JPH0779177B2 - レーザ制御装置 - Google Patents
レーザ制御装置Info
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- JPH0779177B2 JPH0779177B2 JP32536387A JP32536387A JPH0779177B2 JP H0779177 B2 JPH0779177 B2 JP H0779177B2 JP 32536387 A JP32536387 A JP 32536387A JP 32536387 A JP32536387 A JP 32536387A JP H0779177 B2 JPH0779177 B2 JP H0779177B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はレーザ光発振器の光出力の調整手段を改良した
レーザ制御装置に関する。
レーザ制御装置に関する。
（従来の技術） 一般に、レーザ発振装置は、その構成を大別すると第２
図に示すようにレーザ制御装置1,電源装置２およびレー
ザ光発振器３等から成っている。この装置は、一般的に
は光出力設定器４で設定された光出力基準値Pr1を電流
交換手段（図示せず）で電流基準値に変換した後電源装
置２へ供給し、かつ、この電源装置２でその電流基準値
にしたがってレーザ光発振器３を制御することにより、
レーザ光発振器３から光出力基準値Pr1に応じた所望の
光出力PWを得る構成となっている。
図に示すようにレーザ制御装置1,電源装置２およびレー
ザ光発振器３等から成っている。この装置は、一般的に
は光出力設定器４で設定された光出力基準値Pr1を電流
交換手段（図示せず）で電流基準値に変換した後電源装
置２へ供給し、かつ、この電源装置２でその電流基準値
にしたがってレーザ光発振器３を制御することにより、
レーザ光発振器３から光出力基準値Pr1に応じた所望の
光出力PWを得る構成となっている。
ところで、上記レーザ制御装置１においては、以下に述
べる種々の理由から光出力設定器４と電源装置２の間に
電流変換関数発生器５が設けられ、さらに光フィードバ
ック制御系が設けられている。この光フィードバック制
御系はレーザ光発振器３の光出力の変動を防止する目的
で設けられたもので、レーザ光発振器３の光出力PWを速
い応答速度で検出して電圧値V1に変換する高速光検出器
6,この電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に変換す
る光出力変換関数発生器7,この関数発生器７の出力Pf1
と光出力設定器４の出力Pr1との偏差を得る第１の加算
手段8,その偏差に基づいてPID演算を行う光フィードバ
ック制御回路９および光フィードバック制御回路９の出
力と電流変換関数発生器５の出力とを加算し電流基準値
を得る第２の加算手段10等からなっている。11は関数デ
ータ設定部である。
べる種々の理由から光出力設定器４と電源装置２の間に
電流変換関数発生器５が設けられ、さらに光フィードバ
ック制御系が設けられている。この光フィードバック制
御系はレーザ光発振器３の光出力の変動を防止する目的
で設けられたもので、レーザ光発振器３の光出力PWを速
い応答速度で検出して電圧値V1に変換する高速光検出器
6,この電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に変換す
る光出力変換関数発生器7,この関数発生器７の出力Pf1
と光出力設定器４の出力Pr1との偏差を得る第１の加算
手段8,その偏差に基づいてPID演算を行う光フィードバ
ック制御回路９および光フィードバック制御回路９の出
力と電流変換関数発生器５の出力とを加算し電流基準値
を得る第２の加算手段10等からなっている。11は関数デ
ータ設定部である。
しかして、前記電流変換関数発生器５は次のような理由
から設けられている。通常，光出力基準値Pr1と電源装
置２に供給する電流基準値Ir1との変換特性は線形では
ないこと、また，例えば送風循環形レーザ光発振装置等
においては相対向する２つの反射鏡を用いてレーザ光を
増幅出力する光共振室内にガスを送り込みかつその内部
に冷却器およびその冷却気体を循環するフアン等が設け
られ、このフアンにより冷却気体を循環させながら排気
ポンプで外部に送り出す形式のものがあるが、このよう
