JPS61246609A - 形状検査装置 - Google Patents
形状検査装置Info
- Publication number
- JPS61246609A JPS61246609A JP60089543A JP8954385A JPS61246609A JP S61246609 A JPS61246609 A JP S61246609A JP 60089543 A JP60089543 A JP 60089543A JP 8954385 A JP8954385 A JP 8954385A JP S61246609 A JPS61246609 A JP S61246609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- circuit
- inspected
- lead pin
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、例えば完成されたＩＣのリードピン等の形
状を検査するための形状検査装置に関する。
状を検査するための形状検査装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
−１に、モールド形成されたＩＣにおいては、リードピ
ンの形状を検査する必要がある。これはリードピンの形
状が正常でないとＩＣソケットに挿入できなかったり、
半田付が行なえなかったりするためである。上記リード
ピンの形状不良としては、例えば第１０図に破線で示す
ようなリードピン列に沿った方向の折曲、第１１図に破
線で示すようなリードピン列と直行する方向の折曲等が
ある。
ンの形状を検査する必要がある。これはリードピンの形
状が正常でないとＩＣソケットに挿入できなかったり、
半田付が行なえなかったりするためである。上記リード
ピンの形状不良としては、例えば第１０図に破線で示す
ようなリードピン列に沿った方向の折曲、第１１図に破
線で示すようなリードピン列と直行する方向の折曲等が
ある。
なお、第１０図、第１１図において、１１はＩＣチップ
が収納されたパッケージ、１２ａ、１２ｂはリードピン
列である。このようなＩＣのリードピンの形状不良を検
査する際、従来は、ＩＴＶカメラを用いて行なっている
。すなわち、第１０図に示したようなリードピン列１２
ａに沿った方向の折れ曲りを検出する場合には、第１２
図に矢印Ａ、Ｂで示す方向から、また、第１１図に示し
たような方向の折曲には第１２図の矢印Ｃ，Ｄ方向から
それぞれＩＴＶカメラで撮影して検査を行なう。このた
め、デュアル インライン パッケージの場合には４台
のＩＴＶカメラが必要となりコスト高となる欠点がある
。
が収納されたパッケージ、１２ａ、１２ｂはリードピン
列である。このようなＩＣのリードピンの形状不良を検
査する際、従来は、ＩＴＶカメラを用いて行なっている
。すなわち、第１０図に示したようなリードピン列１２
ａに沿った方向の折れ曲りを検出する場合には、第１２
図に矢印Ａ、Ｂで示す方向から、また、第１１図に示し
たような方向の折曲には第１２図の矢印Ｃ，Ｄ方向から
それぞれＩＴＶカメラで撮影して検査を行なう。このた
め、デュアル インライン パッケージの場合には４台
のＩＴＶカメラが必要となりコスト高となる欠点がある
。
［発明の目的］
この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、低コストで、かつ同一の連続
したパターンを有する被検査物におけるあらゆる方向の
パターン変形を検査できるすぐれた形状検査装置を提供
することである。
その目的とするところは、低コストで、かつ同一の連続
したパターンを有する被検査物におけるあらゆる方向の
パターン変形を検査できるすぐれた形状検査装置を提供
することである。
［発明の概要］
すなわち、この発明においては、上記の目的を達成する
ために、同一のパターンが連続して形成された被検査物
を、搬送手段によってそのパターン列に沿った方向に搬
送し、この搬送手段による被検査物の搬送方向と直行す
る方向に照射手段によって光を照射し、前記被検査物の
パターンからの光を受光手段によって受光する。そして
、この受光手段の出力に基づいて前記被検査物における
パターンの数およびその間隔をパターン検査手段により
検査するようにしている。
ために、同一のパターンが連続して形成された被検査物
を、搬送手段によってそのパターン列に沿った方向に搬
送し、この搬送手段による被検査物の搬送方向と直行す
る方向に照射手段によって光を照射し、前記被検査物の
パターンからの光を受光手段によって受光する。そして
、この受光手段の出力に基づいて前記被検査物における
パターンの数およびその間隔をパターン検査手段により
検査するようにしている。
［発明の実施例］
以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第１図に示すデュアル インライン パッケージ
タイプのＩＣ１１は、２列のり一ドビン列１２ａ、１
２ｂを有しており、図示しない搬送手段（例えば搬送ベ
