JPH0772304A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
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- JPH0772304A JPH0772304A JP5168396A JP16839693A JPH0772304A JP H0772304 A JPH0772304 A JP H0772304A JP 5168396 A JP5168396 A JP 5168396A JP 16839693 A JP16839693 A JP 16839693A JP H0772304 A JPH0772304 A JP H0772304A
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- Japan
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- antireflection film
- film
- optical
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0018—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for preventing ghost images
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体撮像素子としてＣＣＤを用いた光学系に
対して優れた透過特性と、ゴースト，フレアを防止する
効果を備えた反射防止膜を提供する。 【構成】 Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のバンドパスフィルタを配
してなるカラー撮像素子に結像するための光学素子２面
上に設けられる４層構成の反射防止膜１において、光学
素子面側から順に第１層，第２層，第３層，第４層とし
たときに、各層の屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ4
とすると共に、光学素子の屈折率をｎ0 とすると、ｎ2
は他に比べて最もｎ0 に近く、また、ｎ1 ，ｎ4 ＜ｎ0
＜ｎ3 の関係を有し、且つ所定波長をλ0 としたとき、
各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さＤ1 ，Ｄ
2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 は、Ｄ1 ＝０．３７５λ0 〜０．５７５
λ0、Ｄ2 ＝０．１２５λ0 〜０．２５０λ0 、Ｄ3 ＝
０．４３５λ0 〜０．７００λ0 、Ｄ4 ＝０．２１５λ
0 〜０．３５０λ0 である。
対して優れた透過特性と、ゴースト，フレアを防止する
効果を備えた反射防止膜を提供する。 【構成】 Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のバンドパスフィルタを配
してなるカラー撮像素子に結像するための光学素子２面
上に設けられる４層構成の反射防止膜１において、光学
素子面側から順に第１層，第２層，第３層，第４層とし
たときに、各層の屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ4
とすると共に、光学素子の屈折率をｎ0 とすると、ｎ2
は他に比べて最もｎ0 に近く、また、ｎ1 ，ｎ4 ＜ｎ0
＜ｎ3 の関係を有し、且つ所定波長をλ0 としたとき、
各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さＤ1 ，Ｄ
2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 は、Ｄ1 ＝０．３７５λ0 〜０．５７５
λ0、Ｄ2 ＝０．１２５λ0 〜０．２５０λ0 、Ｄ3 ＝
０．４３５λ0 〜０．７００λ0 、Ｄ4 ＝０．２１５λ
0 〜０．３５０λ0 である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオカメラ等
に用いられる光学系レンズの反射防止膜に関する。
に用いられる光学系レンズの反射防止膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学部品の表面反射防止として
は、ＭｇＦ2 を真空蒸着法により、設計波長のλ／４の
光学膜厚を持った薄膜を基板上に形成することにより、
反射防止効果を得ていた。
は、ＭｇＦ2 を真空蒸着法により、設計波長のλ／４の
光学膜厚を持った薄膜を基板上に形成することにより、
反射防止効果を得ていた。
