JPH03158320A - クリーンチューブ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、清浄度の高い搬送物を搬送するクリーンチュ
ーブ装置に関し、特に保守・点検のためのクリーンブー
スを併設したクリーンチューブに係わる。

［従来技術］ 一般に、半導体ウェハー等高い清浄度が要求される物を
搬送するには、クリーンルーム内をクリーンコンベヤで
搬送したり、あるいは建屋と建屋間を搬送する際には、
第７図に示すようなりリーンチューブを用いたりしてい
る。

第７図に示すクリーンチューブ１は、角筒状の本体２を
セパレータ３を用いて搬送トンネル４と、走行駆動用ト
ンネル５に区画し、前記駆動用トンネルに配置した駆動
機構６に台車７を連結した上で、この台車７の上に搬送
物を載置して搬送させる。また搬送トンネル４の天井面
の吹き出し口には、高精度フィルタ８を配置し、トンネ
ル内の清浄度を一定基準に保つようにしている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで前記従来形のクリーンチューブには以下のよう
な難点があり、改善が望まれている。

すなわちクリーンチューブは、前記の通り一般室内ある
いは建屋と建屋を連結するため屋外に設置され、チュー
ブ内は一定の清浄度が保持されているため、汚染空気混
入のおそれがある保守・点検は休業時、ライン停止時に
しか行うことができない。また駆動部等の些細な故障の
修理に際しても前記の通り汚染空気の混入があるため、
全ラインを停止させてから行う必要があり、多大の時間
と手間を費やさなければならない。

本発明は前記従来形の難点を排除するためになされたも
ので、その目的とするところは、ラインを停止させなく
とも保守・点検を行うことのできるクリーンチューブを
提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するために、本発明のクリーンチューブ
搬送装置は、チューブ本体内に配置した駆動装置により
、チューブ内の清浄空間に台車を走行させるクリーンチ
ューブ搬送装置において、前記チューブ本体の側壁に一
定間隔で開閉可能な開口部を設けると共に、前記チュー
ブ本体の側部にはチューブ本体に沿って移動可能でしか
も空気清浄手段を備えたクリーンブースを併設し、かつ
このクリーンブースの前記チューブ本体に設けた開口部
側には密着装置を備えた作業用開口を設けたものである
。

［作用］ 前記構成のクリーンチューブ搬送装置は、チューブ内に
配置した駆動装置により、台車がチューブ内を走行する
。そして故障、保守・点検の必要が生じた場合には、当
該箇所にクリーンブースを移動させた上で、クリーンブ
ースに配置した密着装置でチューブとブースを密着させ
、チューブ側の開口と、ブース側の作業用開口を連通さ
せ、ブース側から修理あるいは保守・点検を行う。

［実施例］ 以下図示の実施例に基づき本発明を具体的に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す概略的側面図、第２図
は同上の一部を示す平面図で図中符号１０がクリーンチ
ューブで、建屋１１．１１間に配置したチューブ本体１
２とチューブの側部に移動可能に配置したクリーンブー
ス１３および送風装置１４を主要構成部材とする。

チューブ１２本体は第２図に示すように角筒状のチュー
ブユニット１５を複数個連結して建屋１１、建屋１１間
に配置されている。各ユニット１５は第３図のようにウ
レタン等の断熱材１６の表裏をステンレススチールの表
面板１７．１７でサンドイッチ状にしたパネル１８で４
側壁を構成し、セパレータ１９．２０により高さ方向に
走行室２１、駆動室２２及びダクト室２３の３層に分割
されている。走行室２１は、駆動室２２に配置した駆動
装置２４に連結した台車２５が搬送物を載置して走行す
る区画であって、天井面には送風装置１４に連結された
給気口２６が形成されこの下面にはＨＥＰＡフィルタ２
７が設置されている。駆動室２２は、前記台車２５を走
行させる駆動装置２４が配置される。この駆動装置２４
はブラケット２８上に敷設した走行レール２９とこのレ
ール２９に沿って走行する走行駆動部３０から構成され
、前記走行駆動部は、ブラケット２８に敷設した給電用
レール（図示省略）から電気の供給を受けて駆動する。

また走行室２１と駆動室２２を区画するセパレータ１９
の中央部には中央空気路３１が長平方向に穿設され、こ
の空気路３１には走行駆動部３０の中央に立設固着した
台車支持用のブラケット３２が挿通されており、この上
部に台車２５を支持している。

ダクト室２３は、駆動室２２とセパレータ２０で区画さ
れ、このセパレータ２０には一定間隔で排気孔３３を穿
設してあり、走行室２１の天井面から吹き出した清浄空
気は、走行室２１から中央空気路３１を経て駆動室２２
へ、そして前記排気孔３３を経て順次清浄度を低下させ
ながらダクト室２２を通って、前記排気孔３３からダク
ト室２３に流れ込む構造となっている。そしてこのダク
ト室２３に入った清浄度の低下した空気は、第１図に示
すように一定間隔で配置した空気浄化装置を備えた送風
装置１４に連結されて一定基準の清浄空気となり、再び
走行室２１に配置した給気口２６から走行室２１内に吹
き出すものである。

