JPH0778019A - 工程管理方法及び管理システム - Google Patents
工程管理方法及び管理システムInfo
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- JPH0778019A JPH0778019A JP17900993A JP17900993A JPH0778019A JP H0778019 A JPH0778019 A JP H0778019A JP 17900993 A JP17900993 A JP 17900993A JP 17900993 A JP17900993 A JP 17900993A JP H0778019 A JPH0778019 A JP H0778019A
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- Japan
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Control By Computers (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 工程の正常な状態と要求される安定度とに差
が少ない場合であっても、工程の異常発生を予測あるい
は速やかに検出することが可能な工程の管理方法及び管
理システムを提供する。 【構成】 工程の処理を行う都度に測定された管理用の
パラメータ値を、コンピュータに入力し前回測定したパ
ラメータ値との差を計算する。この変化量があらかじめ
定めた値以内かを判断し異常が発生しているか否かを検
出する。異常発生を検出した場合には工程の処理を中止
し以後の不良の発生を防ぐ。
が少ない場合であっても、工程の異常発生を予測あるい
は速やかに検出することが可能な工程の管理方法及び管
理システムを提供する。 【構成】 工程の処理を行う都度に測定された管理用の
パラメータ値を、コンピュータに入力し前回測定したパ
ラメータ値との差を計算する。この変化量があらかじめ
定めた値以内かを判断し異常が発生しているか否かを検
出する。異常発生を検出した場合には工程の処理を中止
し以後の不良の発生を防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は安定な製造のために各工
程を安定な状態に管理する必要のある製造ラインの工程
管理方法及び管理システムに関するものである。
程を安定な状態に管理する必要のある製造ラインの工程
管理方法及び管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】より安価に製品を製造するためには製造
過程に於て不良品の発生率を下げる必要がある。また、
近年のように精密で微細な製品を製造する上で不良品を
発生させないためには、工程をよりきびしい管理基準内
に安定させなければならない。そこで、工程を安定に管
理する方法が必要となっている。
過程に於て不良品の発生率を下げる必要がある。また、
近年のように精密で微細な製品を製造する上で不良品を
発生させないためには、工程をよりきびしい管理基準内
に安定させなければならない。そこで、工程を安定に管
理する方法が必要となっている。
【０００３】以下図面を参照しながら、上記した従来の
工程の管理方法及び管理システムの一例について説明す
る。
工程の管理方法及び管理システムの一例について説明す
る。
【０００４】図５は従来の工程管理方法の流れを示すも
のである。工程での処理が終了する毎に管理データが入
力される。該工程が安定か否かの判断はデータ値があら
かじめ決めてある規格値の範囲内か否かで判断する。規
格内の場合には該工程は安定であるとし処理を続ける。
規格外の場合には異常が発生したと判断し該工程の処理
を停止する。異常が発生した製品は該当工程で処理を停
止し以降の工程を行うという無駄を防ぐことができる。
また、不良発生を早期に発見することにより不良を発生
し続けるという無駄を防ぐことができる。
のである。工程での処理が終了する毎に管理データが入
力される。該工程が安定か否かの判断はデータ値があら
かじめ決めてある規格値の範囲内か否かで判断する。規
格内の場合には該工程は安定であるとし処理を続ける。
規格外の場合には異常が発生したと判断し該工程の処理
を停止する。異常が発生した製品は該当工程で処理を停
止し以降の工程を行うという無駄を防ぐことができる。
また、不良発生を早期に発見することにより不良を発生
し続けるという無駄を防ぐことができる。
【０００５】さらに、不良の発生を事前に防ぐ試みとし
て、製品の性能を維持するのに必要な規格値よりも厳し
い規格を設けて管理することにより、異常が発生する兆
候をとらえて工程を停止する方法も用いられている。
て、製品の性能を維持するのに必要な規格値よりも厳し
い規格を設けて管理することにより、異常が発生する兆
候をとらえて工程を停止する方法も用いられている。
【０００６】例えば図６に示すようなある装置の堆積膜
厚を管理データとして用いて管理する場合に於て、異常
発生１が生じた時点あるいはその事前に工程の処理を停
止するために、規格値１０を設けて該規格値を堆積膜厚
が越えた時点で異常発生と見なし工程を停止する。
