JPH0778729A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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- JPH0778729A JPH0778729A JP22294993A JP22294993A JPH0778729A JP H0778729 A JPH0778729 A JP H0778729A JP 22294993 A JP22294993 A JP 22294993A JP 22294993 A JP22294993 A JP 22294993A JP H0778729 A JPH0778729 A JP H0778729A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 通電時の温度上昇を防止することができると
ともに、長寿命化が可能な真空コンデンサを得る。 【構成】 真空容器１３の一端の固定導体３の内側に固
定電極５を設け、この固定電極５と交叉する可動電極６
を可動導体８に取り付けるとともに、この可動導体８を
蓋体４に回転自在に支持された静電容量調整ねじ９と螺
合させ、かつ可動導体８と蓋体４との間にステンレスベ
ローズ１４と通電路となる銅ベローズ１５を設ける。
ともに、長寿命化が可能な真空コンデンサを得る。 【構成】 真空容器１３の一端の固定導体３の内側に固
定電極５を設け、この固定電極５と交叉する可動電極６
を可動導体８に取り付けるとともに、この可動導体８を
蓋体４に回転自在に支持された静電容量調整ねじ９と螺
合させ、かつ可動導体８と蓋体４との間にステンレスベ
ローズ１４と通電路となる銅ベローズ１５を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空コンデンサに関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５はこの種の一般的な可変形真空コン
デンサの断面構造図であり、例えば、両端に銅製のフラ
ンジ１ａ，１ｂが付いた筒状のセラミック２で筒状部を
形成し、この筒状部を固定導体３と金属製蓋体４により
閉塞して、高耐力真空誘電体を充填するための真空容器
１３を形成している。固定導体３の内側には、内径が異
なる複数の略円筒状の電極板を同心円状に一定間隔をも
って設けて固定電極５を形成しており、また固定電極５
の各電極間隔内に非接触状態で挿出入する内径が異なる
複数の円筒状電極板により可動電極６を形成している。
可動電極６は可動導体８に設けられている。
デンサの断面構造図であり、例えば、両端に銅製のフラ
ンジ１ａ，１ｂが付いた筒状のセラミック２で筒状部を
形成し、この筒状部を固定導体３と金属製蓋体４により
閉塞して、高耐力真空誘電体を充填するための真空容器
１３を形成している。固定導体３の内側には、内径が異
なる複数の略円筒状の電極板を同心円状に一定間隔をも
って設けて固定電極５を形成しており、また固定電極５
の各電極間隔内に非接触状態で挿出入する内径が異なる
複数の円筒状電極板により可動電極６を形成している。
可動電極６は可動導体８に設けられている。
【０００３】可動導体８は可動電極６の背面側に中空リ
ード部８ａを有しており、中空リード部８ａの側面は軸
受７により摺動自在に支持されている。又、中空リード
部８ａの端部内壁には雌ねじ部８ｂが形成されている。
９は静電容量調整ねじであり、頭部９ａと、雌ねじ部８
ｂと螺合する雄ねじ部９ｂとからなる。静電容量調整ね
じ９は蓋体４の略中央部に形成された支持体、即ちねじ
受け部１０と回転トルクを低減するためのスラストベア
リング１１とで支持されており、その頭部９ａを手動又
はモータ等を用いて回転させることにより可動導体８を
上下動させる。これにより、固定電極５と可動電極６と
の交叉面積が変わるので、両電極５，６にそれぞれ異な
る極性の電圧が印加されたときに、電極５，６間に生じ
る静電容量の値を連続的に変化させることができる。
ード部８ａを有しており、中空リード部８ａの側面は軸
受７により摺動自在に支持されている。又、中空リード
部８ａの端部内壁には雌ねじ部８ｂが形成されている。
９は静電容量調整ねじであり、頭部９ａと、雌ねじ部８
ｂと螺合する雄ねじ部９ｂとからなる。静電容量調整ね
じ９は蓋体４の略中央部に形成された支持体、即ちねじ
受け部１０と回転トルクを低減するためのスラストベア
リング１１とで支持されており、その頭部９ａを手動又
はモータ等を用いて回転させることにより可動導体８を
上下動させる。これにより、固定電極５と可動電極６と
の交叉面積が変わるので、両電極５，６にそれぞれ異な
る極性の電圧が印加されたときに、電極５，６間に生じ
る静電容量の値を連続的に変化させることができる。
