JPH0774816B2 - 信号発生装置 - Google Patents

信号発生装置

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JPH0774816B2
JPH0774816B2 JP63047152A JP4715288A JPH0774816B2 JP H0774816 B2 JPH0774816 B2 JP H0774816B2 JP 63047152 A JP63047152 A JP 63047152A JP 4715288 A JP4715288 A JP 4715288A JP H0774816 B2 JPH0774816 B2 JP H0774816B2
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永樹 荒沢
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は2つの目的の異なるドライバからDUT(Device
Under Test)の同一端子ピンへ信号を加える装置に関す
る。詳述すると、2つのドライバからDUTの端子ピンへ
加える電圧(端子ピンでの電圧)が異なることに起因し
て、電圧差による電圧ショックがDUTへ加えられる。本
願はこの電圧ショックを低減する手段に関する。
〔従来の技術〕
本発明に係る装置は、主にLSIテスタ等に用いられるも
のであり、DUTとは各種LSIであると仮定して以下の説明
を行う。
第2図に従来の信号発生装置を示す。LSIを検査する場
合、このLSIの同一端子ピンへ、デジタル・ドライバに
代表される高周波パルス信号と、直流信号を加えるDCド
ライバからの信号を切替えて印加する場合が多々ある。
第2図において、高周波パルスを出力できる高速ドライ
バ1からスイッチSW1を介して、パルス信号がDUT4の端
子ピンA点に加えられる。この高速パルスが印加された
ことに基づいて、LSIテスタは各種の試験データを採集
する。
高速ドライバ1は、高周波パルス特性を保証するために
出力抵抗RSを持っている。即ち、高速ドライバ1とDUT4
とを接続する線路インピーダンスとほぼ等価な出力抵抗
RSを備え、いわゆるバックマッチターミネーションを構
成し、信号の繰返し反射を防いでいる。抵抗RSは線路イ
ンピーダンスにもよるが50〜100Ω程度である。
高周波パルスを印加して各種の特性を測定した後、スイ
ッチを切替えて、DCドライバ5から直流電圧VSを同じ端
子ピンA点に加え、直流信号による各種特性を測定す
る。通常、DCドライバ5の出力抵抗は、非常に低い(例
えば1Ω以下)ものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
以上のような第2図の信号発生装置は、高速ドライバ1
とDCドライバ5からDUT4の端子ピンへ加える信号の電圧
レベルを一致させることが困難(この理由は高速ドライ
バ1は出力抵抗RSを持っており、一方DUT4の入力抵抗RL
にはバラツキがあるためその分圧比の値を特定できない
ためである)なため、高速ドライバ1からDCドライバ5
へ切替えたとき(即ちスイッチSW1→SW2の時)DUT4の端
子ピンAへ電圧ショックを与え、等価的に不要な電圧パ
ルスを加えることになる課題がある。
なお、DCドライバ5から高速ドライバ1へ切替える時
(スイッチSW2→SW1の時)は、問題がない。その理由は
一般に高速テスト時には、DUT4を短時間で初期化できる
からである。
上述した課題を第3図を用いて説明する。第3図(1)の
ようにスイッチSW1をオンとしてDUT4へ電圧VDを加える
(第3図(3)参照)。そしてスイッチSW1をオフにしてか
らスイッチSW2をオンにすると(第3図(2)参照)、DUT4
の端子ピンAには、0vから電圧VSへ変化するパルスが加
えられる。この電圧VSが電圧ショックである。
そこで以上の電圧ショックを低減するため信号切替え時
において、高速ドライバ1とDCドライバ5を同時に端子
ピンAへ加える期間を設けるように制御することが行わ
れる。これを第3図の(4)〜(6)に示す。このようにする
と、電圧ショックは|VS−VD|となり(第3図(6)参
照)、第3図(3)の場合より低減できる。しかし、基本
的にはVSとVDの差電圧が端子ピンAに加えられる課題が
残っている。
しかも、|VS−VD|の値が個々のDUTにより変化し、その
値を予測できない面を持つ課題もかかえている。これを
説明する。第2図の高速ドライバ1とDCドライバ5の出
力電圧は、図示しない制御装置から加えられる入力信号
V1,V2で制御される。この制御装置は、高速ドライバ1
とDCドライバ4の第2図に示す電圧E1,E2の値を制御す
るものであり、DUT4の端子ピンAでの電圧を制御するも
のではない。
DUT4の端子ピンの入力抵抗RLは、個々のDUTの種類によ