な発振器では冷却気体のガス圧力（密度），冷却気体の
風量およびその気体の温度の違い等により、また一般的
な発振器では反射鏡の交換，熱変化および取付位置の変
化，光モードの変更等により、電流基準値Ir1とそれに
よって得られるレーザ光発振器３の光出力PWとの間の変
換特性が不定であること等から光出力基準値Pr1から直
ちに光出力PWを決定することができない。ここに，光出
力基準値Pr1から電流基準値Ir1を得るための変換特性を
調整する必要があり、そのために電流変換関数発生器５
が設けられている。
から設けられている。通常，光出力基準値Pr1と電源装
置２に供給する電流基準値Ir1との変換特性は線形では
ないこと、また，例えば送風循環形レーザ光発振装置等
においては相対向する２つの反射鏡を用いてレーザ光を
増幅出力する光共振室内にガスを送り込みかつその内部
に冷却器およびその冷却気体を循環するフアン等が設け
られ、このフアンにより冷却気体を循環させながら排気
ポンプで外部に送り出す形式のものがあるが、このよう
な発振器では冷却気体のガス圧力（密度），冷却気体の
風量およびその気体の温度の違い等により、また一般的
な発振器では反射鏡の交換，熱変化および取付位置の変
化，光モードの変更等により、電流基準値Ir1とそれに
よって得られるレーザ光発振器３の光出力PWとの間の変
換特性が不定であること等から光出力基準値Pr1から直
ちに光出力PWを決定することができない。ここに，光出
力基準値Pr1から電流基準値Ir1を得るための変換特性を
調整する必要があり、そのために電流変換関数発生器５
が設けられている。
一方、光出力変換関数発生器７を用いた光フィードバッ
ク制御系を設けた理由は、レーザ光発振器３自体のガス
圧力，冷却気体の風量およびその気体の温度，反射鏡の
熱変化および汚れ等により、その光出力PWは常に変動す
る。そこで、この光出力PWの変動を応答性の速い高速光
検出器６で検出し電圧値V1に変換してフィードバックす
るが、このとき光出力PWと電圧値V1との変換特性が不定
であるので、電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に
変換する変換特性を調整するために光出力変換関数発生
器７を設けて適正な光出力フィードバック値Pf1を得、
これを第１の加算手段８を介して光フィードバック制御
を行う必要がある。
ク制御系を設けた理由は、レーザ光発振器３自体のガス
圧力，冷却気体の風量およびその気体の温度，反射鏡の
熱変化および汚れ等により、その光出力PWは常に変動す
る。そこで、この光出力PWの変動を応答性の速い高速光
検出器６で検出し電圧値V1に変換してフィードバックす
るが、このとき光出力PWと電圧値V1との変換特性が不定
であるので、電圧値V1を光出力フィードバック値Pf1に
変換する変換特性を調整するために光出力変換関数発生
器７を設けて適正な光出力フィードバック値Pf1を得、
これを第１の加算手段８を介して光フィードバック制御
を行う必要がある。
ところで、従来装置における両変換関数発生器5,7の関
数データの調整は、レーザ発振器３を調整の度に外部か
ら電源装置２に電流基準値Ir1を段階的に与えつつのそ
時の光出力PWと高速光検出器６の出力電圧V1とを測定
し、それらのデータに基づいて関数データ設定部11から
変換関数発生器5,7に関数データを手動にて設定してい
る。
数データの調整は、レーザ発振器３を調整の度に外部か
ら電源装置２に電流基準値Ir1を段階的に与えつつのそ
時の光出力PWと高速光検出器６の出力電圧V1とを測定
し、それらのデータに基づいて関数データ設定部11から
変換関数発生器5,7に関数データを手動にて設定してい
る。
（発明が解決しようとする問題点） 従って、以上のように光出力基準値Pr1と電流基準値Ir1
との変換特性の線形化および光出力PWの変動防止の観点
から変換関数発生器5,7が設けられているが、これら関
数データの調整がレーザ光発振器３の調整の度に手動に
て設定しているので、その調整作業に長時間を要し、か
つ、関数データの設定ミスが度々発生する問題がある。
との変換特性の線形化および光出力PWの変動防止の観点
から変換関数発生器5,7が設けられているが、これら関
数データの調整がレーザ光発振器３の調整の度に手動に
て設定しているので、その調整作業に長時間を要し、か