【０００４】１２は軟質金属製のベローズであり、真空
容器１３内を気密に保持しながら可動導体８及び可動電
極６が上下動できるように、一端縁を蓋体４の内壁及び
軸受７に接合するとともに、他端縁を可動導体８に接合
している。なお、この他端縁を中空リード部８ａの表面
に接合する構造のものもある。中空リード部８ａとそれ
をガイドする軸受７との間は潤滑油で絶縁されるため、
真空容器１３の内部ではベローズ１２に通電する構造と
なっている。即ち、蓋体４に設けられた外部電源端子
（図示省略）と可動電極６との通電路をベローズ１２が
兼ねている。
容器１３内を気密に保持しながら可動導体８及び可動電
極６が上下動できるように、一端縁を蓋体４の内壁及び
軸受７に接合するとともに、他端縁を可動導体８に接合
している。なお、この他端縁を中空リード部８ａの表面
に接合する構造のものもある。中空リード部８ａとそれ
をガイドする軸受７との間は潤滑油で絶縁されるため、
真空容器１３の内部ではベローズ１２に通電する構造と
なっている。即ち、蓋体４に設けられた外部電源端子
（図示省略）と可動電極６との通電路をベローズ１２が
兼ねている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、真空コンデ
ンサに要求される特性として、損失が低く通電時の発熱
が少ないこと、及び長寿命であることが含まれる。上記
した従来の真空コンデンサにおいては、ベローズ１２の
材質が上記特性に大きな影響を与え、その材質としては
リン青銅やベリリウム銅のような銅系材質とＳＵＳ３０
４Ｌのようなステンレス系材質とがあるが、両者は一長
一短があり、上記要求特性を同時に満足させることはで
きなかった。例えば、ステンレス系のベローズは銅系の
ベローズに比べて長寿命であるが、通電能力が劣り、通
電時の発熱が避けられなかった。このため、従来では寿
命の問題は残るが、通電能力に優れるリン青銅ベローズ
が主に用いられていた。
ンサに要求される特性として、損失が低く通電時の発熱
が少ないこと、及び長寿命であることが含まれる。上記
した従来の真空コンデンサにおいては、ベローズ１２の
材質が上記特性に大きな影響を与え、その材質としては
リン青銅やベリリウム銅のような銅系材質とＳＵＳ３０
４Ｌのようなステンレス系材質とがあるが、両者は一長
一短があり、上記要求特性を同時に満足させることはで
きなかった。例えば、ステンレス系のベローズは銅系の
ベローズに比べて長寿命であるが、通電能力が劣り、通
電時の発熱が避けられなかった。このため、従来では寿
命の問題は残るが、通電能力に優れるリン青銅ベローズ
が主に用いられていた。
【０００６】この発明は上記のような課題を解決するた
めに成されたものであり、通電時の発熱を低減すること
ができるとともに、長寿命な真空コンデンサを得ること
を目的とする。
めに成されたものであり、通電時の発熱を低減すること
ができるとともに、長寿命な真空コンデンサを得ること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る真空コンデンサは、可動導体と他方の金属材との間に
通電路となるとともに真空容器内を気密に保持するため
に設けられたベローズを、ステンレスベローズと銅ベロ
ーズにより構成したものである。
る真空コンデンサは、可動導体と他方の金属材との間に
通電路となるとともに真空容器内を気密に保持するため
に設けられたベローズを、ステンレスベローズと銅ベロ
ーズにより構成したものである。
【０００８】又、請求項２に係る真空コンデンサは、可
動導体と他方の金属材との間に通電路となるとともに真
空容器内を気密に保持するために設けられたベローズを
ステンレスベローズにより構成するとともに、該ベロー
ズと並列に銅条又は銀条を設けたものである。
動導体と他方の金属材との間に通電路となるとともに真
空容器内を気密に保持するために設けられたベローズを
ステンレスベローズにより構成するとともに、該ベロー
ズと並列に銅条又は銀条を設けたものである。
【０００９】
【作用】この発明の請求項１においては、可動導体と他
方の金属材との通電が銅ベローズにより行われ、銅の導
電率はリン青銅の導電率より大きいので、通電時の発熱
は低減される。又、寿命はステンレスベローズ単独のと
きと同等となり、長寿命となる。
方の金属材との通電が銅ベローズにより行われ、銅の導
電率はリン青銅の導電率より大きいので、通電時の発熱
は低減される。又、寿命はステンレスベローズ単独のと
きと同等となり、長寿命となる。
【００１０】又、請求項２においては、可動導体と他方
の金属材との間の通電が実質的には銅条又は銀条により
行われ、これらの導電率はリン青銅より大きいので、通
電時の発熱は低減される。又、寿命はステンレスベロー
ズ単独のときと同等に行われ、長寿命となる。
の金属材との間の通電が実質的には銅条又は銀条により
行われ、これらの導電率はリン青銅より大きいので、通
電時の発熱は低減される。又、寿命はステンレスベロー
ズ単独のときと同等に行われ、長寿命となる。
【００１１】
実施例１ 以下、この発明の実施例を図面とともに説明する。図１
は実施例１による真空コンデンサの縦断面図を示し、１
４は可動導体８と軸受７及び蓋体４との間に設けられた
筒状のステンレス（例えばＳＵＳ３０４Ｌ）製のベロー
ズであり、１５はステンレスベローズ１４の外側で可動
導体８と軸受７及び蓋体４との間に設けられた筒状の銅
製のベローズである。他の構成は従来と同様である。
は実施例１による真空コンデンサの縦断面図を示し、１
４は可動導体８と軸受７及び蓋体４との間に設けられた
筒状のステンレス（例えばＳＵＳ３０４Ｌ）製のベロー
ズであり、１５はステンレスベローズ１４の外側で可動
導体８と軸受７及び蓋体４との間に設けられた筒状の銅
製のベローズである。他の構成は従来と同様である。
【００１２】上記構成において、ベローズ１４，１５は
真空容器１３内を気密に保持するとともに可動導体８と
蓋体４との通電路となるが、電源周波数１３．５６ＭＨ
Z、静電容量５００ＰＦの真空コンデンサの場合、通電
電流と表面温度の関係は図２に示すようになり、従来の
ようにリン青銅ベローズを用いた場合により温度上昇は
低くなる。これは、通電が主に銅ベローズ１５により行
われ、リン青銅の導電率が銅の導電率の１０％程度であ
るため、発熱が低減されたものである。又、寿命特性は
図３に示すようになり、リン青銅ベローズを用いた場合
を１として８程度となる。これはステンレス（ＳＵＳ３
０４Ｌ）ベローズを単独で用いた場合と同様であり、真
空保持が主にステンレスベローズ１４により行われるた
めである。
真空容器１３内を気密に保持するとともに可動導体８と
蓋体４との通電路となるが、電源周波数１３．５６ＭＨ
Z、静電容量５００ＰＦの真空コンデンサの場合、通電
電流と表面温度の関係は図２に示すようになり、従来の
ようにリン青銅ベローズを用いた場合により温度上昇は
低くなる。これは、通電が主に銅ベローズ１５により行
われ、リン青銅の導電率が銅の導電率の１０％程度であ
るため、発熱が低減されたものである。又、寿命特性は
図３に示すようになり、リン青銅ベローズを用いた場合
を１として８程度となる。これはステンレス（ＳＵＳ３
０４Ｌ）ベローズを単独で用いた場合と同様であり、真
空保持が主にステンレスベローズ１４により行われるた
めである。
【００１３】なお、真空コンデンサとしての動作は従来
と同様であり、固定電極５への通電は固定導体３を介し
て行われ、可動電極６への通電は蓋体４，銅ベローズ１
５及び可動導体８を介して行われ、静電容量調整ねじ９
の回転により可動導体８を上下動し、これにより両電極
５，６の交叉面積を変えることにより静電容量を連続的
に変えることができる。
と同様であり、固定電極５への通電は固定導体３を介し
て行われ、可動電極６への通電は蓋体４，銅ベローズ１
５及び可動導体８を介して行われ、静電容量調整ねじ９
の回転により可動導体８を上下動し、これにより両電極
５，６の交叉面積を変えることにより静電容量を連続的
に変えることができる。
【００１４】以上のように実施例１では銅ベローズ１５
に通電させることにより温度上昇を低減させることがで
き、これに伴って真空コンデンサの許容電流最大値を大
きくすることができ、真空コンデンサを装置に組み込ん
だ場合その冷却を低減または不要とすることができる。
又、真空容器１３の真空保持をステンレスベローズ１４
によって行うことにより長寿命化が可能となる。
に通電させることにより温度上昇を低減させることがで
き、これに伴って真空コンデンサの許容電流最大値を大
きくすることができ、真空コンデンサを装置に組み込ん
だ場合その冷却を低減または不要とすることができる。
又、真空容器１３の真空保持をステンレスベローズ１４
によって行うことにより長寿命化が可能となる。
【００１５】実施例２ 図４は実施例２による真空コンデンサの縦断面図を示
し、１６はステンレスベローズ１４の外側で可動導体８
と蓋体４との間に接続された帯状の銅条であり、他の構
成は前述と同様である。
し、１６はステンレスベローズ１４の外側で可動導体８
と蓋体４との間に接続された帯状の銅条であり、他の構
成は前述と同様である。
【００１６】上記構成において、真空コンデンサの通電
電流と表面温度の関係はやはり図２に示すようになり、
従来より温度上昇は低くなる。これは、通電が主に銅条
１６により行われ、リン青銅の導電率が銅の導電率の１
０％程度であるため、発熱が低減されたものである。
又、寿命特性はやはり図３に示すようになり、ステンレ
スベローズを単独で用いた場合と同等である。これは、
真空保持が主にステンレスベローズ１４により行われる
ためである。
