JPH0777466A - 圧電的な力センサ - Google Patents

圧電的な力センサ

Info

Publication number
JPH0777466A
JPH0777466A JP6169672A JP16967294A JPH0777466A JP H0777466 A JPH0777466 A JP H0777466A JP 6169672 A JP6169672 A JP 6169672A JP 16967294 A JP16967294 A JP 16967294A JP H0777466 A JPH0777466 A JP H0777466A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
plate
piezoelectric plate
conductor track
force sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6169672A
Other languages
English (en)
Inventor
Gerald Hopf
ホプフ ゲラルト
Botho Ziegenbein
ツィーゲンバイン ボート
Bernd Maihoefer
マイヘーファー ベルント
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JPH0777466A publication Critical patent/JPH0777466A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S84/00—Music
    • Y10S84/24—Piezoelectrical transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 圧電的なプレート１の上面及び下面にそれぞ
れ電極が設けられており、少なくとも一方の電極４が少
なくとも１つの導体路２０を介して電気的にコンタクト
されており、導体路が圧電的なプレート１の破断時に遮
断されるように配置されている。 【効果】 圧電的なプレート１の破断時に導体路が遮断
されて導体路の残留容量が著しく減少し、これにより破
断の検出が信頼性良く達成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、曲げ負荷される少なく
とも１つの圧電的なプレートが設けられ、その上面及び
下面に電極が配置されている圧電的な力センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ＷＯ８８／１０４３１によれば、加速度
センサとして形成された圧電的な力センサが既に公知で
ある。この加速度センサは円形の圧電的なプレートから
成り、このプレートはそれぞれ２つの圧電的なプレート
半部から構成されている。圧電的なプレートはソケット
の中央に支持されており、加速により曲げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、例え
ば力の過負荷により生じる圧電的なプレートの破断を信
頼性良く検出できるようにすることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の構成は、圧電的なプレート上に少なくとも１つの導
体路が配置されており、この導体路を介して少なくとも
一方の電極が電子的にコンタクトされており、かつ、圧
電的なプレートの破断時に導体路が遮断されるように導
体路が配置されていることにある。
【０００５】請求項２以下に記載の手段によれば、請求
項１に記載の圧電的なプレートの有利な実施態様が得ら
れる。
【０００６】多くの場合、破断は曲げ線に沿って生じる
ため、導体路が曲げ線を少なくとも一度は横切るのが有
利である。さらに、スタート領域は有利には支持領域に
配置される。それというのは、この支持領域における良
好な支持により、外部の結合線との接続が特に良好にお
こなわれるからである。
【０００７】特に簡単には、導体路及びスタート領域が
充分小さい限りにおいて、導体路は直接的に圧電的なプ
レートの表面に配置される。誘電率の小さなセラミック
プレートにより、破断の検出が改善される。それという
のは、残留容量が特に小さくなるからである。このこと
によりさらに、圧電的なプレートとセラミックプレート
とが別々に製作でき、従ってそれぞれの部分の製作が特
に簡単となる。圧電的なプレートが方形に形成された場
合、導体路は曲げ線をほぼ９０度の角度で横切るのが効
果的である。圧電的なプレートが円形である場合には、
破断の確実な検出を保証するために、円形の曲げ線に接
するそれぞれの接線が導体路と少なくとも１個所で交じ
わっているのが有利である。
【０００８】
【実施例】図１及び図２には、本発明の第１実施例に基
づく力センサが示されている。図１は図２の − 線に
沿って力センサを断面した図である。２つのプレート半
部２，３から成る圧電的なプレート１はその下面で支持
体７により担体８に固定されている。圧電的なプレート
１の下面には全面的な電極５が取り付けられており、圧
電的なプレート１の上面にはパターン化された電極４が
取り付けられている。電極４の電気的なコンタクトは、
スタート点要するにスタート領域１２に固定された結合
線６を介しておこなわれる。結合線６の固定時に支え個
所に力が作用するので、スタート領域１２は有利には支
持体７上に配置される。それというのは、この領域が機
械的に特に安定しているからである。スタート領域１２
