JPH0778546B2

JPH0778546B2 - 微動テ−ブル装置

Info

Publication number: JPH0778546B2
Application number: JP62051400A
Authority: JP
Inventors: 稔田久保
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1987-03-06
Filing date: 1987-03-06
Publication date: 1995-08-23
Anticipated expiration: 2010-08-23
Also published as: JPS63217290A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、例えば半導体製造装置のレチクルを載置し
て、このレチクルを高速位置決めする微動テーブル装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来の微動テーブル装置としては、例えば実開昭52−14
7898号公報（第１従来例）に記載されているものがあ
る。

この第１従来例は、ベースと、このベース上に滑動自在
に設けられた被制御体と、この被制御体をその動力方向
に対して直角方向に弾性変位自在に支持した複数の板ば
ねと、上記被制御体の弾性変位方向にこの被制御体と対
向して配設された電磁石とからなり、この電磁石に生じ
る吸引力で上記被制御体を弾性変位させるようにした構
成を有する。

また、他の従来例として本出願人が先に提案した実開昭
58−105604号公報（第２従来例）に記載されているもの
がある。

この第２従来例は、微動台がその一方の対向側面の両端
に板ばねを介してブロックが微動台とブロックが相対的
に前記一方の対向方向に弾性変位できるように連結さ
れ、このブロックが前記板ばねと直交する方向に延長す
る板ばねを介して前記一方の対向方向に直交する方向に
弾性変位できるように粗動テーブル上に固着された支持
ブラケットに連結された構成を有し、微動台の一方の対
向側面を電磁石等で吸引することにより、微動台を例え
ばＹ方向に、ブロックを電磁石等で吸引することによ
り、微動台を例えばＸ方向にそれぞれ微動可能に構成さ
れている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記第１従来例にあっては、被制御体に
一端が固定された板ばねの他端がベースに形成されたス
リット内に緩挿されているので、被制御体の電磁石の吸
引によるＸ方向変位に対して板ばねが撓むと共に、その
撓みによるＸ方向と直角方向となるＹ方向変位量分だけ
スリット内でずれることにより、Ｙ方向変位量を吸収す
るようにしているが、このようにスリット内で板ばねの
ずれを許容するためには、スリットの幅を板ばねの幅よ
り多少広めに選定する必要があり、特に被制御体が無負
荷状態であるときに、Ｙ方向の駆動力が伝達されると、
被制御体がＹ方向にずれるおそれがあると共に、電磁石
によってＸ方向に吸引した場合でも板ばねとスリットと
の摩擦力に差があるときには、被制御体を正確にＸ軸方
向へ平行移動させることができず、このため座標原点や
移動量を正確に維持することができないという問題点が
あった。

また、第２従来例にあっては、微動テーブルをＹ方向に
微動させる場合には、そのＹ方向微動による板ばねの変
位量によってブロックが内方に移動し、このブロックの
内方への移動をこれと支持ブラケット間の板ばねによっ
て許容することが可能であるが、微動テーブルをＸ方向
に移動させる場合には、そのＸ方向の変位量に応じてブ
ロックと支持ブラケット間の板ばねが変位するが、その
変位に対して直交する方向の変位量を吸収することがで
きず、従って専ら板ばねの長手方向の伸びに頼らざるを
得ず、大きな駆動力を必要とするという解決の問題点が
あった。

そこで、この発明は、上記従来例の問題点に着目してな
されたものであり、微動台とこれを支持する支持部材と
の間に、弾性変位部材とこの弾性変位部材の変位により
その変位方向と直交する方向の変位を吸収する弾性変位
吸収部材とを交互に連結した弾性連結部材を設けること
により、微動台のＸ及びＹ方向の変位量を大きくするこ
とができると共に、その駆動力を減少させることが可能
な微動テーブル装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕上記目的を達成するために、この発明は、基台上に固定
された支持部材と、該支持部材に微動載置台を連結部材
を介してXY方向に弾性的に移動可能に連結されてなる微
動テーブル装置において、前記微動載置台の変位方向に
変位する弾性変位部と、該弾性変位部の変位によって前
記連結部材を介して当接弾性変位部の変位を吸収する方
向に変位する弾性変位吸収部とを有し、前記弾性変位部
と弾性変位吸収部とを少なくとも一対有することを特徴
としている。