またチューブ本体１２を構成するチューブユニット１５
の側部パネル１８の一方には、後述するクリーンブース
１３を用いて保守・点検をするための開口部３４が設け
られ、この開口部には開閉自在に扉３５が取付けられて
いる。なお第３図において符号３６は扉３５に設けた内
部視認用の窓であって透明な合成樹脂製のプレートが嵌
め込まれている。

つぎにクリーンブース１３について説明する。

クリーンブース１３は、第２図及び第３図に示すように
チューブ本体１２の側部に移動自在に設けられる。すな
わちチューブ本体１３の側部に本体と平行に一対のレー
ル３７．３７を敷設し、この」二面にブース１３に軸支
した車輪３８を乗せ、前記レール３７に沿って移動する
ものであって、このブース１３は、サブルーム３９とメ
インルーム４０とから構成されている。ブース１３の大
きさは、チューブ本体を構成するチューブユニット１５
とほぼ同寸法であって、チューブユニット同様にウレタ
ン系の断熱材４１をステンレススチール製の表面板４２
でサンドイッチ状にしたパネル４３を用いて箱型に形成
したものである。そしてこのブース１３は第２図のよう
に内部を仕切り月４４を用いて面積の狭いサブルーム３
９とこれより面積の広い作業空間たるメインルーム４０
に区画しており、サブルーム３９側に外部から入るため
の扉４５が取付けられると共に、前記各室は仕切り材４
４に設けた扉４６によって連通している。

前記各室はそれぞれ、ステンレススチール製のパネル４
７を用いて壁面１３ａとの間にダクト４８が形成され、
このダクトは床面に配置したグレーチング４９、天井面
に配置した空気浄化装置５０及びこの吹き出し口に配置
したＨＥＰＡフィルター５１に連通しており、フィルタ
ー５１から吹き出した清浄空気は、グレーチング４９、
ダクｌ〜４８、清浄装置５０を環流するようにしている
。

前記各室の空気清浄度は、メインルーム４０がクリーン
チューブ本体の走行室２１と同一程度、サブルーム３９
はメインルームに入るための予備室であって、エアーシ
ャワー装置３９ａを備え、前記メインルームより若干低
い程度の清浄度を保持できるようにしている。

また前記メインルーム４０のクリーンチューブ本体１２
側の壁面には、チューブ本体１２を構成するチューブユ
ニット１５に設けた開口部３４と対接する位置に作業用
開口５１が形成され、この開口には、開閉自在の扉５２
が取り付けられている。さらに前記開口５１の外側には
、クリーンチューブ本体１２との密着装置５３が配置さ
れている。

この密着装置５３は第４図に示すように開口５１の外側
に取付けた伸縮自在のジャバラ状筒体５４とこの筒体５
４を伸縮させる駆動手段５５とから構成されている。ジ
ャバラ状筒体５４は開口５１の外側に固定板５５を用い
て固定され、前面側４周には、支持部材５７を介してゴ
ム製のパツキン５８が装着されている。つぎに前記ジャ
バラ状筒体５４を伸縮させる駆動手段５６について説明
する。すなわち開口５１の前記ジャバラ状筒体５４外側
の４隅にブラケット５９を固着し、各ブラケットの先端
には軸受け６０を取付けると共に、この軸受６０にコイ
ルスプリング６１を巻装したシャフト６２を挿通ずる。

そして前記シャフト６２の先端部にはジャバラ状筒体５
４の先端に取付けた支持部材５７の一端を固定する。さ
らに前記シャフト６２の末端にはローラ６３が軸支され
ており、シャフト６２と直交するように配置したスライ
ド軸６４に設けた斜面６５を有するカム板６６と当接す
るようにしている。前記スライド軸６４は第６図に示す
ように開口５１の」二下部に軸受６７を用いて平行に配
置されており、前記の通り各ブラケット５つに取付けた
シャフト６２のローラ６３に対接する位置にはカム板６
６が固着されている。そして下側のスライド軸６４の一
端側にはネジ部６８が遊嵌されると共に、このネジ部を
メネジ軸受６つに螺着し、末端部にはハンドル７０がと
りつけられている。そして前記ハンドルを回転させ下側
のスライド軸６４が軸線方向にスライドしたとき、上部
のスライド軸もこれに同期するように上下のスライド軸
は、連結杆７１で連結されている（第５図及び第６図）
。

［作用］ 次に前記構成による本実施例のクリーンチューブの作用
について説明する。

清浄空気は送風装置１４により各チューブユニット１５
に設けた給気口２６からＨＥＰＡフィルタ２７を経て走
行室２１に吹き下り、走行室を所定の空気清浄度に保持
する。そして所定の清浄度に保たれた走行室２１内を駆
動装置２４に連結された台車２５が搬送物を載置して走
行する。一方走行室２１内の清浄空気は中央空気路３１
において流路を絞られて、前記走行室よりも低い空気圧
で駆動室２２に流入し、さらに前記駆動室で発生する塵
埃等が混入して、駆動室２２とダクト室２３を区画する
セパレータ２０に設けた排気孔３３からダクト室２３に
流入し、さらにダクトから送風装置１４に流入して環流
を繰り返すものである。

