JPH077789U

JPH077789U - 被処理板用支持治具

Info

Publication number: JPH077789U
Application number: JP3526893U
Authority: JP
Inventors: 一彦柴
Original assignee: Pre Tech Co Ltd
Current assignee: Pre Tech Co Ltd
Priority date: 1993-06-29
Filing date: 1993-06-29
Publication date: 1995-02-03
Anticipated expiration: 2005-07-05
Also published as: JPH0728954Y2

Abstract

(57)【要約】【目的】被処理板との接触箇所を平滑に加工すること
が可能で、かつ洗浄液の切れが良好な被処理板用支持治
具を提供しようとするものである。【構成】被処理板を支持する治具において、傾斜辺を
有する互いに同一形状の一対の薄板を備え、前記被処理
板の外側の縁に前記一方の薄板の傾斜辺を前記被処理板
の面に直交するように当接させ、かつ前記被処理板の外
側の縁に前記他方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面を
中心にして前記一方の薄板に対して対称的になるように
当接させると共に、前記一対の薄板を互いに所望距離隔
てて配置することを特徴としている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、シリコンウェハ、種々のガラス基板、磁気ディスク、光学ガラス等の被処理板の洗浄や乾燥に使用される支持治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、この種の被処理板を洗浄したり乾燥する場合に使用される支持治具は、次のような特徴を有することが要望されている。 (1) 支持治具と接触される被処理板の部分に傷が生じないように前記接触部が平滑に加工されていること。

【０００３】 (2) 被処理板と接触する支持治具の部分に洗浄液が残留しない構造にすること。なお、前記支持治具に洗浄液が残留すると、前記残留洗浄液が表面張力により被処理板に付着するため、乾燥時において洗浄液の付着箇所に乾燥染みが発生する。

【０００４】ところで、従来、前記被処理板の支持治具としては図５に示す構造のものが知られている。２枚の側板１、２は、互いに所定の距離をあけて平行に配置されている。両端に径の小さいねじ部３を有する３本の支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ は、前記側板１、２間に互いに平行に配置され、かつ前記各支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ の両端のねじ部３は前記側板１、２を貫通している。なお、前記各支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ のうち、支持棒４₁ は前記側板１、２の下部中央付近にその両端のねじ部３が貫通するように配置され、残りの２本の支持棒４₂ 、４₃ は前記側板１、２の上部コーナ付近にそれら両端のねじ部３が貫通するように配置されている。ナット５は、前記側板１、２の外面に突出した前記各支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ の両端のねじ部３に螺着され、前記支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ を前記側板１、２に固定している。前記支持棒４₁ には、山谷がＶ形の鋸形状をなす薄板６₁ がその支持棒４₁ の長さ方向に亘って垂直に植設されている。また、前記支持棒４₂ 、４₃ には、山谷がＶ形の鋸形状をなす薄板６₂ 、６₃ が互いに対向するように、かつそれら支持棒４₂ 、４₃ の長さ方向に亘って水平に植設されている。

【０００５】このような構造を有する従来の支持治具において、同図５に示すように例えばガラス板７の下端中央を前記支持棒４₁ に垂直に植設された前記鋸形状をなす薄板６₁ のＶ形の谷部に当接させ、前記ガラス板７の両側端を前記支持棒４₂ 、４₃ に水平に植設された前記鋸形状をなす薄板６₂ 、６₃ のＶ形の谷部にそれぞれ当接させることにより前記ガラス板７を支持することができる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の支持治具でガラス板７を支持した場合、その下端は図６に示すように前記鋸形状をなす薄板６₁ のＶ形の谷部の底近傍に当接されるため、次のような問題があった。

【０００７】 (1) 前記薄板６₁ のＶ形の谷部の底近傍は、特に平滑に加工することが困難である。このため、図６のようにガラス板７を前記薄板６₁ のＶ形の谷部の底近傍に当接させる際に前記ガラス板７表面に傷が発生するおそれがある。

【０００８】 (2) 支持治具は、支持棒４₁ 、４₂ 、４₃ に植設された薄板６₁ 、６₂ 、６₃ が鋸形状をなすため、それらのＶ形の谷部に洗浄液が残留し易く、特に支持棒４ 1 に垂直に植設された薄板６₁ のＶ形の谷部には洗浄液の残留量が多くなる。その結果、図６のようにガラス板７を前記薄板６₁ のＶ形の谷部に当接させて支持すると、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液が表面張力により前記ガラス板に付着するため、乾燥時において洗浄液の付着箇所に乾燥染みが発生する問題が起こる。

【０００９】 (3) 前記鋸形状をなす薄板６₁ 、６₂ 、６₃ のＶ形の谷部には、汚れが溜り易く、かつ清掃もし難いため、前記Ｖ形の谷部の残留洗浄液中への汚染物量が増大する。その結果、乾燥時において洗浄液が付着されたガラス板７の箇所に汚染物を含む乾燥染みが発生する。本考案は、被処理板との接触箇所を平滑に加工することが可能で、かつ洗浄液の切れが良好な被処理板用支持治具を提供しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、被処理板を支持する治具において、傾斜辺を有する一対の薄板を備え、前記被処理板の外側の縁に前記一方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面に直交またはほぼ直交するように当接させ、かつ前記被処理板の外側の縁に前記他方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面を中心にして前記一方の薄板に対して対称的になるように当接させると共に、前記一対の薄板を互いに所望距離隔てて配置することを特徴とする被処理板用支持治具である。

【００１１】以下、本考案の被処理板用支持治具を図面を参照して詳細に説明する。図１は、本考案の被処理板用支持治具を示す斜視図、図２は図１の右側面図である。傾斜辺を有し、例えば互いに同一形状（直角台形）の対をなす３組の薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ は、被処理板、例えば矩形状のガラス板１４の下端、両側端がそれぞれ配置されている。前記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ は、垂直に配置されている。これら薄板１１₁ 、１１₂ のうちの一方の薄板１１₁ はその傾斜辺が図２に示すように前記ガラス板１４の下端にその面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１１₂ はその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前記一方の薄板１１₁ に対して対称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ は互いに所望距離隔てて対向、配置されている。また、前記ガラス板１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２₁ 、１２₂ は水平に配置されている。これら薄板１２₁ 、１２₂ のうちの一方の薄板１２₁ は、その傾斜辺が前記ガラス板１４の左側端にその面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１２₂ はその傾斜辺が前記ガラス板１４の左側端にその面を中心に前記一方の薄板１２₁ に対して対称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄板１２₁ 、１２₂ は互いに所望距離隔てて対向、配置されている。さらに、前記ガラス板１４の左側端に位置する前記一対の薄板１３₁ 、１３₂ は水平に配置されている。これら薄板１３₁ 、１３₂ のうちの一方の薄板１３₁ は、その傾斜辺が前記ガラス板１４の左側端にその面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１３₂ はその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前記一方の薄板１３₁ に対して対称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄板１３₁ 、１３₂ は互いに所望距離隔てて対向、配置されている。

【００１２】前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ は、例えばステンレス、ポリテトラフルオロエチレン、石英ガラスのような耐薬品性、耐熱性の優れた材料から形成されることが好ましい。

【００１３】前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ は、所定の強度を維持しつつ、前記ガラス板１４のような被処理板との接触面積を減少させる観点から、０．３〜５ｍｍの厚さを有することが好ましい。

【００１４】本発明に係わる支持治具は、前述した図１に示すようなガラス板に限らず、例えば図３に示すようなシリコンウェハ１５の支持にも同様に適用することが可能である。