厚を管理データとして用いて管理する場合に於て、異常
発生１が生じた時点あるいはその事前に工程の処理を停
止するために、規格値１０を設けて該規格値を堆積膜厚
が越えた時点で異常発生と見なし工程を停止する。
【０００７】また、このような管理方法はコンピュータ
を用いずに工程の担当者が定められた運用ルールに基づ
いて管理することが可能であるが、その場合には工程の
担当者が異常を見逃す危険性や、総合的な異常が発生し
た場合に各管理データの収集が困難で解析が難しくなる
という問題があるため、各管理データをコンピュータに
入力しコンピュータを用いての異常有無の判断及びデー
タの管理を行うシステムが用いられている。
を用いずに工程の担当者が定められた運用ルールに基づ
いて管理することが可能であるが、その場合には工程の
担当者が異常を見逃す危険性や、総合的な異常が発生し
た場合に各管理データの収集が困難で解析が難しくなる
という問題があるため、各管理データをコンピュータに
入力しコンピュータを用いての異常有無の判断及びデー
タの管理を行うシステムが用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、異常の有無を各データ毎に規格を越える
か否かで判断するのみでデータのばらつきや平均値に対
して要求される安定度が高い場合には非常に困難にな
る。つまり、図７（ａ）に示すように、規格値１０を大
きめに設定すると異常発生１が生じても異常として検知
できない。逆に図７（ｂ）に示すように規格値１０を小
さく設定し正常な状態の値に近く設定すると通常のばら
つきの範囲内の値２でも異常と判断し処理が中断する。
このように、各データ毎単独の値のみを用いて規格内か
否かの判断を行うのみであれば前後の傾向や変化などの
判断要素が少ないため、データの処理は容易であるが的
確に異常を検出することができない場合があるという問
題点を有していた。
うな構成では、異常の有無を各データ毎に規格を越える
か否かで判断するのみでデータのばらつきや平均値に対
して要求される安定度が高い場合には非常に困難にな
る。つまり、図７（ａ）に示すように、規格値１０を大
きめに設定すると異常発生１が生じても異常として検知
できない。逆に図７（ｂ）に示すように規格値１０を小
さく設定し正常な状態の値に近く設定すると通常のばら
つきの範囲内の値２でも異常と判断し処理が中断する。
このように、各データ毎単独の値のみを用いて規格内か
否かの判断を行うのみであれば前後の傾向や変化などの
判断要素が少ないため、データの処理は容易であるが的
確に異常を検出することができない場合があるという問
題点を有していた。
【０００９】本発明は上記問題点に鑑み、より早期に正
確に異常の発生の検出及び発生の予告を行うことがで
き、不良品の発生を防ぐことができる工程の管理方法及
び管理システムを提供するものである。
確に異常の発生の検出及び発生の予告を行うことがで
き、不良品の発生を防ぐことができる工程の管理方法及
び管理システムを提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の工程の管理方法及び管理システムは、工程
の状態を示すパラメータをコンピュータに入力すること
と、入力した各パラメータの異常な変動をコンピュータ
を用いて検出することと、異常な変動が生じた場合に異
常発生を明示することと、前記パラメータの異常な変動
の検出は連続するデータの変化量より求めることを特徴
とする工程管理方法であり、工程の状態を示すパラメー
タをコンピュータに転送する機能と、各パラメータ毎の
データを連続した値として記録する機能と、該記録値の
変化量をコンピュータを用いて処理し異常な変動の発生
の有無を検知する機能と、異常を検知した場合に異常発
生を明示する機能を有するという構成を備えたものであ
る。
めに本発明の工程の管理方法及び管理システムは、工程
の状態を示すパラメータをコンピュータに入力すること
と、入力した各パラメータの異常な変動をコンピュータ
を用いて検出することと、異常な変動が生じた場合に異
常発生を明示することと、前記パラメータの異常な変動
の検出は連続するデータの変化量より求めることを特徴
とする工程管理方法であり、工程の状態を示すパラメー
タをコンピュータに転送する機能と、各パラメータ毎の
データを連続した値として記録する機能と、該記録値の
変化量をコンピュータを用いて処理し異常な変動の発生
の有無を検知する機能と、異常を検知した場合に異常発
生を明示する機能を有するという構成を備えたものであ
る。
【００１１】
【作用】本発明は上記した構成によって、単に各データ
の値のみで異常の有無を判断するのでなく、過去のデー
タとの変化量を求め該変化量に基づいて異常の検出を行
うため異常発生の予測が可能であり、工程の正常な状態
と要求される安定度とに差が少ない場合でも容易に正確
に工程の管理を行うことができる。
の値のみで異常の有無を判断するのでなく、過去のデー
タとの変化量を求め該変化量に基づいて異常の検出を行
うため異常発生の予測が可能であり、工程の正常な状態
と要求される安定度とに差が少ない場合でも容易に正確
に工程の管理を行うことができる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例の工程管理方法につい