ここで、前記支持部材、連結部材、弾性変位部、弾性変
位吸収部及び微動載置台はＺ軸に直交する面での断面形
状がＺ軸方向に同一に構成することが望ましい。

〔作用〕

この発明においては、微動載置台とこれを支持する支持
部材との間が、微動載置台と支持部材との相対変位量に
応じて変位する弾性変位部と、該弾性変位部の変位によ
って連結部材を介して当該弾性変位部の変位を吸収する
方向に変位する弾性部材とを少なくとも一対有するの
で、微動載置台が例えばＸ方向に移動する場合に、その
移動に伴って弾性変位部が弾性変位し、この弾性変位を
弾性変位吸収部で吸収することにより、連結部材に無理
な力が作用することを防止し、微動載置台の移動量を大
きくすると共に、その駆動力を大幅に減少させる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図〜第５図はレチクルステージに適用した場合にお
けるこの発明の第１実施例を示す図である。

図中、１はレチクルステージを構成する基台であって、
第４図及び第５図に示すように、中心部に透孔1aが穿設
され、図示しないが上部に配設された光源からの照射光
が後述するレチクルＲを透過して下部に載置されたマス
ク上に照射され、これによってレチクルＲに形成された
パターンをマスクに焼付けることができる。

第１図において、基台１上には、支持部材としての４つ
の支持ブラケット2a〜2dがねじ等の固着手段によって固
着され、これら支持ブラケット2a,2bの左側にそれぞれ
Ｘ方向に延長する板ばね3a,3bを介して連結部材4Lが、
支持ブラケット2c,2dの右側にそれぞれＸ方向に延長す
る板ばね3c,3dを介して連結部材4Rがそれぞれ接続され
ている。

そして、連結部材4Lには、その右側に、板ばね3a,3bの
内側に螺着されたＸ方向に延長する板ばね5a,5bを介し
て連結部材6Lが連結部材4Lと平行に連結され、連結部材
4Rにも同様に、その左側に板ばね3c,3dの内側に螺着さ
れたＸ方向に延長する板ばね5c,5dを介して連結部材6R
が連結部材4Rと平行に連結されている。

連結部材6Lには、その右側面の前後端部にそれぞれ螺着
された前後方向に延長する板ばね7a,7bを介して連結部
材8F,8Rの一端が、連結部材6Rには、その左側面の前後
端部にそれぞれ螺着されたＹ方向に延長する板ばね7c,7
dを介して前記連結部材8F,8Rの他端がそれぞれ連結され
ている。

連結部材8Fには、その板ばね7a,7cの内側に螺着された
Ｙ方向に延長する板ばね9a,9cを介して、連結部材8Rに
は、その板ばね7b,7dの内方に螺着された前後方向に延
長する板ばね9b,9dを介して微動載置台10が連結されて
いる。ここで、各板ばね3a〜3d、5a〜5d、7a〜7d及び9a
〜9dと連結部材4L,4R、6L,6R及び8F,8Rとで弾性連結部
材が構成されている。

この微動載置台10は、平面からみて中心部に透孔10aを
有して略正方形に形成され、その上面の透孔10aの周囲
に真空源（図示せず）に連結されて被載置物例えばレチ
クルＲを吸着保持する真空パッド10bが形成されてお
り、且つ右側部に第４図に示す如くＸ方向に移動可能な
Ｘ方向移動テーブル11に形成された突条11aが接続さ
れ、このＸ方向移動テーブル11がＹ方向に移動可能なＹ
方向移動テーブル12に形成された左右方向に延長する凹
部12a内に摺動可能に配設されている。

このＸ方向移動テーブル11は、その右端部がＸ方向駆動
機構13に連結され、Ｙ方向移動テーブル12はその後端が
Ｙ方向駆動機構14に連結されている。

Ｘ方向駆動機構13は、連結部材4Rの右側にＹ軸に対して
時計方向に僅かに傾斜する軸線L₁に沿ってガイドローラ
21によって往復動自在に案内され且つボールナット22を
固着した中空の杆体23と、そのボールナット22に螺合す
るボールねじ24を回転駆動する直流サーボモータ25とを
備えている。杆体23には、その左側面中央部にＹ方向に
延長する長孔23aを有する案内体23bが一体に取付けら
れ、その長孔23a内に、Ｘ方向移動テーブル11の自由端
に支承された係合ローラ23cが係合され、このＸ方向移
動テーブル11の係合ローラ23cと案内体23bの側板を挾ん
で対向する位置に案内ローラ23dが支承されている。

Ｙ方向駆動機構14は、連結部材8Rの後方側にＸ軸に対し
て時計方向に僅かに傾斜する軸線L₂に沿ってガイドロー
ラ21によって往復動自在に案内され且つボールナット22
を固着した杆体23が配設され、その案内体23bの長孔23a
内にＹ方向移動テーブル12に支承された係合ローラ26が
係合され、このＹ方向移動テーブル12の係合ローラ26と
案内体23bの側板を挟んで対向する位置に案内ローラ27
が支承されていることを除いては前記Ｘ方向駆動機構13
と同様の構成を有し、対応部分には同一符号を付し、そ
の詳細説明はこれを省略する。

また、Ｙ方向移動テーブル12の前端部には、発磁体30が
固着され、この発磁体30が基台１上に固設された検出ヘ
ッド31に対向され、さらに、微動載置台10の左側部下面
に固着されＹ方向移動テーブル12の上面に沿って左方に
延長する支持板32の自由端に発磁体33が固着され、この
発磁体33がＹ方向移動テーブル12の左端に固設された検
出ヘッド34に対向され、これら検出ヘッド31及び34によ
って微動載置台10のＸ方向及びＹ方向の原点位置が検出
され、これら検出値がＸ及びＹ方向駆動機構13,14の直
流サーボモータ25を駆動制御する制御装置（図示せず）
に原点位置検出値としてフィードバックされる。

次に、上記実施例の動作を説明する。今、Ｘ方向駆動機
構13及びＹ方向駆動機構14の杆体23が中立位置即ち第１
図図示の位置にあるものとする。この状態では、支持ブ
ラケット2a〜2dと連結部材4L,4Rとの間に介挿された板
ばね3a〜3d、連結部材4L,4Rと連結部材6L,6Rとの間に介
挿された板ばね5a〜5d、連結部材6L,6Rと連結部材8F,8R
との間に介挿された板ばね7a〜7d及び連結部材8F,8Rと
微動載置台10との間に介挿された板ばね9a〜9dには何ら
水平方向の力が作用しておらず、また各連結部材4L,4
R、6L,6R及び8F,8RがＹ方向移動テーブル12上に摺接し
ているので、垂直方向の力も殆ど作用しておらず弾性変
形を生じない状態にある。

この中立状態から、例えばＸ方向駆動機構13の直流サー
ボモータ25を例えば正転（又は逆転）駆動して、杆体23
を後方（又は前方）に摺動させると、この杆体23の後方
（又は前方）の摺動に応じて、案内体23bの長孔23aが後
方（又は前方）に移動しながら右方（又は左方）に移動
することになり、この長孔23a内に係合している係合ロ
ーラ23cが右方（又は左方）に移動するので、Ｘ方向移
動テーブル11が右方（又は左方）に摺動して、これに連
結されている微動載置台10がＸ方向に移動を開始する。

このように、微動載置台10が右（又は左）方向に移動を
開始すると、Ｘ方向に延長する板ばね3a〜3d及び5a〜5d
についてはその延長方向と直交する方向の弾性変位を生
じることはなく、Ｙ方向に延長する板ばね9a〜9dについ
ては、微動載置台10がΔＸだけ右方（又は左方）に移動
すると、微動載置台10側を基準として先端側が相対的に
左方（又は右方）に弾性変位し、これに応じて連結部材
8F,8RもΔX/2だけ右方（又は左方）に移動する。一方、
連結部材6L,6Rは原位置を保持しているので、板ばね7a
〜7dの先端が連結部材6L,6R側を基準として先端側が右
方（又は左方）に弾性変位する。したがって、連結部材
8F,8Rは、板ばね9a〜9dの弾性変位によって微動載置台1
0側に引き寄せられることになり、この場合の移動量
を、他方の板ばね7a〜7dが前記移動量を吸収する方向に
弾性変位し吸収することができ、両板ばね7a〜7d及び9a
〜9dには大きな引張り力が作用することはなく、微動載
置台10の右方（又は左方）への移動を軽く行うことがで
きると共に、微動載置台10のＸ方向移動量を２組の板ば
ね9a〜9d及び7a〜7dに分割した弾性変位量とすることが
できる。ここで、板ばね9a〜9dが弾性変位部に、板ばね
7a〜7dが弾性変位吸収部にそれぞれ対応している。

同様に、微動載置台10が中立位置にある状態から、Ｙ方
向駆動機構14の直流サーボモータ25を例えば正転（又は
逆転）させて、杆体23を左方（又は右方）に摺動させた
ときには、Ｙ方向移動テーブル12がＸ方向移動テーブル
11を載置した状態で後方（又は前方）に移動するので、
微動載置台10が後方（又は前方）にＹ軸に沿って移動を
開始する。

