JPH077859B2 - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPH077859B2 JPH077859B2 JP60171562A JP17156285A JPH077859B2 JP H077859 B2 JPH077859 B2 JP H077859B2 JP 60171562 A JP60171562 A JP 60171562A JP 17156285 A JP17156285 A JP 17156285A JP H077859 B2 JPH077859 B2 JP H077859B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- processing
- condenser lens
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/705—Beam measuring devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Lasers (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザ光により被加工物を加工するレーザ加工
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術 従来例を第２図を用いて説明する。
レーザ加工を行なう場合、レーザ発振器１より取り出し
たレーザ光５を全反射ミラー２等により加工テーブル４
まで導き、集光レンズ３により集光し、加工テーブル４
上の被加工物６に照射し、加工を行なう。
たレーザ光５を全反射ミラー２等により加工テーブル４
まで導き、集光レンズ３により集光し、加工テーブル４
上の被加工物６に照射し、加工を行なう。
その場合、被加工物６の種類により、加工条件が異な
る。つまり、連続出力のレーザ光を用いる場合や、パル
ス出力のレーザ光を用いる場合がある。また形状により
連続出力とパルス出力を組合せる事もある。さらに連続
出力においてもパルス出力においても出力レベルを調整
する必要がある。つまり出力が少なければ加工が不十分
となりまた大きすぎても加工状態が悪くなるのである。
る。つまり、連続出力のレーザ光を用いる場合や、パル
ス出力のレーザ光を用いる場合がある。また形状により
連続出力とパルス出力を組合せる事もある。さらに連続
出力においてもパルス出力においても出力レベルを調整
する必要がある。つまり出力が少なければ加工が不十分
となりまた大きすぎても加工状態が悪くなるのである。
そこでレーザ発振器には出力調整要素がたいてい設けら
れている。ガスレーザ発振器の場合は、放電電流値を可
変にすることによりレーザ出力レベルをコントロールす
ることが多い。
れている。ガスレーザ発振器の場合は、放電電流値を可
変にすることによりレーザ出力レベルをコントロールす
ることが多い。
発明が解決しようとする問題点 一般にレーザ加工装置を作成した場合、第３図に示す様
なレーザ出力特性をチェックする。第３図の場合は、放
電電流とレーザ出力の関係を示している。この様な特性
から、被加工物の種類，加工形状により、レーザ出力を
あるレベルに設定するため放電電流をいくらかにするか
を決めるのである。しかし、この場合、レーザ発振器の
経年的出力低下、及び全反射鏡，集光レンズ等の光学系
の汚染等による出力損失等から、第３図において、当初
イの出力特性が、ロの出力特性へと変化した場合、従来
設定の放電電流値では、加工に必要なレーザ出力が得ら
れていないことになる。
なレーザ出力特性をチェックする。第３図の場合は、放
電電流とレーザ出力の関係を示している。この様な特性
から、被加工物の種類，加工形状により、レーザ出力を
あるレベルに設定するため放電電流をいくらかにするか
を決めるのである。しかし、この場合、レーザ発振器の
経年的出力低下、及び全反射鏡，集光レンズ等の光学系
の汚染等による出力損失等から、第３図において、当初
イの出力特性が、ロの出力特性へと変化した場合、従来
設定の放電電流値では、加工に必要なレーザ出力が得ら
れていないことになる。
問題を解決するための手段 そこで本発明では、問題を解決するための手段として、
レーザ発振器より取り出したレーザ光を、全反射ミラー
等の光学系により加工テーブルまで導き、集光レンズに
より集光し、加工テーブル上の被加工物に照射し加工す
るレーザ加工装置において、集光レンズ通過後のレーザ
光の出力を測定するレーザ出力測定装置及び、レーザ出
力調整要素（放電電流等）とレーザ出力の相互関係を分
析するコントロール部を有するものである。
レーザ発振器より取り出したレーザ光を、全反射ミラー
等の光学系により加工テーブルまで導き、集光レンズに
より集光し、加工テーブル上の被加工物に照射し加工す
るレーザ加工装置において、集光レンズ通過後のレーザ
光の出力を測定するレーザ出力測定装置及び、レーザ出
力調整要素（放電電流等）とレーザ出力の相互関係を分
析するコントロール部を有するものである。
作用 上記構成により、加工点でのレーザ出力を均一にできる
ことから、常に同一加工条件が満たされ、加工品質の向
上，加工ミスの解消がはかれる。
ことから、常に同一加工条件が満たされ、加工品質の向
上，加工ミスの解消がはかれる。
実施例 本発明の一実施例を第１図により説明する。レーザ発振
器１より取り出されたレーザ光５は全反射鏡２等により