ルトに載置されて）によりリードピン列１２ａ、１２ｂ
に沿った方向（矢印方向）に一定の速度で搬送される。
する。第１図に示すデュアル インライン パッケージ
タイプのＩＣ１１は、２列のり一ドビン列１２ａ、１
２ｂを有しており、図示しない搬送手段（例えば搬送ベ
ルトに載置されて）によりリードピン列１２ａ、１２ｂ
に沿った方向（矢印方向）に一定の速度で搬送される。
上記ＩＣ１１の搬送時、レーザ発振器１３からのレーザ
光がレンズ１４によって集光され、上記ＩＣ１１の搬送
方向と直行する方向でかつ上記リードピン列１２ａに対
して所定の角度をもってその先端部に照射される。上記
リードピン列１２ａからの反射光は、レンズ１５によっ
て光電変換素子１６に結像される。なお、説明を簡単に
するために、以降の説明は一方のリードピン列１２ａに
着目して行なうが、リードピン列１２ｂに対しても同様
な装置が設けられる。
光がレンズ１４によって集光され、上記ＩＣ１１の搬送
方向と直行する方向でかつ上記リードピン列１２ａに対
して所定の角度をもってその先端部に照射される。上記
リードピン列１２ａからの反射光は、レンズ１５によっ
て光電変換素子１６に結像される。なお、説明を簡単に
するために、以降の説明は一方のリードピン列１２ａに
着目して行なうが、リードピン列１２ｂに対しても同様
な装置が設けられる。
上記光電変換素子１６の出力は、第２図に示す如く２値
化回路１７に供給されて２値化される。この２値化回路
１７の出力は、リードピン間隔測定回路（パターン間隔
測定回路）１８、およびリードピン数計数回路（パター
ン数計数回路）１９に供給され、これらリードピン間隔
測定回路１８およびリードピン数計数回路１９の出力が
それぞれ、判定回路２０に供給されて各リードピンの形
状が正常か否か判定され、出力信号ＯＵＴを得るように
なっている。
化回路１７に供給されて２値化される。この２値化回路
１７の出力は、リードピン間隔測定回路（パターン間隔
測定回路）１８、およびリードピン数計数回路（パター
ン数計数回路）１９に供給され、これらリードピン間隔
測定回路１８およびリードピン数計数回路１９の出力が
それぞれ、判定回路２０に供給されて各リードピンの形
状が正常か否か判定され、出力信号ＯＵＴを得るように
なっている。
上記リードピン間隔測定回路１８．リードピン数計゛数
回路１９、および判定回路２０はそれぞれ、制御回路２
１の出力によって制御される。
回路１９、および判定回路２０はそれぞれ、制御回路２
１の出力によって制御される。
次に、上記のような構成において、第３図ないし第７図
を参照しつつ動作を説明する。ＩＣＩＩが一定の速度で
搬送され、レーザ光がリードピン列ｉ２ａの先端部に照
射されると、その反射光が充電変換素子１６に入射され
て電気信号に変換される。
を参照しつつ動作を説明する。ＩＣＩＩが一定の速度で
搬送され、レーザ光がリードピン列ｉ２ａの先端部に照
射されると、その反射光が充電変換素子１６に入射され
て電気信号に変換される。
今、各リードピンの形状が正常であったとすると、第３
図に示すように上記光電変換素子１６からは一定間隔で
かつ一定の強度を有するパルス信号が得られる。しかし
、第４図に破線で示すようにり−ドピンがリードピン列
１２ａと直行する方向に折曲していると、一点鎖線２２
あるいは二点鎖線２３で示すように反射光が正確に光電
変換素子１６に入射されないため、第５図に示すように
リードピンの折曲部に対応した光電変換素子１６の出力
パルスの強度が低下する。従って、光電変換素子１６の
出力信号を２値化回路１７に供給して２値化し、前記り
一ドピン数計数回路１９により、この２値化回路１７の
出力パルス数を計数すればこのような不良を検出できる
。一方、第６図に破線で示すように、リードピンがリー
ドピン列１２ａに沿った方向に折曲している場合には、
これに対応して第７図に示すように光電変換素子１６の
出力パルスの幅ｔｔ 、 ｔ２ 。
図に示すように上記光電変換素子１６からは一定間隔で
かつ一定の強度を有するパルス信号が得られる。しかし
、第４図に破線で示すようにり−ドピンがリードピン列
１２ａと直行する方向に折曲していると、一点鎖線２２
あるいは二点鎖線２３で示すように反射光が正確に光電
変換素子１６に入射されないため、第５図に示すように
リードピンの折曲部に対応した光電変換素子１６の出力
パルスの強度が低下する。従って、光電変換素子１６の
出力信号を２値化回路１７に供給して２値化し、前記り
一ドピン数計数回路１９により、この２値化回路１７の
出力パルス数を計数すればこのような不良を検出できる
。一方、第６図に破線で示すように、リードピンがリー
ドピン列１２ａに沿った方向に折曲している場合には、
これに対応して第７図に示すように光電変換素子１６の
出力パルスの幅ｔｔ 、 ｔ２ 。
ｔ３・・・が変化する。従って、前記リードピン間隔測
定回路１８により各リードピンの間隔を測定することに
より、リードピンのリードピン列１２ａに沿った方向の
折曲を検出できる。判定回路２０では、上記リードピン
間隔測定回路１Ｂおよびリードピン数計数回路１９の出