電流と表面温度の関係はやはり図２に示すようになり、
従来より温度上昇は低くなる。これは、通電が主に銅条
１６により行われ、リン青銅の導電率が銅の導電率の１
０％程度であるため、発熱が低減されたものである。
又、寿命特性はやはり図３に示すようになり、ステンレ
スベローズを単独で用いた場合と同等である。これは、
真空保持が主にステンレスベローズ１４により行われる
ためである。
【００１７】実施例２では銅条１６に通電させることに
より温度上昇を低減させることができ、実施例１と同様
な効果を得ることができる。又、長寿命化においても実
施例１と同様な効果を得ることができる。なお、銅条１
６の代わりに銀条を用いても同様の効果を得ることがで
きる。
より温度上昇を低減させることができ、実施例１と同様
な効果を得ることができる。又、長寿命化においても実
施例１と同様な効果を得ることができる。なお、銅条１
６の代わりに銀条を用いても同様の効果を得ることがで
きる。
【００１８】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、可動導
体と他方の金属材との間にステンレスベローズを設ける
とともに、ステンレスベローズと並列に銅ベローズある
いは銅条または銀条を設けており、通電を導電率が高い
銅ベローズあるいは銅条または銀条により行うことによ
り、通電時の温度上昇を防止することができ、これに伴
って許容電流最大値を大きくすることができるととも
に、冷却を低減または不要とすることができる。又、真
空保持をステンレスベローズによって行うことにより、
長寿命化が可能となる。
体と他方の金属材との間にステンレスベローズを設ける
とともに、ステンレスベローズと並列に銅ベローズある
いは銅条または銀条を設けており、通電を導電率が高い
銅ベローズあるいは銅条または銀条により行うことによ
り、通電時の温度上昇を防止することができ、これに伴
って許容電流最大値を大きくすることができるととも
に、冷却を低減または不要とすることができる。又、真
空保持をステンレスベローズによって行うことにより、
長寿命化が可能となる。
【図１】この発明の実施例１による真空コンデンサの縦
断面図。
断面図。
【図２】この発明の実施例１，２による真空コンデンサ
の通電電流−表面温度特性図。
の通電電流−表面温度特性図。
【図３】この発明の実施例１，２による真空コンデンサ
の寿命特性図。
の寿命特性図。
【図４】この発明の実施例２による真空コンデンサの縦
断面図。
断面図。
【図５】従来の真空コンデンサの縦断面図。
１ａ，１ｂ…フランジ ２…セラミック ３…固定導体 ４…蓋体 ５…固定電極 ６…可動電極 ８…可動導体 ９…静電容量調整ねじ １３…真空容器 １４…ステンレスベローズ １５…銅ベローズ １６…銅条
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも一部が絶縁筒からなる筒状部
の両端を金属材により閉塞して真空容器を形成し、一方
の金属材の内側に複数の筒状電極板を同心状に設けて固
定電極を形成するとともに、この筒状電極板間に非接触
で挿出入する複数の筒状電極板からなる可動電極を可動
導体に取り付け、この可動導体を他方の金属材に回転自
在に支持された静電容量調整ねじと螺合させ、かつ可動
導体と他方の金属材との間に真空容器内を気密に保持す
るとともに導電路となる筒状のベローズを設けた真空コ
ンデンサにおいて、上記ベローズをステンレスベローズ
と銅ベローズにより構成したことを特徴とする真空コン
デンサ。 - 【請求項２】 少なくとも一部が絶縁筒からなる筒状部
の両端を金属材により閉塞して真空容器を形成し、一方
の金属材の内側に複数の筒状電極板を同心状に設けて固
定電極を形成するとともに、この筒状電極板間に非接触
で挿出入する複数の筒状電極板からなる可動電極を可動
導体に取り付け、この可動導体を他方の金属材に回転自
在に支持された静電容量調整ねじと螺合させ、かつ可動
導体と他方の金属材との間に真空容器内を気密に保持す
るとともに通電路となる筒状のベローズを設けた真空コ
ンデンサにおいて、上記ベローズをステンレスベローズ
により構成するとともに、可動導体と他方の金属材との
間を銅条又は銀条により接続したことを特徴とする真空
コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22294993A JPH0778729A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22294993A JPH0778729A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 真空コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778729A true JPH0778729A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16790405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22294993A Pending JPH0778729A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778729A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6587328B2 (en) * | 2000-03-08 | 2003-07-01 | Comet Technik Ag | Bellows with a uniform electric conductive layer for a vacuum capacitor |
| US6975499B2 (en) | 2003-12-22 | 2005-12-13 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum variable capacitor with energization and heat shielding bellows |
| US7041930B2 (en) | 2003-12-08 | 2006-05-09 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Bellows for use in vacuum capacitor |
| US7042699B2 (en) | 2004-05-28 | 2006-05-09 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum variable capacitor |
| WO2012157397A1 (ja) | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社明電舎 | ベローズおよびその製造方法 |
| US20160336151A1 (en) * | 2013-12-18 | 2016-11-17 | Applied Materals, Inc. | Ac power connector, sputtering apparatus and method therefor |
| CN108242933A (zh) * | 2018-03-09 | 2018-07-03 | 北京国广星波科技开发有限公司 | 一种dx发射机 |
| WO2026023490A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP22294993A patent/JPH0778729A/ja active Pending
Cited By (13)
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| KR101535551B1 (ko) * | 2011-05-18 | 2015-07-09 | 메이덴샤 코포레이션 | 벨로즈 및 그 제조 방법 |
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| WO2012157397A1 (ja) | 2011-05-18 | 2012-11-22 | 株式会社明電舎 | ベローズおよびその製造方法 |
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| US20160336151A1 (en) * | 2013-12-18 | 2016-11-17 | Applied Materals, Inc. | Ac power connector, sputtering apparatus and method therefor |
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| CN108242933A (zh) * | 2018-03-09 | 2018-07-03 | 北京国广星波科技开发有限公司 | 一种dx发射机 |
| WO2026023490A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
| JP2026015838A (ja) * | 2024-07-22 | 2026-02-03 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ |
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