JPH0778576B2 - 光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法 - Google Patents
光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法Info
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- JPH0778576B2 JPH0778576B2 JP63120169A JP12016988A JPH0778576B2 JP H0778576 B2 JPH0778576 B2 JP H0778576B2 JP 63120169 A JP63120169 A JP 63120169A JP 12016988 A JP12016988 A JP 12016988A JP H0778576 B2 JPH0778576 B2 JP H0778576B2
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- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/106—Beam splitting or combining systems for splitting or combining a plurality of identical beams or images, e.g. image replication
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- G02B27/143—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目版複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割方法及び光
ビーム分割変調方法に関する。
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目版複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割方法及び光
ビーム分割変調方法に関する。
［従来技術］ 従来、一列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、多チャンネル形超音波変調器によってそれぞ
れ独立に変調され、結晶光学系で小さく絞り、記録材料
上に照射される。
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、多チャンネル形超音波変調器によってそれぞ
れ独立に変調され、結晶光学系で小さく絞り、記録材料
上に照射される。
［発明が解決しようとする課題］ 超音波変調器における変調に少々のクロストーク現象が
生じることを許容する場合には、例えば、ガウスビーム
のビーム径を1.2mmφとすれば、音波電極の間隔及びビ
ームの間隔は1.1mmとされ、音波電極は1.2mmφとされ、
かつ、変調器の側面にジグザグな二列状に配設される。
そして、超音波変調器のすぐ後で結晶光学系によって小
さく絞られて、記録材料上に照射される。
生じることを許容する場合には、例えば、ガウスビーム
のビーム径を1.2mmφとすれば、音波電極の間隔及びビ
ームの間隔は1.1mmとされ、音波電極は1.2mmφとされ、
かつ、変調器の側面にジグザグな二列状に配設される。
そして、超音波変調器のすぐ後で結晶光学系によって小
さく絞られて、記録材料上に照射される。
しかし、一本の光ビームの変調により両隣りの光ビーム
に対しクロストーク現象が生じないようにするために
は、超音波変調器を通過するガウスビームのビーム径
（記録材料の露光に有効な強度分布のビーム径）は、重
ならないように離れていることが要求される。例えば、
ガウスビームのビーム径を1.2mmφとすれば、音波電極
は1.5mmφとされ、音波電極の間隔及びビームの間隔は
2.0mmとされる。こうして、間隔が離れて一列に並ぶ多
数本の光ビームは、隣り合う光ビーム同士が若干重なる
ように光フアィバー等を用いて間隔を接近され結晶光学
系によって小さく絞られて、記録材料上に照射される。
に対しクロストーク現象が生じないようにするために
は、超音波変調器を通過するガウスビームのビーム径
（記録材料の露光に有効な強度分布のビーム径）は、重
ならないように離れていることが要求される。例えば、
ガウスビームのビーム径を1.2mmφとすれば、音波電極
は1.5mmφとされ、音波電極の間隔及びビームの間隔は
2.0mmとされる。こうして、間隔が離れて一列に並ぶ多
数本の光ビームは、隣り合う光ビーム同士が若干重なる
ように光フアィバー等を用いて間隔を接近され結晶光学
系によって小さく絞られて、記録材料上に照射される。
この場合、超音波変調器で各ビーム毎の独立変調される
光ビームは、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材
料に露光することはできず、互いに隣接する光ビームの
ガウス径の円が若干の重なりをもって連鎖するように光
フアィバーまたはミラー群を用いてビーム間隔を狭める
必要があり、その後に、結晶光学系で小さく絞り、記録
材料上に照射させている。これは、一列に並ぶ多数本の
光ビームが、連鎖状態に重ならずに離れていると、記録
材料上に作られるドットの列がつながらないものとな
り、これでは、多数本の光ビームを画像信号に基いて独
立変調しても記録材料上に種々の大きさの網目画像の形
成が不可能となる。
光ビームは、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材
料に露光することはできず、互いに隣接する光ビームの
ガウス径の円が若干の重なりをもって連鎖するように光
フアィバーまたはミラー群を用いてビーム間隔を狭める
必要があり、その後に、結晶光学系で小さく絞り、記録
材料上に照射させている。これは、一列に並ぶ多数本の
光ビームが、連鎖状態に重ならずに離れていると、記録
材料上に作られるドットの列がつながらないものとな
り、これでは、多数本の光ビームを画像信号に基いて独
立変調しても記録材料上に種々の大きさの網目画像の形
成が不可能となる。
反対に、隣り合う光ビームの重なりが大き過ぎると、前
述したように、後置き設置される多チャンネル形超音波
変調器で各ビーム毎の独立変調に際してクロストーク現
象が生じる。すなわち、音波電極が、それぞれ対応する
光ビームをドライブするだけでなく、両隣りの光ビーム
もドライブしてしまうことになる。
述したように、後置き設置される多チャンネル形超音波