力に基づき、リードピンの間隔および数がともに予め設
定した値と一致したときに正常であると判断し、それ以
外は異常であると判断する。
定回路１８により各リードピンの間隔を測定することに
より、リードピンのリードピン列１２ａに沿った方向の
折曲を検出できる。判定回路２０では、上記リードピン
間隔測定回路１Ｂおよびリードピン数計数回路１９の出
力に基づき、リードピンの間隔および数がともに予め設
定した値と一致したときに正常であると判断し、それ以
外は異常であると判断する。
このような構成によれば、高コストなカメラを何台も使
用することなくリードピンのあらゆる方向の変形を確実
に検出できる。
用することなくリードピンのあらゆる方向の変形を確実
に検出できる。
第８図はこの発明の他の実施例を示している。
すなわち、上記実施例ではレーザ光をリードピン列１２
ａの一カ所（先端部）に照射していたのに対し、ハーフ
ミラ−２４を使用してレーザ光を分光し、リードピンの
２カ所を照射して二つの光電変換素子１６．１８でこれ
らの反射光を受光するようにしている。図において、前
記第１図と同一構成部には同じ符号を付してその詳細な
説明は省略する。このような構成によれば、上記実施例
では第９図に破線で示すような複雑な変形では正常なパ
ターンと判断されるが、このような変形であっても二つ
の光電変換素子１６．１６の出力を比較することにより
検出が可能となる。
ａの一カ所（先端部）に照射していたのに対し、ハーフ
ミラ−２４を使用してレーザ光を分光し、リードピンの
２カ所を照射して二つの光電変換素子１６．１８でこれ
らの反射光を受光するようにしている。図において、前
記第１図と同一構成部には同じ符号を付してその詳細な
説明は省略する。このような構成によれば、上記実施例
では第９図に破線で示すような複雑な変形では正常なパ
ターンと判断されるが、このような変形であっても二つ
の光電変換素子１６．１６の出力を比較することにより
検出が可能となる。
［発明の効果］
以上説明したようにこの発明によれば、低コストで、か
つ同一の連続したパターンを有する被検査物におけるあ
らゆる方向のパターン変形を検査できるすぐれた形状検
査装置が得られる。
つ同一の連続したパターンを有する被検査物におけるあ
らゆる方向のパターン変形を検査できるすぐれた形状検
査装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例に係わる形状検査装置の概
略構成を示す図、第２図は上記第１図の形状検査装置の
電気回路の概略構成を示すブロック図、第３図ないし第
７図はそれぞれ上記第１図および第２図に示した形状検
査Ｓ！置の動作を説明するための図、第８図はこの発明
の他の実施例を説明するための図、第９図は上記第８図
の装置の動作を説明するための図、第１０図ないし第１
２図はそれぞれ従来の形状検査装置について説明するた
めの図でおる。 １１・Ｉ Ｃ（被検査物） 、１２ａ、１２ｂ・・・リ
ード！：’ン列（パターン列）、１３・・・レーザ発振
器（照射手段）、１６・・・光電変換素子（受光手段）
、１７・・・２値化回路、１８・・・リードピン間隔測
定回路（パターン間隔測定回路）、１９・・・リードピ
ン数計数回路（パターン数計数回路）、２０・・・判定
回路、２１・・・制御回路。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第４図 第６図 ２ａ 第７図 ２ａ １２ａ 第１１図 第１２図
略構成を示す図、第２図は上記第１図の形状検査装置の
電気回路の概略構成を示すブロック図、第３図ないし第
７図はそれぞれ上記第１図および第２図に示した形状検
査Ｓ！置の動作を説明するための図、第８図はこの発明
の他の実施例を説明するための図、第９図は上記第８図
の装置の動作を説明するための図、第１０図ないし第１
２図はそれぞれ従来の形状検査装置について説明するた
めの図でおる。 １１・Ｉ Ｃ（被検査物） 、１２ａ、１２ｂ・・・リ
ード！：’ン列（パターン列）、１３・・・レーザ発振
器（照射手段）、１６・・・光電変換素子（受光手段）
、１７・・・２値化回路、１８・・・リードピン間隔測
定回路（パターン間隔測定回路）、１９・・・リードピ
ン数計数回路（パターン数計数回路）、２０・・・判定
回路、２１・・・制御回路。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第４図 第６図 ２ａ 第７図 ２ａ １２ａ 第１１図 第１２図
Claims (6)
- （１）同一のパターンが連続して形成された被検査物を
パターン列に沿つた方向に搬送する搬送手段と、この搬
送手段による前記被検査物の搬送方向と直行する方向に
光を照射する照射手段と、前記被検査物のパターンから
の光を受光する受光手段と、この受光手段の出力に基づ
いて前記被検査物におけるパターンの数およびその間隔
を検査するパターン検査手段とを具備することを特徴と
する形状検査装置。 - （２）前記被検査物はＩＣであり、このＩＣのリードピ