て、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施
例における工程管理方法の流れを示すものである。工程
の処理を行う都度に測定された堆積膜厚、エッチングレ
ート、パターン幅、発生パーティクル数等の管理用のパ
ラメータ値を、コンピュータに入力し前回測定したパラ
メータ値との差を計算する。この変化量をあらかじめ定
めた規則に従って判断し異常が発生しているか否かを検
出する。異常発生を検出した場合には工程の処理を中止
し以後の不良の発生を防ぐ。
て、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施
例における工程管理方法の流れを示すものである。工程
の処理を行う都度に測定された堆積膜厚、エッチングレ
ート、パターン幅、発生パーティクル数等の管理用のパ
ラメータ値を、コンピュータに入力し前回測定したパラ
メータ値との差を計算する。この変化量をあらかじめ定
めた規則に従って判断し異常が発生しているか否かを検
出する。異常発生を検出した場合には工程の処理を中止
し以後の不良の発生を防ぐ。
【００１３】例えば図６のような堆積膜厚の変化が生じ
ていた場合、それぞれのデータの前回のデータとの変化
量は図２に示す値となる。この変化量の大きさが一定値
を越えた場合に工程の状態が変化し異常が発生したと判
断することができる。
ていた場合、それぞれのデータの前回のデータとの変化
量は図２に示す値となる。この変化量の大きさが一定値
を越えた場合に工程の状態が変化し異常が発生したと判
断することができる。
【００１４】以上のように本実施例のよれば、異常な変
動の検出を連続するデータの変化量から求めること及び
コンピュータを用いて管理することにより、工程の正常
な状態と要求される安定度とに差が少ない場合でも正確
に工程の異常な変動を検出することができ、また工程の
担当者が管理する場合と異なり変化の見落としや解析の
困難さを生じることなく工程の管理を行うことができ
る。
動の検出を連続するデータの変化量から求めること及び
コンピュータを用いて管理することにより、工程の正常
な状態と要求される安定度とに差が少ない場合でも正確
に工程の異常な変動を検出することができ、また工程の
担当者が管理する場合と異なり変化の見落としや解析の
困難さを生じることなく工程の管理を行うことができ
る。
【００１５】以下本発明の第２の実施例について図面を
参照しながら説明する。図３は本発明の第２の実施例を
示す工程管理方法におけるデータの処理内容を説明する
グラフである。図３（ａ）に示すような堆積膜厚の変化
が生じた場合に、それぞれのパラメータの前回のデータ
との変化量を求めると図２（ｂ）のグラフとなる。ここ
で、変化量の値のみでなく過去からの変化量の変動を異
常の有無の判断に用いる。つまり、過去に逆戻って変化
量を調べ、例えば連続して４回変化量の符号が等しい場
合には異常な変化があると判断する。図３（ａ）の異常
発生１が生じる前には徐々に堆積膜厚は上昇する傾向に
あり、本実施例のように図３（ｂ）の様にデータを処理
していれば異常発生１が生じる前に４回連続して堆積膜
厚の変化量が正の値を示している。４回続けて変化量の
符号が正であった時点で処理を停止することにより、異
常発生１が生じる前に工程を調整し、安定に管理するこ
とができる。
参照しながら説明する。図３は本発明の第２の実施例を
示す工程管理方法におけるデータの処理内容を説明する
グラフである。図３（ａ）に示すような堆積膜厚の変化
が生じた場合に、それぞれのパラメータの前回のデータ
との変化量を求めると図２（ｂ）のグラフとなる。ここ
で、変化量の値のみでなく過去からの変化量の変動を異
常の有無の判断に用いる。つまり、過去に逆戻って変化
量を調べ、例えば連続して４回変化量の符号が等しい場
合には異常な変化があると判断する。図３（ａ）の異常
発生１が生じる前には徐々に堆積膜厚は上昇する傾向に
あり、本実施例のように図３（ｂ）の様にデータを処理
していれば異常発生１が生じる前に４回連続して堆積膜
厚の変化量が正の値を示している。４回続けて変化量の
符号が正であった時点で処理を停止することにより、異
常発生１が生じる前に工程を調整し、安定に管理するこ
とができる。
【００１６】以上の様に本実施例を用いれば、異常の発
生を事前に防ぐことができる。以下本発明の第３の実施
例について図面を参照しながら説明する。
生を事前に防ぐことができる。以下本発明の第３の実施
例について図面を参照しながら説明する。
【００１７】図４は本発明の第３の実施例を示すシステ
ムのネット図である。各工程の管理に必要なデータ２８
は、処理温度や処理時間などのように処理装置２２から
直接転送される、あるいは堆積膜厚やパーティクル数な
どのように様々な測定器２１から転送される、あるいは
オンラインでコンピュータと結合していない装置の場合
には入力端末２３から手動で入力されることにより転送
され、工程管理用コンピュータ２４に入力される。入力
されたデータはデータのメモリー２６に記録されると共
に、入力された管理項目の過去のデータをデータメモリ
ー２６から読み込み、それらとの変動量を計算２５され