と電極４との電気的な結合は導体路２０によりおこなわ
れる。図面簡単のため図２には結合線は図示されていな
い。電極５の電気的な結合は例えば導電的な支持体７
と、担体８に取り付けられた他の導体路によりおこなわ
れる。支持体７の上方に位置する、圧電的なプレート１
の領域をここでは支持領域７という。図示の力センサは
加速度センサとして使用される。担体８の表面に対して
垂直な加速度の発生時に、支持体７により支えられてい
ない運動領域１１が支持体８に対して相対的に運動す
る。特に、支持領域９と運動領域１１との間に位置する
曲げ線１０のところには、著しい機械的な負荷が圧電的
なプレート１に加わる。それゆえ、過剰に大きな機械的
な負荷、例えば著しく大きな加速度が生じると、曲げ線
１０に沿って有利に破断が生じる。このような破断によ
り曲げ線１０を横切っている導体路２０が遮断される。
圧電的なプレート１の容量が導体路２０を介して測定さ
れていると、圧電的なプレート１の破断の前と後では値
が著しく異なる。従って、圧電的なプレート１の容量の
測定により、圧電的なプレート１が損傷されているか否
かが決定される。
【０００９】圧電的なプレートの両方のプレート半部
２，３は圧電的なポラリゼーションを有しており、その
方向は互いに逆である。両方の圧電的なプレート半部
２，３のこの配置により、圧電的なプレート１のたわみ
が電極４，５における電荷に変換される。このたわみは
加速によって生じるのみならず、圧電的なプレート１へ
の機械的な力の導入のいかなる形態によっても生じる。
これから判るように、圧電的なプレート１の支持及びた
わみの他の多くの形態が可能である。
【００１０】支持体７及び圧電的なプレート１の他の構
成が図３には横断面図で、図４には平面図で示されてい
る。圧電的なプレート１はこの場合も２つのプレート半
部２，３から構成されており、支持領域９の両側に２つ
の同じ大きさの運動領域１１が存在するように、支持体
７上に配置されている。従って、この圧電的な力センサ
は２つの曲げ線１０を有している。両方の圧電的なプレ
ート半部２，３の圧電的なポラリゼーションはこの場合
でも互いに逆向きである。圧電的なプレート１の上面及
び下面にはそれぞれ１つの電極４，５が取り付けられて
おり、この両方の電極はこの場合それぞれ圧電的なプレ
ート１の上面及び下面の全面を覆っている。この圧電的
な力センサの機能は、図１及び図２に示した圧電的な力
センサの機能に相応している。担体８の表面に対して垂
直な加速により、両方の運動領域１１が担体８に対して
相対的に運動する。圧電的なプレート１のこのたわみに
より電極４，５に電荷が生じ、この電荷の検出が加速度
を表すことになる。それゆえ、加速度の検出のために電
極４，５は電荷の評価のために外部の制御回路に接続さ
れる。下方の電極５のコンタクトはこの場合も例えば導
電的な支持体７によっておこなわれる。下方の電極の電
気的なコンタクトのその他の方式も可能である。上方の
電極４はこの場合も同様に導体路要するに圧電的なプレ
ート１の破断時に曲げ線１０に沿って遮断される導体路
２０によつてコンタクトされる。導体路２０はセラミッ
クプレート１３上に取り付けられており、このセラミッ
クプレート１３はこの場合も圧電的なプレート１の上面
に取り付けられている。図３の縦断面図から判るよう
に、導体路２０はセラミックプレート１３の上面からセ
ラミックプレート１３の下面への電気的な結合を生じる
ように形成されている。導体路２０がセラミックプレー
ト１３の下面を完全に覆うと、電極４への特に大面積の
コンタクトが生じるので有利である。セラミックプレー
ト１３上へ導体路２０を形成させるために、例えば、セ
ラミックプレート１３上への厚膜ペーストのスクリーン
印刷が採用される。セラミックプレート１３の上面での
導体路２０の構成が図４の平面図で示されている。例え
ばこの場合も結合線を固定するスタート領域１２を起点
として、両方の曲げ線１０を横切るようにセラミックプ
レート１３の上面に導体路２０が案内されている。この
手段によれば、セラミックプレート１３の破断時に圧電
的なプレート１の曲げ線１０に沿って、スタート領域１
２から電極４までの電気的な結合が遮断される。
【００１１】セラミックプレートの使用により、複数の
利点が得られる。第１に、導体路２０と圧電的なプレー
ト１とが別々に製作できる。この場合、極めて大きな面
積の電極４を圧電的なプレート１の上面に使用すること
ができるので特に有利である。その場合、圧電的なプレ
ート１の上面に金属層の構造化をおこなわなければなら
ない。さらに、セラミックプレート１３のための材料を
適当に選択することにより、圧電的なプレート１の破断
後の導体路２０の残留容量を減少させることができる。
そのことのために、セラミックプレート１３の材料とし
て誘電率の小さな材料を使用することができる。圧電的
な材料は一般的には２０００程度の極めて大きな誘電率
を有している。さらに、圧電的な材料は誘電率の極めて
大きな温度リスポンス、例えばケルビン当たり１％程度
の温度リスポンスを有している。例えばこの場合に示す
圧電的なプレートが片側でのみ破断した際に、導体路２
０を設けない場合には容量の著しい温度リスポンスに基
づき、圧電的なプレート１が破断されたか否かを決定す
ることができない。しかし、導体路２０を設けこの導体
路が遮断されると、導体路２０の面が小さいことと、セ
ラミックプレート１３の誘電率が小さいこととにより残
留容量が小さくなり、容量の測定により圧電的なプレー
ト１の破断を決定することができる。それゆえ、図１及
び図２に示したように、圧電的なプレート１上に直接的
に導体路２０を設けた場合には、圧電的なプレート１の