【０００３】しかし、ズームレンズ系等の高性能が要求
される用途では、単層のコーティングでは充分な効果が
得られないため、反射防止効果の高い２層以上のマルチ
コーティングが用いられてきた。しかしながら、撮像素
子に電荷結合素子（以下、ＣＣＤと称する。）を用いて
いる光学系に可視域全域において最適化されたＣＣＤの
３感度ピークにおいて、必ずしも高い反射防止効果を示
すとは限らず、むしろ反射防止において感度ピークと谷
の位置は一致していなかった。
される用途では、単層のコーティングでは充分な効果が
得られないため、反射防止効果の高い２層以上のマルチ
コーティングが用いられてきた。しかしながら、撮像素
子に電荷結合素子（以下、ＣＣＤと称する。）を用いて
いる光学系に可視域全域において最適化されたＣＣＤの
３感度ピークにおいて、必ずしも高い反射防止効果を示
すとは限らず、むしろ反射防止において感度ピークと谷
の位置は一致していなかった。
【０００４】このため、ＣＣＤの高感度波長帯域におい
て、その反射防止効果が小さく、低感度波長帯域におい
てその反射防止効果が大きいという非効率的な特性とな
っているため、内面反射によるフレア，ゴーストを除去
しきることができなかった。
て、その反射防止効果が小さく、低感度波長帯域におい
てその反射防止効果が大きいという非効率的な特性とな
っているため、内面反射によるフレア，ゴーストを除去
しきることができなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ビデオカメ
ラ等の撮像系に用いられるＣＣＤは、単板式カラーの場
合、原色或いは補色のフィルタが各画素の前面位置に設
けられており、それぞれのフィルタの特性によって赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の感度特性が異なる。
ラ等の撮像系に用いられるＣＣＤは、単板式カラーの場
合、原色或いは補色のフィルタが各画素の前面位置に設
けられており、それぞれのフィルタの特性によって赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の感度特性が異なる。
【０００６】例えば、図３に一般的なＣＣＤの相対感度
の波長特性の一例を示す。この特性図において、４００
ｎｍ〜７００ｎｍの可視域においては、ＣＣＤは３つの
感度帯を持っており、それらはそれぞれ１つのピークを
有している。このような感度特性を持つＣＣＤを用いた
光学系に、例えば図４に示すような分光特性を有した基
本的な４層からなる反射防止膜を適用させた場合、図３
の１１で示すＧ感度ピークに対しては、図４の分光特性
の谷の位置と一致しており、高い反射防止効果が得られ
ている。
の波長特性の一例を示す。この特性図において、４００
ｎｍ〜７００ｎｍの可視域においては、ＣＣＤは３つの
感度帯を持っており、それらはそれぞれ１つのピークを
有している。このような感度特性を持つＣＣＤを用いた
光学系に、例えば図４に示すような分光特性を有した基
本的な４層からなる反射防止膜を適用させた場合、図３
の１１で示すＧ感度ピークに対しては、図４の分光特性
の谷の位置と一致しており、高い反射防止効果が得られ
ている。
【０００７】しかしながら、図３の１２で示すＢ感度ピ
ーク或いは１３で示すＲ感度ピークと、図４に示す分光
特性の谷の位置は一般的には一致しておらず、このよう
な場合、ズームレンズ系の不要な内面反射として、ＣＣ
ＤがＢ或いはＲの成分を取り込み易い状態になっている
ことを示す。
ーク或いは１３で示すＲ感度ピークと、図４に示す分光
特性の谷の位置は一般的には一致しておらず、このよう
な場合、ズームレンズ系の不要な内面反射として、ＣＣ
ＤがＢ或いはＲの成分を取り込み易い状態になっている
ことを示す。
【０００８】そこで本発明は、かかる従来の技術的な課
題に鑑みて提案されたものであって、固体撮像素子とし
てＣＣＤを用いた光学系に対して優れた透過特性と、ゴ
ースト，フレアを防止する効果を備えた反射防止膜を提
供することを目的とする。
題に鑑みて提案されたものであって、固体撮像素子とし
てＣＣＤを用いた光学系に対して優れた透過特性と、ゴ
ースト，フレアを防止する効果を備えた反射防止膜を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のバンドパスフィル
タを配してなるカラー撮像素子に結像するための光学素
子面上に設けられる４層構成の反射防止膜において、光
学素子面側から順に第１層，第２層，第３層，第４層と
したときに、各層の屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ
4 とすると共に、光学素子の屈折率をｎ0 とすると、ｎ
2 は他に比べて最もｎ0 に近く、また、ｎ1 ，ｎ4 ＜ｎ
0 ＜ｎ3 の関係を有し、且つ所定波長をλ0 としたと
き、各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さ
Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 は、Ｄ1 ＝０．３７５λ0 〜
０．５７５λ0 、Ｄ2 ＝０．１２５λ0 〜０．２５０λ
0 、Ｄ3 ＝０．４３５λ0 〜０．７００λ0 、Ｄ4 ＝
０．２１５λ0 〜０．３５０λ0 であることを特徴とす
る。
めに、本発明は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のバンドパスフィル
タを配してなるカラー撮像素子に結像するための光学素
子面上に設けられる４層構成の反射防止膜において、光
学素子面側から順に第１層，第２層，第３層，第４層と
したときに、各層の屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ
4 とすると共に、光学素子の屈折率をｎ0 とすると、ｎ
2 は他に比べて最もｎ0 に近く、また、ｎ1 ，ｎ4 ＜ｎ
0 ＜ｎ3 の関係を有し、且つ所定波長をλ0 としたと
き、各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さ
Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 は、Ｄ1 ＝０．３７５λ0 〜
０．５７５λ0 、Ｄ2 ＝０．１２５λ0 〜０．２５０λ
0 、Ｄ3 ＝０．４３５λ0 〜０．７００λ0 、Ｄ4 ＝
０．２１５λ0 〜０．３５０λ0 であることを特徴とす
る。
【００１０】請求項１記載の反射防止膜において、第１
層または第４層に用いられる物質は、ＳｉＯ2 及び／又
はＭｇＦ2 或いはそれらを主成分とした混合物であり、
第２層はＡｌ2 Ｏ3 ，ＣｅＦ3 ，ＭｇＯ，ＬａＦ3 の群
から選ばれる物質又はそれらを主成分とする混合物であ
り、第３層はＴｉＯ2 ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＺｒＯ2 ，ＣｅＯ
2 の群から選ばれる物質又はそれらを主成分とする混合
物であることを特徴とする。
層または第４層に用いられる物質は、ＳｉＯ2 及び／又
はＭｇＦ2 或いはそれらを主成分とした混合物であり、
第２層はＡｌ2 Ｏ3 ，ＣｅＦ3 ，ＭｇＯ，ＬａＦ3 の群
から選ばれる物質又はそれらを主成分とする混合物であ
り、第３層はＴｉＯ2 ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＺｒＯ2 ，ＣｅＯ
2 の群から選ばれる物質又はそれらを主成分とする混合
物であることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明の反射防止膜においては、ＣＣＤの感度
ピーク波長に対して有効となるように反射防止膜の各層
の屈折率と光学的厚さを規定しているので、４層構造で
ありながらそれ以上の層数を有した多層反射防止膜に相
当する優れた反射防止効果が得られる。したがって、か
かる反射防止膜を光学素子に施すことにより、より高い
透過光量が得られると共に、不要なゴースト，フレアが
低減する。
ピーク波長に対して有効となるように反射防止膜の各層
の屈折率と光学的厚さを規定しているので、４層構造で
ありながらそれ以上の層数を有した多層反射防止膜に相
当する優れた反射防止効果が得られる。したがって、か
かる反射防止膜を光学素子に施すことにより、より高い
透過光量が得られると共に、不要なゴースト，フレアが
低減する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の反
射防止膜１は、図１に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の
バンドパスフィルタを配してなるカラー撮像素子（図示
は省略する。）に結像するための光学素子２の主面上に
設けられている。
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の反
射防止膜１は、図１に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の
バンドパスフィルタを配してなるカラー撮像素子（図示
は省略する。）に結像するための光学素子２の主面上に
設けられている。
【００１３】かかる反射防止膜１は、４層の膜から構成
され、上記光学素子２の主面上に順次積層されることに
よって多層膜構造とされている。ここで、光学素子２面
側から順に第１層目の膜１ａ，第２層目の膜１ｂ，第３
層目の膜１ｃ，第４層目の膜１ｄとしたときに、各層の
屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ4 、該光学素子２の
屈折率をｎ0 とすると、ｎ2 は他に比べて最もｎ0 に近
く、また、ｎ1 ，ｎ4＜ｎ0 ＜ｎ3 なる関係とされてい
る。
され、上記光学素子２の主面上に順次積層されることに
よって多層膜構造とされている。ここで、光学素子２面
側から順に第１層目の膜１ａ，第２層目の膜１ｂ，第３
層目の膜１ｃ，第４層目の膜１ｄとしたときに、各層の
屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，ｎ4 、該光学素子２の
屈折率をｎ0 とすると、ｎ2 は他に比べて最もｎ0 に近
く、また、ｎ1 ，ｎ4＜ｎ0 ＜ｎ3 なる関係とされてい
る。
【００１４】また、光学素子２の所定波長をλ0 とした
とき、各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さＤ
1（第１層目の膜１ａ） ，Ｄ2（第２層目の膜１ｂ） ，
Ｄ3（第３層目の膜１ｃ） ，Ｄ4（第４層目の膜１ｄ）
は、それぞれ次のような値とされている。すなわち、Ｄ
1 ＝０．３７５λ0 〜０．５７５λ0 、Ｄ2 ＝０．１２
５λ0 〜０．２５０λ0 、Ｄ3 ＝０．４３５λ0 〜０．
７００λ0 、Ｄ4 ＝０．２１５λ0 〜０．３５０λ0 と
なっている。
とき、各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さＤ
1（第１層目の膜１ａ） ，Ｄ2（第２層目の膜１ｂ） ，
Ｄ3（第３層目の膜１ｃ） ，Ｄ4（第４層目の膜１ｄ）
は、それぞれ次のような値とされている。すなわち、Ｄ
1 ＝０．３７５λ0 〜０．５７５λ0 、Ｄ2 ＝０．１２
５λ0 〜０．２５０λ0 、Ｄ3 ＝０．４３５λ0 〜０．
７００λ0 、Ｄ4 ＝０．２１５λ0 〜０．３５０λ0 と
なっている。
【００１５】また、上記第１層目の膜１ａまたは第４層
目の膜１ｄに用いられる物質は、ＳｉＯ2 及び／又はＭ
ｇＦ2 或いはそれらを主成分とした混合物からなってい
る。一方、第２層目の膜１ｂは、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｃｅ
Ｆ3 ，ＭｇＯ，ＬａＦ3 の群から選ばれる物質又はそれ
らを主成分とする混合物からなり、第３層目の膜１ｃは
ＴｉＯ2 ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＺｒＯ2 ，ＣｅＯ2 の群から選
ばれる物質又はそれらを主成分とする混合物からなって
いる。
目の膜１ｄに用いられる物質は、ＳｉＯ2 及び／又はＭ
ｇＦ2 或いはそれらを主成分とした混合物からなってい
る。一方、第２層目の膜１ｂは、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｃｅ
Ｆ3 ，ＭｇＯ，ＬａＦ3 の群から選ばれる物質又はそれ
らを主成分とする混合物からなり、第３層目の膜１ｃは
ＴｉＯ2 ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＺｒＯ2 ，ＣｅＯ2 の群から選
ばれる物質又はそれらを主成分とする混合物からなって
いる。
【００１６】上記のように、各層の屈折率と光学的厚さ
を規定することにより、優れた透過特性が得られると共
に、ゴースト，フレアの低減効果を図ることができる。
これについては、上記反射防止膜１を実際に以下の条件
の下に作成し、そのときの分光特性を調べた実験例で説
明する。
を規定することにより、優れた透過特性が得られると共
に、ゴースト，フレアの低減効果を図ることができる。
これについては、上記反射防止膜１を実際に以下の条件
の下に作成し、そのときの分光特性を調べた実験例で説
明する。
【００１７】先ず、屈折率がｎ0 ＝１．５９のガラス基
板（光学素子に相当する。）を所望の面精度に形成し、
真空槽内にセットする。必要ならば、所定の洗浄を施し
ておく。その後、真空度を上げながら、ガラス基板を３
００℃程度まで加熱し、５．０×１０-6ｍｂａｒ程度の
開始真空度において、蒸着法を用いて所望の薄膜を形成
する。このとき、真空蒸着法の他にスパッタリング法や
イオンプレーティング法，イオンアシスト法を用いるこ
ともできる。
板（光学素子に相当する。）を所望の面精度に形成し、
真空槽内にセットする。必要ならば、所定の洗浄を施し
ておく。その後、真空度を上げながら、ガラス基板を３
００℃程度まで加熱し、５．０×１０-6ｍｂａｒ程度の
開始真空度において、蒸着法を用いて所望の薄膜を形成
する。このとき、真空蒸着法の他にスパッタリング法や
イオンプレーティング法，イオンアシスト法を用いるこ
ともできる。
【００１８】先ず、ガラス基板から数えて第１層目に
は、るつぼ内に入れた粉末状或いはペレット状，顆粒状
の二酸化ケイ素を電子ビーム法により加熱し、水晶式膜
厚計或いは光学式膜厚計によって、光学膜厚で０．４４
６×λ／４［λは所定（設計）波長を示し、５２０ｎｍ
とする。］、或いは物理膜厚で４１．５９ｎｍの厚さに
形成する。
は、るつぼ内に入れた粉末状或いはペレット状，顆粒状
の二酸化ケイ素を電子ビーム法により加熱し、水晶式膜
厚計或いは光学式膜厚計によって、光学膜厚で０．４４
６×λ／４［λは所定（設計）波長を示し、５２０ｎｍ
とする。］、或いは物理膜厚で４１．５９ｎｍの厚さに
形成する。
【００１９】第２層目には、同様の方法で酸化アルミニ
ウムを１．５２４×λ／４、或いは物理膜厚で１２２．
３ｎｍの厚さに形成する。第３層目は、やはり同様の方
法によって、五酸化タンタルを２．２６９×λ／４、或
いは物理膜厚で１４０．５ｎｍの厚さに形成する。五酸
化タンタルについては、電子ビーム法の他に抵抗加熱法
を用いてもよい。
ウムを１．５２４×λ／４、或いは物理膜厚で１２２．
３ｎｍの厚さに形成する。第３層目は、やはり同様の方
法によって、五酸化タンタルを２．２６９×λ／４、或
いは物理膜厚で１４０．５ｎｍの厚さに形成する。五酸
化タンタルについては、電子ビーム法の他に抵抗加熱法
を用いてもよい。
【００２０】第４層目には、同様な方法でフッ化マグネ
シウムを１．１３２×λ／４、或いは物理膜厚で１０
６．７ｎｍの厚さに形成する。酸化物を蒸着させる際、
酸素の解離によって、形成された膜に吸収が起きるのを
防止するために、酸素を８×１０-5ｍｂａｒ〜６×１０
-4ｍｂａｒ程度で補ってやるとよい。
シウムを１．１３２×λ／４、或いは物理膜厚で１０
６．７ｎｍの厚さに形成する。酸化物を蒸着させる際、
酸素の解離によって、形成された膜に吸収が起きるのを
防止するために、酸素を８×１０-5ｍｂａｒ〜６×１０
-4ｍｂａｒ程度で補ってやるとよい。
【００２１】このようにして４層の成膜を行った後、蒸
着槽内を大気開放して試料を取り出す。そして、得られ
た試料の分光特性を調べた。その結果を図２に示す。例
えば、図３に示すようなＣＣＤについては、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の感度のピーク位置がそれぞれ６１０ｎｍ、５４０ｎ
ｍ、４４０ｎｍであるが、このような感度ピーク位置に
対して、上記のようにして得られた反射防止膜を対応さ
せることにより、それぞれのピーク位置では反射率がそ
れぞれ０．０４％、０．０４％、０．０４％となり、非
常に高い反射防止効果を与えることができる。
着槽内を大気開放して試料を取り出す。そして、得られ
た試料の分光特性を調べた。その結果を図２に示す。例
えば、図３に示すようなＣＣＤについては、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の感度のピーク位置がそれぞれ６１０ｎｍ、５４０ｎ
ｍ、４４０ｎｍであるが、このような感度ピーク位置に
対して、上記のようにして得られた反射防止膜を対応さ
せることにより、それぞれのピーク位置では反射率がそ
れぞれ０．０４％、０．０４％、０．０４％となり、非
常に高い反射防止効果を与えることができる。
【００２２】このように、本発明では、ＣＣＤ感度が可
視域（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）全域で一様でない点に
着目し、特に反射防止効果を必要とするＣＣＤの感度ピ
ーク波長に対して有効になるようにすることで、４層の
反射防止膜でありながら、それ以上の層数を持つ反射防
止膜に相当する反射防止効果を得ることができる。ま
た、本実施例では、ＣＣＤの感度ピーク位置は、ＣＣＤ
の画素の手前に設けられた色フィルタの透過（吸収）特
性によって各々異なるが、ピーク位置の変化に対しても
構成される各層の膜厚を変えることによって随時対応す
ることが可能である。
視域（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）全域で一様でない点に
着目し、特に反射防止効果を必要とするＣＣＤの感度ピ
ーク波長に対して有効になるようにすることで、４層の
反射防止膜でありながら、それ以上の層数を持つ反射防
止膜に相当する反射防止効果を得ることができる。ま
た、本実施例では、ＣＣＤの感度ピーク位置は、ＣＣＤ
の画素の手前に設けられた色フィルタの透過（吸収）特
性によって各々異なるが、ピーク位置の変化に対しても
構成される各層の膜厚を変えることによって随時対応す
ることが可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の反射防止膜においては、ＣＣＤの感度ピーク波長に