変調器で各ビーム毎の独立変調に際してクロストーク現
象が生じる。すなわち、音波電極が、それぞれ対応する
光ビームをドライブするだけでなく、両隣りの光ビーム
もドライブしてしまうことになる。
しかるに、日本特許公開昭和52年第122135号の光ビーム
分割器を使用する場合には、超音波変調器における変調
に少々のクロストーク現象が生じることを許容しなけれ
ばならない。もしも、許容したくなければ、超音波変調
器に対し、光フアィバー等を後置きして間隔が離れた光
ビームを若干重ならせるようにしてから、結晶光学系に
よって小さく絞って、記録材料上に照射させる必要があ
り、スペースを多く取ることになる。
分割器を使用する場合には、超音波変調器における変調
に少々のクロストーク現象が生じることを許容しなけれ
ばならない。もしも、許容したくなければ、超音波変調
器に対し、光フアィバー等を後置きして間隔が離れた光
ビームを若干重ならせるようにしてから、結晶光学系に
よって小さく絞って、記録材料上に照射させる必要があ
り、スペースを多く取ることになる。
これに対し、日本特許公開昭和58年第10713号の光ビー
ム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器によっ
て間隔を開けて分割された一列状に多数本の光ビーム
を、多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独立変
調した後、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材料
に露光することができるので、日本特許公開昭和52年第
122135号に比べて優れている。これは、前述したよう
に、複数本の光ビームが光ビーム分割器から離れるに従
いビーム間隔を漸次接近していくようになっているから
である。しかしながら、多数本の光ビームを多チャンネ
ル形超音波変調器で各ビーム毎に独立変調する際に問題
点が残されている。すなわち、多数本の光ビームは、平
行でないために、変調器の変調効率が低下するととも
に、漏れ光が生ずる場合があり、さらに変調器の音波電
極の形成も難しい。また、該光ビーム分割器の両面の交
差角及び厚さを所定の数値に超高精度に保つことは難か
しく、該光ビーム分割器の製作は、困難を極めることと
なる。該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さが僅か
でも異なれば、多数本の光ビームの集光距離は大きく異
なることになり、該光ビーム分割器と変調器との設置間
隔、及び変調器と結晶光学系との設置間隔は、装置毎に
異なることが避けられない。
ム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器によっ
て間隔を開けて分割された一列状に多数本の光ビーム
を、多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独立変
調した後、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材料
に露光することができるので、日本特許公開昭和52年第
122135号に比べて優れている。これは、前述したよう
に、複数本の光ビームが光ビーム分割器から離れるに従
いビーム間隔を漸次接近していくようになっているから
である。しかしながら、多数本の光ビームを多チャンネ
ル形超音波変調器で各ビーム毎に独立変調する際に問題
点が残されている。すなわち、多数本の光ビームは、平
行でないために、変調器の変調効率が低下するととも
に、漏れ光が生ずる場合があり、さらに変調器の音波電
極の形成も難しい。また、該光ビーム分割器の両面の交
差角及び厚さを所定の数値に超高精度に保つことは難か
しく、該光ビーム分割器の製作は、困難を極めることと
なる。該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さが僅か
でも異なれば、多数本の光ビームの集光距離は大きく異
なることになり、該光ビーム分割器と変調器との設置間
隔、及び変調器と結晶光学系との設置間隔は、装置毎に
異なることが避けられない。
さらにまた、日本特許公開昭和52年第122135号の光ビー
ム分割器と、日本特許公開昭和58年第10713号の光ビー
ム分割器は、いずれも、１本の光ビームを20本前後に分
割するのが実用的な限界とされている。それ以上分割数
を大きくして解像度を上げることはできない。分割数を
20前後よりも大きくすると、変調器結晶内に熱が籠り耐
熱性、耐久性を欠く虞れが出てくる。また、日本特許公
開昭和52年第122135号の光ビーム分割器では、分割数を
大きくすると、光学結晶系を大きくしなければならな
い。
ム分割器と、日本特許公開昭和58年第10713号の光ビー
ム分割器は、いずれも、１本の光ビームを20本前後に分
割するのが実用的な限界とされている。それ以上分割数
を大きくして解像度を上げることはできない。分割数を
20前後よりも大きくすると、変調器結晶内に熱が籠り耐
熱性、耐久性を欠く虞れが出てくる。また、日本特許公
開昭和52年第122135号の光ビーム分割器では、分割数を
大きくすると、光学結晶系を大きくしなければならな
い。
本発明は、多数本の光ビームを一列に平行して入射させ
てそれぞれ二本に分割することができ、かつ、多チャン
ネル超音波変調器においてクロストーク現象が生ずるこ
となく各光ビームを独立変調させることができ、しか
も、光ビーム分割器に対して後置きされる多チャンネル
超音波変調器及び光学結晶系を従来より大きくする必要
はなく、また多チャンネル超音波変調器と光学結晶系と
の間にミラー群や光ファイバー設けなくて済む小型で簡
素、組付調整が簡単な光ビーム分割方法及び光ビーム分
割変調方法を提供することを目的としている。
てそれぞれ二本に分割することができ、かつ、多チャン
ネル超音波変調器においてクロストーク現象が生ずるこ
となく各光ビームを独立変調させることができ、しか
も、光ビーム分割器に対して後置きされる多チャンネル
超音波変調器及び光学結晶系を従来より大きくする必要
はなく、また多チャンネル超音波変調器と光学結晶系と
の間にミラー群や光ファイバー設けなくて済む小型で簡
素、組付調整が簡単な光ビーム分割方法及び光ビーム分
割変調方法を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本願第一発明の光ビーム分割方法は、 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板P1，P2，
P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明平行板の中、
