JPH08323567A - Ｘｙテーブル - Google Patents
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- JPH08323567A JPH08323567A JP7133198A JP13319895A JPH08323567A JP H08323567 A JPH08323567 A JP H08323567A JP 7133198 A JP7133198 A JP 7133198A JP 13319895 A JP13319895 A JP 13319895A JP H08323567 A JPH08323567 A JP H08323567A
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- Japan
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- axis
- stage
- bar guide
- guide
- slide block
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- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 発塵が生じない位置決め精度の高いＸＹテー
ブルを提供する。 【構成】 Ｘ軸用リニアモータ１６の駆動によりＸ軸用
バーガイド２に沿って移動されるスライドブロック４、
およびＹ軸用リニアモータ１７の駆動によりＹ軸用バー
ガイド３に沿って移動されるスライドブロック５を空気
軸受で支持する。一方のスライドブロック４に端部が固
定されたサブバーガイド９をステージ１０に設けた挿通
孔１１に挿通し、空気軸受で支持する。ステージ１０に
端部が固定されたサブバーガイド１４を他方のスライド
ブロック５に形成された挿通孔１５に挿通し、空気軸受
により非接触に支持する。ステージ１０の下面の永久磁
石２５がＸ軸用リニアモータ１６のヨーク１８上面を吸
引する磁気吸引力とステージ１０のノズル２６からヨー
ク上面に噴射される圧縮エアのエア圧とをバランスさせ
てステージ１０を非接触に保持し、その状態でステージ
１０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
ブルを提供する。 【構成】 Ｘ軸用リニアモータ１６の駆動によりＸ軸用
バーガイド２に沿って移動されるスライドブロック４、
およびＹ軸用リニアモータ１７の駆動によりＹ軸用バー
ガイド３に沿って移動されるスライドブロック５を空気
軸受で支持する。一方のスライドブロック４に端部が固
定されたサブバーガイド９をステージ１０に設けた挿通
孔１１に挿通し、空気軸受で支持する。ステージ１０に
端部が固定されたサブバーガイド１４を他方のスライド
ブロック５に形成された挿通孔１５に挿通し、空気軸受
により非接触に支持する。ステージ１０の下面の永久磁
石２５がＸ軸用リニアモータ１６のヨーク１８上面を吸
引する磁気吸引力とステージ１０のノズル２６からヨー
ク上面に噴射される圧縮エアのエア圧とをバランスさせ
てステージ１０を非接触に保持し、その状態でステージ
１０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ボンディングマシン
等の半導体製造装置や検査装置等に用いられるＸＹテー
ブルに関するものである。
等の半導体製造装置や検査装置等に用いられるＸＹテー
ブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワーク支持用のテーブルが取付けられる
ステージをＸ軸方向とＹ軸方向とに位置決めするＸＹテ
ーブルとして、ベース上に可動台を設け、その可動台上
にステージを配置し、上記可動台を一方向に直線的に移
動させると共に、ステージを可動台の移動方向に対して
直交方向に移動させるようにしたものが従来から知られ
ている。
ステージをＸ軸方向とＹ軸方向とに位置決めするＸＹテ
ーブルとして、ベース上に可動台を設け、その可動台上
にステージを配置し、上記可動台を一方向に直線的に移
動させると共に、ステージを可動台の移動方向に対して
直交方向に移動させるようにしたものが従来から知られ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ＸＹテ
ーブルにおいては、可動台およびステージの案内がクロ
スローラガイド等を用いる機械的接触による案内である
ため、接触部における摩耗を防止することができず、そ
の摩耗のため、位置決め精度が低下すると共に、短寿命
であり、発塵の問題がある。
ーブルにおいては、可動台およびステージの案内がクロ
スローラガイド等を用いる機械的接触による案内である
ため、接触部における摩耗を防止することができず、そ
の摩耗のため、位置決め精度が低下すると共に、短寿命
であり、発塵の問題がある。
【０００４】また、可動台の移動時、その可動台にステ
ージの重量が加わるため、可動部の重量が重く、制御が
困難であって位置決めの精度が低いという問題がある。
ージの重量が加わるため、可動部の重量が重く、制御が
困難であって位置決めの精度が低いという問題がある。
【０００５】この発明の課題は、発塵がなく、位置決め
精度の高い長寿命のＸＹテーブルを提供することであ
る。
精度の高い長寿命のＸＹテーブルを提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、ベース上にＸ軸用とＹ軸用
の２本のバーガイドを直交状に設け、各バーガイドに空
気軸受を介してスライドブロックをスライド自在に設
け、Ｘ軸用バーガイドに沿ってスライド自在の一方のス
ライドブロックにＹ軸用バーガイドと平行するＹ軸用サ
ブバーガイドの一端部を固定し、他方のスライドブロッ
クにＸ軸用バーガイドと平行するＸ軸用サブバーガイド
を空気軸受を介してスライド自在に支持し、このＸ軸用
サブバーガイドの端部をＹ軸用サブバーガイドに空気軸
受を介してスライド自在に支持されたステージに固定
し、前記ベース上に各スライドブロックをそれと対向す
るバーガイドに沿って移動させるＸ軸用およびＹ軸用の
リニアモータのヨークを設け、Ｘ軸用リニアモータのヨ
ークにはステージの移動を案内する案内面を設け、ステ
ージには上記案内面と対向する下面にヨークとの間で磁
気回路を形成する永久磁石を埋め込むと共に、上記ステ
ージと案内面との間に圧縮エアを噴射する複数のノズル
を設けた構成を採用している。
めに、この発明においては、ベース上にＸ軸用とＹ軸用
の２本のバーガイドを直交状に設け、各バーガイドに空
気軸受を介してスライドブロックをスライド自在に設
け、Ｘ軸用バーガイドに沿ってスライド自在の一方のス
ライドブロックにＹ軸用バーガイドと平行するＹ軸用サ
ブバーガイドの一端部を固定し、他方のスライドブロッ
クにＸ軸用バーガイドと平行するＸ軸用サブバーガイド
を空気軸受を介してスライド自在に支持し、このＸ軸用
サブバーガイドの端部をＹ軸用サブバーガイドに空気軸
受を介してスライド自在に支持されたステージに固定
し、前記ベース上に各スライドブロックをそれと対向す
るバーガイドに沿って移動させるＸ軸用およびＹ軸用の
リニアモータのヨークを設け、Ｘ軸用リニアモータのヨ
ークにはステージの移動を案内する案内面を設け、ステ
ージには上記案内面と対向する下面にヨークとの間で磁
気回路を形成する永久磁石を埋め込むと共に、上記ステ
ージと案内面との間に圧縮エアを噴射する複数のノズル
を設けた構成を採用している。
【０００７】また、他の発明では、上記発明におけるＸ
軸用サブバーガイドをステージにスライド自在に貫通さ
せて空気軸受を介してステージを支持し、そのＸ軸用サ
ブバーガイドの端部をＹ軸用バーガイドに沿ってスライ
ド自在に支持されたスライドブロックに固定している。
軸用サブバーガイドをステージにスライド自在に貫通さ
せて空気軸受を介してステージを支持し、そのＸ軸用サ
ブバーガイドの端部をＹ軸用バーガイドに沿ってスライ
ド自在に支持されたスライドブロックに固定している。
【０００８】
【作用】上記の構成から成るＸＹテーブルにおいては、
ステージに設けられたノズルから案内面に圧縮エアを噴
射し、ステージと案内面間に形成される空気膜の圧力と
永久磁石がヨークを吸着する磁気吸引力とをバランスさ
せ、ステージを案内面に対して非接触に保持する状態
で、Ｘ軸用およびＹ軸用リニアモータを駆動してステー
ジをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
ステージに設けられたノズルから案内面に圧縮エアを噴
射し、ステージと案内面間に形成される空気膜の圧力と
永久磁石がヨークを吸着する磁気吸引力とをバランスさ
せ、ステージを案内面に対して非接触に保持する状態
で、Ｘ軸用およびＹ軸用リニアモータを駆動してステー
ジをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１乃至図５は、この発明に係るＸＹテー
ブルの第１の実施例を示す。図１および図２に示すよう
に、ベース１の上側には２本のバーガイド２、３が直交
状に配置されている。
ブルの第１の実施例を示す。図１および図２に示すよう
に、ベース１の上側には２本のバーガイド２、３が直交
状に配置されている。
【００１１】ここで、説明の都合上、一方のバーガイド
２をＸ軸用とし、他方のバーガイド３をＹ軸用とする。
２をＸ軸用とし、他方のバーガイド３をＹ軸用とする。
【００１２】上記バーガイド２、３のそれぞれには、ス
ライドブロック４、５が支持されている。図３は一方の
スライドブロック４の支持部を示す。一方のスライドブ
ロック４はバーガイド２が挿通される挿通孔６を有し、
その挿通孔６とバーガイド２との間に軸受すきま７が形
成されている。また、スライドブロック４には上記軸受
すきま７に連通するエア通路８が設けられ、このエア通
路８から軸受すきま７に圧縮エアを供給して空気軸受を
形成し、その空気軸受によってスライドブロック４がス
ライド自在に支持される。
ライドブロック４、５が支持されている。図３は一方の
スライドブロック４の支持部を示す。一方のスライドブ
ロック４はバーガイド２が挿通される挿通孔６を有し、
その挿通孔６とバーガイド２との間に軸受すきま７が形
成されている。また、スライドブロック４には上記軸受
すきま７に連通するエア通路８が設けられ、このエア通
路８から軸受すきま７に圧縮エアを供給して空気軸受を
形成し、その空気軸受によってスライドブロック４がス
ライド自在に支持される。
【００１３】なお、他方のスライドブロック５も上記と
同様に空気軸受によってスライド自在に支持される。
同様に空気軸受によってスライド自在に支持される。
【００１４】Ｘ軸用バーガイド２によってスライド自在
に支持されたスライドブロック４には、図１に示すよう
に、Ｙ軸用バーガイド３に平行するＹ軸用サブバーガイ
ド９の一端部が固定され、そのサブバーガイド９に沿っ
てステージ１０がスライド自在に支持されている。
に支持されたスライドブロック４には、図１に示すよう
に、Ｙ軸用バーガイド３に平行するＹ軸用サブバーガイ
ド９の一端部が固定され、そのサブバーガイド９に沿っ
てステージ１０がスライド自在に支持されている。
【００１５】図４に示すように、ステージ１０はサブバ
ーガイド９が挿通される挿通孔１１を有し、その挿通孔
１１とサブバーガイド９との間に軸受すきま１２が設け
られている。また、ステージ１０には上記軸受すきま１
２に連通するエア通路１３が形成され、このエア通路１
３から軸受すきま１２に供給される圧縮エアによって空
気軸受が形成される。ステージ１０はその空気軸受によ
ってスライド自在に支持される。
ーガイド９が挿通される挿通孔１１を有し、その挿通孔
１１とサブバーガイド９との間に軸受すきま１２が設け
られている。また、ステージ１０には上記軸受すきま１
２に連通するエア通路１３が形成され、このエア通路１
３から軸受すきま１２に供給される圧縮エアによって空
気軸受が形成される。ステージ１０はその空気軸受によ
ってスライド自在に支持される。
【００１６】ステージ１０にはＸ軸用バーガイド２に平
行するＸ軸用サブバーガイド１４の一端部が固定されて
いる。サブバーガイド１４はＹ軸用バーガイド３に沿っ
てスライド自在に支持されたスライドブロック５の挿通
孔１５に挿通され、図３に示した場合と同様に、空気軸
受によってスライド自在に支持されている。
行するＸ軸用サブバーガイド１４の一端部が固定されて
いる。サブバーガイド１４はＹ軸用バーガイド３に沿っ
てスライド自在に支持されたスライドブロック５の挿通
孔１５に挿通され、図３に示した場合と同様に、空気軸
受によってスライド自在に支持されている。
【００１７】Ｘ軸用バーガイド２上のスライドブロック
４はＸ軸用リニアモータ１６の駆動によってＸ軸用バー
ガイド２に沿って移動される。
４はＸ軸用リニアモータ１６の駆動によってＸ軸用バー
ガイド２に沿って移動される。
【００１８】一方、Ｙ軸用バーガイド３上のスライドブ
ロック５はＹ軸用リニアモータ１７の駆動によってＹ軸
用バーガイド３に沿って移動される。
ロック５はＹ軸用リニアモータ１７の駆動によってＹ軸
用バーガイド３に沿って移動される。
【００１９】Ｘ軸用リニアモータ１６およびＹ軸用リニ
アモータ１７は、ヨーク１８と、コイル１９とから成
り、ヨーク１８は一対のサイドヨーク２０と、その間に
設けられたセンターヨーク２１とを有し、上記コイル１
９はセンターヨーク２１に嵌合され、そのコイル１９の
内周とセンターヨーク２１の外周間に所要のギャップが
設けられている。
アモータ１７は、ヨーク１８と、コイル１９とから成
り、ヨーク１８は一対のサイドヨーク２０と、その間に
設けられたセンターヨーク２１とを有し、上記コイル１
９はセンターヨーク２１に嵌合され、そのコイル１９の
内周とセンターヨーク２１の外周間に所要のギャップが
設けられている。
【００２０】一対のサイドヨーク２０には、センターヨ
ーク２１と対向する面に永久磁石２２が取付けられてい
る。
ーク２１と対向する面に永久磁石２２が取付けられてい
る。
【００２１】Ｘ軸用リニアモータ１６におけるヨーク１
８は、一対のサイドヨーク２０が上下に位置する状態で
ステージ１０の下方におけるベース１上に固定されてお
り、一方、コイル１９はスライドブロック４の下部に固
定されいてる。
８は、一対のサイドヨーク２０が上下に位置する状態で
ステージ１０の下方におけるベース１上に固定されてお
り、一方、コイル１９はスライドブロック４の下部に固
定されいてる。
【００２２】Ｙ軸用リニアモータ１７におけるヨーク１
８は、一対のサイドヨーク２０が左右に位置する状態で
ベース１上に固定され、一方、コイル１９はスライドブ
ロック５の下部に固定されている。
８は、一対のサイドヨーク２０が左右に位置する状態で
ベース１上に固定され、一方、コイル１９はスライドブ
ロック５の下部に固定されている。
【００２３】このため、Ｘ軸用リニアモータ１６のコイ
