JPH0780671A - レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置 - Google Patents
レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0780671A JPH0780671A JP5229778A JP22977893A JPH0780671A JP H0780671 A JPH0780671 A JP H0780671A JP 5229778 A JP5229778 A JP 5229778A JP 22977893 A JP22977893 A JP 22977893A JP H0780671 A JPH0780671 A JP H0780671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- temperature sensor
- abnormality
- laser
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ加工機の光伝送系においてレーザビー
ム１が所定の光路から外れたりビーム径が異常に拡大し
たりしたときにこれを検知できるようにする。 【構成】 レーザ光の光路の近傍に温度センサ２を配置
し、温度センサ２の出力に基づいてレーザ光のビーム異
常を検知する。
ム１が所定の光路から外れたりビーム径が異常に拡大し
たりしたときにこれを検知できるようにする。 【構成】 レーザ光の光路の近傍に温度センサ２を配置
し、温度センサ２の出力に基づいてレーザ光のビーム異
常を検知する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ加工機の光伝
送系においてレーザ光が所定の光路から外れたりビーム
径が拡大したりしたときにこのようなビーム異常を検知
する方法および装置に関する。
送系においてレーザ光が所定の光路から外れたりビーム
径が拡大したりしたときにこのようなビーム異常を検知
する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年レーザを用いた切断・溶接・穴あけ
等の加工が広まってきているが、高い加工品質や複雑な
形状が要求されるに従って、光伝送系のアライメントも
要求が厳しくなりつつある。そのため何らかの原因によ
ってレーザ光の光軸が所定の光路から外れた場合、レー
ザ光は加工速度が他の手段に比して速いことから、品質
の劣る製品を大量に加工してしまう可能性がある。
等の加工が広まってきているが、高い加工品質や複雑な
形状が要求されるに従って、光伝送系のアライメントも
要求が厳しくなりつつある。そのため何らかの原因によ
ってレーザ光の光軸が所定の光路から外れた場合、レー
ザ光は加工速度が他の手段に比して速いことから、品質
の劣る製品を大量に加工してしまう可能性がある。
【０００３】また、最近はレーザの出力が大きくなって
きており、万一、光伝送系を構成する光路管等の内部に
直接ビームが照射された場合には、光路管の損傷や火災
といった安全上の問題が発生する危険もある。
きており、万一、光伝送系を構成する光路管等の内部に
直接ビームが照射された場合には、光路管の損傷や火災
といった安全上の問題が発生する危険もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】述べたように、レーザ
光が所定の光路から外れたりレーザビームが拡散してビ
ーム径が拡大するといったビーム異常は、加工品質や安
全に影響を及ぼし、特に大出力のレーザでは光路管等に
損傷を与えるおそれがあるため、早急に何らかの措置を
講じなければならない。しかしながら、従来、レーザ光
のアライメントのずれを短時間で検知する方法がない。
光が所定の光路から外れたりレーザビームが拡散してビ
ーム径が拡大するといったビーム異常は、加工品質や安
全に影響を及ぼし、特に大出力のレーザでは光路管等に
損傷を与えるおそれがあるため、早急に何らかの措置を
講じなければならない。しかしながら、従来、レーザ光
のアライメントのずれを短時間で検知する方法がない。
【０００５】そこで、この発明の目的は、そのようなビ