光ビームL0の入射側より見て一番背後の透明平行板Pnの
背面には全反射膜Mnがコーティングされ、また他の全て
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面には、透明平
行板の枚数ｎに関係して前側のものから順にそれぞれ反
射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/（ｎ−２）,1/（ｎ−３），
・・・1/4,1/3,1/2というような数列で次第に大きくな
るように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・Mn-2，Mn-1が
コーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1
〜Pn1の内部を斜目に進行する光ビームL0が照射される
斜目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割器８に対
し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半反
射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側へ
一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9cにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に出射させ、かつ、前記分割ビーム
の列Laに対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれ
るようにすることを特徴とするものである。
P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明平行板の中、
光ビームL0の入射側より見て一番背後の透明平行板Pnの
背面には全反射膜Mnがコーティングされ、また他の全て
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面には、透明平
行板の枚数ｎに関係して前側のものから順にそれぞれ反
射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/（ｎ−２）,1/（ｎ−３），
・・・1/4,1/3,1/2というような数列で次第に大きくな
るように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・Mn-2，Mn-1が
コーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1
〜Pn1の内部を斜目に進行する光ビームL0が照射される
斜目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割器８に対
し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半反
射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側へ
一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9cにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に出射させ、かつ、前記分割ビーム
の列Laに対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれ
るようにすることを特徴とするものである。
本願第二発明の光ビーム分割変調方法は、 厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平行板P1，P2，
P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明平行板の中、
光ビームL0の入射側より見て一番背後の透明平行板Pnの
背面には全反射膜Mnがコーティングされ、また他の全て
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面には、透明平
行板の枚数ｎに関係して前側のものから順にそれぞれ反
射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/（ｎ−２）,1/（ｎ−３），
・・・1/4,1/3,1/2というような数列で次第に大きくな
るように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・Mn-2，Mn-1が
コーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1
〜Pnの内部を斜目に進行する光ビームL0が照射される斜
目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割器８に対
し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3，・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半
反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側
へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9cにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に、かつ、前記分割ビームの列Laに
対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように
出射させ、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器
を、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、
一方の超音波変調器に、前記反射率が50％の半反射膜よ
り出射する50％の強度の光ビームの列を通過させるとと
もに、他方の多チヤンネル超音波変調器に、前記コーテ
ィングされていない部分より出射する50％の強度の光ビ
ームの列を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビーム
の一本一本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは
遅延処理をかけて変調することを特徴とするものであ
る。
P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明平行板の中、
光ビームL0の入射側より見て一番背後の透明平行板Pnの
背面には全反射膜Mnがコーティングされ、また他の全て
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面には、透明平
行板の枚数ｎに関係して前側のものから順にそれぞれ反
射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/（ｎ−２）,1/（ｎ−３），
・・・1/4,1/3,1/2というような数列で次第に大きくな
るように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・Mn-2，Mn-1が
コーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1
〜Pnの内部を斜目に進行する光ビームL0が照射される斜
目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割器８に対
し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3，・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半
反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側
へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9cにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に、かつ、前記分割ビームの列Laに
対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように
出射させ、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器
を、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、
一方の超音波変調器に、前記反射率が50％の半反射膜よ
り出射する50％の強度の光ビームの列を通過させるとと
もに、他方の多チヤンネル超音波変調器に、前記コーテ
ィングされていない部分より出射する50％の強度の光ビ
ームの列を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビーム
の一本一本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは
遅延処理をかけて変調することを特徴とするものであ
る。
［実施例・・・第１図ないし第５図］ この実施例は、本願第一及び第二発明に共通するもの
で、感光膜を塗布したグラビア製版ロールに、アルゴン
レーザを一列八本に分割しさらに二列十六本に分割した
光ビームとし、これら光ビームを網目版画像信号に基い
てそれぞれ独立に変調してかつ一方の光ビーム列は位相
ずれに対応した遅延をかけて信号を送り、結晶光学系で
ビームを絞り、回転する感光膜を塗布したグラビア製版
ロールに対して露光し、かつ面長方向に走査移動するダ
イレクト露光装置を示す。
で、感光膜を塗布したグラビア製版ロールに、アルゴン
レーザを一列八本に分割しさらに二列十六本に分割した
光ビームとし、これら光ビームを網目版画像信号に基い
てそれぞれ独立に変調してかつ一方の光ビーム列は位相
ずれに対応した遅延をかけて信号を送り、結晶光学系で
ビームを絞り、回転する感光膜を塗布したグラビア製版
ロールに対して露光し、かつ面長方向に走査移動するダ
イレクト露光装置を示す。
符合１は製版ロールであり、一対の回転チャックによっ
て両端チャックされて高速回転される。符合２はＸテー
ブルであり、製版ロール１の面長方向に該製版ロール１
の回転に対応して移動自在である。符合３はＹテーブル
であり、Ｘテーブル２上に設けられ制御モータ４によっ
て製版ロール１に対して接近及び離隔移動自在である。
て両端チャックされて高速回転される。符合２はＸテー
ブルであり、製版ロール１の面長方向に該製版ロール１
の回転に対応して移動自在である。符合３はＹテーブル
であり、Ｘテーブル２上に設けられ制御モータ４によっ
て製版ロール１に対して接近及び離隔移動自在である。
この装置は、図示されていない固定設置されたアルゴン
レーザの光ビーム（レーザ光線）を、Ｘテーブル２上に
設けられた全反射ミラー５と、Ｙテーブル３上に設けら
れた全反射ミラー６によって屈曲し、Ｙテーブル３上に
設けられた第一の光ビーム分割器８に導き、該第一の光
ビーム分割器８により水平面上に平行に並ぶ八本の光ビ
ームに分割し、さらに、Ｙテーブル３上に設けられた第
二の光ビーム分割器９により一列が八本で、互いに半ピ
ッチずれた二列状の十六本の光ビームに分割し、次い
で、上下二段重ねの八チャンネル形超音波変調器10,11
において網目版画像信号に基いてそれぞれ独立して変調
制御し、結晶光学系12で小さなビーム径に絞り、かつオ
ートフォーカスレンズ12aで感光膜がコーティングされ
た製版ロール１に焦点を合わせ、Ｘテーブル２の移動に
従い走査露光するものである。
レーザの光ビーム（レーザ光線）を、Ｘテーブル２上に
設けられた全反射ミラー５と、Ｙテーブル３上に設けら
れた全反射ミラー６によって屈曲し、Ｙテーブル３上に
設けられた第一の光ビーム分割器８に導き、該第一の光
ビーム分割器８により水平面上に平行に並ぶ八本の光ビ
ームに分割し、さらに、Ｙテーブル３上に設けられた第
二の光ビーム分割器９により一列が八本で、互いに半ピ
ッチずれた二列状の十六本の光ビームに分割し、次い
で、上下二段重ねの八チャンネル形超音波変調器10,11
において網目版画像信号に基いてそれぞれ独立して変調
制御し、結晶光学系12で小さなビーム径に絞り、かつオ
ートフォーカスレンズ12aで感光膜がコーティングされ
た製版ロール１に焦点を合わせ、Ｘテーブル２の移動に
従い走査露光するものである。
本願第一発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器８
を用いて一本の光ビームを一列状の複数本に分割し、次
いで、光ビーム分割器９を用いて該一列状の分割ビーム
をそれぞれ二本に分割し、かつ、互いに半ピッチずれた
二列状に分割する点について特定したものであり、 本願第二発明の光ビーム分割変調方法は、上記第一発明
の光ビーム分割方法に加えて、二列状の分割ビームを列
