JPH0778506A - 導電性ペースト - Google Patents

導電性ペースト

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Publication number
JPH0778506A
JPH0778506A JP22355193A JP22355193A JPH0778506A JP H0778506 A JPH0778506 A JP H0778506A JP 22355193 A JP22355193 A JP 22355193A JP 22355193 A JP22355193 A JP 22355193A JP H0778506 A JPH0778506 A JP H0778506A
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JP
Japan
Prior art keywords
conductive
paste
conductive paste
electromigration
component
Prior art date
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Pending
Application number
JP22355193A
Other languages
English (en)
Inventor
Tamotsu Tokuda
有 徳田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 厚膜の導電性被膜として使用したときに、そ
の導電性被膜のエレクトロマイグレーションを防止で
き、しかもセラミック電子部品の電気特性が劣化するこ
とのない安価な導電性ペーストを提供する。 【構成】 セラミックに塗布、焼付けする導電性ペース
トにおいて、導電成分としてMo、Wの少なくとも一種
類以上とAgとを含有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック電子部品の
導電性被膜を形成する導電性ペーストに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、厚膜用の導電性ペーストとして
は、Agの導電粉末に低融点のガラスフリットおよび有
機ビヒクルを加えた導電性Agペーストが用いられてい
た。そして、この種の導電性ペーストをセラミック基板
あるいはセラミック部品等に印刷または塗布し、そのあ
と乾燥、焼付けして有機物を除去し、導電成分とガラス
フリットからなる厚膜の導電性被膜を形成していた。し
かしながら、Agを導電成分とする被膜は、高温多湿の
環境のもとで電圧が印加されると、Agのエレクトロマ
イグレーションがおこり、対向する電極間で短絡が生じ
やすかった。このため、このような環境で使用される場
合には、Agと比較してエレクトロマイグレーションの
起こりにくいPd、Au、Pt等の貴金属を単独または
混合して導電性Agペーストに添加することが行われて
いた。また、焼付けたAg被膜の上にNi−Sn、はん
だ等を電気めっきしてAgのエレクトロマイグレーショ
ンを抑えることも行われていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
エレクトロマイグレーションを防止するためのPd、A
u、Pt等の貴金属を導電性Agペーストに添加する方
法は、これら添加する貴金属が高価であり、セラミック
電子部品の製造コストが上がるという問題点を有してい
た。また、焼付けた導電性Ag被膜上にNi−Sn、は
んだ等を電気めっきする方法は、種々のイオンを含有す
るめっき液がセラミック電子部品素子の内部に侵入し
て、セラミック電子部品の電気特性が劣化する場合があ
るという問題点を有していた。
【0004】そこで、本発明の目的は、厚膜の導電性被
膜として使用したときに、その導電性被膜のエレクトロ
マイグレーションを防止でき、しかもセラミック電子部
品の電気特性が劣化することのない安価な導電性ペース
トを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の導電性ペーストは、セラミックに塗布、焼
付けする厚膜用導電性ペーストにおいて、導電成分とし
てMo、Wの少なくとも一種類以上とAgとを含有する
ことを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明の導電性ペーストをセラミック基板ある
いはセラミック部品等に印刷または塗布して焼付けた導
電性被膜においては、含有するMoあるいはWにより、
高温多湿の環境のもとで電圧が印加された場合のAgの
エレクトロマイグレーションが抑制される。そして、ペ
ーストを焼付けて導電性被膜を形成する方式のため、め
っき処理の場合に見られためっき液のセラミック電子部
品素子の内部への侵入は全くない。
【0007】
【実施例】以下、本発明の導電性ペーストの実施例を説
明する。まず、表1に示す本発明の導電性ペースト7種
類を以下の通り作製した。即ち、56〜14重量%のA
g粉末と、14〜56重量%のMo粉末または14〜5
6重量%のW粉末と、2重量%の硼珪酸鉛系ガラスフリ
ット、およびエチルセルロース樹脂をブチルカルビトー
ルに溶解した28重量%の有機ビヒクルとを混合し、三
本ロールで混練してペーストとした。
【0008】同様に、表1に示すように比較例として、
70重量%のAg粉末と、2重量%の硼珪酸鉛系ガラス
フリット、およびエチルセルロース樹脂をブチルカルビ
トールに溶解した28重量%の有機ビヒクルとを混合
し、三本ロールで混練してペーストを作製した。
【0009】次に、アルミナ基板上に、作製した導電性
ペーストそれぞれを長方形状のパターンにスクリーン印
刷し乾燥させた後、750〜850℃で焼付けして導電
性被膜を形成した。その後、この導電性被膜の抵抗およ
び寸法を測定して比抵抗を算出した。その値を表1に示
す。
【0010】一方、各導電性ペーストについて耐エレク