ーム異常を検知できるようにすることである。
ーム異常を検知できるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するために、レーザ光の光路の近傍に温度センサ
を配置し、温度センサの出力に基づいてビーム異常を検
知するようにしたものである。
を解決するために、レーザ光の光路の近傍に温度センサ
を配置し、温度センサの出力に基づいてビーム異常を検
知するようにしたものである。
【０００７】この場合、温度センサをレーザ光の光路の
近傍に配置して、温度センサがレーザビームから直接受
ける熱エネルギーによる発熱を検知するようにしてもよ
いし、熱伝導性の良い素材からなる検知部材に温度セン
サを取り付けて、ビーム照射による検知部材の発熱を伝
導により間接的に検知するようにしてもよい。
近傍に配置して、温度センサがレーザビームから直接受
ける熱エネルギーによる発熱を検知するようにしてもよ
いし、熱伝導性の良い素材からなる検知部材に温度セン
サを取り付けて、ビーム照射による検知部材の発熱を伝
導により間接的に検知するようにしてもよい。
【０００８】使用する温度センサは１つだけでもよい
が、熱伝導の良くない場合、あるいは応答性を上げるた
めに、複数の温度センサを使用することもできる。ま
た、１つの検知部材に複数の温度センサを取り付けるこ
とも可能である。
が、熱伝導の良くない場合、あるいは応答性を上げるた
めに、複数の温度センサを使用することもできる。ま
た、１つの検知部材に複数の温度センサを取り付けるこ
とも可能である。
【０００９】ビーム異常が検知された場合、その信号出
力によりレーザ発振器若しくはレーザ加工機又はその両
方を非常停止するような使用も考えられる。
力によりレーザ発振器若しくはレーザ加工機又はその両
方を非常停止するような使用も考えられる。
【００１０】温度センサの出力信号を制御装置に入力
し、レーザビームの異常が検知されたとき、制御装置に
より、レーザビームを反射させるミラーの据え付け角度
を変更する駆動装置を介して、アライメント修正を行な
うようにしてもよい。たとえば、複数の温度センサの出
力値が平均化するようにミラーの据え付け角度を調節す
る。
し、レーザビームの異常が検知されたとき、制御装置に
より、レーザビームを反射させるミラーの据え付け角度
を変更する駆動装置を介して、アライメント修正を行な
うようにしてもよい。たとえば、複数の温度センサの出
力値が平均化するようにミラーの据え付け角度を調節す
る。
【００１１】
【作用】レーザ光の光路の近傍に温度センサを配置して
おくと、レーザビームが所定の光路から外れたり、レー
ザビームが拡大したりしたときは、レーザビームが温度
センサに近付き、あるいは温度センサから遠ざかるた
め、温度センサが感得する熱エネルギーが変化する。し
たがって、温度センサの出力に基づいてレーザ光の異常
を検知することができる。
おくと、レーザビームが所定の光路から外れたり、レー
ザビームが拡大したりしたときは、レーザビームが温度
センサに近付き、あるいは温度センサから遠ざかるた
め、温度センサが感得する熱エネルギーが変化する。し
たがって、温度センサの出力に基づいてレーザ光の異常
を検知することができる。
【００１２】レーザ光の光軸に垂直な平面内で、光軸の
周囲に複数の温度センサを配置した場合、レーザビーム
が光路内にあるときは各温度センサの出力は均等にな
る。ところが、レーザビームが光路から外れたり、ビー
ム径が異常に拡大したりすると、レーザビームとの距離
が短くなったところでは温度センサの出力が増加し、逆
に遠くなったところでは温度センサの出力が減少する。
このように、温度センサの出力が変動することからレー
ザビームの異常を検知できる。
周囲に複数の温度センサを配置した場合、レーザビーム
が光路内にあるときは各温度センサの出力は均等にな
る。ところが、レーザビームが光路から外れたり、ビー
ム径が異常に拡大したりすると、レーザビームとの距離
が短くなったところでは温度センサの出力が増加し、逆
に遠くなったところでは温度センサの出力が減少する。
このように、温度センサの出力が変動することからレー
ザビームの異常を検知できる。
【００１３】温度センサを取り付けた検知部材をレーザ