を分けて多チャンネル形超音波変調器10,11に導き、各
光ビームを独立して変調制御し、一方の列を遅延変調さ
せて記録対象物に連鎖状に一列状となるように変調する
点について発明として特定したものである。
を用いて一本の光ビームを一列状の複数本に分割し、次
いで、光ビーム分割器９を用いて該一列状の分割ビーム
をそれぞれ二本に分割し、かつ、互いに半ピッチずれた
二列状に分割する点について特定したものであり、 本願第二発明の光ビーム分割変調方法は、上記第一発明
の光ビーム分割方法に加えて、二列状の分割ビームを列
を分けて多チャンネル形超音波変調器10,11に導き、各
光ビームを独立して変調制御し、一方の列を遅延変調さ
せて記録対象物に連鎖状に一列状となるように変調する
点について発明として特定したものである。
光ビーム分割器８は、厚さが高精度に均一な所要枚数ｎ
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、こ
れら透明平行板の中、光ビームL0の入射側より見て一番
背後の透明平行板Pnの背面には全反射膜Mnがコーティン
グされ、また他の全ての透明平行板P1，P2，P3，・・P
n-1の背面には、透明平行板の枚数ｎに関係して前側の
ものから順にそれぞれ反射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/
（ｎ−２）,1/（ｎ−３），・・・1/4,1/3,1/2というよ
うな数列で次第に大きくなるように異なる半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-2，Mn-1がコーティングされ、これらコ
ーティングされた全反射膜Mnと半反射膜M1，M2，M3，・
・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1〜Pnの内部
を斜目に進行する光ビームL0が照射される斜目配列に位
置され、かつ、該光ビームL0が各半反射膜M1，M2，M3，
・・Mn-1での一部反射と全反射膜Mnでの全反射により光
度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビーム
L1，L2，L3，・・Ln-1，Lnとなり、各分光ビームが前方
の半反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビーム
の側へ平行に出射するようになっている。
の透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、こ
れら透明平行板の中、光ビームL0の入射側より見て一番
背後の透明平行板Pnの背面には全反射膜Mnがコーティン
グされ、また他の全ての透明平行板P1，P2，P3，・・P
n-1の背面には、透明平行板の枚数ｎに関係して前側の
ものから順にそれぞれ反射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/
（ｎ−２）,1/（ｎ−３），・・・1/4,1/3,1/2というよ
うな数列で次第に大きくなるように異なる半反射膜M1，
M2，M3，・・Mn-2，Mn-1がコーティングされ、これらコ
ーティングされた全反射膜Mnと半反射膜M1，M2，M3，・
・Mn-1のコーティング領域が、透明平行板P1〜Pnの内部
を斜目に進行する光ビームL0が照射される斜目配列に位
置され、かつ、該光ビームL0が各半反射膜M1，M2，M3，
・・Mn-1での一部反射と全反射膜Mnでの全反射により光
度が均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビーム
L1，L2，L3，・・Ln-1，Lnとなり、各分光ビームが前方
の半反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビーム
の側へ平行に出射するようになっている。
第１図に示す光ビーム分割器８は、ｎ枚の透明平行板
P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnを有してなり、これらは、第
２図に示すように、単一の透明平行板Ｐをｎ枚に分割し
て重ねることにより厚さが超精密に均一とされている。
そして、ｎ枚に分割される前に、半反射膜M1，M2，M3，
・・Mn-2，Mn-1及び全反射膜Mnがコーティングされる。
第１図に示すように、光ビーム分割器８を八枚重ねとし
た場合には、半反射膜M1〜Mn-1の数は７個であり、半反
射膜M1は1/8の反射率（＝7/8の透過率）、半反射膜M2は
1/7の反射率（＝6/7の透過率）、半反射膜M3は1/6の反
射率（＝5/6の透過率）、・・・・半反射膜Mn-2は1/3の
反射率（＝2/3の透過率）、半反射膜Mn-1は1/2の反射率
（＝1/2の透過率）とされている。このため、第１図
（ａ）に示す本数ｎの分光ビームL1，L2，L3，・・
Ln-1，Lnは、いずれも光ビームL0のｎ等分の一の光量と
なる。この実施例では、半反射膜M1〜Mn-1は、矩形であ
り、次第に微小寸法ｇずつ大きくなるように階段状にコ
ーテイングされている。しかし、半反射膜M1〜Mn-1はい
ずれも直径が等しく、かつ、小さくとも光ビームL0のビ
ーム径よりも大きい円形にコーティングされたものでも
良い。この微小寸法ｇは、第１図に示す微小寸法ｈの1/
2とされている。
P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnを有してなり、これらは、第
２図に示すように、単一の透明平行板Ｐをｎ枚に分割し
て重ねることにより厚さが超精密に均一とされている。
そして、ｎ枚に分割される前に、半反射膜M1，M2，M3，
・・Mn-2，Mn-1及び全反射膜Mnがコーティングされる。
第１図に示すように、光ビーム分割器８を八枚重ねとし
た場合には、半反射膜M1〜Mn-1の数は７個であり、半反
射膜M1は1/8の反射率（＝7/8の透過率）、半反射膜M2は
1/7の反射率（＝6/7の透過率）、半反射膜M3は1/6の反
射率（＝5/6の透過率）、・・・・半反射膜Mn-2は1/3の
反射率（＝2/3の透過率）、半反射膜Mn-1は1/2の反射率
（＝1/2の透過率）とされている。このため、第１図
（ａ）に示す本数ｎの分光ビームL1，L2，L3，・・
Ln-1，Lnは、いずれも光ビームL0のｎ等分の一の光量と
なる。この実施例では、半反射膜M1〜Mn-1は、矩形であ
り、次第に微小寸法ｇずつ大きくなるように階段状にコ
ーテイングされている。しかし、半反射膜M1〜Mn-1はい
ずれも直径が等しく、かつ、小さくとも光ビームL0のビ
ーム径よりも大きい円形にコーティングされたものでも