つ、関数データの設定ミスが度々発生する問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
人手を必要とせずに関数発生器の関数データを短時間に
自動的に調整設定し得るレーザ制御装置を提供すること
を目的とする。
人手を必要とせずに関数発生器の関数データを短時間に
自動的に調整設定し得るレーザ制御装置を提供すること
を目的とする。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明によるレーザ制御装置は、上記目的を達成するた
めに、光出力基準値に応じて電流変換関数発生器から出
力される電流基準出力とレーザ光発振器の光出力を高速
光検出器で検出しこの光出力検出値に基づいて光出力変
換関数発生器から出力される光出力フィードバック値と
を用いて電源装置の電流基準値を決定し、前記電源装置
が前記電流基準値に基づいてレーザ光発振器を制御する
レーザ制御装置において、 自動調整モード時に前記電源装置へ異なる基準電流値を
順次供給し、そのときの前記レーザ光発振器の光出力を
高速光検出器と低速光検出器で検出し、これらの光検出
器の出力を用いて得られる関数データを順次前記電流変
換関数発生器および前記光出力変換関数発生器へ設定す
る関数データ調整設定手段を備えたものである。
めに、光出力基準値に応じて電流変換関数発生器から出
力される電流基準出力とレーザ光発振器の光出力を高速
光検出器で検出しこの光出力検出値に基づいて光出力変
換関数発生器から出力される光出力フィードバック値と
を用いて電源装置の電流基準値を決定し、前記電源装置
が前記電流基準値に基づいてレーザ光発振器を制御する
レーザ制御装置において、 自動調整モード時に前記電源装置へ異なる基準電流値を
順次供給し、そのときの前記レーザ光発振器の光出力を
高速光検出器と低速光検出器で検出し、これらの光検出
器の出力を用いて得られる関数データを順次前記電流変
換関数発生器および前記光出力変換関数発生器へ設定す
る関数データ調整設定手段を備えたものである。
（作用） 従って、本発明は、以上のような手段とすることによ
り、自動調整モード時，関数データ調整設定手段を手動
的または自動的に電源装置に接続した後、前記関数デー
タ調整設定手段から異なる電流基準値を供給しながらレ
ーザ光発振器の光出力を高速光検出器と低速光検出器で
検出し、かつ、これら高速光検出器の出力および低速光
検出器の出力を元に関数データを決定しながら前記電流
変換関数発生器および光出力変換関数発生器に設定する
ので、短時間に関数データを自動的に設定できる。
り、自動調整モード時，関数データ調整設定手段を手動
的または自動的に電源装置に接続した後、前記関数デー
タ調整設定手段から異なる電流基準値を供給しながらレ
ーザ光発振器の光出力を高速光検出器と低速光検出器で
検出し、かつ、これら高速光検出器の出力および低速光
検出器の出力を元に関数データを決定しながら前記電流
変換関数発生器および光出力変換関数発生器に設定する
ので、短時間に関数データを自動的に設定できる。
（実施例） 以下、本発明装置の一実施例について第１図を参照して
説明する。本装置は、従来装置と同様に光出力設定器21
の光出力基準値Pr1を電流変換関数発生器22で関数デー
タに基づいて電流基準出力Ir1′に変換し第２の加算手
段23を通して電源装置24に供給する電流基準供給系と、
レーザ光発振器25の光出力PWを検出し電圧値V1に変換し
て出力する高速光検出器26、この高速光検出器26の出力
を関数データに基づいて光出力フィードバック値Pr1に
変換する光出力変換関数発生器27、この関数発生器27の
出力と光出力設定器21の出力との偏差を演算する第１の
加算手段28、この第１の加算手段28では得られた偏差を
用いて例えばPID演算を行い補正電流出力Icを得た後前
記第２の加算手段23へ供給する光フィードバック制御回
路29等からなる光フィードバック制御系とにより構成さ
れている。
説明する。本装置は、従来装置と同様に光出力設定器21
の光出力基準値Pr1を電流変換関数発生器22で関数デー
タに基づいて電流基準出力Ir1′に変換し第２の加算手
段23を通して電源装置24に供給する電流基準供給系と、
レーザ光発振器25の光出力PWを検出し電圧値V1に変換し
て出力する高速光検出器26、この高速光検出器26の出力
を関数データに基づいて光出力フィードバック値Pr1に