このように微動載置台10が後方（又は前方）にＹ軸に沿
って移動を開始すると、Ｙ軸方向に延長する板ばね7a〜
7d及び9a〜9dについてはその長手方向と直交する方向の
弾性変位は生ぜず、このため連結部材8F.8R及び6L,6Rが
微動載置台10と同じ移動量ΔＹだけ後方に移動し、Ｘ軸
方向に延長する板ばね5a〜5dが、連結部材6L,6Rの後方
（又は前方）への移動によって、連結部材6L,6R側を基
準として先端側が相対的に前方（又は後方）側に弾性変
位し、これに伴って連結部材4L,4Rが後方（又は前方）
にΔY/2だけ移動し、これに応じて板ばね3a〜3dが支持
ブラケット2a〜2d側を基準として後方（又は前方）に弾
性変位する。したがって、板ばね5a〜5dの前方（又は後
方）への弾性変位による連結部材4L,4Rの内側への移動
量を板ばね3a〜3dの弾性変位によって吸収することがで
き、連結部材4L,4Rが円滑に内方に移動し、Ｙ方向移動
テーブル12の移動を小さい駆動力で円滑に行うことがで
きると共に、微動載置台10の移動量ΔＹを板ばね3a〜3d
と板ばね5a〜5dとに分割した弾性変位量とすることがで
きるので、微動載置台10の移動量をＸ方向移動量ΔＸと
同様に大きく採ることができる。ここで、板ばね5a〜5d
が弾性変位部に、板ばね3a〜3dが弾性変位吸収部にそれ
ぞれ対応している。

さらに、Ｘ軸駆動機構13及びＹ軸駆動機構14の直流サー
ボモータ25を同時に駆動して同時２軸制御を行う場合に
は、両者の直流サーボモータ25の回転に応じてＸ方向移
動テーブル11及びＹ方向移動テーブル12が移動して微動
載置台10を所定位置に速やかに移動させることができ
る。

また、微動載置台10を中立位置即ち制御原点に復帰させ
るには、それぞれ直流サーボモータ25を逆回転させて、
杆体23を第１図図示の状態に復帰させることにより行う
ことができ、この際に弾性変位している板ばねがその弾
力によって原位置に復帰するので、制御原点がドリフト
することなく、正確に原点復帰を行うことができる。

なお、微動載置台10をＸ方向及びＹ方向に移動させる
と、その移動量に応じて発磁体30,33が移動し、その移
動量が検出ヘッド31,34で検出され、これらの原点位置
検出値を直流サーボモータ25の制御装置（図示せず）に
フィードバック信号として入力することにより、正確な
原点位置決め制御を行うことができる。

次に、この発明の第２実施例を第６図について説明す
る。

この第２実施例は、支持ブラケット2a〜2dに代えて枠状
の支持部材２とし、これと板ばね、連結部材及び微動載
置台とを一体形成するようにしたものである。

すなわち、第６図に示すように、所定の平面度に仕上げ
た例えばマルテンサイト系ステンレス製の方形板材を、
ワイヤカット放電加工機で放電加工することにより、板
ばね3a〜3d、5a〜5d、7a〜7d、及び9a〜9dと、連結部材
4L,4R、6L,6R及び8F,8Rと、微動載置台10を一体に形成
する。

この第６図においては微動載置台10をXY方向に駆動する
駆動機構が図示されていないが、XY移動機構としては、
例えば実開昭52−147898号に記載されているように、ベ
ースとベース上に滑動自在に設けられた被制御体（微動
載置台10に相当する）と、この被制御体に対してXY方向
に夫々対向配置された電磁石とを設け、電磁石に生ずる
吸引力で被制御体にXY方向の変位を与える構成としても
よく、また枠状の支持部材２を前述した第１実施例の支
持ブラケット2a〜2d上に載置することにより、第１実施
例と同様にＸ方向駆動機構13で駆動されるＸ方向移動テ
ーブル11及びＹ方向駆動機構14で駆動されるＹ方向移動
テーブル12によって微動載置台10がXY方向に駆動するよ
うにしてもよく、要は微動載置台10をXY方向に独立に移
動可能な駆動機構を適用すればよい。