光の光路の近傍に配置しておけば、レーザビームが検知
部材に当たると検知部材の温度が上昇するので、この温
度変化を温度センサにより検知することによってレーザ
ビームの異常を検知する。
光の光路の近傍に配置しておけば、レーザビームが検知
部材に当たると検知部材の温度が上昇するので、この温
度変化を温度センサにより検知することによってレーザ
ビームの異常を検知する。
【００１４】温度センサの出力信号を制御装置に入力
し、レーザビームの異常が検知されたとき制御装置によ
りレーザ発振器又はレーザ加工機を自動的に停止させる
ようにすれば、レーザビームの異常による機器の損傷や
火災等を防止することができる。
し、レーザビームの異常が検知されたとき制御装置によ
りレーザ発振器又はレーザ加工機を自動的に停止させる
ようにすれば、レーザビームの異常による機器の損傷や
火災等を防止することができる。
【００１５】さらに、レーザビームの異常が検知された
とき、制御装置により、レーザビームを反射させるミラ
ーの据え付け角度を変更する駆動装置を介してアライメ
ント修正を行なうようにすれば、レーザビームの異常に
よる機器の損傷や火災等を防止することができるばかり
でなく、レーザ加工を継続することができる。この場合
のアライメント修正は、たとえば、複数の温度センサの
出力値が平均化するようにミラーの据え付け角度を調節
する。
とき、制御装置により、レーザビームを反射させるミラ
ーの据え付け角度を変更する駆動装置を介してアライメ
ント修正を行なうようにすれば、レーザビームの異常に
よる機器の損傷や火災等を防止することができるばかり
でなく、レーザ加工を継続することができる。この場合
のアライメント修正は、たとえば、複数の温度センサの
出力値が平均化するようにミラーの据え付け角度を調節
する。
【００１６】
【実施例】以下、図面に示す実施例に従ってこの発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１７】まず、図１は、レーザビーム（１）の光路
に垂直な平面において、複数の温度センサ（２）をレー
ザビーム（１）の光路の周囲に円形に配置した実施例を
示す。これらの温度センサ（２）はレーザビームの中心
（Ｏ）から等距離の位置にあり、相互に等間隔に離間し
ている。図示した状態を基準位置とすると、何らかの理
由でレーザビーム（１）がこの基準位置からずれると、
レーザビーム（１）との距離が短くなったところの温度
センサ（２）の出力は増加し、逆に遠くなったところの
温度センサ（２）の出力は減少する。したがって、この
ような温度センサ（２）の出力の変動から、レーザビー
ム（１）が光路からずれたことを検知することができ
る。何らかの理由でビーム径が拡大したときは、すべて
の温度センサ（２）の出力が増加するから、この場合も
温度センサ（２）の出力に基づいてビーム異常を検知で
きる。
に垂直な平面において、複数の温度センサ（２）をレー
ザビーム（１）の光路の周囲に円形に配置した実施例を
示す。これらの温度センサ（２）はレーザビームの中心
（Ｏ）から等距離の位置にあり、相互に等間隔に離間し
ている。図示した状態を基準位置とすると、何らかの理
由でレーザビーム（１）がこの基準位置からずれると、
レーザビーム（１）との距離が短くなったところの温度
センサ（２）の出力は増加し、逆に遠くなったところの
温度センサ（２）の出力は減少する。したがって、この
ような温度センサ（２）の出力の変動から、レーザビー
ム（１）が光路からずれたことを検知することができ
る。何らかの理由でビーム径が拡大したときは、すべて
の温度センサ（２）の出力が増加するから、この場合も
温度センサ（２）の出力に基づいてビーム異常を検知で
きる。
【００１８】温度センサ（２）は伝送管の壁面等に直接
あるいはブラケット等を介して支持される。温度センサ
（２）は制御装置（５）（図７）に接続され、制御装置
（５）は、温度センサ（２）からの入力信号に基づい
て、ビーム異常かどうかを判断する。温度センサ（２）
としては、熱電対、バイメタルその他の適当なものを選
択して採用することができる。なお、バイメタルの場合
は設置温度に達したらＯＮまたはＯＦＦとなってそれ自