変換する光出力変換関数発生器27、この関数発生器27の
出力と光出力設定器21の出力との偏差を演算する第１の
加算手段28、この第１の加算手段28では得られた偏差を
用いて例えばPID演算を行い補正電流出力Icを得た後前
記第２の加算手段23へ供給する光フィードバック制御回
路29等からなる光フィードバック制御系とにより構成さ
れている。
本装置において従来装置と特に異なるのは、第２の加算
手段23と電源装置24との間に例えばハード的なスイッチ
31を設け、常時は電源装置24側を第２の加算手段23の出
力端側に接続し、自動調整モード時に図示位置とは反対
側の端子，つまり調整モード側端子に接続する調整モー
ド切替手段が設けられている。
手段23と電源装置24との間に例えばハード的なスイッチ
31を設け、常時は電源装置24側を第２の加算手段23の出
力端側に接続し、自動調整モード時に図示位置とは反対
側の端子，つまり調整モード側端子に接続する調整モー
ド切替手段が設けられている。
また、低速光検出器32、光出力変換器33および関数デー
タ調整設定回路34等からなる関数データ調整設定手段が
設けられている。この関数データ調整設定手段は、自動
調整モード時，すなわちスイッチ31が図示位置と反対側
を選択されていると、関数データ調整設定回路34から例
えば段階的に電流基準値を電源装置24へ供給し、このと
きレーザ光発振器25の光出力PWを高速光検出器26および
低速光検出器32で検出して電圧値V1，V2に変換し、この
電圧値V1および電圧値V2を光出力変換器33で変換した光
出力フィードバック値Pf2を順次測定記憶し、これらの
記憶データを元に関数データを求めて前記電流変換関数
発生器22,光出力変換関数発生器27に設定していく構成
である。
タ調整設定回路34等からなる関数データ調整設定手段が
設けられている。この関数データ調整設定手段は、自動
調整モード時，すなわちスイッチ31が図示位置と反対側
を選択されていると、関数データ調整設定回路34から例
えば段階的に電流基準値を電源装置24へ供給し、このと
きレーザ光発振器25の光出力PWを高速光検出器26および
低速光検出器32で検出して電圧値V1，V2に変換し、この
電圧値V1および電圧値V2を光出力変換器33で変換した光
出力フィードバック値Pf2を順次測定記憶し、これらの
記憶データを元に関数データを求めて前記電流変換関数
発生器22,光出力変換関数発生器27に設定していく構成
である。
更に、関数データ調整設定手段によって調整設定された
関数データの適正有無を判断する関数データ適正判断手
段が備えられている。この関数データ適正判断手段にあ
っては、常時は図示位置側端子に接続され、レーザ光発
振器25の最良な自動調整モード時等に図示位置とは反対
側端子に接続する関数データ記憶スイッチ41a,41bと、
これらのスイッチ41a,41bが図示位置と反対側端子に設
定されたとき前記関数データ調整設定回路34から電流変
換関数発生器22および光出力変換関数発生器27へ設定す
る関数データを記憶する電流変換側標準関数データテー
ブル42および光出力変換側基準関数データテーブル43
と、この記憶された関数データと通常の自動調整モード
時に得られる関数データとを比較し所定の値以上異なっ
ているときに警報その他の手段により外部に報知する関
数データ比較回路44から構成されている。
関数データの適正有無を判断する関数データ適正判断手
段が備えられている。この関数データ適正判断手段にあ
っては、常時は図示位置側端子に接続され、レーザ光発
振器25の最良な自動調整モード時等に図示位置とは反対
側端子に接続する関数データ記憶スイッチ41a,41bと、
これらのスイッチ41a,41bが図示位置と反対側端子に設
定されたとき前記関数データ調整設定回路34から電流変
換関数発生器22および光出力変換関数発生器27へ設定す
る関数データを記憶する電流変換側標準関数データテー
ブル42および光出力変換側基準関数データテーブル43
と、この記憶された関数データと通常の自動調整モード
時に得られる関数データとを比較し所定の値以上異なっ
ているときに警報その他の手段により外部に報知する関
数データ比較回路44から構成されている。
次に、以上のように構成された装置の動作を説明する。
常時は、変換関数発生器22は予め調整設定された関数デ