破断後の残留容量を充分に小さくするために、スタート
領域１２及び導体路２０の面を可能な限り小さくするこ
とが考慮されなければならない。
【００１２】圧電的なプレート１の上面に導体路２０を
配置するだけでなく、下方の電極５の構造化により、又
は圧電的なプレート１の下面に適当なセラミックプレー
ト１３を設けることにより導体路２０を形成することも
可能である。この場合、コンタクトは導電的な支持体７
によりおこなわれず、むしろ支持体７は絶縁性である。
この場合には、支持体７に設けられた別の導体路により
導体路２０のコンタクトがおこなわれる。
【００１３】セラミックプレート１３に設けた導体路２
０が圧電的なプレート１の破断時に信頼性良く破断され
るように、セラミックプレート１３は圧電的なプレート
１に固定的に結合される。このような結合は例えば、セ
ラミックプレート１３と、圧電的なプレート１の上面の
電極４との間に金属充填された接着剤を使用することに
より達成される。このような接着剤によれば、同時にセ
ラミックプレート１３の下面の導体路２０と電極４との
間の電気的なコンタクトも良好となる。さらに、セラミ
ックプレート１３を充分にぜい性な材料から製作すれ
ば、圧電的なプレート１の破断時にセラミックプレート
１３も同様に破断される。
【００１４】図５には、円形の圧電的なプレート１を備
えた本発明に基づく圧電的な力センサの別の実施例が示
されている。この円形の圧電的なプレート１はその横断
面形状においては図１又は図３に示す圧電的なプレート
と同様に形成されている。円形の圧電的なプレート１の
中心点は、円形の曲げ線１０が形成されるように円形の
支持体によって支持されている。この中心点にはスター
ト領域１２が位置しており、これを起点として導体路２
０が延びている。この導体路２０は曲げ線１０を数回横
切っており、最終的には電極４で終わっている。この場
合、導体路２０は星形に形成されていて、曲げ線１０を
都合９個所で横切っている。導体路２０は曲げ線１０に
接するあらゆる接線が導体路２０と少なくとも１度は交
わるように形成されている。導体路２０をこのように形
成した理由は、圧電的なプレート１の破断が大体におい
て、曲げ線１０と１点で交わる直線に沿って生じるから
である。それゆえ、このような導体路２０の構成によれ
ば、圧電的なプレート１の破断時に導体路２０の遮断が
信頼性良く生じる。
【００１５】図６には、圧電的なプレート１の破断を、
これに伴う導体路２０の遮断により確認することができ
る手段が略示されている。このことのために、容量計１
４が導体路２０を介して圧電的なプレート１の電極４に
結合されている。さらにこの容量計１４は圧電的なプレ
ート１の電極５にも結合されている。導体路２０により
圧電的なプレート１が直接的に容量計１４に結合されて
いる限りでは、この容量計１４は圧電的なプレート１の
極めて大きな容量を測定している。導体路２０の遮断時
に容量計１４は比較的に極めて小さい容量を測定する。
このようにして圧電的なプレート１の正常時と破断時と
を明瞭に差別することができる。
【００１６】図７には本発明のさらに別の実施例の力セ
ンサが示されている。圧電的なプレート１の上面にセラ
ミックプレート１３が設けられている。このセラミック
プレート１３上には２つのスタート領域と２つの導体路
２１が設けられている。両方のスタート領域１２は１つ
の支持領域９に位置しており、両方の導体路２１は曲げ
線１０を横切っている。両方のスタート領域１２を介し
て、圧電的なプレート１の上面に配置された電極４がコ
ンタクトされている。導体路２１はこの場合も、ピエゾ
プレート要するに圧電的なプレート１の破断時に導体路
２１が遮断されるように配置されている。
【００１７】図８は、圧電的なプレート１の電極４の両
方の接続部要するにスタート領域１２が圧電的な力セン
サの機能テストのために利用されることを略示してい
る。一方のスタート領域１２から、一方の導体路２１を
介して電気的なテスト信号Ｕ１が圧電的なプレート１の
電極４に印加される。その際、圧電的なプレート１の他
方の電極５はアースされる。他方のスタート領域１２で
は、テスト信号Ｕ１に対する圧電的なプレート１のリア
クションが出力信号Ｕ２の形で取り出される。破断によ
りテスト信号の結合分枝が分離されると、センサはもは
やテスト信号に反応せず、圧電的なプレート１の破断が
信頼性良く決定される。
【００１８】
【発明の効果】本発明の構成によれば、圧電的なプレー
トの破断が信頼性良く検出される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に基づく片側で支持された
圧電的な力センサの縦断面図である。
【図２】図１に示す圧電的な力センサの平面図である。
【図３】本発明の第２実施例に基づき中央で支持された
圧電的な力センサの縦断面図である。
【図４】図３に示す圧電的な力センサの平面図である。
【図５】本発明の第３実施例に基づく円形の圧電的なプ
レートを備えた圧電的な力センサの平面図である。
【図６】円形の圧電的なプレート及び導体路の回路図で
ある。
【図７】本発明の第４実施例に基づく圧電的な力センサ
の平面図である。
【図８】図７に示す圧電的な力センサの回路図である。
【符号の説明】
１ 圧電的なプレート、 ２，３ プレート半部、 ４
電極、 ５ 全面的な電極、 ６ 結合線、 ７ 支
持体、 ８ 担体、９ 支持領域、 １０曲げ線、 １
１ 運動領域、 １２ スタート領域、 １３ セラミ