良い。この微小寸法ｇは、第１図に示す微小寸法ｈの1/
2とされている。
該光ビーム分割器９は、第３図に示すように、入射する
八本の光ビームと直交する面に関して比較的大きな角度
β（例えば、45°）傾いて設けられている。そして、該
光ビーム分割器９は、光伝達材料9aの一方の面に部分的
に帯状にコーティングされた全反射膜9bがあり、光ビー
ム分割器８により分割された八本の光ビームは、それぞ
れ全反射膜9bの下側に入射するようになっており、また
光伝達材料9aの他方の面は、全反射膜9bがコーティング
された面と平行していて部分的に帯状にコーティングさ
れた反射率が50％の半反射膜9cがあり、該反射率が50％
の半反射膜9cが、光伝達材料9aに対して前記全反射膜9b
の下側に入射し内部を進んでくる八本の光の半分の光量
を透過させるととも残り半分の光量を前記全反射膜9bへ
向うように反射させる。光伝達材料9aの内部を全反射膜
9bへ向う光ビームは、該全反射膜9bにより反射され、反
対側の面の反射率が50％の半反射膜9cの上側を透過す
る。
八本の光ビームと直交する面に関して比較的大きな角度
β（例えば、45°）傾いて設けられている。そして、該
光ビーム分割器９は、光伝達材料9aの一方の面に部分的
に帯状にコーティングされた全反射膜9bがあり、光ビー
ム分割器８により分割された八本の光ビームは、それぞ
れ全反射膜9bの下側に入射するようになっており、また
光伝達材料9aの他方の面は、全反射膜9bがコーティング
された面と平行していて部分的に帯状にコーティングさ
れた反射率が50％の半反射膜9cがあり、該反射率が50％
の半反射膜9cが、光伝達材料9aに対して前記全反射膜9b
の下側に入射し内部を進んでくる八本の光の半分の光量
を透過させるととも残り半分の光量を前記全反射膜9bへ
向うように反射させる。光伝達材料9aの内部を全反射膜
9bへ向う光ビームは、該全反射膜9bにより反射され、反
対側の面の反射率が50％の半反射膜9cの上側を透過す
る。
しかして、光ビーム分割器９は、八本の光ビームを全反
射膜9bの下側に入射させてそれぞれ各ビームを光量が50
％ずつとなるように上下に二分割して反射率が50％の半
反射膜9cより八本の光ビームを出射させるとともに、反
射率が50％の半反射膜9cの上より八本の光ビームを出射
させる。
射膜9bの下側に入射させてそれぞれ各ビームを光量が50
％ずつとなるように上下に二分割して反射率が50％の半
反射膜9cより八本の光ビームを出射させるとともに、反
射率が50％の半反射膜9cの上より八本の光ビームを出射
させる。
光ビーム分割器９は、第１図に示すように、入射する八
本の光ビームの列に沿った方向に小さな角度γを有して
傾斜設置される。このため、光ビーム分割器９より出射
する上段列の（反射率が50％の半反射膜9cの上より出射
する）八本の光ビームの出射位置は、内部反射を経るの
で、下段列の（反射率が50％の半反射膜9cより出射す
る）八本の光ビームよりも大きく横方向へずれる。そこ
で、前記角度γを微調整して、光ビーム分割器９より出
射する上段列の八本の光ビームの出射位置を、下段列の
八本の光ビームの出射位置に対して半ピッチ大きく横方
向へずらす。
本の光ビームの列に沿った方向に小さな角度γを有して
傾斜設置される。このため、光ビーム分割器９より出射
する上段列の（反射率が50％の半反射膜9cの上より出射
する）八本の光ビームの出射位置は、内部反射を経るの
で、下段列の（反射率が50％の半反射膜9cより出射す
る）八本の光ビームよりも大きく横方向へずれる。そこ
で、前記角度γを微調整して、光ビーム分割器９より出
射する上段列の八本の光ビームの出射位置を、下段列の
八本の光ビームの出射位置に対して半ピッチ大きく横方
向へずらす。
光ビーム分割器９で十六本に分割された均等な光量の光
ビームは、例えば、1.0mmの隙間を開けて上下二段重ね
とした八チャンネル形超音波変調器10,11に入射する。
上側の変調器10は、光ビーム分割器９より出射する上段
列の八本の光ビームを入射し、下側の変調器11は、下段
列の八本の光ビームを入射する。変調器10の上面に各光
ビームを独立に変調するための超音波を発振する音波電
極10a〜10hが設けられ、また、変調器11の下面に、各光
ビームを独立に変調するための超音波を発振する音波電
極11a〜11hが設けられている。これら音波電極10a〜10
h,11a〜11hは、変調器を透過する光ビームに対して直角
方向の側面に、各光ビームに垂直に位置して設けられ、
画像信号に基いて各光ビームを独立に変調する。光ビー
ムのビーム径と音波電極の大きさと電極間隔の相対的関
係は、例えば、ビーム径は0.8mm、音波電極の大きさは
1.0mm、電極間隔は1.5mmである。
ビームは、例えば、1.0mmの隙間を開けて上下二段重ね
とした八チャンネル形超音波変調器10,11に入射する。
上側の変調器10は、光ビーム分割器９より出射する上段
列の八本の光ビームを入射し、下側の変調器11は、下段
列の八本の光ビームを入射する。変調器10の上面に各光
ビームを独立に変調するための超音波を発振する音波電
極10a〜10hが設けられ、また、変調器11の下面に、各光
ビームを独立に変調するための超音波を発振する音波電
極11a〜11hが設けられている。これら音波電極10a〜10
h,11a〜11hは、変調器を透過する光ビームに対して直角
方向の側面に、各光ビームに垂直に位置して設けられ、
画像信号に基いて各光ビームを独立に変調する。光ビー
ムのビーム径と音波電極の大きさと電極間隔の相対的関
係は、例えば、ビーム径は0.8mm、音波電極の大きさは
1.0mm、電極間隔は1.5mmである。
上側の変調器10を透過する八本の光ビームと、下側の変
調器11を透過する八本の光ビームは、記録材料であるグ
ラビア製版ロール１に対して位相がずれていう。このた
め、グラビア製版ロール１が矢印の方向に回転する場合
には、下側の変調器11の音波電極11a〜11hに必要な遅延
処理をかけた変調信号を送る。これにより、第５図に示
すように、上側の変調器10により先に変調制御された八
本の光ビームにより、グラビア製版ロール１に一列状に
間隔を開いた八個のドット13a〜13hを先に露光し、次い
で、グラビア製版ロール１が位相ずれ分だけ回転した超
瞬間に、下側の変調器11により変調制御された八本の光
ビームにより、グラビア製版ロール１に一列状に間隔が
開いた八個のドット14a〜14hを露光すると、これらドッ
ト14a〜14hは、先に露光されたドット13a〜13hに対して
半ピッチずつずれて一列に重なることになる。そこで、
これら音波電極10a〜10g,11a〜11gに、画像信号に基い
た変調信号を送るようにし、かつ、音波電極11a〜11gに
