JPH0774462A

JPH0774462A - はんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装置

Info

Publication number: JPH0774462A
Application number: JP5217191A
Authority: JP
Inventors: Kanji Yamada; 寛二山田; Masaaki Imai; 正昭今井; Yoshiaki Tachibana; 義昭橘
Original assignee: Nihon Den Netsu Keiki Co Ltd
Current assignee: Nihon Den Netsu Keiki Co Ltd
Priority date: 1993-09-01
Filing date: 1993-09-01
Publication date: 1995-03-17
Anticipated expiration: 2013-11-05
Also published as: JP2820598B2

Abstract

(57)【要約】【目的】チャンバ内の酸素濃度をハンチング現象を生
ずることなく短時間で目標の酸素濃度値とする。【構成】チャンバ３内に不活性ガスと空気とをガス混
合タンク２７で混合して供給する。制御装置４１には空
気流量調節弁３４の弁開度に対するチャンバ３内の酸素
濃度の関係をグラフ関数としてあらかじめプログラムし
ておき、目標値設定装置４３により目標値が変更された
とき、前記グラフ関数を参照して目標値に応じて空気流
量調節弁３４の弁開度をオープンループで調節し、一定
時間後、酸素濃度測定装置４２の測定結果と目標値との
差の時間的積分値に基づくフィードバック制御により弁
開度を調節する構成を特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、不活性ガス雰囲気中で
はんだ付けを行うときの酸素濃度を制御するはんだ付け
装置の不活性ガス雰囲気制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、窒素ガスを使用する不活性ガス雰
囲気中ではんだ付けを行うはんだ付け装置として、第１
は：窒素ガスを炉内に導入するための窒素ガス源に接続
されたパイプと、該パイプの途中に設けられた流量調整
バルブと、炉内の酸素濃度を検出する検出手段とを具
え、検出された炉内の酸素濃度に応じて、前記流量調整
バルブの開閉量が自動調整されるように構成されている
もので、流量調整バルブを介してリフロー炉内に導入さ
れる窒素ガスによって、炉内の雰囲気中の酸素濃度は低
い値に抑えられる。炉内雰囲気中の酸素濃度の増加・減
少に応じて、検出手段から出力される信号によって流量
調整バルブが作動し、窒素の流入量が加減され、炉内の
雰囲気が常に一定の酸素濃度に維持されるプリント基板
のはんだ付けリフロー炉である（特開平３−１０１２９
６号公報参照）。

【０００３】第２は：加熱室と、この加熱室に配設され
たヒータと、電子部品が実装された基板をこの加熱室内
へ搬送するコンベヤと、この加熱室に窒素ガスを供給す
る窒素ガス発生手段と、この加熱室の内部及び外部の酸
素濃度又は窒素濃度を計測する酸素濃度計又は窒素濃度
計と、加熱室内の酸素濃度又は窒素濃度に応じて上記窒
素ガス発生手段から加熱室に供給する窒素ガス量を制御
する制御装置と、加熱室外の酸素濃度が低下したことを
報知する警報素子とを備えたもので、基板はコンベヤに
より搬送されながら、窒素ガス雰囲気中において、はん
だの加熱処理が行われるが、加熱室内の酸素濃度が高く
なると、窒素ガス発生手段からの窒素ガス供給量は増加
される。また加熱室外の酸素濃度が低下したならば、ブ
ザーやモニターテレビなどの警報素子によりその旨報知
するリフロー装置である（特開平４−２００８９３号公
報参照）。

【０００４】第３は：リフロー炉に接続された注入口よ
り窒素等の不活性ガスが炉内に供給されると同時に、ま
たは必要に応じて、インジェクタの一方または両方から
酸素含有ガス（１００ｐｐｍ〜大気の酸素を含む窒素ガ
ス）をパルス噴射または連続噴射し、酸素含有ガスが高
酸素濃度の場合は、パルス制御された電磁弁を経てパル
ス噴射することにより、高精度の酸素濃度管理が行える
ものである。なお、酸素含有ガスが低酸素濃度の場合は
連続噴射でもよく、いずれにしても、炉内酸素濃度は前
記酸素濃度計により検出され、制御回路にフィードバッ
クされ、この制御回路で設定された設定値と比較され、
その誤差に基づき前記電磁弁の一方または両方がオン・
オフ制御される不活性ガスリフロー装置の雰囲気管理方
法である（特開平４−３５６３４９号公報参照）。

【０００５】このように、上記従来例に示すような窒素
雰囲気中ではんだ付けを行う装置では、その炉内やチャ
ンバ内の酸素濃度を酸素濃度計で測定し、目的とする酸
素濃度となるよう窒素供給量を調節していた。例えば、
酸素濃度計の出力信号に基づいて窒素流量調節弁の開度
をフィードバック制御していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、発熱源を有
するリフロー炉やチャンバには、空気の炉内流入量と窒
素ガスの炉外流出量とが最小となる窒素ガス供給量の平
衡点が存在する。これは、雰囲気の熱対流に原因してい
る。そのため、上記特開平３−１０１２９６号公報およ
び特開平４−２００８９３号公報に示す装置において
は、酸素濃度を変更する目的で窒素ガス供給量を変更す
ると前記平衡点が崩れ、酸素濃度が安定せずにハンチン
グを生じ易いという問題点があった。

【０００７】また、特開平４−３５６３４９号公報に示
す装置においても、下記のような問題点があった。

【０００８】第１に、パルス噴射を行うと、安定して対
流または流動している状態にある炉内の雰囲気に外乱が
発生するので酸素濃度のハンチングが生じ易い。

【０００９】第２に、窒素ガスと酸素ガスを混合する混
合タンクまたはこの混合タンクと同様の作用を有する管
等の手段がないので、各ガスが炉内で均一な雰囲気にな
るまでに長時間かかり、この間は雰囲気が安定しないた
めハンチングの発生原因になる。

【００１０】第３に、このような装置でＰＩＤステップ
制御を行うと酸素あるいは大気の流量が大きく変化し易
いため、やはりハンチングの原因となる。

【００１１】本発明は、上記従来の問題点を解決するた
めになされたもので、空気がチャンバ内に流入する流入
量と不活性ガスがチャンバ内から流出する流出量とが、
最小となる平衡点を維持しながら酸素濃度の制御を行う
ことができるはんだ付け装置の不活性ガス雰囲気制御装
置を得ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明にかかるはんだ付
け装置の不活性ガス雰囲気制御装置は、空気の供給量を
調節する空気流量調節手段と、不活性ガスと空気とを混
合して混合ガスをチャンバに供給するガス混合手段と、
チャンバ内の混合ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度
測定手段と、チャンバ内の酸素濃度の目標値を入力する
目標値入力手段と、空気流量調節手段の弁開度に対する
チャンバ内の酸素濃度の関係をグラフ関数としてあらか
じめ記憶し、目標値が変更されたときグラフ関数を参照
して変更された目標値に応じて空気流量調節手段の弁開
度を調節し、一定時間経過後、酸素濃度測定手段の測定
結果と目標値との差の時間的積分値に基づいてチャンバ
内の酸素濃度が目標値に一致するよう空気流量調節手段
の弁開度を調節する制御装置と、を備えたものである。

【００１３】

【作用】本発明においては、酸素濃度対空気流量の相関
データであるグラフ関数を制御装置にあらかじめ記憶し
ておき、酸素濃度の目標値が変更されたとき、その目標
値に合わせてグラフ関数を参照し空気供給流量を制御す
ることによって、チャンバ内の酸素濃度を制御する。な
お、空気流量は空気流量調節手段の弁開度に対応するの
で、目標酸素濃度に合わせて弁開度を制御させることに
よりオープンループで簡単に制御することができる。

【００１４】そして、所定時間経過後に、制御特性が時
間積分型のフィードバック制御へ移行することによっ
て、その後は酸素濃度を精密に制御することができる。

【００１５】このように制御することによって、ハンチ
ング現象を生ずることなく短時間で目標酸素濃度を得る
ことが可能となる。

【００１６】

【実施例】図１は本発明の原理を示すブロック図で、１
は配線基板、２ははんだ付け装置で、窒素ガス等の不活
性ガス雰囲気中ではんだ付けを行うリフロー型はんだ付
け装置またはフロー型はんだ付け装置が使用される。３
はチャンバ、４は前記配線基板１を搬送するコンベア、
５は前記はんだ付け装置２内に不活性ガスと空気とを供
給して所定の不活性ガス濃度の雰囲気に制御する不活性
ガス雰囲気制御装置の全体を示す。６は不活性ガス供給
手段で、例えば液化不活性ガスタンク，気化手段，調圧
手段からなる。７はガス流量調節手段、８はガス流量計
測手段、９は空気供給手段で、例えば、エアコンプレッ
サ，水分除去手段，調圧手段からなる。１０は空気流量
調節手段、１１は空気流量計測手段、１２は前記不活性
ガスと空気とを混合して混合ガスとするガス混合手段、
１３は前記不活性ガスと空気の流量を制御するため、マ
イクロコンピュータシステム等で構成した制御手段で、
後に詳しく述べるように、空気流量調節手段１０の弁開
度に対するチャンバ３内の酸素濃度の関係をグラフ関数
としてあらかじめ記憶してある。１４は酸素濃度セン
サ，１５は前記酸素濃度センサ１４の出力を受けてチャ
ンバ３内の酸素濃度を検出する酸素濃度測定手段，１６
は目標とする酸素濃度を制御手段１３のメモリに設定す
るための目標値設定手段である。なお、酸素濃度測定手
段１５は制御手段１３がその機能を果すように構成する
ことができるが、ここでは説明の都合上、別体とした例
を示す。

【００１７】次に、動作について説明する。

【００１８】不活性ガスは不活性ガス供給手段６の調圧
手段で所定の圧力、例えば３Ｋｇ／ｃｍ²に加圧され、
ガス流量計測手段８の測定値に従ってガス流量調節手段
７で目的とする流量Ｑ₁ に調節され、ガス混合手段１２
に流入する。

【００１９】一方、空気は、空気供給手段９で所定の圧
力、例えば不活性ガスよりも高い５Ｋｇ／ｃｍ²に加圧
され、空気流量計測手段１１の測定値に従って空気流量
調整手段１０で目的とする流量Ｑ₂ に調節され、ガス混
合手段１２へ送られて混合された後、不活性ガスの流量
Ｑ₁ と空気の流量Ｑ₂ とが合計された流量Ｑ₃ がはんだ
付け装置２のチャンバ３内へ供給される。

【００２０】さらに、目標値設定手段１６で設定された
設定値信号Ｓ_O1は制御手段１３に入力される。また、チ
ャンバ３内の酸素濃度は酸素濃度センサ１４によって検
知され、その検知信号Ｓ_O2は酸素濃度測定手段１５に入
力され酸素濃度が検出され、その値は制御手段１３に入
力される。また、不活性ガスの流量Ｑ₁ はガス流量計測
手段８によって計測され、その流量計測信号Ｓ_Q1が制御
手段１３に入力され、また、空気の流量Ｑ₂ が空気流量
計測手段１１によって計測され、その流量計測信号Ｓ_Q2
が制御手段１３に入力される。

【００２１】また、制御手段１３では、目標値設定手段
１６の目標値が変更されると、全体の制御系をオープン
ループとして、あらかじめ記憶しているグラフ関数を参
照して変更された目標値に応じて空気流量調節手段１０
の弁開度に調節し、一定時間経過後、フィードバック制
御に戻す。そして、各流量計測信号Ｓ_Q1，Ｓ_Q2によって
チャンバ３内へ供給される不活性ガスと空気とが混合さ
れた混合ガス流量Ｑ₃が一定となるように各流量調節手
段７，１０を調節する流量調節信号Ｃ_Q1，Ｃ_Q2を出力
し、各流量調節手段７，１０の調節を行うことにより、
混合ガス流量Ｑ₃＝不活性ガス流量Ｑ₁ ＋空気流量Ｑ₂
＝（一定）となるように制御する。

【００２２】次に、本発明の実施例について説明する。

【００２３】図２は本発明の一実施例を示すブロック図
で、図１と同一符号は同一部分を示し、２１は不活性ガ
スとして例えば窒素ガスの供給源となる液体窒素タンク
で、この液体窒素タンク２１中の液体窒素を気化器２２
で気化し、レギュレータ２３で、例えば３Ｋｇ／ｃｍ²
の圧力に調圧する。２４は手動のガス流量調節弁で、流
量計２５を参照しながら窒素ガスの流量を目的とする値
に設定する。次いで、窒素ガスは逆止弁２６を通ってガ
ス混合タンク２７に送られる。