ンの形状を検査することを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の形状検査装置。 - （３）前記パターン検査手段は、前記受光手段の出力を
２値化する２値化回路と、この２値化回路の出力に基づ
いて前記パターンの数を計数するパターン数計数回路と
、前記２値化回路の出力に基づいて前記各パターンの間
隔を測定するパターン間隔測定回路と、前記パターン数
計数回路と前記パターン間隔測定回路の出力とに基づい
て前記被検査物のパターンが正常か否かを判定する判定
回路と、前記パターン数計数回路、パターン間隔測定回
路、および前記判定回路をそれぞれ制御する制御回路と
から成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
形状検査装置。 - （４）前記照射手段の光は、レーザ光であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の形状検査装置。 - （５）前記照射手段からの光を、ＩＣのリードピンの先
端部に照射することを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の形状検査装置。 - （６）前記ＩＣがデュアルインラインパッケージの場合
、前記照射手段の光をＩＣの両側から照射することを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の形状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60089543A JPS61246609A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60089543A JPS61246609A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 形状検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61246609A true JPS61246609A (ja) | 1986-11-01 |
Family
ID=13973729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60089543A Pending JPS61246609A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | 形状検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61246609A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63301551A (ja) * | 1987-06-01 | 1988-12-08 | Hitachi Ltd | Ｉｃリ−ド曲り検出装置 |
| JPH04122041A (ja) * | 1990-09-13 | 1992-04-22 | Tsutsumi Denki:Kk | ピン状部品の整列状態検査装置 |
| JPH04350506A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | リード半田付け及び半田面検査方法 |
| US5287759A (en) * | 1991-08-29 | 1994-02-22 | Adtec Engineering Co., Ltd. | Method and apparatus of measuring state of IC lead frame |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP60089543A patent/JPS61246609A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63301551A (ja) * | 1987-06-01 | 1988-12-08 | Hitachi Ltd | Ｉｃリ−ド曲り検出装置 |
| JPH04122041A (ja) * | 1990-09-13 | 1992-04-22 | Tsutsumi Denki:Kk | ピン状部品の整列状態検査装置 |
| JPH04350506A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Matsushita Electric Works Ltd | リード半田付け及び半田面検査方法 |
| US5287759A (en) * | 1991-08-29 | 1994-02-22 | Adtec Engineering Co., Ltd. | Method and apparatus of measuring state of IC lead frame |
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