体で電気回路を開閉することができるので、制御装置
（５）を介することなく温度センサ（バイメタル）によ
って直接、アラーム信号やレーザ発振器の停止信号を発
生するための電気回路をＯＮ／ＯＦＦ操作することもで
きる。
あるいはブラケット等を介して支持される。温度センサ
（２）は制御装置（５）（図７）に接続され、制御装置
（５）は、温度センサ（２）からの入力信号に基づい
て、ビーム異常かどうかを判断する。温度センサ（２）
としては、熱電対、バイメタルその他の適当なものを選
択して採用することができる。なお、バイメタルの場合
は設置温度に達したらＯＮまたはＯＦＦとなってそれ自
体で電気回路を開閉することができるので、制御装置
（５）を介することなく温度センサ（バイメタル）によ
って直接、アラーム信号やレーザ発振器の停止信号を発
生するための電気回路をＯＮ／ＯＦＦ操作することもで
きる。
【００１９】基本的には、一つの温度センサ（２）を使
用して、その出力の変動からレーザビームの異常を検知
することも可能であるが、図１のように複数の温度セン
サ（２）を光路の周囲に配列しておくことにより、レー
ザビーム（１）がどの方向にずれたのかを検知すること
ができ、しかも、どの方向にずれても迅速に検知できる
という利点がある。
用して、その出力の変動からレーザビームの異常を検知
することも可能であるが、図１のように複数の温度セン
サ（２）を光路の周囲に配列しておくことにより、レー
ザビーム（１）がどの方向にずれたのかを検知すること
ができ、しかも、どの方向にずれても迅速に検知できる
という利点がある。
【００２０】図２は、レーザビーム（１）が通過する部
分に切り欠き（４）を設けた板状の検知部材（３）に１
つの温度センサ（２）を取り付けた実施例を示す。検知
部材（２）の材料は、たとえば銅その他の金属のように
熱伝導性の良いものが望ましい。また、検知部材（３）
の表面は、反射を少なくするために黒く表面処理した
り、コーティングを施してもよい。
分に切り欠き（４）を設けた板状の検知部材（３）に１
つの温度センサ（２）を取り付けた実施例を示す。検知
部材（２）の材料は、たとえば銅その他の金属のように
熱伝導性の良いものが望ましい。また、検知部材（３）
の表面は、反射を少なくするために黒く表面処理した
り、コーティングを施してもよい。
【００２１】１つの検知部材（３）に複数の温度センサ
（２）を取り付けることもでき、図３は４つの温度セン
サ（２）を取り付けた場合を例示している。図２の実施
例の場合、レーザビーム（１）が光路からずれたりレー
ザビーム（１）が拡散してビーム径が拡大したりして検
知部材（３）を発熱させるに至ったときは、これを温度
センサ（２）で検知できるが、レーザビーム（１）がど
の方向にずれたかは判別できない。これに対して図３の
実施例では、温度センサ（２）の数が増えた分だけ応答
性が良く、しかも、レーザービーム（１）がどの方向に
ずれたかをも検知することができる。このような機能
は、温度センサ（２）の数が多いほど向上する。
（２）を取り付けることもでき、図３は４つの温度セン
サ（２）を取り付けた場合を例示している。図２の実施
例の場合、レーザビーム（１）が光路からずれたりレー
ザビーム（１）が拡散してビーム径が拡大したりして検
知部材（３）を発熱させるに至ったときは、これを温度
センサ（２）で検知できるが、レーザビーム（１）がど
の方向にずれたかは判別できない。これに対して図３の
実施例では、温度センサ（２）の数が増えた分だけ応答
性が良く、しかも、レーザービーム（１）がどの方向に
ずれたかをも検知することができる。このような機能
は、温度センサ（２）の数が多いほど向上する。
【００２２】図４に示す実施例は、図３の実施例におけ
る検知部材（３）を分割して、各分割片（3a）に１つの
温度センサ（２）を取り付けたものである。
る検知部材（３）を分割して、各分割片（3a）に１つの
温度センサ（２）を取り付けたものである。
【００２３】図５に示すように、２枚の検知部材（３）
をレーザビーム（１）の光路方向に離間させて配置して
もよく、その場合、レーザビーム（１）が位置ずれによ
って光路から外れたときばかりでなく、破線で示すよう
にレーザビーム（１）の角度がずれたときでも検知する
ことができる。