【００２４】一方、エアコンプレッサ３１で圧縮された
空気は、水分除去装置３２を通ってドライエア化し、レ
ギュレータ３３で５Ｋｇ／ｃｍ²の圧力に調圧する。そ
して、電動の空気流量調節弁３４（例えば、電空レギュ
レータ等で）で目的とする値に制御した空気をガス混合
タンク２７へ送る。そして、ガス混合タンク２７では窒
素ガスと空気とが混合されて混合ガスとなり、さらには
んだ付け装置２内へ供給される。なお、混合タンク２７
に代えて管径の３０倍以上の長さを有する管を配設して
もよい。これにより、窒素ガスと空気とを十分に混合で
きる。

【００２５】また、逆止弁２６はガス混合タンク２７か
らの混合ガスが流量計２５へ逆流するのを防止するため
に設けたものである。

【００２６】さらに、はんだ付け装置２内に設けられた
酸素濃度センサ１４の検知信号Ｓ_O2が酸素濃度測定装置
４２に入力され、酸素濃度が検出され、その値はマイク
ロコンピュータシステム等で構成した制御装置４１に入
力される。なお、酸素濃度測定装置４２は制御装置４１
がその機能を果すように構成することができるが、ここ
では説明の都合上別体とした例を示す。さらに制御装置
４１からは電動の空気流量調節弁３４の弁開度を制御す
る信号Ｃ_O2を発信する。また、制御装置４１には目標酸
素濃度を入力するための目標値設定装置４３が設けられ
ている。

【００２７】なお、図１，図２において、レギュレータ
２３，３３は調圧手段であり、ガス，空気流量調節弁２
４，３４はガス，空気流量調節手段７，１０に、流量計
２５はガス流量計測手段８に、ガス混合タンク２７はガ
ス混合手段１２にそれぞれ対応する。

【００２８】図３は制御装置４１に具備させるグラフ関
数を説明するためのもので、不活性ガス雰囲気を有する
はんだ付け装置において、窒素ガス供給量を一定（３８
０ｌ／ｍｉｎ）にして空気流量（空気供給量）ｌ／ｍｉ
ｎ（５Ｋｇ／ｃｍ²）を変化させた場合の、はんだ付け
装置２内の酸素濃度（ｐｐｍ）の値を測定した結果（○
印）を実線で示すとともに、空気流量に対する図２の空
気流量調節弁３４の弁開度の値を一点鎖線で示した図で
ある。なお、測定は酸素濃度１１０ｐｐｍを基点として
空気流量を変化させて行ったものであり、かつ、酸素濃
度は空気流量を変化させてから５〜１０分程度経過した
後の、安定した値を用いたものである。

【００２９】すなわち、図３に例示するような酸素濃度
に対する空気流量の相関関係をグラフ関数として制御装
置４１にあらかじめ入力しておき、目標酸素濃度に合わ
せて空気流量を制御することによってはんだ付け装置２
内の酸素濃度を安定に制御することができる。さらに、
弁開度は空気流量に対応し、酸素濃度は空気流量に対応
することになり、目標酸素濃度に応じた弁開度にすれ
ば、空気流量を簡単に制御することができる。

【００３０】例えば、図３において、酸素濃度が１００
０ｐｐｍのときの空気供給量は１．７ｌ／ｍｉｎであ
り、このときの弁開度は６３％である。

【００３１】なお、図３に示した２つのグラフ関数を１
つのグラフ関数にまとめ、目標酸素濃度と空気流量調節
弁３４の弁開度との関係に集約しても何ら差し支えな
い。すなわち、図３に示す２つのグラフ関数の横軸はと
もに空気供給流量を表しているので、このような集約が
可能となる。

【００３２】このように、図２の実施例においては、窒
素ガスの流量の調節を手動のガス流量調節弁２４で流量
計２５を参照しながら行うことにし、空気の流量のみを
空気流量調節弁３４を制御装置４１からの流量調節信号
Ｃ_Q2によって制御する。

