転させてスライド軸を移動させると、ロ
ーラ63を取付けたシャフト62はカム板66の斜面65によっ
てクリーンチューブユニット15側にスプリング61の弾力
に抗して移動し、しかもこのシャフト先端は支持部材57
を介してジャバラ状筒体54に連結されているため、前記
筒体54がチューブユニット15側に移動して、前端に取付
けたパッキン58がチューブユニット15に密着する。この
状態でクリーンブース13のサブルーム39およびメインル
ーム40に配置した各清浄装置50を駆動させ、各室内の空
気を清浄化する。そしてチューブユニット15の清浄度が
例えば100のとき、サブルーム39の清浄度が1000程度に
なった時点で扉45をあけて作業員がサブルーム39に入室
し、扉45を閉めてメインルーム40の清浄度がチューブユ
ニット15と同程度になるまで待機する。なお前記各室の
清浄に要する時間は各室に配置した空気清浄装置50の能
力によって予則が可能であるから、一定時間の経過のの
ち作業員は各動作にはいればよい。メインルーム40の清
浄度がチューブユニット15と同程度になったならば、作
業員は扉46を開けてメインルーム40に入り、扉46をしめ
る。次いでメインルーム40の作業用開口51に取付けた扉
52を開け、つぎにチューブユニット15側の開口部34の扉
35を開けてチューブユニット15とメインルーム40とを連
通状態とした上で修理、保守・点検を行う。作業が終了
したならば前記と逆の動作、すなわちチューブユニット
15側の扉35を閉め、次いでメインルーム40側の扉46を閉
めてサブルーム39を経てクリーンブース13から作業員が
退去するものである。
分にクリーンブース13を移動させる。次に密着装置53に
配置したハンドル70を回転させるとスライド軸64が軸線
方向に移動し、この軸に固着したカム板66がブラケット
に軸支したシャフト62末端のローラ63に当接する。さら
にハンドルを回転させてスライド軸を移動させると、ロ
ーラ63を取付けたシャフト62はカム板66の斜面65によっ
てクリーンチューブユニット15側にスプリング61の弾力
に抗して移動し、しかもこのシャフト先端は支持部材57
を介してジャバラ状筒体54に連結されているため、前記
筒体54がチューブユニット15側に移動して、前端に取付
けたパッキン58がチューブユニット15に密着する。この
状態でクリーンブース13のサブルーム39およびメインル
ーム40に配置した各清浄装置50を駆動させ、各室内の空
気を清浄化する。そしてチューブユニット15の清浄度が
例えば100のとき、サブルーム39の清浄度が1000程度に
なった時点で扉45をあけて作業員がサブルーム39に入室
し、扉45を閉めてメインルーム40の清浄度がチューブユ
ニット15と同程度になるまで待機する。なお前記各室の
清浄に要する時間は各室に配置した空気清浄装置50の能
力によって予則が可能であるから、一定時間の経過のの
ち作業員は各動作にはいればよい。メインルーム40の清
浄度がチューブユニット15と同程度になったならば、作
業員は扉46を開けてメインルーム40に入り、扉46をしめ
る。次いでメインルーム40の作業用開口51に取付けた扉
52を開け、つぎにチューブユニット15側の開口部34の扉
35を開けてチューブユニット15とメインルーム40とを連
通状態とした上で修理、保守・点検を行う。作業が終了
したならば前記と逆の動作、すなわちチューブユニット
15側の扉35を閉め、次いでメインルーム40側の扉46を閉
めてサブルーム39を経てクリーンブース13から作業員が
退去するものである。
なお本発明は前記実施例に限定されるものではなく、発
明の趣旨を変更しない限りにおいて種々の修正あるいは
設計変更が可能であることはいうまでもない。
明の趣旨を変更しない限りにおいて種々の修正あるいは
設計変更が可能であることはいうまでもない。
［発明の効果］ 本発明は前記のとおり、クリーンチューブにクリーンブ
ースを併設しており、しかもこのブースはチューブと同
程度の空気清浄度を保持するための清浄装置を備えてい
るので、かりにチューブ運転中でもチューブ内を汚染す
ることなく保守・点検が可能となる。
ースを併設しており、しかもこのブースはチューブと同
程度の空気清浄度を保持するための清浄装置を備えてい
るので、かりにチューブ運転中でもチューブ内を汚染す
ることなく保守・点検が可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示す概略的側面図、第２図
は同上の一部省略した平面図、第３図は要部の断面図、
第４図は密着装置を示す斜視図、第５図は同上側面図、
第６図は同上の駆動手段を示す説明図、第７図は従来形
を示す図である。 10:クリーンチューブ搬送装置 11:建屋、12:チューブ本体 13:クリーンブース、14:送風装置 15:チューブユニット、16:断熱材 17:表面板、18:パネル 19、20:セパレータ、21:走行室 22:駆動室、23:ダクト室 24:駆動装置、25:台車、26:給気口 27:HEPAフィルタ、28:ブラケット 29:走行レール、30:走行駆動部 31:中央空気路、32:台車支持ブラケット 33:排気孔、34:開口部、35:扉 36:視認用窓、37:レール、38:車輪 39:サブルーム、40:メインルーム 39a:エアシャワー装置 41:断熱材、42:表面板、43:パネル 44:仕切り材、45、46、52:扉 47:パネル、48:ダクト 49:グレーチング、50:清浄装置 51:作業用開口、53:密着装置 54:ジャバラ状筒体、55:駆動手段 56:固定板、57:支持部材 58:パッキン、59:ブラケット 60、67:軸受、61:コイルスプリング 62:シャフト、63:ローラ 64:スライド軸、65:斜面、66:カム板 68:ネジ部、69:メネジ軸受 70:ハンドル、71:連結杆