ル１９に通電することによってステージ１０はＸ軸用バ
ーガイド２に沿って移動し、Ｙ軸用リニアモータ１７に
コイル１９に通電することによってステージ１０はＹ軸
用バーガイド３に沿って移動する。
ル１９に通電することによってステージ１０はＸ軸用バ
ーガイド２に沿って移動し、Ｙ軸用リニアモータ１７に
コイル１９に通電することによってステージ１０はＹ軸
用バーガイド３に沿って移動する。
【００２４】Ｘ軸用リニアモータ１６のヨーク１８には
ステージ１０の移動する案内面２３が設けられている。
図４および図５に示すように、ステージ１０の上記案内
面２３と対向する下面の四隅にはカップ状のヨーク２４
が埋め込まれ、各ヨーク２４の内側にステージ１０との
間で磁気回路を形成する永久磁石２５が取付けられてい
る。
ステージ１０の移動する案内面２３が設けられている。
図４および図５に示すように、ステージ１０の上記案内
面２３と対向する下面の四隅にはカップ状のヨーク２４
が埋め込まれ、各ヨーク２４の内側にステージ１０との
間で磁気回路を形成する永久磁石２５が取付けられてい
る。
【００２５】また、ステージ１０には、そのステージ１
０の下面で開口する複数のノズル２６が形成されてい
る。各ノズル２６はエア通路１３と連通し、そのノズル
２６から案内面２３に向けて圧縮エアを噴射し、案内面
２３との間で形成される空気膜の圧力と永久磁石２５の
磁気吸引力とがバランスするところでステージ１０はヨ
ーク１８に対して非接触の状態に保持される。このと
き、ステージ１０とヨーク１８の案内面２３間に形成さ
れるギャップは数μｍとされている。
０の下面で開口する複数のノズル２６が形成されてい
る。各ノズル２６はエア通路１３と連通し、そのノズル
２６から案内面２３に向けて圧縮エアを噴射し、案内面
２３との間で形成される空気膜の圧力と永久磁石２５の
磁気吸引力とがバランスするところでステージ１０はヨ
ーク１８に対して非接触の状態に保持される。このと
き、ステージ１０とヨーク１８の案内面２３間に形成さ
れるギャップは数μｍとされている。
【００２６】実施例で示すＸＹテーブルは上記構造から
成り、ステージ１０の位置決めに際しては、そのステー
ジ１０のノズル２６から案内面２３に向けて圧縮エアを
噴射させ、ステージ１０の下面とヨーク２４の案内面２
３間に形成される空気膜の圧力と永久磁石２５の磁気吸
引力とをバランスさせてステージ１０を案内面２３に対
して非接触の状態に保持する。
成り、ステージ１０の位置決めに際しては、そのステー
ジ１０のノズル２６から案内面２３に向けて圧縮エアを
噴射させ、ステージ１０の下面とヨーク２４の案内面２
３間に形成される空気膜の圧力と永久磁石２５の磁気吸
引力とをバランスさせてステージ１０を案内面２３に対
して非接触の状態に保持する。
【００２７】また、図３に示すエア通路８に圧縮エアを
供給してスライドブロック４とバーガイド２との間に空
気軸受を形成してスライドブロック４を非接触の状態に
保持すると共に、Ｙ軸用バーガイド３上のスライドブロ
ック５およびＸ軸用サブバーガイド１４も空気軸受の形
成によって非接触の状態に保持する。
供給してスライドブロック４とバーガイド２との間に空
気軸受を形成してスライドブロック４を非接触の状態に
保持すると共に、Ｙ軸用バーガイド３上のスライドブロ
ック５およびＸ軸用サブバーガイド１４も空気軸受の形
成によって非接触の状態に保持する。
【００２８】上記の状態において、Ｘ軸用リニアモータ
１６を駆動して、ステージ１０をＸ軸用バーガイド２に
沿って移動させると共に、Ｙ軸用リニアモータ１７を駆
動して、ステージ１０をＹ軸用バーガイド３に沿って移
動させる。
１６を駆動して、ステージ１０をＸ軸用バーガイド２に
沿って移動させると共に、Ｙ軸用リニアモータ１７を駆
動して、ステージ１０をＹ軸用バーガイド３に沿って移
動させる。
【００２９】上記のようなステージ１０の移動時、その
ステージ１０は案内面２３に対して非接触の状態で移動
すると共に、スライドブロック４、５のそれぞれはＸ軸
用バーガイド２およびＹ軸用バーガイド３に対して非接
触の状態で移動するため、発塵の発生は全くない。
ステージ１０は案内面２３に対して非接触の状態で移動
すると共に、スライドブロック４、５のそれぞれはＸ軸
用バーガイド２およびＹ軸用バーガイド３に対して非接
触の状態で移動するため、発塵の発生は全くない。
【００３０】また、ステージ１０の案内が非接触の案内
であるため、小さな駆動力でもってステージ１０を移動
させることができると共に、Ｘ軸用リニアモータ１６の
駆動時、スライドブロック４、ステージ１０および２本
のサブバーガイド９、１４が移動し、また、Ｙ軸用リニ
アモータ１７の駆動時、スライドブロック５、ステージ
１０およびＸ軸用サブバーガイド１４が移動するだけで
あるため、可動部の重量が軽く、ステージ１０の位置決
めの制御が容易であって、ステージ１０を小型のリニア
モータによりきわめて高精度に位置決めすることができ
る。
であるため、小さな駆動力でもってステージ１０を移動
させることができると共に、Ｘ軸用リニアモータ１６の
駆動時、スライドブロック４、ステージ１０および２本
のサブバーガイド９、１４が移動し、また、Ｙ軸用リニ
アモータ１７の駆動時、スライドブロック５、ステージ
１０およびＸ軸用サブバーガイド１４が移動するだけで
あるため、可動部の重量が軽く、ステージ１０の位置決
めの制御が容易であって、ステージ１０を小型のリニア
モータによりきわめて高精度に位置決めすることができ
る。
【００３１】図６乃至図８はこの発明の第２の実施例を
示す。この実施例では、Ｘ軸用リニアモータ１６のヨー
ク１８上にＹ軸用リニアモータ１７のヨーク１８を、そ
のヨーク１８の一対のサイドヨーク２０が上下に位置す
るように取付け、そのＹ軸用ヨーク１８にステージ１０
の移動を案内する案内面２３ａを設けている。
示す。この実施例では、Ｘ軸用リニアモータ１６のヨー
ク１８上にＹ軸用リニアモータ１７のヨーク１８を、そ
のヨーク１８の一対のサイドヨーク２０が上下に位置す
るように取付け、そのＹ軸用ヨーク１８にステージ１０
の移動を案内する案内面２３ａを設けている。
【００３２】また、Ｘ軸用リニアモータ１６のコイル１
９をＹ軸用サブバーガイド９の端部に固定されたアーム
２７で支持してコイル１９の安定化を図っている。
９をＹ軸用サブバーガイド９の端部に固定されたアーム
２７で支持してコイル１９の安定化を図っている。
【００３３】他の構成は第１の実施例と同様であるた
め、同一部品には同一符号を付して説明を省略する。ま
た、作用も第１実施例におけるＸＹテーブルと同様であ
るため、説明を省略する。
め、同一部品には同一符号を付して説明を省略する。ま
た、作用も第１実施例におけるＸＹテーブルと同様であ
るため、説明を省略する。
【００３４】第２の実施例のように、Ｘ軸用リニアモー
タ１６のヨーク１８とＹ軸用リニアモータ１７のヨーク
１８とを上下に積み重ねた配置とすることによって、Ｘ
Ｙテーブルの小型化を図ることができる。
タ１６のヨーク１８とＹ軸用リニアモータ１７のヨーク
１８とを上下に積み重ねた配置とすることによって、Ｘ
Ｙテーブルの小型化を図ることができる。
【００３５】図９乃至図１１はこの発明の第３の実施例
を示す。この実施例では、第２実施例におけるＸ軸用サ
ブバーガイド１４をＹ軸用サブバーガイド９より上方に
配置し、そのＸ軸用サブバーガイド１４をステージ１０
にスライド自在に貫通させると共に、ステージ１０を空
気軸受を介して支持し、上記Ｘ軸用サブバーガイド１４
の一端部をＹ軸用バーガイド３に沿ってスライド自在に
支持されたスライドブロック５に固定している。
を示す。この実施例では、第２実施例におけるＸ軸用サ
ブバーガイド１４をＹ軸用サブバーガイド９より上方に
配置し、そのＸ軸用サブバーガイド１４をステージ１０
にスライド自在に貫通させると共に、ステージ１０を空
気軸受を介して支持し、上記Ｘ軸用サブバーガイド１４
の一端部をＹ軸用バーガイド３に沿ってスライド自在に
支持されたスライドブロック５に固定している。
【００３６】また、Ｘ軸用サブバーガイド１４の他端部
にアーム２８の上端部を固定し、そのアーム２８の下端
部とスライドブロック５の下端部とでＹ軸用リニアモー
タ１７のコイル１９を支持している。
にアーム２８の上端部を固定し、そのアーム２８の下端
部とスライドブロック５の下端部とでＹ軸用リニアモー
タ１７のコイル１９を支持している。
【００３７】他の構成は第２の実施例と同様であるた
め、同一の部品には同一符号を付して説明を省略する。
め、同一の部品には同一符号を付して説明を省略する。
【００３８】第３の実施例のように、Ｘ軸用サブバーガ
イド１４を両持ち式の支持とすることによって、ステー
ジ１０の安定性を向上させることができる。
イド１４を両持ち式の支持とすることによって、ステー
ジ１０の安定性を向上させることができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るＸＹテー
ブルにおいては、ステージの案内を非接触の案内とした
ので発塵のおそれが全くなく、磨耗の発生による精度の
低下を抑制することができる。
ブルにおいては、ステージの案内を非接触の案内とした
ので発塵のおそれが全くなく、磨耗の発生による精度の
低下を抑制することができる。
【００４０】また、非接触の案内であるため、小さな駆
動力でもってステージを移動させることができると共
に、Ｘ軸用リニアモータで移動されるスライドブロック
にＹ軸用バーガイドと平行するサブバーガイドを取付
け、そのサブバーガイドに沿ってステージを移動自在に
支持し、かつステージに固定したサブバーガイドをスラ
イドブロックにスライド自在に貫通させたので、可動部
の軽量化を図ることができ、ステージ位置決めの制御が
容易であって、ステージをきわめて高精度に位置決めす
ることができる。
動力でもってステージを移動させることができると共
に、Ｘ軸用リニアモータで移動されるスライドブロック
にＹ軸用バーガイドと平行するサブバーガイドを取付
け、そのサブバーガイドに沿ってステージを移動自在に
支持し、かつステージに固定したサブバーガイドをスラ
イドブロックにスライド自在に貫通させたので、可動部
の軽量化を図ることができ、ステージ位置決めの制御が
容易であって、ステージをきわめて高精度に位置決めす
ることができる。
【図１】この発明に係るＸＹテーブルの第１の実施例を
示す一部切欠平面図
示す一部切欠平面図
【図２】同上の正面図
【図３】図１のIII −III 線に沿った断面図
【図４】同上のステージを示す横断平面図
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図
【図６】この発明に係るＸＹテーブルの第２の実施例を
示す平面図
示す平面図
【図７】同上の正面図
【図８】同上の側面図
【図９】この発明に係るＸＹテーブルの第３の実施例を
示す平面図
示す平面図
【図１０】同上の正面図
【図１１】同上の側面図
１ ベース ２ Ｘ軸用バーガイド ３ Ｙ軸用バーガイド ４、５ スライドブロック ９ Ｙ軸用サブバーガイド １０ ステージ １４ Ｘ軸用サブバーガイド １６ Ｘ軸用リニアモータ １７ Ｙ軸用リニアモータ １８ ヨーク ２３ 案内面 ２５ 永久磁石 ２６ ノズル
Claims (2)
- 【請求項１】 ベース上にＸ軸用とＹ軸用の２本のバー
ガイドを直交状に設け、各バーガイドに空気軸受を介し
てスライドブロックをスライド自在に設け、Ｘ軸用バー
ガイドに沿ってスライド自在の一方のスライドブロック
にＹ軸用バーガイドと平行するＹ軸用サブバーガイドの
一端部を固定し、他方のスライドブロックにＸ軸用バー
ガイドと平行するＸ軸用サブバーガイドを空気軸受を介
してスライド自在に支持し、このＸ軸用サブバーガイド
の端部をＹ軸用サブバーガイドに空気軸受を介してスラ
イド自在に支持されたステージに固定し、前記ベース上
に各スライドブロックをそれと対向するバーガイドに沿
って移動させるＸ軸用およびＹ軸用のリニアモータのヨ
ークを設け、Ｘ軸用リニアモータのヨークにはステージ
の移動を案内する案内面を設け、ステージには上記案内
面と対向する下面にヨークとの間で磁気回路を形成する
永久磁石を埋め込むと共に、上記ステージと案内面との
間に圧縮エアを噴射する複数のノズルを設けたＸＹテー
ブル。 - 【請求項２】 前記Ｘ軸用サブバーガイドをステージに
スライド自在に貫通させて空気軸受を介してステージを
支持し、そのＸ軸用サブバーガイドの端部をＹ軸用バー
ガイドに沿ってスライド自在に支持されたスライドブロ
ックに固定した請求項１に記載のＸＹテーブル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133198A JPH08323567A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Ｘｙテーブル |
| US08/644,419 US5669600A (en) | 1995-05-31 | 1996-05-10 | X-Y table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7133198A JPH08323567A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Ｘｙテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08323567A true JPH08323567A (ja) | 1996-12-10 |
Family
ID=15099021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7133198A Pending JPH08323567A (ja) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Ｘｙテーブル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5669600A (ja) |
| JP (1) | JPH08323567A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651272B2 (en) * | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
| CN101804568A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-08-18 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 直线电机驱动的气悬浮运动平台 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2332033B (en) * | 1997-10-31 | 2001-12-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Positioning apparatus |