この第６図においては、微動載置台10が右方（Ｘ方向）
にΔＸだけ移動すると、板ばね9a〜9dは微動載置台10の
移動方向にＸ方向にハの字状に変位する。この移動に伴
って板ばね7a〜7dは、連結部材8R,8Fが右方にΔX/2だけ
変位して変位を吸収するように前記板ばね9a〜9dのハの
字と逆方向にハの字状に変形して連結部材8R,8Fを微動
載置台10のある内方に引き寄せる。

したがって、第６図では、板ばね9a〜9dが弾性変位部に
相当し、板ばね7a〜7dが弾性変位吸収部に相当してい
る。

この第２実施例によると、支持部材、板ばね、連結部材
及び微動載置台の構成自体は前記第１実施例と同様の構
成を有するので、第１実施例と同様の作用効果を得るこ
とができるものであるが、これに加えて支持部材、板ば
ね、連結部材及び微動載置台が一体形成されているの
で、これらをビス等で螺着する組立工程を省略すること
ができると共に、微動載置台10の平面度，平行度等の静
的精度を無調整で十分確保することができる利点があ
る。

次に、この発明の第３実施例を第７図について説明す
る。

この第３実施例は、平行な板ばねに代えて互いに直交す
る方向の板ばねを交互に連結することにより、前記第１
実施例と同様の作用効果を得るようにしたものである。

すなわち、第７図に示すように、基台１上に固定配置さ
れた枠状の支持部材２にＹ方向に延長する板ばね41a〜4
1dを介してＹ方向に延長する連結部材42L,42Rを連結
し、これら連結部材42L,42RにＸ方向に延長する板ばね4
3a〜43dを介してＸ方向に延長する連結部材44F,44Rを連
結し、これら連結部材44F,44RにＹ方向に延長する板ば
ね45a〜45dを介してＹ方向に延長する連結部材46L,46R
を連結し、これら連結部材46L,46RにＸ方向に延長する
板ばね47a〜47dを介してＸ方向に延長する連結部材48F,
48Rを連結し、これら連結部材48F,48RにＸ方向に延長す
る板ばね49a〜49dを介して微動載置台50が連結され、こ
の微動載置台50が前述した第２実施例と同様に電磁石で
直接駆動されるか又は第１実施例と同様のＸ方向移動テ
ーブル11及びＹ方向移動テーブル12を介してＸ方向駆動
機構13及びＹ方向駆動機構14によってXY方向に駆動され
る。

この第３実施例によると、微動載置台50をＸ方向の左方
（又は右方）に移動させると、その中立状態からの移動
量が少ない間は、板ばね49a〜49dがＹ方向に延長してい
るので、これら板ばね49a〜49dが微動載置台50を基準と
してその先端側が右方（又は左方）に弾性変位し、この
弾性変位によって連結部材48F,48Rが内方に僅かに引き
寄せられ、これら連結部材48F,48Rの移動が弾性変位吸
収部となる板ばね47a〜47dが連結部材46L,46Rを基準と
してその先端側が内方に弾性変位することによって許容
される。また、微動載置台50の移動量が大きくなって、
板ばね49a〜49dの弾性変位のみでは吸収し得ない状態と
なると、未吸収の移動量が板ばね47a〜47dを介して連結
部材46L,46Rが左方（又は右方）に移動し、この移動量
が板ばね45a〜45dの弾性変位によって許容され、これら
板ばね45a〜45dの弾性変位による連結部材44F,44Rの内
方への移動が板ばね43a〜43dの弾性変位によって許容さ
れる。

以上のように微動載置台50のＸ方向の移動に際しては板
ばね49a〜49dが弾性変位部に相当し、その他の板ばね47
a〜47d,45a〜45d,43a〜43d,41a〜41dが弾性変位吸収部
に相当する。

したがって、微動載置台50のＸ方向の移動による板ばね
49a〜49dの弾性変位による連結部材の僅かな移動を次段
の板ばねで吸収するようにしているので、小さな駆動力
で板ばね49a〜49d自体の弾性変位量を大きく採ることが
できると共に、板ばね45a〜45dも微動載置台50のＸ方向
の移動に応じて弾性変位するので、微動載置台50の移動
量をより大きく採ることができ、精密な位置決めを行う
場合の位置決め回数を減少させて露光装置等の作業効率
を大幅に向上させることができ、前記第１実施例と同様
の作用効果を得ることができる。

また、微動載置台50をＹ方向に移動させた場合には、板
ばね49a〜49dが弾性変位せず、板ばね47a〜47d及び43a
〜43dが弾性変位し、その弾性変位に伴う連結部材46L,4
6R及び42L,42Rの移動を板ばね45a〜45d及び41a〜41dで
吸収することができる。