る。その結果をコンピュータ２４で判断し、異常な変化
が発生している場合には以上発生表示端末２７に表示
し、工程の処理を停止する。
ムのネット図である。各工程の管理に必要なデータ２８
は、処理温度や処理時間などのように処理装置２２から
直接転送される、あるいは堆積膜厚やパーティクル数な
どのように様々な測定器２１から転送される、あるいは
オンラインでコンピュータと結合していない装置の場合
には入力端末２３から手動で入力されることにより転送
され、工程管理用コンピュータ２４に入力される。入力
されたデータはデータのメモリー２６に記録されると共
に、入力された管理項目の過去のデータをデータメモリ
ー２６から読み込み、それらとの変動量を計算２５され
る。その結果をコンピュータ２４で判断し、異常な変化
が発生している場合には以上発生表示端末２７に表示
し、工程の処理を停止する。
【００１８】以上のように変動量を過去のデータから算
出する過程を設けることにより、実施例１あるいは２に
示したような工程の管理方法を可能とする管理システム
を設けることができる。
出する過程を設けることにより、実施例１あるいは２に
示したような工程の管理方法を可能とする管理システム
を設けることができる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、工程の状態を示
すパラメータをコンピュータに入力することと、入力し
た各パラメータの異常な変動をコンピュータを用いて検
出することと、異常な変動が生じた場合に異常発生を明
示することと、前記パラメータの異常な変動の検出は連
続するデータの変化量より求めることによる工程管理方
法を用いること、また、工程の状態を示すパラメータを
コンピュータに転送する機能と、各パラメータ毎のデー
タを連続した値として記録する機能と、該記録値の変化
量をコンピュータを用いて処理し異常な変動の発生の有
無を検知する機能と、異常を検知した場合に異常発生を
明示する機能を有するという構成を備えることにより、
単に各データの値のみで異常の有無を判断するのでな
く、過去のデータとの変化量を求め該変化量に基づいて
異常の検出を行うため異常発生の予測が可能であり、工
程の正常な状態と要求される安定度とに差が少ない場合
でも容易に正確に工程の管理を行うことができる。
すパラメータをコンピュータに入力することと、入力し
た各パラメータの異常な変動をコンピュータを用いて検
出することと、異常な変動が生じた場合に異常発生を明
示することと、前記パラメータの異常な変動の検出は連
続するデータの変化量より求めることによる工程管理方
法を用いること、また、工程の状態を示すパラメータを
コンピュータに転送する機能と、各パラメータ毎のデー
タを連続した値として記録する機能と、該記録値の変化
量をコンピュータを用いて処理し異常な変動の発生の有
無を検知する機能と、異常を検知した場合に異常発生を
明示する機能を有するという構成を備えることにより、
単に各データの値のみで異常の有無を判断するのでな
く、過去のデータとの変化量を求め該変化量に基づいて
異常の検出を行うため異常発生の予測が可能であり、工
程の正常な状態と要求される安定度とに差が少ない場合
でも容易に正確に工程の管理を行うことができる。
【図１】本発明の第１の実施例における工程管理方法の
流れを示す図
流れを示す図
【図２】同実施例における動作説明のためのデータの変
化を示す特性図
化を示す特性図
【図３】本発明の第２の実施例における工程管理方法の
動作説明のためのデータの変化を示す特性図
動作説明のためのデータの変化を示す特性図
【図４】本発明の第３の実施例における工程管理システ
ムのネット図
ムのネット図
【図５】従来の工程管理方法の流れを示す図
【図６】従来の工程管理方法における動作説明のための
データの変化を示す特性図
データの変化を示す特性図
【図７】従来の工程管理方法における動作説明のための
データの変化を示す特性図
データの変化を示す特性図
１ 異常発生 ２ 通常の変動値 ３ 異常発生の徴候 １０ 規格値 ２２ 処理装置 ２４ 工程管理用コンピュータ ２５ 変動量計算過程 ２６ データメモリー部 ２７ 異常発生警告表示端末 ２８ 工程管理データ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ // Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｚ 7630−4Ｍ
Claims (6)
- 【請求項１】 工程の状態を示すパラメータをコンピュ
ータに入力することと、入力した各パラメータの異常な
変動をコンピュータを用いて検出することと、異常な変
動が生じた場合に異常発生を明示することと、前記パラ
メータの異常な変動の検出は連続するデータの変化量よ
り求めることを特徴とする工程管理方法。 - 【請求項２】 工程の状態を示すパラメータを測定器か
らオンラインでコンピュータに転送するあるいは端末機
に入力したデータを転送する機能と、各パラメータ毎の
データを連続した値として記録する機能と、該記録値の
変化量をコンピュータを用いて処理し異常な変動の発生
の有無を検知する機能と、異常を検知した場合に異常発