り50Ω〜数MΩまでの幅がある。スイッチSW1を介して
高速ドライバ1からDUT4の端子ピンAへ電圧VDを加えた
場合、この電圧VDは次式で表わされる。
VD=E1・{RL/(RL+RS)} (1) 一方、DCドライバ5の出力抵抗はほぼ0Ωと見なすこと
ができるので、E2=VSの電圧が端子ピンAに加えられ
る。
従って、RLが50Ω〜数MΩまで変化すると(なお、RS
50Ω一定)、仮に高速ドライバ1の電圧E1とDCドライバ
5の電圧E2をE1=E2となるように制御しても、DUTの端
子ピンでの印加電圧VDとVSは全く異なった値となる。
要するに従来の手段では、DUTの端子ピンにおける印加
電圧VDとVSを等しくすることができないため、ドライバ
を切替えた時、DUT4には電圧ショックが加えられてい
た。
本発明の目的は、複数のドライバを持ちDUTの端子ピン
での印加電圧を等しくすることができる信号発生装置を
提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、上記課題を解決するために 第1ドライバ(1)の出力と、前記第1ドライバと出力
抵抗が異なる第2ドライバ(15)の出力を検査対象のデ
バイス(以下、単にDUTと言う)の同一端子ピンへ切替
えて加える装置において、 前記第1ドライバの出力が加えられた前記端子ピンの電
圧と、第2ドライバの出力電圧とを比較するコンパレー
タ(13)と、 このコンパレータの出力信号を導入し、第2ドライバの
出力電圧(E2)と、第1ドライバの出力が加えられた前
記端子ピンの電圧(VD)とが等しくなるように第2ドラ
イバを制御する手段(20)と、 前記等しくなった時点において第2ドライバの出力をDU
Tの前記端子ピンへ加えるスイッチ(SW3)と、 を備えるようにしたものである。
〔作用〕
本発明では高速ドライバ(第1ドライバ)の出力が加え
られたDUTの端子ピンでの電圧をコンパレータで監視しA
D変換器データで補正し、この電圧と等しくなるようにD
Cドライバ(第2ドライバ)の出力を制御し、等しくな
った時点で2つのドライバを切替えるようにしているの
で電圧ショックは発生しない。
〔実施例〕
以下、図面を用いて本発明を詳しく説明する。
第1図は本発明に係る信号発生装置の一実施例を示す図
である。
第1図において、1は第1ドライバであり、第2図の高
速ドライバと等しいものである。この第1ドライバには
例えばDA変換器2,3からロジック信号が加えられる。DA
変換器2からは、例えば“HIGH"レベルを示す信号SHが
加えられ、DA変換器3からは“LOW"レベルを示す信号SL
が加えられる。一般にDUT4は、品種毎に仕様としての
“HIGH",“LOW"のレベルが異なるので、異なる品種のDU
Tの検査に応じることができるようにしたものである。
そして、この信号SHとSLに応じて第1ドライバは電源E1
の値を制御し、“HIGH"と“LOW"2値のパルス信号を出力
する。この電源E1(|E1|=|SH−SL|である)からの信
号は出力抵抗RSを通り、スイッチSW1を介してDUT4の端
子ピンAに加えられる。なお、DUT4の入力抵抗RLとす
る。ここまでは、従来の装置(第2図)と同様である。
スイッチSW2は、本発明の要部である以下に説明する回
路部分と端子ピンAとを接続するものである。
11はバッファであり、高い入力インピーダンスを有する
ものである。このバッファ11はスイッチSW2から端子ピ
ンAの電圧を導入する。
バッファ11の出力は、コンパレータ13の一方の端子と制
御手段20へ加えられる。
15は第2ドライバであり、第2図で説明したDCドライバ
と同じものである。即ち、直流信号を出力し、その出力
抵抗は0Ωと見なすことができるものである。この第1
ドライバの出力は、スイッチSW3とスイッチSW2を介して
DUT4の端子ピンAへ加えられると同時に、コンパレータ
13の他方の端子にも加えられる。即ちコンパレータ13
は、第2ドライバの出力と、バッファ11を介して導入し
た端子ピンAからの電圧とを比較している。
制御手段20(第1図の点線で囲った部分)は、バッファ
11の出力(端子ピンAの電圧)とコンパレータ13の出力
を導入し、第2ドライバ15の出力電圧と、第1ドライバ
1の出力が加えられた端子ピンの電圧(即ち端子電圧V
D)とが等しくなるように第2ドライバを制御するもの
である。このような制御を行う構成は多々あるが、第1
図にはその一構成例を示した。しかしこの記載により本
願の制御手段20の構成を第1図に限定するものではな
い。なお、制御手段20はスイッチSW1〜SW3の開閉も制御
することができるように構成しても良い。
第1図の制御手段20は、バッファ11の出力を導入しこれ
をデジタル信号へ変換するAD変換器12と、コンパレータ
13の出力(フラグ信号)と、AD変換器12の出力とを導入
し、後述するDA変換器14へ信号を出力する制御回路16
と、この制御回路16からの信号をアナログ信号へ変換し
て第2ドライバ15へ加えるDA変換器14とから構成してい
る。
以上のように構成された第1図装置は次のように動作す
る。
スイッチSW1をオンとし第1ドライバ1から高速信号をD
UT4端子ピンAへ加え、高速信号による検査が終了した
とする。次に第2ドライバ15からの信号を切替えてDUT4
の端子Aへ加えることになるが、この際次のように動作
する。
スイッチSW1をオンの状態とし、第1ドライバ1の出力E
1を一定レベルの電圧に維持する(第1ドライバ1は、
最終出力電圧レベルを維持すれば良い)。この時の端子
ピンAの電圧をVDとする。
ここでスイッチSW2をオン(スイッチSW3はオフ)としバ
ッファ11に端子ピンAの電圧VDを取込む。この際バッフ
ァ11の入力インピーダンスは非常に高いのでバッファ11
が接続されたことにより、電圧VDが変動する恐れはない
(スイッチSW3はオフである)。
バッファ11の出力(端子ピンAの電圧)は、コンパレー
タ13にて第2ドライバ15の出力電圧E2と比較される。例
えば当初、第2ドライバ15には、制御手段20から(DA変
換器14から)小さな値が加えられていて、出力電圧E
2は、E2<VDであると仮定する。コンパレータ13は、E2
<VDである旨の信号SCを制御回路16へ加える。
制御回路16は、AD変換器12から端子ピンAの電圧に応じ
たデジタル値を導入し、コンパレータ13からの信号SCが
E2<VDである旨を示す間は、第2ドライバ15の出力E2
増加させる方向の信号をDA変換器14へ加える。この制御
回路16としては、コンパレータ13の出力SCによりUP/DOW
Nが切替えられるカウンタのようなもので構成すること
ができる。またはカウンタの代りにマイクロコンピュー
タを用いることもできる。
そしてついにはE2=VDとなると制御回路16はスイッチSW
3をオンとする。このようにE2=VD となる制御は自動的に行われるので、E2=VDとなるまで
の動作を短時間の内に行うことができる。
このように、第1ドライバ1から端子ピンAに加えられ
ている電圧VDと、第2ドライバ15の出力電圧E2が等しく
なった時点でスイッチSW3をオンとし、端子ピンAへ第
2ドライバからの信号を加えているので電圧ショックは
生じない。なお、第2ドライバ出力抵抗は0Ωと見なす
ことができるので、端子ピンAには、第2ドライバ15の
出力電圧E2=VDがそのまま加えられることになる。
その後、スイッチSW1をオフにし(スイッチSW2とSW3は
オン)、DUT4の直流テストへ移行する。
もちろん、直流テストに移行した後は、コンパレータ13
の出力信号SCは無視され、制御回路16からの信号に応じ
たアナログ信号がDA変換器14から第2ドライバ15へ加え
られ、直流テストを行うための電圧・電流信号が出力さ
れる。
なお、当初E2<VDとして説明したがE2>VDである場合
は、第2ドライバ15の出力電圧E2を減少させるように制
御することは当然である。
〔本発明の効果〕
以上述べたように本発明によればドライバの切替え時に
生ずる電圧ショックを自動的に解消することができ、DU
Tの適切な検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る信号発生装置の構成例を示す図、
第2図は従来例を示す図、第3図は電圧ショックを説明
する図である。 1……第1ドライバ、SW1〜SW3……スイッチ、4……DU
T、11……バッファ、13……コンパレータ、15……第2
ドライバ、20……制御手段。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1ドライバ(1)の出力と、前記第1ド
    ライバと出力抵抗が異なる第2ドライバ(15)の出力を
    検査対象のデバイス(以下、単にDUTと言う)の同一端
    子ピンへ切替えて加える装置において、 前記第1ドライバの出力が加えられた前記端子ピンの電
    圧と、第2ドライバの出力電圧とを比較するコンパレー
    タ(13)と、 このコンパレータの出力信号を導入し、第2ドライバの
    出力電圧(E2)と、第1ドライバの出力が加えられた前
    記端子ピンの電圧(VD)とが等しくなるように第2ドラ
    イバを制御する手段(20)と、 前記等しくなった時点において第2ドライバの出力をDU
    Tの前記端子ピンへ加えるスイッチ(SW3)と、 を備えたことを特徴とする信号発生装置。
JP63047152A 1988-02-29 1988-02-29 信号発生装置 Expired - Lifetime JPH0774816B2 (ja)

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