をレーザビーム（１）の光路方向に離間させて配置して
もよく、その場合、レーザビーム（１）が位置ずれによ
って光路から外れたときばかりでなく、破線で示すよう
にレーザビーム（１）の角度がずれたときでも検知する
ことができる。
【００２４】図６は、検知部材を円筒状にしてその長さ
方向に複数の温度センサ（２）を配設した実施例を示
し、円筒状の検知部材（3b）の内部をレーザビーム
（１）が通過する。
方向に複数の温度センサ（２）を配設した実施例を示
し、円筒状の検知部材（3b）の内部をレーザビーム
（１）が通過する。
【００２５】図７に示すように、温度センサ（２）の出
力信号を制御装置（５）に入力し、レーザビーム（１）
の異常が検知されたとき、制御装置（５）により、レー
ザビーム（１）を反射させるミラー（６）の据え付け角
度を変更する駆動装置（７）を介してアライメント修正
を行なう。たとえば、図３の実施例のように検知部材
（３）に複数の温度センサ（２）を取り付けておき、す
べての温度センサ（２）の出力値が平均化するようにミ
ラー（６）の据え付け角度を調節する。また、温度セン
サ（２）からの出力を制御装置（５）に入力し、レーザ
ビーム（１）の異常が検知されたとき、報知信号を発す
るようにしてもよいし、あるいは、レーザ発振器または
レーザ加工機を自動的に停止させるようにしてもよい。
力信号を制御装置（５）に入力し、レーザビーム（１）
の異常が検知されたとき、制御装置（５）により、レー
ザビーム（１）を反射させるミラー（６）の据え付け角
度を変更する駆動装置（７）を介してアライメント修正
を行なう。たとえば、図３の実施例のように検知部材
（３）に複数の温度センサ（２）を取り付けておき、す
べての温度センサ（２）の出力値が平均化するようにミ
ラー（６）の据え付け角度を調節する。また、温度セン
サ（２）からの出力を制御装置（５）に入力し、レーザ
ビーム（１）の異常が検知されたとき、報知信号を発す
るようにしてもよいし、あるいは、レーザ発振器または
レーザ加工機を自動的に停止させるようにしてもよい。
【００２６】図８は、レーザビーム（１）を集光レンズ
（８）で集光してワーク（９）の加工を行なう場合の光
学系を示しており、折り返しミラー（６）と集光ミラー
（８）の間に検知部材（３）が配置されている。この場
合、ワーク（９）の表面特性によって破線で示すような
反射が起こった場合でも検知部材（３）によって検知で
きるため、早急に適当な措置を講じて伝送管等の損傷を
防止することができる。
（８）で集光してワーク（９）の加工を行なう場合の光
学系を示しており、折り返しミラー（６）と集光ミラー
（８）の間に検知部材（３）が配置されている。この場
合、ワーク（９）の表面特性によって破線で示すような
反射が起こった場合でも検知部材（３）によって検知で
きるため、早急に適当な措置を講じて伝送管等の損傷を
防止することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、レーザビームが所定の光路から外れたりビーム径が
拡大するなどといったビーム異常が発生したときに、直
ちにこれを検知して作業者あるいは制御装置に報知する
ことができるため、迅速に適切な措置を取ることができ
る。したがって、レーザ加工の不良対策に大きな効果を
上げることができ、また、特に最近のレーザの大出力化
の傾向にあっては作業者の安全や機器の保全を図る上で
も顕著な効果が望めるものである。
ば、レーザビームが所定の光路から外れたりビーム径が
拡大するなどといったビーム異常が発生したときに、直
ちにこれを検知して作業者あるいは制御装置に報知する
ことができるため、迅速に適切な措置を取ることができ
る。したがって、レーザ加工の不良対策に大きな効果を
上げることができ、また、特に最近のレーザの大出力化
の傾向にあっては作業者の安全や機器の保全を図る上で
も顕著な効果が望めるものである。
【図１】第１の実施例を示すレーザ光の光路に垂直な平
面で見た略図
面で見た略図
【図２】第２の実施例を示すレーザ光の光路に垂直な平
面で見た略図
面で見た略図
【図３】第３の実施例を示すレーザ光の光路に垂直な平
面で見た略図
面で見た略図
【図４】第４の実施例を示すレーザ光の光路に垂直な平
面で見た略図