生を明示する機能を有することを特徴とする工程管理シ
ステム。 - 【請求項３】 パラメータの異常な変動の検出は、連続
するデータの変化量が連続して同一符号である場合とす
る請求項１に記載の工程管理方法。 - 【請求項４】 パラメータの異常な変動の検出は、連続
するデータの変化量の絶対値があらかじめ定めた値より
大きい場合とする請求項１に記載の工程管理方法。 - 【請求項５】 異常な変動の検出を、連続するデータの
変化量が連続して同一符号であるか判断する機能を用い
て行うことを特徴とする請求項２に記載の工程管理シス
テム。 - 【請求項６】 異常な変動の検出を、連続するデータの
変化量の絶対値があらかじめ定めた値より大きいか判断
する機能を用いて行うことを特徴とする請求項２に記載
の工程管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17900993A JPH0778019A (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 工程管理方法及び管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17900993A JPH0778019A (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 工程管理方法及び管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778019A true JPH0778019A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16058524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17900993A Pending JPH0778019A (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 工程管理方法及び管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778019A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09153439A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Nec Corp | 半導体装置製造ラインの生産制御システムおよびその生 産制御方法 |
| WO1997035337A1 (fr) * | 1996-03-19 | 1997-09-25 | Hitachi, Ltd. | Systeme de commande de processus |
| KR20230135131A (ko) * | 2021-01-29 | 2023-09-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 측정 위반 분석을 이용한 비정상 식별 프로세스 |
-
1993
- 1993-07-20 JP JP17900993A patent/JPH0778019A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09153439A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Nec Corp | 半導体装置製造ラインの生産制御システムおよびその生 産制御方法 |
| WO1997035337A1 (fr) * | 1996-03-19 | 1997-09-25 | Hitachi, Ltd. | Systeme de commande de processus |
| US6542830B1 (en) | 1996-03-19 | 2003-04-01 | Hitachi, Ltd. | Process control system |
| US6757621B2 (en) | 1996-03-19 | 2004-06-29 | Hitachi, Ltd. | Process management system |
| KR20230135131A (ko) * | 2021-01-29 | 2023-09-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 측정 위반 분석을 이용한 비정상 식별 프로세스 |
| JP2024507688A (ja) * | 2021-01-29 | 2024-02-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 測定値違反解析を使用したプロセス異常の識別 |
| US12141230B2 (en) | 2021-01-29 | 2024-11-12 | Applied Materials, Inc. | Process abnormality identification using measurement violation analysis |
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