【００１５】

【作用】

本考案によれば、図１に示すように傾斜辺を有し、例えば互いに同一形状（直角台形）の対をなす薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ を備え、例えば矩形状のガラス板１４の下端、両側端はこれらの薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ の傾斜辺にそれぞれ当接して支持されている。すなわち、前記ガラス板１４の下端に位置する前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ は、垂直に配置されている。これら薄板１１₁ 、１１₂ のうちの一方の薄板１１₁ は、図２に示すようにその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面に直交するように当接され、かつ他方の薄板１１₂ はその傾斜辺が前記ガラス板１４の下端にその面を中心に前記一方の薄板１１₁ に対して対称的になるように当接されていると共に、前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ は互いに所望距離隔てて対向、配置されている。また、前記ガラス板１４の左側端に位置する前記一対の薄板１２₁ 、１２₂ および右側端に位置する前記一対の薄板１３₁ 、１３₂ は互いに水平に配置されている以外、前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ と同様な形態で前記ガラス板１４に配置されている。

【００１６】したがって、前記ガラス板１４の下端は前記一対の薄板１１₁ 、１１₂ の傾斜辺の中間付近に当接して支持され、その両端は前記一対の薄板１２₁ 、１２₂ および前記一対の薄板１３₁ 、１３₂ の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接して支持される。つまり、前記ガラス板１４は前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ の洗浄液の切れが良好な傾斜辺の中間付近で支持される。このため、前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ でガラス板１４を支持することにより、従来の鋸形状をなす薄板のＶ形の谷部でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前記ガラス板の接触部付近に残留するのを抑制することができる。また、前記ガラス板１４が接触される前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ の傾斜辺の中間付近は汚れが溜り難くかつ清掃もし易くなる。その結果、ガラス板１４に残留洗浄液に起因する乾燥染みが発生したり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを防止することができる。

【００１７】また、前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ は傾斜辺を有する例えば直角台形をなし、かつ前記前記傾斜辺の中間付近に前記ガラス板１４が当接されるため、従来のＶ形の薄板に比べて前記ガラス板１４が当接される箇所を容易に平滑加工することができる。その結果、前記薄板１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ の傾斜辺と接触される前記ガラス板１４の箇所に傷が発生するのを防止できる。

【００１８】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図４を参照して詳細に説明する。２枚の側板２１、２２は、互いに所定の距離をあけて平行に配置されている。両端に径の小さいねじ部２３を有する例えばステンレス鋼製の６本の支持棒２４₁ 〜２４₆ は、前記側板２１、２２間に互いに平行に配置され、かつ前記各支持棒２４₁ 〜２４₆ の両端のねじ部２３は前記側板２１、２２を貫通している。前記各支持棒２４₁ 〜２４₆ のうち、支持棒２４₁ 、２４₂ は前記側板２１、２２の下部中央付近に互いに水平方向に対向するように配置されている。前記各支持棒２４₁ 〜２４₆ のうち、支持棒２４₃ 、２４₄ は前記側板２１、２２の左端付近に互いに垂直方向に対向するように配置され、残りの支持棒２４₅ 、２４₆ は前記側板２１、２２の右端付近に互いに垂直方向に対向するように配置されている。ナット２５は、前記側板２１、２２の外面に突出した前記各支持棒２４₁ 〜２４₆ の両端のねじ部２３に螺着され、前記各支持棒２４₁ 〜２４₆ を前記側板２１、２２に固定している。

【００１９】前記支持棒２４₁ 、２４₂ には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸形状をなす例えばポリテトラフルルオロエチレン製で厚さが１ｍｍの薄板２６₁ 、２６₂ がそれらの支持棒２４₁ 、２４₂ の長さ方向に亘って垂直にそれぞれ植設されている。前記支持棒２４₃ 、２４₄ には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸形状をなす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄板２６₃ 、２６₄ がそれらの支持棒２４₃ 、２４₄ の長さ方向に亘って水平にそれぞれ植設されている。前記支持棒２４₅ 、２４₆ には、直角三角形の山が連続的に繋がる鋸形状をなす例えばポリテトラフルルオロエチレン製の薄板２６₅ 、２６₆ がそれらの支持棒２４₅ 、２４₆ の長さ方向に亘って水平にそれぞれ植設されている。なお、前記薄板２６₁ と２６₂ 、前記薄板２６₃ と２６₄ および前記薄板２６₅ 、２６₆ はそれぞれ対をなし、それら対をなす薄板２６₁ と２６₂ 、２６₃ と２６₄ 、２６₅ 、２６₆ の鋸形状はそれら対をなす薄板間を直角に横切る面を中心に対称的に配置されている。