ータを用いて光出力基準値Pr1を電流基準値出力Ir1′に
変換し、また変換関数発生器27は同様に予め調整設定さ
れた関数データを用いて高速光検出器26の出力V1を光出
力フィードバック値Pf1に変換し、光出力基準値Pr1と電
流基準値出力Ir1′との変換特性の線形化を行い、か
つ、レーザ光発振器25の光出力PWの変動を抑制する光フ
ィードバック制御を行うことにより、第１の加算手段23
から電流変換関数発生器22の出力Ir1′に電流補正値Ic
を加算してなる電流基準Ir1を取得し電源装置24へ供給
している。
常時は、変換関数発生器22は予め調整設定された関数デ
ータを用いて光出力基準値Pr1を電流基準値出力Ir1′に
変換し、また変換関数発生器27は同様に予め調整設定さ
れた関数データを用いて高速光検出器26の出力V1を光出
力フィードバック値Pf1に変換し、光出力基準値Pr1と電
流基準値出力Ir1′との変換特性の線形化を行い、か
つ、レーザ光発振器25の光出力PWの変動を抑制する光フ
ィードバック制御を行うことにより、第１の加算手段23
から電流変換関数発生器22の出力Ir1′に電流補正値Ic
を加算してなる電流基準Ir1を取得し電源装置24へ供給
している。
以上のような状態において例えばレーザ光発振器25が種
々の理由から調整あるいは部材の交換等を行った時、そ
れに伴ない自動調整モードにより正しい関数データを得
る必要がある。
々の理由から調整あるいは部材の交換等を行った時、そ
れに伴ない自動調整モードにより正しい関数データを得
る必要がある。
しかして、この自動調整モードは、自動的または人為的
にスイッチ31を第１の加算手段23側から関数データ調整
設定回路34側に接続した後、この関数データ調整設定回
路34から電流基準値Ir1を零から100％まで段階的，か
つ，自動的に出力して電源装置24に供給し、この電源装
置24はその電流基準値Ir1にしたがってレーザ光発振器2
5に電流を与えていく。その結果，レーザ光発振器25か
らその電流に応じたエネルギーの光出力PWが発生する。
にスイッチ31を第１の加算手段23側から関数データ調整
設定回路34側に接続した後、この関数データ調整設定回
路34から電流基準値Ir1を零から100％まで段階的，か
つ，自動的に出力して電源装置24に供給し、この電源装
置24はその電流基準値Ir1にしたがってレーザ光発振器2
5に電流を与えていく。その結果，レーザ光発振器25か
らその電流に応じたエネルギーの光出力PWが発生する。
この光出力PWは低速光検出器32で検出する。この低速光
検出器32は応答特性は遅いが光出力−電圧変換を線形で
行う特性をもっているので、正確に光出力PWを検出でき
る。そして、この低速光検出器32,光出力変換器33で変
換された光フィードバックPf2と高速光検出器26の出力V
1は関数データ調整設定回路34で同時に測定記憶され
る。従って、この関数データ調整設定回路34は電流基準
値Ir1を零から100％まで増加させることにより、電流基
準値Ir1に対するPf2から出力基準値Pr1−基準電流出力I
r1′の電流変換用関数データを得ることができ、高速光
検出器26の電圧V1−光出力フィードバック値Pf2から光
出力変換関数発生器27の光出力変換用関数データを得る
ことができ、かつ、これらの関数データはそれぞれ電流
変換関数発生器22および光出力変換関数発生器27に自動
的に設定される。
検出器32は応答特性は遅いが光出力−電圧変換を線形で
行う特性をもっているので、正確に光出力PWを検出でき
る。そして、この低速光検出器32,光出力変換器33で変
換された光フィードバックPf2と高速光検出器26の出力V
1は関数データ調整設定回路34で同時に測定記憶され
る。従って、この関数データ調整設定回路34は電流基準
値Ir1を零から100％まで増加させることにより、電流基
準値Ir1に対するPf2から出力基準値Pr1−基準電流出力I
r1′の電流変換用関数データを得ることができ、高速光
検出器26の電圧V1−光出力フィードバック値Pf2から光
出力変換関数発生器27の光出力変換用関数データを得る
ことができ、かつ、これらの関数データはそれぞれ電流
変換関数発生器22および光出力変換関数発生器27に自動
的に設定される。
一方、関数データ適正判断手段においては、例えばレー
ザ光発振器25の最良自動調整モード時にスイッチ41a,41