ックプレート、 １４ 容量計、 ２０，２１ 導体路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ボート ツィーゲンバイン ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン リヒ ャルト−シュトラウス−ヴェーク 21 (72)発明者 ベルント マイヘーファー ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン エル ムスタールシュトラーセ 24

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 曲げ負荷される少なくとも１つの圧電的
    なプレート（１）が設けられ、その上面及び下面に電極
    （４，５）が配置されている圧電的な力センサにおい
    て、圧電的なプレート（１）上に少なくとも１つの導体
    路（２０，２１）が配置されており、導体路を介して少
    なくとも一方の電極（４，５）が電子的にコンタクトさ
    れており、かつ、圧電的なプレート（１）の破断時に導
    体路（２０，２１）が遮断されるように導体路（２０，
    ２１）が配置されていることを特徴とする圧電的な力セ
    ンサ。
  2. 【請求項２】 圧電的なプレート（１）がそれぞれ少な
    くとも１の支持領域（９）と曲げ線（１０）と運動領域
    （１１）とを備えており、支持領域（９）が支持体
    （７）により担体（８）に固定されており、運動領域
    （１１）が力により担体（８）に対して相対的に運動可
    能であり、曲げ線（１０）が支持領域（９）と運動領域
    （１１）との間で圧電的なプレート（１）上に位置して
    おり、かつ、導体路（２０，２１）がスタート領域（１
    ２）から一方の電極（４，５）へ通じており、その際少
    なくとも一度は曲げ線（１１）を横切っている請求項１
    記載の圧電的な力センサ。
  3. 【請求項３】 導体路（２０，２１）が直接的に圧電的
    なプレート（１）上に取り付けられており、導体路（２
    ０，２１）及びスタート領域（１２）の面の合計が、コ
    ンタクトされた電極（４，５）の面の少なくとも４分の
    １より小さい請求項１又は２項記載の圧電的な力セン
    サ。
  4. 【請求項４】 圧電的なプレート（１）上に、誘電率の
    小さなセラミックプレート（１３）が取り付けられてお
    り、かつ、導体路（２０，２１）がこのセラミックプレ
    ート（１３）上に取り付けられている請求項１又は２記
    載の圧電的な力センサ。
  5. 【請求項５】 電極（４，５）が、圧電的なプレート
    （１）の上面及び下面の全面を覆っており、かつ、導体
    路（２０，２１）がセラミックプレート（１３）の一方
    の側からセラミックプレート（１３）の他方の側へ通じ
    ている請求項４記載の圧電的な力センサ。
  6. 【請求項６】 圧電的なプレート（１）が方形に形成さ
    れており、かつ、導体路（２０，２１）が、少なくとも
    １つの曲げ線（１０）をほぼ９０度の角度で横切ってい
    る請求項１から５までのいずれか１項記載の圧電的な力
    センサ。
  7. 【請求項７】 圧電的なプレート（１）が円形のプレー
    トとして形成されており、支持領域（９）がこの円形の
    プレートの中心点を中心とする円により形成されてお
    り、導体路（２０）が、円形の曲げ線（１０）を少なく
    とも３回横切っており、曲げ線（１０）に接するそれぞ
    れの接線が導体路（２０）と少なくとも１個所で交わっ
    ている請求項１から５までのいずれか１項記載の圧電的
    な力センサ。
  8. 【請求項８】 圧電的なプレート(１)が導体路（２０）
    を介して容量計（１４）に結合されており、この容量計
    により、導体路（２０）の破断時に容量の変化が測定さ
    れる請求項１から７までのいずれか１項記載の圧電的な
    力センサ。
  9. 【請求項９】 圧電的なプレート（１）に一方の導体路
    （２０）を介してテスト信号を印加可能であり、かつ、
    他方の導体路（２１）を介して、テスト信号に対する圧
    電的なプレート（１）のリアクションを検出可能である
    請求項１から７までのいずれか１項記載の圧電的な力セ
    ンサ。
JP6169672A 1993-07-23 1994-07-21 圧電的な力センサ Pending JPH0777466A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4324692A DE4324692A1 (de) 1993-07-23 1993-07-23 Piezoelektrischer Kraftsensor
DE4324692.3 1993-07-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0777466A true JPH0777466A (ja) 1995-03-20

Family

ID=6493493

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6169672A Pending JPH0777466A (ja) 1993-07-23 1994-07-21 圧電的な力センサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5499541A (ja)
JP (1) JPH0777466A (ja)