は位相ずれに対応して変調信号を送るタイミングを遅延
させるようにすれば、グラビア製版ロール１には網画像
を露光できる。
調器11を透過する八本の光ビームは、記録材料であるグ
ラビア製版ロール１に対して位相がずれていう。このた
め、グラビア製版ロール１が矢印の方向に回転する場合
には、下側の変調器11の音波電極11a〜11hに必要な遅延
処理をかけた変調信号を送る。これにより、第５図に示
すように、上側の変調器10により先に変調制御された八
本の光ビームにより、グラビア製版ロール１に一列状に
間隔を開いた八個のドット13a〜13hを先に露光し、次い
で、グラビア製版ロール１が位相ずれ分だけ回転した超
瞬間に、下側の変調器11により変調制御された八本の光
ビームにより、グラビア製版ロール１に一列状に間隔が
開いた八個のドット14a〜14hを露光すると、これらドッ
ト14a〜14hは、先に露光されたドット13a〜13hに対して
半ピッチずつずれて一列に重なることになる。そこで、
これら音波電極10a〜10g,11a〜11gに、画像信号に基い
た変調信号を送るようにし、かつ、音波電極11a〜11gに
は位相ずれに対応して変調信号を送るタイミングを遅延
させるようにすれば、グラビア製版ロール１には網画像
を露光できる。
［発明の効果］ 以上説明してきたように、本願発明の光ビーム分割方法
及び光ビーム分割変調方法によれば以下の効果を有す
る。
及び光ビーム分割変調方法によれば以下の効果を有す
る。
二つの光ビーム分割器を用いることにより一本の光ビ
ームをビーム同士が重ならないように二列状に、かつ、
列が互いに半ピッチずれた状態となる多数本の分割ビー
ムを得ることができる。そして、二段重ねの多チャンネ
ル超音波変調器に導いて変調し、かつ一方の列は遅延変
調するので、クロストーク現象が生じないように各分割
ビームを独立に変調させることができ、画像処理が良好
にできる。
ームをビーム同士が重ならないように二列状に、かつ、
列が互いに半ピッチずれた状態となる多数本の分割ビー
ムを得ることができる。そして、二段重ねの多チャンネ
ル超音波変調器に導いて変調し、かつ一方の列は遅延変
調するので、クロストーク現象が生じないように各分割
ビームを独立に変調させることができ、画像処理が良好
にできる。
多チャンネル超音波変調器が二段積みなので、該多チ
ャンネル超音波変調器及び光学結晶系を従来とほぼ同じ
大きさに保ちつつ、変調し得る分割ビーム本数を従来の
倍にすることができる。このため、記録対象物上のドッ
トの大きさを小さくできて、解像度を著しく鮮明に向上
させることができるとともに、画像出力時間をほぼ半減
できる。
ャンネル超音波変調器及び光学結晶系を従来とほぼ同じ
大きさに保ちつつ、変調し得る分割ビーム本数を従来の
倍にすることができる。このため、記録対象物上のドッ
トの大きさを小さくできて、解像度を著しく鮮明に向上
させることができるとともに、画像出力時間をほぼ半減
できる。
多チャンネル超音波変調器の二列の音波電極の中、一
方の列について遅延変調することにより二列のビームを
連鎖状に一列にするので、多チャンネル超音波変調器と
光学結晶系との間にミラー群や光ファイバー設けてなく
て済み、小型で簡素、組付調整が簡単である。
方の列について遅延変調することにより二列のビームを
連鎖状に一列にするので、多チャンネル超音波変調器と
光学結晶系との間にミラー群や光ファイバー設けてなく
て済み、小型で簡素、組付調整が簡単である。
図面は、本願第一及び第二発明の光ビーム分割方法及び
光ビーム分割変調方法に共通する実施例として示す，グ
ラビア製版ロール用ダイレクトレーザー露光装置に係
り、第１図は平面図、第２図は、第一段のビーム分割を
行う光ビーム分割器の製作に用いられるマルチコーティ
ングプレートの裏面図である。第３図は第１図中の矢印
IIIより見た矢視図、第４図は第１図中の矢印IV-IVより
見た矢視図である。第５図は、二列十六本の光ビームが
記録材料上に一列状に露光される状態を示す記録面の光
ビームドットの配列状態図である。 １……製版ロール、２……Ｘテーブル、３……Ｙテーブ
ル、４……制御モータ、５、６、７……全反射ミラー、
８……光ビーム分割器、９……光ビーム分割器、9a……
光伝達材料、9b……全反射膜、9c……反射率が50％の半
反射膜、10,11……八チャンネル形超音波変調器、10a〜
10g,11a〜11g……音波電極、12……結晶光学系、12a…
…オートフォーカスレンズ、13a〜13g,14a〜14g……光
ビームの記録面上の露光ドット、P1，P2，P3，・・
Pn-1，Pn……透明平行板、Ｐ……透明平行基板、M1，
M2，M3，・・Mn-2，Mn-1……半反射膜、Mn……全反射
膜、L1，L2，L3，・・Ln-1，Ln……分光ビーム、
光ビーム分割変調方法に共通する実施例として示す，グ
ラビア製版ロール用ダイレクトレーザー露光装置に係
り、第１図は平面図、第２図は、第一段のビーム分割を
行う光ビーム分割器の製作に用いられるマルチコーティ
ングプレートの裏面図である。第３図は第１図中の矢印
IIIより見た矢視図、第４図は第１図中の矢印IV-IVより
見た矢視図である。第５図は、二列十六本の光ビームが
記録材料上に一列状に露光される状態を示す記録面の光
ビームドットの配列状態図である。 １……製版ロール、２……Ｘテーブル、３……Ｙテーブ
ル、４……制御モータ、５、６、７……全反射ミラー、
８……光ビーム分割器、９……光ビーム分割器、9a……
光伝達材料、9b……全反射膜、9c……反射率が50％の半
反射膜、10,11……八チャンネル形超音波変調器、10a〜
10g,11a〜11g……音波電極、12……結晶光学系、12a…
…オートフォーカスレンズ、13a〜13g,14a〜14g……光
ビームの記録面上の露光ドット、P1，P2，P3，・・
Pn-1，Pn……透明平行板、Ｐ……透明平行基板、M1，
M2，M3，・・Mn-2，Mn-1……半反射膜、Mn……全反射
膜、L1，L2，L3，・・Ln-1，Ln……分光ビーム、
Claims (2)
- 【請求項１】厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平
行板P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明
平行板の中、光ビームL0の入射側より見て一番背後の透
明平行板Pnの背面には全反射膜Mnがコーティングされ、
また他の全ての透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面
には、透明平行板の枚数ｎに関係して前側のものから順