【００３３】この理由は、実際上は不活性ガスの流量Ｑ
₁ が空気の流量Ｑ₂ に比べて非常に多いため、空気の流
量Ｑ₂ を増減しても不活性ガスの流量Ｑ₁ を混合した混
合ガスの流量Ｑ₃ には殆ど変化を生ずることなく、Ｑ₃
＝Ｑ₁ ＋Ｑ₂ を満足するとみてよいからである。すなわ
ち、図３に示すように、窒素供給量３８０ｌ／ｍｉｎに
対して空気の最大供給量は２．６ｌ／ｍｉｎであり、そ
の際のはんだ付け装置２内の混合ガス供給量の増加割合
は約０．７％であり、実質的に混合ガス供給量の増加は
ないものとして取り扱うことができる。すなわち、平衡
点から逸脱することはないしたがって、図２の実施例に
おいては、図１の原理図に示すような不活性ガスのガス
流量計測手段８から制御手段１３へ流量計測信号Ｓ_Q1を
送信する制御系統と、空気流量計測手段１１と、この空
気流量計測手段１１から制御手段１３へ流量計測信号Ｓ
_Q2を送信する制御系統と、制御手段１３から不活性ガス
のガス流量調節手段７へ流量調節信号Ｃ_Q1を送信する制
御系統とを不要とすることができる。このため、図２の
実施例の構成は図１の原理図の構成に比べて簡略化する
ことができる。

【００３４】制御装置４１はマイクロコンピュータシス
テムで構成してある。したがって、その制御手順はソフ
トウェア上で実現することができる。また、図３に示す
ような目標酸素濃度に対するエア供給流量の関係、およ
び空気供給量に対する弁開度の関係をグラフ関数（デー
タテーブル）として、あらかじめ制御装置４１の記憶領
域に記憶させてある。

【００３５】したがって、目標酸素濃度が与えられる
と、制御装置４１は前記グラフ関数を参照し、必要とす
る空気流量調節弁３４の弁開度を直ちに求めることがで
きる。

【００３６】次に、制御装置４１の制御手順を、図４の
フローチャートを参照しつつ説明する。図４は酸素濃度
の制御手順を示すフローチャートで、（１）〜（１０）
は各ステップを示す。

【００３７】先ず、ステップ（１）で目標値設定装置４
３に設定してある酸素濃度の目標値、すなわち設定デー
タを読み込み、ステップ（２）で該設定データが変更さ
れたか否かを判断する。

【００３８】ステップ（２）で設定データが変更されて
いた場合（ＹＥＳ）はステップ（３）へ移行し、制御装
置４１にあらかじめ記憶させておいた図３のグラフ関数
を参照し目標とする空気流量調節弁３４の弁開度値を読
み出し、ステップ（４）で弁開度を目標値に調節する。

【００３９】その後、ステップ（５）で制御装置４１に
備えてあるタイマ（図示せず）を起動してカウントを開
始させる。そして、ステップ（６）へ移行して酸素濃度
センサ１４から得られるはんだ付け装置２内の検知信号
Ｓ_O2を読み込み、はんだ付け装置２内の酸素濃度が目標
値の酸素濃度に達したか否かを判断する。

【００４０】ステップ（６）でチャンバ３内の酸素濃度
が目標値に達していなければ（ＮＯ）ステップ（７）へ
移行し、タイマのカウント値があらかじめ決めた所定の
時間（例えば５分）経過したか否かを判断する。所定時
間経過していなければ（ＮＯ）ステップ（６）へ戻って
引き続きチャンバ３内の酸素濃度の値を観測し判断す
る。

【００４１】他方、ステップ（６）でチャンバ３内の酸
素濃度が目標値に達したら（ＹＥＳ）ステップ（８）へ
移行し、タイマの動作を停止すると共に該タイマをクリ
アする。そして、ステップ（１）へ戻る。

【００４２】一方、ステップ（７）で所定時間経過して
いると判断した場合（ＹＥＳ）は、ステップ（８）へ移
行し、前記と同様にタイマのカウントを停止した後に該
タイマをクリアする。そして、ステップ（１）へ戻る。
なお、ステップ（７）の所定時間経過した場合はもちろ
ん、ステップ（６）からステップ（８）に至るのも、一
定時間後として取り扱うものとする。

【００４３】ところで、ステップ（２）で設定データが
変更されていない場合（ＮＯ）は、ステップ（９）へ移
行し、チャンバ３内の酸素濃度の時間的変化の積分値を
求め、ステップ（１０）で、該積分値に基づいて空気流
量調節弁３４の開度を調節する。そして、ステップ
（１）へ戻って目標値を読み込み、ステップ（２）で変
更の有無を引き続き判断する。