トロマイグレーション試験を行った。以下、図1に示す
試料および試験回路に基づき説明する。同図において、
1はアルミナ基板上に対向電極パターンA、Bを形成し
た試料であり、2は対向電極パターンA、B間に滴下し
た純水である。3は試料1の対向電極A、B間に電圧を
印加する直流定電圧電源、4は対向電極A、B間に流れ
る電流を抵抗Rにかかる電圧として検出する直流電圧計
である。
【0011】耐エレクトロマイグレーション試験は以下
の通り実施した。まず、作製した各導電性ペーストを、
スクリーン印刷にてアルミナ基板の上に印刷し乾燥させ
た後、焼付けして対向電極パターンAおよびBを形成し
て、試料1を作製した。ここにおいて、対向電極パター
ンAとBの間隔Gは2mmとした。その後、この試料の
対向電極パターンAおよびBを直流定電圧電源3と接続
し、対向電極パターンAとBの間に純水2を滴下した
後、スイッチSを閉じて5Vの直流電圧を60分間継続
印加し、その間、抵抗Rの両端にかかる電圧の変動を測
定した。電圧印加後の抵抗Rの両端にかかる電圧は、試
料1の対向電極パターンAとB間でAgのエレクトロマ
イグレーションが発生して短絡が生じると急に大きくな
る。この電圧変動の有無でエレクトロマイグレーション
発生の有無を判定した。その結果を表1に示す。
【0012】表1に示す通り、導電成分としてAgにM
oあるいはWを添加することにより、導電成分がAgの
みの場合に発生したAgのエレクトロマイグレーション
を防止することができた。また、MoあるいはWを添加
した導電性被膜の比抵抗は1.8μΩ・cm〜4.2μ
Ω・cmとAgのみの導電性被膜の比抵抗である1.5
μΩ・cmに近い低抵抗が得られた。
【0013】なお、上記実施例において、導電成分はA
g−MoまたはAg−Wの2成分系であるが、本発明は
これのみに限定されるものではなく、Ag−Mo−Wの
3成分系でも同様の効果を得ることができる。
【0014】また、上記実施例においては、粉末状のM
o、Wを用いてAg粉末とともに導電性ペーストを作製
しているが、MoあるいはWとしては、金属レジネート
等の有機金属を用いても同様の効果を得ることができ
る。
【0015】さらに、導電性ペースト中に添加するガラ
スフリットは、硼珪酸鉛系以外に従来より用いられてい
る硼珪酸ビスマス系等の公知のガラスフリットを用いる
ことができる。
【0016】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
Mo、Wを含有する導電性Agペーストによれば、それ
を印刷あるいは塗付して焼付けることにより、Ag並み
の低抵抗で、かつエレクトロマイグレーションの起こり
にくい導電性被膜を得ることができる。
【0017】また、焼付けにより導電性被膜を形成する
ペーストであるため、従来のNi−Snやはんだ等のめ
っきの場合に見られためっき液のセラミック内部への侵
入もない。したがって、めっき液によるセラミック電子
部品の電気特性の劣化は起こらない。
【0018】さらに、従来Agのエレクトロマイグレー
ションを防止するために添加していたPd,Au,Pt
等は高価であるが、本発明でAgに加えるMo、Wは比
較的安価である。したがって、従来より安価な耐エレク
トロマイグレーションに優れた導電性ペーストを得るこ
とができる。
【0019】
【表1】
【図面の簡単な説明】
【図1】耐エレクトロマイグレーション試験の試料およ
び試験回路である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミックに塗布、焼付けする導電性ペ
    ーストにおいて、導電成分としてMo、Wの少なくとも
    一種類以上とAgとを含有することを特徴とする導電性
    ペースト。
JP22355193A 1993-09-08 1993-09-08 導電性ペースト Pending JPH0778506A (ja)

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JP22355193A JPH0778506A (ja) 1993-09-08 1993-09-08 導電性ペースト

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JP22355193A JPH0778506A (ja) 1993-09-08 1993-09-08 導電性ペースト

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JPH0778506A true JPH0778506A (ja) 1995-03-20

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JP22355193A Pending JPH0778506A (ja) 1993-09-08 1993-09-08 導電性ペースト

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JP (1) JPH0778506A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016017239A1 (ja) * 2014-07-28 2016-02-04 株式会社村田製作所 導電性ペースト、及びガラス物品
WO2017006714A1 (ja) * 2015-07-03 2017-01-12 株式会社村田製作所 導電性ペースト、及びガラス物品

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016017239A1 (ja) * 2014-07-28 2016-02-04 株式会社村田製作所 導電性ペースト、及びガラス物品
WO2017006714A1 (ja) * 2015-07-03 2017-01-12 株式会社村田製作所 導電性ペースト、及びガラス物品

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