さてチューブ本体１２に故障が発生し、あるいは保守・
点検の必要が生じた場合には、当該チューブユニット１
５部分にクリーンブース１３を移動させ修理等を行うが
その手順について説明する。

前記のとおり修理等を必要とするチューブユニット１５
部分にクリーンブース１３を移動させる。

次に密着装置５３に配置したハンドル７０を回転させる
とスライド軸６４が軸線方向に移動し、この軸に固着し
たカム板６６がブラケットに軸支したシャフト６２末端
のローラ６３に当接する。さらにハンドルを回転させて
スライド軸を移動させると、ローラ６３を取付けたシャ
フト６２はカム板６６の斜面６５によってクリーンチュ
ーブユニット１５側にスプリング６１の弾力に抗して移
動し、しかもこのシャフト先端は支持部材５７を介して
ジャバラ状筒体５４に連結されているため、前記筒体５
４がチューブユニット１５側に移動して、前端に取付け
たパツキン５８がチューブユニット１５に密着する。こ
の状態でクリーンブース１３のサブルーム３９およびメ
インルーム４０に配置した各清浄装置５０を駆動させ、
各室内の空気を清浄化する。そしてチューブユニット１
５の清浄度が例えば１００のとき、サブルーム３９の清
浄度が１０００程度になった時点で扉４５をあけて作業
員がサブルーム３９に入室し、扉４５を閉めてメインル
ーム４０の清浄度がチューブユニット１５と同程度にな
るまで待機する。なお前記各室の清浄に要する時間は各
室に配置した空気清浄装置５０の能力によって１則が可
能であるから、一定時間の経過ののち作業員は各動作に
はいればよい。メインルーム４０の清浄度がチューブユ
ニット１５と同程度になったならば、作業員は扉４６を
開けてメインルーム４０に入り、扉４６をしめる。次い
でメインルーム４０の作業用開口５１に取付けた扉５２
を開け、つぎにチューブユニット１５側の開口部３４の
扉３５を開けてチューブユニット１５とメインルーム４
０とを連通状態とした上で修理、保守・点検を行う。作
業が終了したならば前記と逆の動作、すなわちチューブ
ユニット１５側の扉３５を閉め、次いでメインルーム４
０側の扉４６を閉めてサブルーム３９を経てり、リーン
ブース１３から作業員が退去するものである。

なお本発明は前記実施例に限定されるものではなく、発
明の趣旨を変更しない限りにおいて種々の修正あるいは
設計変更が可能であることはいうまでもない。

［発明の効果］ 本発明は前記のとおり、クリーンチューブにクリーンブ
ースを併設しており、しかもこのブースはチューブと同
程度の空気清浄度を保持するための清浄装置を備えてい
るので、かりにチューブ運転中でもチューブ内を汚染す
ることなく保守・点検が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略的側面図、第２図
は同上の一部省略した平面図、第３図は要部の断面図、
第４図は密着装置を示す斜視図、第５図は同上側面図、
第６図は同上の駆動手段を示す説明図、第７図は従来形
を示す図である。 １０：クリーンチューブ搬送装置 １１：建屋　　　１２：チューブ本体 １３：クリーンブース　　１４：送風装置１５：チュー
ブユニット　１６：断熱材１７：表面板　　１８：パネ
ル １９．２０：セパレータ　２に走行室 ２２：駆動室　　　２３：ダクト室 ２４：駆動装置　２５：台車　２６：給気口２７　：Ｈ
ＥＰＡフィルタ　　２８ニブラケット２９：走行レール
　　３０：走行駆動部３１：中央空気路　３２：台車支
持ブラケット３３：排気孔　　３４：開口部　　３５：
扉３６：視認用窓　３７：レール　３８：車輪３９：サ
ブルーム　　４０：メインルーム３９ａ；エアシャワー
装置 ４１：断熱材　　４２：表面板　４３：パネル４４：仕
切り材　４５．４６．５２：扉４７：パネル　４８：ダ
クト ４つ：グレーチング　　５０：清浄装置５１：作業用開
口　５３：密着装置 ５４：ジャバラ状筒体　　５５：駆動手段５６：固定板
　　５７：支持部材 ５８：パツキン ６０．６７：軸受 ６２：シャフト ６４ニスライド千由 ６８：ネジ部 ７０：ハンドル

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、チューブ本体内に配置した駆動装置により、チュー
   ブ内の清浄空間に台車を走行させるクリーンチューブ搬
   送装置において、前記チューブ本体の側壁に一定間隔で
   開閉可能な開口部を設けると共に、前記チューブ本体の
   側部にはチューブ本体に沿って移動可能でしかも空気清
   浄手段を備えたクリーンブースを併設し、かつこのクリ
   ーンブースの前記チューブ本体に設けた開口部側には密
   着装置を備えた作業用開口を設けたことを特徴とするク
   リーンチューブ搬送装置。 ２、クリーンブースは、サブルームとメインルームに区
   画され各ルームごとに空気清浄手段を備えている第１項
   記載のクリーンチューブ搬送装置。