加工テーブル４まで導かれ、集光レンズ３で集光され加
工テーブル４上に設置された被加工物６に照射され、加
工を行なう。レーザ出力測定器７は、可動形であり、加
工する前に、集光レンズ３下へ移動させる。コントロー
ル部８により第３図の様な出力特性がチェックされ、当
初の出力特性に一致させるための補正を行なう。チェッ
ク終了後、作業者が従来の加工条件をセットすれば、コ
ントロール部８から校正された信号が、レーザ発振器１
に送られ、従来と同一レーザ出力で加工が行なえること
になる。
器１より取り出されたレーザ光５は全反射鏡２等により
加工テーブル４まで導かれ、集光レンズ３で集光され加
工テーブル４上に設置された被加工物６に照射され、加
工を行なう。レーザ出力測定器７は、可動形であり、加
工する前に、集光レンズ３下へ移動させる。コントロー
ル部８により第３図の様な出力特性がチェックされ、当
初の出力特性に一致させるための補正を行なう。チェッ
ク終了後、作業者が従来の加工条件をセットすれば、コ
ントロール部８から校正された信号が、レーザ発振器１
に送られ、従来と同一レーザ出力で加工が行なえること
になる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、安定した加工を行なうた
めに不可欠な加工点でのレーザ出力の安定性が得られる
ことや、不具合発生（出力低下）時に、その原因がレー
ザ発振器か外部光学系かを容易に判断することができる
ことから、レーザ加工の信頼性向上に大きく寄与する優
れた効果を奏するものである。
めに不可欠な加工点でのレーザ出力の安定性が得られる
ことや、不具合発生（出力低下）時に、その原因がレー
ザ発振器か外部光学系かを容易に判断することができる
ことから、レーザ加工の信頼性向上に大きく寄与する優
れた効果を奏するものである。
第１図は本発明の一実施例を示すレーザ加工装置の概略
構成図、第２図は従来例のレーザ加工装置の概略構成
図、第３図は放電電流とレーザ出力の特性を示した特性
図である。 １……レーザ発振器、２……全反射鏡、３……集光レン
ズ、４……加工テーブル、５……レーザ光、６……被加
工物、７……レーザ出力測定器、８……コントロール
部。
構成図、第２図は従来例のレーザ加工装置の概略構成
図、第３図は放電電流とレーザ出力の特性を示した特性
図である。 １……レーザ発振器、２……全反射鏡、３……集光レン
ズ、４……加工テーブル、５……レーザ光、６……被加
工物、７……レーザ出力測定器、８……コントロール
部。
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ発振器より取り出したレーザ光を、
全反射ミラー等の光学系により加工テーブルまで導き、
集光レンズにより集光し、前記加工テーブル上の被加工
物に照射し、加工するレーザ加工装置において、加工前
に前記集光レンズを通過後のレーザ光の出力を測定する
位置に移動するレーザ出力測定器を具備し、放電電流等
のレーザ出力調整要素とレーザ出力の相互関係を分析す
るコントロール部を具備したことを特徴とするレーザ加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171562A JPH077859B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171562A JPH077859B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | レ−ザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231184A JPS6231184A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH077859B2 true JPH077859B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=15925436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60171562A Expired - Lifetime JPH077859B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077859B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58223391A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-24 | Nec Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6028290A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | Nec Corp | アルゴンガスレ−ザ装置 |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP60171562A patent/JPH077859B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6231184A (ja) | 1987-02-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |