JPH077300A

JPH077300A - Ｉｃデバイスのリード曲がり検査方法

Info

Publication number: JPH077300A
Application number: JP5167296A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Murano; 寿村野; Kazuhide Yokozawa; 和英横沢; Takeshi Fujii; 武藤井; Takahito Suzuki; 崇仁鈴木; Hisao Nishizaki; 久夫西崎
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1993-06-15
Filing date: 1993-06-15
Publication date: 1995-01-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】簡単な搬送手段によって定速送りを行う間に
リード曲がりの検査を行うようにする。【構成】デバイスＤのリードＬにおける内外方向の曲
がりを検出する第１のリード曲がり検出手段５１と、リ
ードＬのピッチ方向の曲がりを検出する第２のリード曲
がり検出手段５２とからなるリード曲がり検出部５０が
配置されている。上流側シュート１０ａからデバイス載
置台２５にデバイスＤを移行させて、ストッパ２６に当
接する位置で停止させ、モータ２４を作動させて、ベル
ト２１を走行させて、デバイス載置台２５を一度下流側
シュート１０ｂに接続する位置にまで変位させ、次いで
モータ２４を逆転させて、ベルト２１を逆方向に一定の
速度で走行させることによって、デバイス載置台２５を
自重とは反対方向に変位させ、この間にリード曲がり検
出手段５０によりリードＬの曲がりの有無を検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣデバイス（集積回
路素子）のリード曲がりを検査する方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣデバイス（以下、単にデバイスとい
う）は、パッケージ部に複数のリードを設けたものであ
って、このリードは回路基板に実装するのに適した形状
に曲折される。そして、回路基板に、それに設けた電極
に接続するようにして実装されるが、リードが所定の方
向及び姿勢を保っていなければ、電極と接続させること
ができなくなる。このために、デバイスの製造後には、
リード曲がりの有無を検査するようにしている。このリ
ード曲がりの検査を簡易に行うには、透過型または反射
型のセンサを用い、デバイスを走行させる間に、センサ
によりリードの位置、及びリード間隔，長さ等を検出す
ることによって、リードが正常な状態となっているか、
曲がったり、変形したりしているか否かの検査を行うよ
うにしたものは、従来から広く用いられている。

【０００３】例えば、パッケージ部の左右の両側に複数
のリードを導出させて、このリードを途中から下方に曲
折した、所謂ＤＩＰ型のデバイスにあっては、パッケー
ジ部を傾斜した状態のシュートに搭載すると、自重で滑
走するので、この滑走経路にセンサを配置しておけば、
デバイスの滑走中にリード曲がりの検査を行うことがで
きる。しかも、この搬送方式は、デバイスの電気的特性
を測定するためのＩＣテスタへのデバイス供給方式と一
致するために、ＩＣテスタのソケット部に接続するため
のデバイス供給経路にセンサを配置することによって、
デバイスのリード曲がりの検査と電気的特性の測定とを
同時に行えるので非常に都合が良い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、リード曲が
りを検査するには、デバイスを移動させる間にセンサに
よってリードの位置等を検出するものであるから、この
検査中はデバイスは定速移動させなければ、正確な検査
を行うことができない。しかしながら、デバイスを自重
で滑走させると、シュートとの間の摺動抵抗等があるた
めに、センサの位置を一定の速度で通過する保証はな
い。このために、デバイスをシュートから強制搬送手段
に移行させて、この強制搬送手段によってデバイスを搬
送する間にセンサを作動させることによって、リード曲
がりを検出するようにすることが考えられる。ここで、
強制搬送手段としては、例えばボールねじ送り手段や、
搬送ベルトその他のがある。ただし、ボールねじ送り手
段は構造が複雑になり、高価であるという問題点があ
り、また無端搬送ベルトはベルトの張力やベルトが巻回
されている歯車のバックラッシュ等があり、特に搬送ベ
ルトを傾斜させるようにすると、デバイスが載置される
デバイス載置台の重力が搬送ベルトの搬送方向に作用す
るので、正確な定速送りを行うことができない場合があ
る。

【０００５】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、無端搬送ベルトを用
いてＩＣデバイスを確実に定速送りを行って、デバイス
のリード曲がりを正確に検査できるようにすることにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、傾斜状態に配設され、順逆方向に走
行可能な搬送ベルトに、パッケージ部の左右両側に複数
のリードを延在させたＩＣデバイスが所定の位置に載置
されるワーク設置台を固定して設け、またこのワーク設
置台の搬送経路の途中にリード曲がりを検査する検査手
段を配置し、搬送ベルトをワーク設置台が検査手段の配
設位置を通過するまで下降させた後、この搬送ベルトを
逆方向に移動させる間に前記検査手段によってＩＣデバ
イスのリード曲がりの検査を行うことをその特徴とする
ものである。

【０００７】

【作用】搬送ベルトを傾斜させて設けると、ワーク設置
台の重力が作用する方向に搬送する際には、ベルトの張
力等の影響でワーク設置台の送りむらが生じる等、厳格
な定速送りは行えない。しかしながら、ワーク設置台の
重力が作用する方向とは反対方向に搬送する場合には、
モータ等の駆動が正確に行われるかぎり、確実に定速送
りが行われる。

【０００８】ＩＣデバイスを搬送ベルトに設けたワーク
設置台に送り込んで、所定の位置に位置決めして、搬送
ベルトを順方向、即ち下降する方向に作動させて、ワー
ク設置台を検出手段の設置部を通過する位置にまで搬送
する。この位置から搬送ベルトを逆方向、即ちワーク設
置台の重力に抗する上昇方向に移動させる。ワーク設置
台の重力の作用によりベルトが所定の張力を持たせるこ
とができる等、正確な定速搬送が可能となる。この間に
検出手段を作動させて、デバイスのリード間隔やリード
の幅，長さ等の検出を行うことによって、リード曲がり
の有無を正確に検査することができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。この実施例においては、デバイスのリード
曲がりを検査した後に、このデバイスの電気的特性の測
定を行うＩＣデバイスの検査装置ように構成したものと
して説明する。

【００１０】まず、図１に検査方法を実施するための装
置の全体構成を示し、図２に検査されるデバイスの外観
を示す。図中において、１はローダ部、２はリード曲が
り検出部、３は測定部、４はアンローダ部である。デバ
イスＤは、パッケージ部Ｐの左右両側に多数のリードＬ
を延在させ、これら各リードＬを根元近傍位置で下方に
曲折している。このデバイスＤはローダ部１においては
マガジンＭに１列にして多数収容させており、このマガ
ジンＭを傾斜させて、傾斜シュート１０に向けてデバイ
スＤを１個ずつ送り込むようにしている。デバイスＤは
傾斜シュート１０においては、そのパッケージ部Ｐが傾
斜シュート１０の滑走面に当接し、左右のリードＬを傾
斜シュート１０の側面に対面させるようにして滑走させ
るようになっている。

【００１１】リード曲がり検出部２は傾斜シュート１０
の途中位置に設けられて、このリード曲がり検出部２に
よりデバイスＤのリード曲がりの有無が検出されるよう
になっている。ここで、傾斜シュート１０は、リード曲
がり検出部２によって上流側シュート１０ａと下流側シ
ュート１０ｂとに分割されている。そして、下流側シュ
ート１０ｂには、方向転換部１１が接続されており、傾
斜シュート１０に沿って搬送されるデバイスＤは垂直方
向に方向転換されて、測定部３に送り込まれるようにな
っている。この測定部３には、ＩＣテスタ３０のテスト
ヘッド３１が対面しており、測定部３を構成する垂直シ
ュート３２によってデバイスＤをクランプしてテストヘ
ッド３１を構成するソケットに接続して、このデバイス
Ｄの電気的特性が測定されるようになっている。さら
に、この測定部３で、デバイスＤの電気的特性の測定が
行われた後に、再び方向転換部３３を経てアンローダ部
４に送り込まれて、このアンローダ部４において、デバ
イスＤは検査結果に基づいて分類分けしてマガジンに収
容させるようにしている。