DE (1) DE4324692A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6334219B1 (en) 1994-09-26 2001-12-25 Adc Telecommunications Inc. Channel selection for a hybrid fiber coax network
WO1997030356A1 (en) * 1996-02-15 1997-08-21 Honeywell Inc. Apparatus for detection of proof mass rupture in an accelerometer
US6075198A (en) * 1997-08-19 2000-06-13 Grant; W. Gerry Solid body instrument transducer
DE19804196A1 (de) * 1998-02-03 1999-08-12 Siemens Ag Verfahren zur Auswertung von Kennwerten piezo-mechanischer Systeme
KR100638939B1 (ko) * 1998-06-25 2006-10-25 지멘스 악티엔게젤샤프트 용량성 액추에이터를 제어하기 위한 방법 및 상기 제어 방법 실행 장치
US6229683B1 (en) 1999-06-30 2001-05-08 Mcnc High voltage micromachined electrostatic switch
US6057520A (en) * 1999-06-30 2000-05-02 Mcnc Arc resistant high voltage micromachined electrostatic switch
US6359374B1 (en) 1999-11-23 2002-03-19 Mcnc Miniature electrical relays using a piezoelectric thin film as an actuating element
US7021154B2 (en) * 2002-09-24 2006-04-04 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Force sensing element
US6912914B2 (en) * 2003-07-01 2005-07-05 The Goodyear Tire & Rubber Company Three dimensional stress vector sensor array and method therefor
US7728492B2 (en) 2005-12-19 2010-06-01 Physical Logic Ag Piezoelectric composite material
EP1993856B1 (en) * 2006-03-14 2011-06-01 Michelin Recherche et Technique S.A. Piezoelectric triggering mechanism
JP4677493B2 (ja) * 2008-01-22 2011-04-27 キヤノン株式会社 圧電振動型力センサ
US9121785B2 (en) * 2012-04-24 2015-09-01 Sarcos Lc Non-powered impact recorder
US9761212B2 (en) 2015-01-05 2017-09-12 Rare Earth Dynamics, Inc. Magnetically secured instrument trigger
US9875732B2 (en) 2015-01-05 2018-01-23 Stephen Suitor Handheld electronic musical percussion instrument
US10096309B2 (en) 2015-01-05 2018-10-09 Rare Earth Dynamics, Inc. Magnetically secured instrument trigger
US11335310B2 (en) 2018-06-18 2022-05-17 Rare Earth Dynamics, Inc. Instrument trigger and instrument trigger mounting systems and methods

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2933665A (en) * 1956-04-05 1960-04-19 Dimeff John Directly strained, capacitance strain gage
US3126509A (en) * 1956-07-27 1964-03-24 Electrical condenser having two electrically
US3202891A (en) * 1960-11-30 1965-08-24 Gen Telephone & Elect Voltage variable capacitor with strontium titanate dielectric
US3426209A (en) * 1967-09-11 1969-02-04 Texas Instruments Inc Light responsive variable capacitor