bを図示位置とは反対側端子に接続し、前記両変換関数
発生器22,27に設定したと同じ関数データを基準関数デ
ータテーブル42,43に順次記憶していく。
ザ光発振器25の最良自動調整モード時にスイッチ41a,41
bを図示位置とは反対側端子に接続し、前記両変換関数
発生器22,27に設定したと同じ関数データを基準関数デ
ータテーブル42,43に順次記憶していく。
また、別時期のレーザ光発振器32の自動調整モード時、
スイッチ41a,41bを図示位置に設定したとき、既に記憶
されている電流変換用関数データ，光出力変換用関数デ
ータと今回調整によって得られた電流変換用関数デー
タ，光出力変換用関数データとをそれぞれ関数データ比
較回路44に入力して比較し、その比較結果が所定の値以
上となったときには最良調整時と大幅に異なると判断
し、いわゆるレーザ光発振器25の調整エラーであるとし
て例えば警報を出力することができる。
スイッチ41a,41bを図示位置に設定したとき、既に記憶
されている電流変換用関数データ，光出力変換用関数デ
ータと今回調整によって得られた電流変換用関数デー
タ，光出力変換用関数データとをそれぞれ関数データ比
較回路44に入力して比較し、その比較結果が所定の値以
上となったときには最良調整時と大幅に異なると判断
し、いわゆるレーザ光発振器25の調整エラーであるとし
て例えば警報を出力することができる。
従って、以上のような実施例の構成によれば、レーザ光
発振器25の調整等のときに自動的に電流基準値を段階的
に電源装置24に供給しながらレーザ光発振器25の光出力
PWを高速光検出器26および低速光検出器32で検出した
後、これら検出器26,32の出力を測定し関数データを求
めて電流変換関数発生器22および光出力変換関数発生器
27に設定するようにしたので、レーザ光発振器25の調整
を行った後の関数データの調整を自動的，かつ，短時間
に設定することができ、それに伴って人間による設定誤
りを無くすことができる。また、自動調整モードの最良
調整時に得られた関数データを予め記憶すると共にこの
記憶された関数データと別時期に調整設定した関数デー
タとを比較することにより、レーザ光発振器25の調整が
適正に行われているかあるいはレーザ光発振器25等の経
時変化の状態ひいては発振器等の構成部材の交換あるい
はレーザ光発振器25自体の交換の目安を得ることができ
る。
発振器25の調整等のときに自動的に電流基準値を段階的
に電源装置24に供給しながらレーザ光発振器25の光出力
PWを高速光検出器26および低速光検出器32で検出した
後、これら検出器26,32の出力を測定し関数データを求
めて電流変換関数発生器22および光出力変換関数発生器
27に設定するようにしたので、レーザ光発振器25の調整
を行った後の関数データの調整を自動的，かつ，短時間
に設定することができ、それに伴って人間による設定誤
りを無くすことができる。また、自動調整モードの最良
調整時に得られた関数データを予め記憶すると共にこの
記憶された関数データと別時期に調整設定した関数デー
タとを比較することにより、レーザ光発振器25の調整が
適正に行われているかあるいはレーザ光発振器25等の経
時変化の状態ひいては発振器等の構成部材の交換あるい
はレーザ光発振器25自体の交換の目安を得ることができ
る。
なお、上記実施例ではハード的な構成を用いて実現した
が、コンピュータを用いて必要なデータ処理部分をソフ
ト的に行うことができる。その他，本発明はその要旨を
逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
が、コンピュータを用いて必要なデータ処理部分をソフ
ト的に行うことができる。その他，本発明はその要旨を
逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。
［発明の効果］ 以上詳記したように本発明によれば、自動調整モード
時，異なる電流基準値を電源装置に供給しつつレーザ光
発振器の光出力を低速光検出器および高速光検出器で検
出しこれらの検出値に基づいて得られた関数データを両
関数発生器に設定するようにしたので、人手を必要とせ
ずに関数発生器の関数データを短時間に自動的に調整設
定できるレーザ制御装置を提供できる。
時，異なる電流基準値を電源装置に供給しつつレーザ光
発振器の光出力を低速光検出器および高速光検出器で検