【００１２】図３にリード曲がり検出部２の概略構成を
示す。この図から明らかなように、上流側シュート１０
ａと下流側シュート１０ｂとの間に設けた無端搬送コン
ベア２０であって、この無端搬送コンベア２０はベルト
２１を有し、このベルト２１は一対のプーリ２２，２３
間に巻回して設けられている。プーリ２２，２３のう
ち、上方に位置するプーリ２２は駆動側のプーリであっ
て、このプーリ２２には正逆回転可能なモータ２４が接
続されている。ベルト２１にはデバイス設置台２５が固
定して設けられている。このデバイス設置台２５は、傾
斜シュート１０とほぼ同じ形状のものであって、デバイ
スＤはデバイス設置台２５に跨いだ状態に載置されるよ
うになっている。そして、デバイス設置台２５の先端部
にはストッパ２６がそのパッケージ部Ｐの滑走面に出没
可能に設けられている。

【００１３】無端搬送コンベア２０におけるデバイスＤ
の搬送経路の途中位置に、リード曲がり検出部５０が設
けられている。このリード曲がり検出部５０は、デバイ
スＤのリードＬにおける内外方向の曲がりを検出する第
１のリード曲がり検出手段５１と、リードＬのピッチ方
向の曲がりを検出する第２のリード曲がり検出手段５２
とから構成される。

【００１４】リードＬの内外方向の曲がりを検出する第
１のリード曲がり検出手段５１は、図４に示したよう
に、デバイスＤの上下に配置した投光部５１ａと受光部
５１ｂとからなり、投光部５１ａからの照射された光を
受光部５１ｂで受光させて、この受光部５１ｂからの出
力信号に基づいて、左右のリードＬ，Ｌ間に間隔Ｘを検
出するようにしている。この間隔Ｘが設定値より狭い場
合には、左右いずれかのリードが内向きに曲がってお
り、また設定値より広い場合には、外向きに曲がってい
ることが検出できる。また、リードＬのピッチ方向の曲
がりを検出する第２のリード曲がり検出手段５２は、図
５に示したように、リードＬを挟むように配設した投光
部５２ａと受光部５２ｂとからなり、この投光部５２ａ
と受光部５２ｂとがパッケージ部Ｐの両側に設けられ
て、相隣接するリードＬ，Ｌの間隔Ｙが検出される。こ
の間隔Ｙが所定の設定値とは異なる場合には、リードＬ
がピッチ方向における左右いすれかの方向に曲がってい
ることが検出される。以上の第１，第２のリード曲がり
検出手段５１，５２はベルト２１におけるデバイスＤの
搬送経路の途中位置において、少なくとも下流側シュー
ト１０ｂへの移行部からデバイスＤの全長分以上の間隔
だけ上方に離れた位置に配設されている。

【００１５】次に、以上の装置を用いてＩＣデバイスの
検査を行う方法について説明する。デバイスＤはマガジ
ンＭ内に収容されて、ローダ部１に設置され、このロー
ダ部１においてマガジンＭを傾斜させることによって、
デバイスＤを傾斜シュート１０に送り込まれる。そし
て、デバイスＤは、そのパッケージ部Ｐが傾斜シュート
１０における上流側シュート１０ａの上面に沿って摺動
滑走する。無端搬送コンベア２０のベルト２１に設けた
デバイス設置台２５をこの上流側シュート１０ａに接続
する状態に保持し、ストッパ２６を突出させる。これに
よって、上流側シュート１０ａからデバイス設置台２５
にデバイスＤが移行して、ストッパ２６に当接する位置
で停止する。この状態で、モータ２４を作動させて、ベ
ルト２１を走行させて、デバイス設置台２５を一度下流
側シュート１０ｂに接続する位置にまで変位させる。

【００１６】この状態からモータ２４を逆転させて、ベ
ルト２１を逆方向に一定の速度で走行させることによっ
て、デバイス設置台２５を自重とは反対方向に変位させ
る。この間においては、デバイス設置台２５の自重等に
よりそれからプーリ２２への巻回部までの間は所定の張
力を持った状態であって、しかもこのデバイス設置台２
５の自重に抗する方向に移動するから、モータ２４によ
るプーリ２２を正確に一定の回転速度で駆動すれば、デ
バイス設置台２５が正確に定速送りされる。