US3515987A (en) * 1967-10-20 1970-06-02 Avco Corp Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources
JPS5975114A (ja) * 1982-10-22 1984-04-27 Shimadzu Corp 応力センサ
USRE33691E (en) * 1984-12-21 1991-09-17 General Electric Company Piezoelectric ceramic switching devices and systems and method of making the same
US4675960A (en) * 1985-12-30 1987-06-30 Motorola, Inc. Method of manufacturing an electrically variable piezoelectric hybrid capacitor
SU1663410A1 (ru) * 1986-03-03 1991-07-15 Новосибирский электротехнический институт Способ измерени деформаций и устройство дл его осуществлени
US4766368A (en) * 1986-09-30 1988-08-23 Cox Harold A Capacitive sensor
DE3870246D1 (de) * 1987-06-18 1992-05-21 Kellett Michael A Akzelerometer und zugehoerige steuerschaltungen.
US4819126A (en) * 1988-05-19 1989-04-04 Pacific Bell Piezoelectic relay module to be utilized in an appliance or the like
JPH0623782B2 (ja) * 1988-11-15 1994-03-30 株式会社日立製作所 静電容量式加速度センサ及び半導体圧力センサ
FR2688315B1 (fr) * 1992-03-09 1994-05-27 Sagem Capteur accelerometrique capacitif et accelerometre non asservi en comportant application.
US5322969A (en) * 1992-03-20 1994-06-21 Donald D. Markley Piezoelectric transducer saddle for stringed musical instruments
US5396798A (en) * 1993-04-15 1995-03-14 Honeywell Inc. Mechanical resonance, silicon accelerometer

Also Published As

Publication number Publication date
US5499541A (en) 1996-03-19
DE4324692A1 (de) 1995-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0777466A (ja) 圧電的な力センサ
US5473930A (en) Acceleration sensor with oppositely-polarized piezoelectric plates
KR100234919B1 (ko) 정전 용량식 가속도 센서
JPH11344507A (ja) マイクロマシンの構成エレメント
US4944181A (en) Capacitive strain gage having fixed capacitor plates
JPH08220130A (ja) 圧電加速度センサ
JP3147786B2 (ja) 加速度センサ
EP0550037B1 (en) Piezoelectric acceleration sensor
US5415044A (en) Semiconductor acceleration sensor including means for detecting weight detachment
US6370960B1 (en) Capacitive sensor
JP2004170360A (ja) 積層型プローブ及び接触子
JP3282570B2 (ja) 半導体加速度センサ
JP2720697B2 (ja) 加速度センサ
JP3531970B2 (ja) ガスまたは湿度を検出するセンサ
JP2946776B2 (ja) 容量型加速度センサ
JP2722939B2 (ja) 加速度センサ
JPH073379B2 (ja) 接触覚センサ
US11662400B2 (en) Hall sensor with hall elements measuring magnetic field components perpendicularly to the substrate surface
JP2540972B2 (ja) センサ
US11980455B2 (en) Measuring device
JPH0621025Y2 (ja) 隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカード
JPH01233301A (ja) 変位センサ
CN1252867A (zh) 力传感器
JP3120050B2 (ja) 半導体加速度センサ
JPH06326332A (ja) 静電容量型センサ