以上のように微動載置台50のＹ方向の移動に際しては板
ばね47a〜47dが弾性変位部に相当し、その他の板ばね45
a〜45d,43a〜43d,41a〜41dが弾性変位吸収部に相当す
る。

さらに、この第３実施例においては、連結部材を８本設
けた場合について説明したが、微動載置台50の移動量及
び板ばねの弾性係数の設定値に応じて最外周の連結部材
42L,42Rを省略したり、第８図に示すように連結部材42
F,42Rの外側にさらに板ばね51a〜51dを介して連結部材5
2F,52Rを連結し、これら連結部材52F,52Rに板ばね53a〜
53dを介して連結部材54L,54Rを増設することができるこ
とは言うまでもない。この第８図においては、微動載置
台50がＸ方向に移動するときは、第７図と同じく、板ば
ね45a〜45dが弾性変位部に相当し、板ばね43a〜43d,51a
〜51d,53a〜53d,41a〜41dが弾性変位吸収部に相当し、
また微動載置台50がＹ方向に移動するときは、板ばね47
a〜47dが弾性変位部に相当し、板ばね45a〜45d,51a〜51
d,53a〜53d,41a〜41dが弾性変位吸収部に相当する。

なお、上記各実施例においては、Ｘ方向駆動機構13及び
Ｙ方向駆動機構14として、ボールねじ、ボールナット及
び直流サーボモータを適用した場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、電磁石、流体圧シ
リンダ等の他の駆動機構を適用し得ることは勿論であ
る。

また、第１図、第６図、第７図、第８図において、微動
載置台10（又は50）をＸ及びＹ方向に移動させた実施例
を説明したが、微動載置台10（又は50）を基台１に固定
して支持部材とし、支持部材２又は支持ブラケット2a〜
2dを微動載置台としてＸ及びＹ方向に移動させるように
しても上記実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、微動載置台の
移動量に応じて弾性変位する弾性変位部とこの弾性変位
部の弾性変位によって生じる連結部材の移動を許容する
弾性変位吸収部とを少なくとも一対有する構成を有する
ので、弾性変位部には弾性変位を妨げる無理な引張り力
が作用することがなく、弾性変位部自体の弾性変位量を
大きくすることができると共に、小さい駆動力で大きな
移動量を確保することができ、微小距離毎に位置決めを
行う場合の微動テーブルの移動回数を減少させて、位置
決め効率を向上させることができ、しかも制御原点がド
リフトすることを確実に防止することができる等の効果
が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例を示す平面図、第２図及
び第３図はそれぞれ第１図の正面図及び左側面図、第４
図及び第５図はそれぞれ第１図のIV−IV線及びＶ−Ｖ線
断面図、第６図はこの発明の第２実施例を示す平面図、
第７図はこの発明の第３実施例を示す平面図、第８図は
第３実施例の変形例を示す平面図である。図中、１は基台、２は支持部材、2a〜2dは支持ブラケッ
ト、3a〜3d、5a〜5d、7a〜7d及び9a〜9dは板ばね、4L,4
R、6L,6R及び8F,8Rは連結部材、10は微動載置台、11は
Ｘ方向移動テーブル、12はＹ方向移動テーブル、13はＸ
方向駆動機構、14はＹ方向駆動機構、22はボールナッ
ト、23は杆体、24はボールねじ、25は直流サーボモー
タ、41a〜41d、43a〜43d、45a〜45d、47a〜47d及び49a
〜49dは板ばね、42L,42R、44F,44R、46L,46R及び48F,48
Rは連結部材、50は微動載置台、51a〜51d、53a〜53dは
板ばね、52F,52R、54L,54Rは連結部材である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台上に固定された支持部材と、該支持部
材に微動載置台を連結部材を介してXY方向に弾性的に移
動可能に連結されてなる微動テーブル装置において、前
記微動載置台の変位方向に変位する弾性変位部と、該弾
性変位部の変位によって前記連結部材を介して当該弾性
変位部の変位を吸収する方向に変位する弾性変位吸収部
とを有し、前記弾性変位部と弾性変位吸収部とを少なく
とも一対有することを特徴とする微動テーブル装置。
【請求項２】前記支持部材、連結部材、弾性変位部、弾
性変位吸収部及び微動載置台がＺ軸に直交する面での断
面形状がＺ軸方向に同一に構成されている特許請求の範
囲第１項記載の微動テーブル装置。