【００４４】以上のように、酸素濃度の目標値が変更さ
れた場合は、ステップ（１）→ステップ（２）→ステッ
プ（３）→ステップ（４）→ステップ（５）→ステップ
（６）→ステップ（７）→ステップ（８）→ステップ
（１０）の制御ループにより空気供給流量を制御する。

【００４５】他方、目標値が変更されていなければ、ス
テップ（１）→ステップ（２）→ステップ（９）→ステ
ップ（１０）→ステップ（１）の制御ループにより空気
供給流量を制御する。

【００４６】すなわち、目標値が変更された場合は、あ
らかじめ決めた所定時間に渡ってグラフ関数によるオー
プンループ制御を行う。しかし、目標値が変更されてい
なければ、通常のフィードバック制御を行う手順であ
る。

【００４７】なお、ステップ（７）で参照する所定時間
とは、空気供給流量を変更した場合にチャンバ３内の酸
素濃度が変化を開始し概ね目標値（例えば目標値の９０
％）に達する迄の時間で、はんだ付け装置２の構造や容
積，温度、等々によって決まる固有の値である。

【００４８】また、念のために付言すると、空気流量調
節弁３４に電磁弁を使用し、その開閉デューティ比を可
変することで実質的に弁開度を調整する方法を用いた構
成としても良い。ちなみに、このような方法は従来から
用いられている公知の技術である。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、空気の供
給量を調節する空気流量調節手段と、不活性ガスと空気
とを混合して混合ガスをチャンバに供給するガス混合手
段と、チャンバ内の混合ガス中の酸素濃度を測定する酸
素濃度測定手段と、チャンバ内の酸素濃度の目標値を入
力する目標値入力手段と、空気流量調節手段の弁開度に
対するチャンバ内の酸素濃度の関係をグラフ関数として
あらかじめ記憶し、目標値が変更されたときグラフ関数
を参照して変更された目標値に応じて空気流量調節手段
の弁開度を調節し、一定時間経過後、酸素濃度測定手段
の測定結果と目標値との差の時間的積分値に基づいてチ
ャンバ内の酸素濃度が目標値に一致するよう空気量調節
手段の弁閉度を調節する制御装置と、を備えたので、目
標値が変化されたときはオープンループとし、制御装置
にグラフ関数として記憶してある酸素濃度対空気流量の
グラフ関数に基づいて空気供給量を制御し、その後はフ
ィードバック制御として精密な制御を行うので、ハンチ
ングのない制御性に優れた不活性ガスの雰囲気を得るこ
とができる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理を示すブロック図である。

【図２】本発明の一実施例を示すブロック図である。

【図３】空気流量に対する酸素濃度と弁開度との関係を
示すグラフである。

【図４】制御装置の制御手順を示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

２はんだ付け装置３チャンバ５不活性ガス雰囲気制御装置１４酸素濃度センサ２１液体窒素タンク２２気化器２３レギュレータ２４ガス流量調節弁２５流量計２７ガス混合タンク３１エアコンプレッサ３２水分除去装置３３レギュレータ３４空気流量調節弁４１制御装置４２酸素濃度測定装置４３目標値設定装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】チャンバ内に不活性ガスと空気との混合
ガスを供給し、前記空気の量を制御して前記チャンバ内
の酸素濃度を制御するはんだ付け装置の不活性ガス雰囲
気制御装置であって、前記空気の供給量を調節する空気流量調節手段と、前記不活性ガスと前記空気とを混合して混合ガスを前記
チャンバに供給するガス混合手段と、前記チャンバ内の混合ガス中の酸素濃度を測定する酸素
濃度測定手段と、前記チャンバ内の酸素濃度の目標値を入力する目標値入
力手段と、前記空気流量調節手段の弁開度に対する前記チャンバ内
の酸素濃度の関係をグラフ関数としてあらかじめ記憶
し、前記目標値が変更されたとき前記グラフ関数を参照
して前記変更された目標値に応じて前記空気流量調節手
段の弁開度を調節し、一定時間経過後、前記酸素濃度測
定手段の測定結果と前記目標値との差の時間的積分値に
基づいて前記チャンバ内の酸素濃度が目標値に一致する
よう前記空気流量調節手段の弁開度を調節する制御装置
と、を備えたことを特徴とするはんだ付け装置の不活性ガス
雰囲気制御装置。