は同上の一部省略した平面図、第３図は要部の断面図、
第４図は密着装置を示す斜視図、第５図は同上側面図、
第６図は同上の駆動手段を示す説明図、第７図は従来形
を示す図である。 10:クリーンチューブ搬送装置 11:建屋、12:チューブ本体 13:クリーンブース、14:送風装置 15:チューブユニット、16:断熱材 17:表面板、18:パネル 19、20:セパレータ、21:走行室 22:駆動室、23:ダクト室 24:駆動装置、25:台車、26:給気口 27:HEPAフィルタ、28:ブラケット 29:走行レール、30:走行駆動部 31:中央空気路、32:台車支持ブラケット 33:排気孔、34:開口部、35:扉 36:視認用窓、37:レール、38:車輪 39:サブルーム、40:メインルーム 39a:エアシャワー装置 41:断熱材、42:表面板、43:パネル 44:仕切り材、45、46、52:扉 47:パネル、48:ダクト 49:グレーチング、50:清浄装置 51:作業用開口、53:密着装置 54:ジャバラ状筒体、55:駆動手段 56:固定板、57:支持部材 58:パッキン、59:ブラケット 60、67:軸受、61:コイルスプリング 62:シャフト、63:ローラ 64:スライド軸、65:斜面、66:カム板 68:ネジ部、69:メネジ軸受 70:ハンドル、71:連結杆
Claims (2)
- 【請求項１】チューブ本体内に配置した駆動装置によ
り、チューブ内の清浄空間に台車を走行させるクリーン
チューブ搬送装置において、前記チューブ本体の側壁に
一定間隔で開閉可能な開口部を設けると共に、前記チュ
ーブ本体の側部にはチューブ本体に沿って移動可能でし
かも空気清浄手段を備えたクリーンブースを併設し、か
つこのクリーンブースの前記チューブ本体に設けた開口
部側には密着装置を備えた作業用開口を設けたことを特
徴とするクリーンチューブ搬送装置。 - 【請求項２】クリーンブースは、サブルームとメインル
ームに区画され各ルームごとに空気清浄手段を備えてい
る第１項記載のクリーンチューブ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29490689A JPH0772013B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | クリーンチューブ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29490689A JPH0772013B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | クリーンチューブ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03158320A JPH03158320A (ja) | 1991-07-08 |
| JPH0772013B2 true JPH0772013B2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=17813789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29490689A Expired - Fee Related JPH0772013B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | クリーンチューブ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0772013B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006154003A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 液晶テレビの製造工場 |
| JP4502142B2 (ja) * | 2007-11-07 | 2010-07-14 | 村田機械株式会社 | 鉛直循環搬送設備 |
| JP5461225B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-04-02 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
| JP6581537B2 (ja) * | 2015-11-12 | 2019-09-25 | 日揮株式会社 | 処理設備及びスタッカークレーン |
| CN106586529B (zh) * | 2016-11-30 | 2019-01-18 | 武汉船舶通信研究所 | 一种适用于翅片组装的传输定位装置和自动传输系统 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP29490689A patent/JPH0772013B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03158320A (ja) | 1991-07-08 |
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