にそれぞれ反射率が1/n,1/（ｎ−１）,1/（ｎ−２）,1/
（ｎ−３），・・・1/4,1/3,1/2というような数列で次
第に大きくなるように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・
Mn-2，Mn-1がコーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半
反射膜M1，M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透
明平行板P1〜Pnの内部を斜目に進行する光ビームL0が照
射される斜目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割
器８に対し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3，・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半
反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側
へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9aにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に、かつ、前記分割ビームの列Lbに
対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように
出射させることを特徴とする光ビーム分割方法。 - 【請求項２】厚さが高精度に均一な所要枚数ｎの透明平
行板P1，P2，P3，・・Pn-1，Pnが重ねられ、これら透明
平行板の中、光ビームL0の入射側より見て一番背後の透
明平行板Pnの背面には全反射膜Mnがコーティングされ、
また他の全ての透明平行板P1，P2，P3，・・Pn-1の背面
には、透明平行板の枚数ｎに関係して前側のものから順
にそれぞれ反射率が1/n,1/（ｎ−1,1/（ｎ−２）,1/
（ｎ−３），・・1/4,1/3,1/2というような数列で次第
に大きくなるように異なる半反射膜M1，M2，M3，・・M
n-2，Mn-1がコーティングされ、かつ、全反射膜Mnと半
反射膜M1，M2，M3，・・Mn-1のコーティング領域が、透
明平行板P1〜Pnの内部を斜目に進行する光ビームL0が照
射される斜目配列に位置させてなる第一の光ビーム分割
器８に対し、 該光ビームL0を照射させ、該光ビームL0を各半反射膜
M1，M2，M3，・・Mn-1において一部反射させるととも
に、全反射膜Mnにおいて全反射させることにより光度が
均等で透明平行板の数と同じ本数ｎの分光ビームL1，
L2，L3，・・Ln-1，Lnとして、各分光ビームが前方の半
反射膜に突当ることなく最初入射してきた光ビームの側
へ一列状に平行に出射させ、 次いで、光伝達材料9aの一方の面に部分的に帯状にコー
ティングされた全反射膜9bを有し、また他方の平行な面
に部分的に帯状にコーティングされた反射率が50％の反
射膜9cを有し、前記第一の光ビーム分割器８でビーム分
割された分割ビームの光軸に対して全反射膜9bがコーテ
ィングされた面が二次元方向に所要傾いた光ビーム分割
器９に対して入射させることにより、 該半反射膜9cより入射ビームの50％の強度の分割ビーム
の列Laを一列状に平行に分割出射させるとともに、残り
の50％の強度の分割ビームLbを該半反射膜9aにおける内
部反射と全反射膜9bにおける全反射を経て、再び該半反
射膜9cがコーティングされた側の面より該半反射膜9cを
寄けて一列状に平行に前記分割ビームの列Lbに対して所
要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように出射さ
せ、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器
を、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、
一方の超音波変調器に、前記反射率が50％の半反射膜よ
り出射する50％の強度の光ビームの列を通過させるとと
もに、他方の多チャンネル超音波変調器に、前記コーテ
ィングされていない部分より出射する50％の強度の光ビ
ームの列を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビーム
の一本一本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは
遅延処理をかけて変調することを特徴とする光ビーム分
割変調方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63120169A JPH0778576B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法 |
| EP88311007A EP0342291B1 (en) | 1988-05-17 | 1988-11-21 | An optical beam splitting method and an optical beam splitting/modulation method |
| DE3850963T DE3850963T2 (de) | 1988-05-17 | 1988-11-21 | Verfahren zur optischen Strahlenteilung und Modulation. |
| US07/286,364 US4925271A (en) | 1988-05-16 | 1988-12-16 | Optical beam splitter |
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|---|---|---|---|
| JP63120169A JPH0778576B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法 |
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|---|---|
| JPH01289910A JPH01289910A (ja) | 1989-11-21 |
| JPH0778576B2 true JPH0778576B2 (ja) | 1995-08-23 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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