【００２０】このような構成の支持治具によれば、仮想線で示す矩形状のガラス板２７を垂直にして前記支持棒２４₁ 〜２４₆ の鋸形状をなす薄板２６₁ 〜２６₆ に立て掛けると、前記ガラス板２７の下端は前記対をなす薄板２６₁ 、２６₂ における前記ガラス板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の山の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、Ｖ形の谷に当接されるのと同様な形態で支持される。同時に、前記ガラス板２７の左側端は前記対をなす薄板２６₁ 、２６₂ における前記ガラス板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の山の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、また右側端も前記対をなす薄板２６₅ 、２６₆ における前記ガラス板２７の面を中心に対称的に配置された直角三角形の山の傾斜辺の中間付近にそれぞれ当接され、前述したようにＶ形の谷に当接されるのと同様な形態で支持される。

【００２１】したがって、図４に示す構造の支持治具によれば多数枚の矩形状のガラス板２７を垂直に立てた状態で安定的に支持することができる。また、前記ガラス板２７の下端は前記鋸形状をなす一対の薄板２６₁ 、２６₂ の切れが良好な傾斜辺の中間付近に当接して支持されるため、洗浄後において従来の鋸形状をなす薄板のＶ形の谷部でガラス板を支持する場合のように洗浄液が前記ガラス板の当接部付近に残留するのを抑制することができる。また、前記ガラス板２７が接触される前記薄板２６₁ 〜２６₆ の傾斜辺の中間付近は汚れが溜り難く、かつ清掃も極めて容易に行うことができる。その結果、前記支持治具に支持されたガラス板２７を洗浄し、乾燥した後において残留洗浄液に起因する乾燥染みが発生したり、汚染物を含む乾燥染みが発生したりするのを防止することができる。

【００２２】さらに、前記ガラス板２７の下端および両側端は前記鋸形状をなす薄板２６₁ 〜２６₆ の傾斜辺の平滑加工が容易な中間付近に当接して支持されるため、前記ガラス板２７の前記薄板２６₁ 〜２６₆ との接触箇所に傷が発生するのを抑制することができる。

【００２３】

【考案の効果】

以上詳述したように、本考案に係わる被処理板用支持治具によれば被処理板との接触箇所を平滑に加工することが可能で、かつ良好な洗浄液の切れ性を有し、シリコンウェハ、種々のガラス基板、磁気ディスク、光学ガラス等の被処理板の洗浄や乾燥において傷の発生や乾燥染みの発生を抑制ないし防止できる等顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わる支持治具によりガラス板を支持
した状態を示す斜視図。

【図２】図１の右側面図。

【図３】本考案に係わる支持治具によりガラス板を支持
した状態を示す斜視図。

【図４】本考案の実施例における支持治具を示す斜視
図。

【図５】従来の支持治具を示す斜視図。

【図６】図５の支持治具の要部側面図。

【符号の説明】

１１₁ 、１１₂ 、１２₁ 、１２₂ 、１３₁ 、１３₂ …直
角台形の薄板、１４、２７…矩形状のガラス板、２１、
２２…側板、２４₁ 〜２４₆ …支持棒、２６₁〜２６₆
…鋸形状をなす薄板。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被処理板を支持する治具において、傾斜
辺を有する一対の薄板を備え、前記被処理板の外側の縁
に前記一方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面に直交ま
たはほぼ直交するように当接させ、かつ前記被処理板の
外側の縁に前記他方の薄板の傾斜辺を前記被処理板の面
を中心にして前記一方の薄板に対して対称的になるよう
に当接させると共に、前記一対の薄板を互いに所望距離
隔てて配置することを特徴とする被処理板用支持治具。