| US6499880B2 (en) * | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
| US6514344B2 (en) * | 1999-12-16 | 2003-02-04 | Tokyo Electron Limited | Film forming unit |
| US6753534B2 (en) | 2000-12-08 | 2004-06-22 | Nikon Corporation | Positioning stage with stationary and movable magnet tracks |
| US20030230729A1 (en) * | 2000-12-08 | 2003-12-18 | Novak W. Thomas | Positioning stage with stationary and movable magnet tracks |
| US20020104453A1 (en) * | 2001-02-02 | 2002-08-08 | Martin Lee | Air bearing assembly |
| JP2002252166A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに移動案内方法 |
| CN103802221B (zh) * | 2014-02-27 | 2016-01-06 | 董君良 | 双向数控玻璃自动钻孔机的活动工作台结构 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5313272A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-06 | Hitachi Ltd | Precision planar moving plate |
| JPS5485678A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage |
| JPS5961132A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Fujitsu Ltd | 電子ビ−ム露光装置 |
| JPS60140722A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-25 | Canon Inc | 精密移動装置 |
| US4834353A (en) * | 1987-10-19 | 1989-05-30 | Anwar Chitayat | Linear motor with magnetic bearing preload |
| US5022619A (en) * | 1988-12-09 | 1991-06-11 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Positioning device of table for semiconductor wafers |
-
1995
- 1995-05-31 JP JP7133198A patent/JPH08323567A/ja active Pending
-
1996
- 1996-05-10 US US08/644,419 patent/US5669600A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651272B2 (en) * | 2006-01-04 | 2010-01-26 | Fanuc Ltd | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5669600A (en) | 1997-09-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041119 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060530 |
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Effective date: 20060606 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060807 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060808 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061010 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070220 |