出しこれらの検出値に基づいて得られた関数データを両
関数発生器に設定するようにしたので、人手を必要とせ
ずに関数発生器の関数データを短時間に自動的に調整設
定できるレーザ制御装置を提供できる。
第１図は本発明に係わるレーザ制御装置の一実施例を説
明する構成図、第２図は従来装置の構成図である。 21……光出力設定器、22……電流変換関数発生器、24…
…電源装置、25……レーザ光発振器、26……高速光検出
器、27……光出力変換関数発生器、32……スイッチ、32
……低速光検出器、33……光出力変換器、34……関数デ
ータ調整設定回路、41a,41b……関数データ記憶スイッ
チ、42……電流変換側標準関数データテーブル、43……
光出力変換側標準関数データテーブル、44……関数デー
タ比較回路。
明する構成図、第２図は従来装置の構成図である。 21……光出力設定器、22……電流変換関数発生器、24…
…電源装置、25……レーザ光発振器、26……高速光検出
器、27……光出力変換関数発生器、32……スイッチ、32
……低速光検出器、33……光出力変換器、34……関数デ
ータ調整設定回路、41a,41b……関数データ記憶スイッ
チ、42……電流変換側標準関数データテーブル、43……
光出力変換側標準関数データテーブル、44……関数デー
タ比較回路。
Claims (1)
- 【請求項１】光出力基準値に応じて電流変換関数発生器
から出力される電流基準出力とレーザ光発振器の光出力
を高速光検出器で検出しこの光出力検出値に基づいて光
出力変換関数発生器から出力される光出力フィードバッ
ク値とを用いて電源装置への電流基準値を決定し、前記
電源装置が前記電流基準値に基づいてレーザ光発振器を
制御するレーザ制御装置において、 自動調整モード時に前記電源装置へ異なる基準電流値を
順次供給し、そのときの前記レーザ光発振器の光出力を
高速光検出器および低速光検出器で検出し、これら両検
出器の出力を用いて得られた関数データを順次前記電流
変換関数発生器および前記光出力変換関数発生器に設定
する関数データ調整設定手段を備えたことを特徴するレ
ーザ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32536387A JPH0779177B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | レーザ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32536387A JPH0779177B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | レーザ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168087A JPH01168087A (ja) | 1989-07-03 |
| JPH0779177B2 true JPH0779177B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=18175990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32536387A Expired - Lifetime JPH0779177B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | レーザ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779177B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2059134A1 (en) * | 1990-04-16 | 1991-10-17 | Ken Ohmata | Laser device |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP32536387A patent/JPH0779177B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01168087A (ja) | 1989-07-03 |
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