対して有効となるように反射防止膜の各層の屈折率と光
学的厚さを規定しているので、４層構造でありながらそ
れ以上の層数を有した多層反射防止膜に相当する優れた
反射防止効果を有する反射防止膜を提供することができ
る。したがって、本発明の反射防止膜を施した光学素子
を用いた光学系において、より高い透過光量を得ること
ができ、また不要なゴースト，フレア等を低減すること
ができる。
明の反射防止膜においては、ＣＣＤの感度ピーク波長に
対して有効となるように反射防止膜の各層の屈折率と光
学的厚さを規定しているので、４層構造でありながらそ
れ以上の層数を有した多層反射防止膜に相当する優れた
反射防止効果を有する反射防止膜を提供することができ
る。したがって、本発明の反射防止膜を施した光学素子
を用いた光学系において、より高い透過光量を得ること
ができ、また不要なゴースト，フレア等を低減すること
ができる。
【図１】本発明を適用した反射防止膜の要部拡大断面図
である。
である。
【図２】本発明を適用した反射防止膜の分光特性を示す
特性図である。
特性図である。
【図３】一般的なＣＣＤの相対感度の波長特性の一例を
示す特性図である。
示す特性図である。
【図４】従来の４層構造の反射防止膜における分光特性
を示す特性図である。
を示す特性図である。
１・・・反射防止膜 １ａ・・・第１層目の膜 １ｂ・・・第２層目の膜 １ｃ・・・第３層目の膜 １ｄ・・・第４層目の膜 ２・・・光学素子
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のバンドパスフィルタ
を配してなるカラー撮像素子に結像するための光学素子
面上に設けられる４層構成の反射防止膜において、 光学素子面側から順に第１層，第２層，第３層，第４層
としたときに、各層の屈折率を順にｎ1 ，ｎ2 ，ｎ3 ，
ｎ4 とすると共に、光学素子の屈折率をｎ0 とすると、 ｎ2 は他に比べて最もｎ0 に近く、また、ｎ1 ，ｎ4 ＜
ｎ0 ＜ｎ3 の関係を有し、且つ所定波長をλ0 としたと
き、各層の厚さと屈折率の積で表される光学的厚さ
Ｄ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，Ｄ4 は、 Ｄ1 ＝０．３７５λ0 〜０．５７５λ0 Ｄ2 ＝０．１２５λ0 〜０．２５０λ0 Ｄ3 ＝０．４３５λ0 〜０．７００λ0 Ｄ4 ＝０．２１５λ0 〜０．３５０λ0 であることを特徴とする反射防止膜。 - 【請求項２】 第１層または第４層に用いられる物質
は、ＳｉＯ2 及び／又はＭｇＦ2 或いはそれらを主成分
とした混合物であり、第２層はＡｌ2 Ｏ3 ，ＣｅＦ3 ，
ＭｇＯ，ＬａＦ3 の群から選ばれる物質又はそれらを主
成分とする混合物であり、第３層はＴｉＯ2 ，Ｔａ2 Ｏ
5 ，ＺｒＯ2 ，ＣｅＯ2 の群から選ばれる物質又はそれ
らを主成分とする混合物であることを特徴とする請求項
１記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168396A JPH0772304A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5168396A JPH0772304A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0772304A true JPH0772304A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=15867346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5168396A Pending JPH0772304A (ja) | 1993-06-16 | 1993-06-16 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0772304A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008250123A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 色分解光学系および撮像装置 |
-
1993
- 1993-06-16 JP JP5168396A patent/JPH0772304A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008250123A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 色分解光学系および撮像装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030520 |