【００１７】このようにしてデバイス設置台２５を逆方
向に走行させる間に、リード曲がり検出手段５０の位置
を通過させ、この時に第１，第２のリード曲がり検出手
段５１，５２の投光部５１ａ，５２ａから光を出射させ
て、受光部５１ｂ，５２ｂで受光させる。これによっ
て、リードＬの内外方向及びピッチ方向の曲がりの有無
を検査することができる。ここで、リードＬの内外方向
の曲がりについては、デバイスＤは必ずしも定速移動し
なくとも正確な検査を行うことができるが、ピッチ方向
におけるリード曲がりの検査を正確に行うには、デバイ
スＤを定速送りしなければならない。このために、前述
したように、デバイス設置台２５の自重を利用して、こ
のデバイス設置台２５を自重に抗する方向に搬送するこ
とによって、リードＬのピッチ方向の曲がりを極めて正
確に検査できる。

【００１８】以上のように、デバイス設置台２５を逆方
向に送ることによって、デバイスＤの全てのリードＬの
曲がりを検査した後に、モータ２４を再び正転させるこ
とによって、デバイス設置台２５を下流側シュート１０
ｂに接続する位置にまで変位させて、ストッパ２６をこ
のデバイス設置台２５の上面から下方に退入させること
によって、リード曲がり検査が行われたデバイスＤは自
重で下流側シュート１０ｂに移行し、さらに方向転換部
１１により垂直方向に進路を垂直方向に変えて、測定部
３における垂直シュート３２に送り込まれ、ＩＣテスタ
３０のテストヘッド３１と対面する位置に達すると、こ
の垂直シュート３２内で位置決めクランプされて、テス
トヘッド３１に接続される。そして、このデバイスＤの
電気的特性の測定を行った後にテストヘッド３１から離
脱させて、アンローダ部４に送り込んで、試験結果に基
づいて分類分けしてマガジンに収容される。

【００１９】ここで、ＩＣテスタ３０でデバイスＤの電
気的特性を測定するに当っては、デバイスＤのリードＬ
が曲がっていると、テストヘッド３１に対するコンタク
ト不良を生じる等の不都合があるが、リード曲がり検出
部２でリードＬの曲がりを検出しているので、リード曲
がりのあるデバイスは測定部３に移行する前の段階で排
除できるようになる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、傾斜状
態に配設され、順逆方向に走行可能な搬送ベルトに、パ
ッケージ部の左右両側に複数のリードを延在させたＩＣ
デバイスが所定の位置に載置されるワーク設置台を固定
して設けて、このワーク設置台の搬送経路の途中にリー
ド曲がりを検査する検査手段を配置し、搬送ベルトをワ
ーク設置台が検査手段の配設位置を通過するまで下降さ
せた後、この搬送ベルトを逆方向に移動させる間に前記
検査手段によってＩＣデバイスのリード曲がりの検査を
行うようにしたから、ワーク設置台の重力が作用する方
向とは反対方向に搬送する間にリード曲がりの検査が行
われるので、ワーク設置台を確実に定速送りすることが
でき、簡単な構成のデバイス送り手段を用いてリード曲
がりを極めて精度良く検査することができる等の効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＩＣデバイスの検査装置の構成説明図である。

【図２】シュートと共に示すＩＣデバイスの正面図であ
る。

【図３】リード曲がり検査機構の構成説明図である。

【図４】リードの内外方向の曲がりを検出する手段を示
す説明図である。

【図５】リードのピッチ方向の曲がりを検出する手段を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ローダ部２リード曲がり検出部３測定部４アンローダ部１０傾斜シュート２０無端搬送コンベア２１ベルト２４モータ２５デバイス設置台２６ストッパ５０リード曲がり検出部５１第１のリード曲がり検出手段５２第２のリード曲がり検出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木崇仁東京都千代田区大手町二丁目６番２号日立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者西崎久夫東京都千代田区大手町二丁目６番２号日立電子エンジニアリング株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】傾斜状態に配設され、順逆方向に走行可
能な搬送ベルトに、パッケージ部の左右両側に複数のリ
ードを延在させたＩＣデバイスが所定の位置に載置され
るワーク設置台を固定して設け、またこのワーク設置台
の搬送経路の途中にリード曲がりを検査する検査手段を
配置し、搬送ベルトをワーク設置台が検査手段の配設位
置を通過するまで下降させた後、この搬送ベルトを逆方
向に移動させる間に前記検査手段によってＩＣデバイス
のリード曲がりの検査を行うことを特徴とするＩＣデバ
イスのリード曲がり検査方法。