面で見た略図
【図５】第５の実施例を示す斜視図
【図６】第６の実施例を示す斜視図
【図７】第７の実施例を示すレーザ加工機の光学系の略
図
図
【図８】第８の実施例を示すレーザ加工機の光学系の略
図
図
１ レーザビーム ２ 温度センサ ３ 検知部材（板状） ３ａ 分割片 ３ｂ 検知部材（筒状） ４ 切り欠き ５ 制御装置 ６ 折り返しミラー ７ 駆動装置 ８ 集光レンズ ９ ワーク
Claims (10)
- 【請求項１】 レーザ光の光路の近傍に温度センサを配
置し、温度センサの出力に基づいてレーザビームの異常
を検知することを特徴とするレーザ加工機のビーム異常
検知方法。 - 【請求項２】 レーザ光の光路に垂直な平面内で、レー
ザビームの周囲に複数の温度センサを配置し、前記温度
センサの出力に基づいてレーザビームの異常を検知する
ことを特徴とするレーザ加工機のビーム異常検知方法。 - 【請求項３】 熱伝導性を有する素材からなる検知部材
をレーザ光の光路の近傍に配置し、前記検知部材に温度
センサを取り付け、前記温度センサにより検知された前
記検知部材の温度変化に基づいてレーザビームの異常を
検知するレーザ加工機のビーム異常検知方法。 - 【請求項４】 前記温度センサの出力信号を制御装置に
入力し、レーザビームの異常が検知されたとき前記制御
装置によりレーザ加工機を停止させることを特徴とする
請求項１、請求項２又は請求項３のレーザ加工機のビー
ム異常検知方法。 - 【請求項５】 前記温度センサの出力信号を制御装置に
入力し、レーザビームの異常が検知されたとき、前記制
御装置により前記レーザビームを反射させるミラーの据
え付け角度を変更する駆動装置を介してアライメント修
正を行なうことを特徴とする請求項１、請求項２又は請
求項３のレーザ加工機のビーム異常検知方法。 - 【請求項６】 前記温度センサの出力値が平均化するよ
うに前記ミラーの据え付け角度を調節することを特徴と
する請求項５のレーザ加工機のビーム異常検知方法。 - 【請求項７】 レーザ光の光路の近傍に配置した熱伝導
性を有する素材からなる検知部材と、前記検知部材に取
り付けた温度センサとからなり、前記温度センサにより
検知された前記検知部材の温度変化によりレーザビーム
の異常を検知するレーザ加工機のビーム異常検知装置。 - 【請求項８】 前記検知部材を構成する素材が金属であ
ることを特徴とする請求項７のレーザ加工機のビーム異
常検知装置。 - 【請求項９】 前記温度センサがバイメタルであること
を特徴とする請求項７のレーザ加工機のビーム異常検知
装置。 - 【請求項１０】 前記検知部材が、レーザビームが通過
する部分を切り欠いた板状であることを特徴とする請求
項７のレーザ加工機のビーム異常検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5229778A JPH0780671A (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5229778A JPH0780671A (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0780671A true JPH0780671A (ja) | 1995-03-28 |
Family
ID=16897531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5229778A Pending JPH0780671A (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0780671A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011505252A (ja) * | 2007-11-19 | 2011-02-24 | コーニック システムズ カンパニー リミテッド | レーザー加工装置 |
| CN106152983A (zh) * | 2015-04-20 | 2016-11-23 | 陈俊杰 | 一种检测激光光路中激光偏差与否的装置 |
| EP3644010A1 (en) * | 2018-10-26 | 2020-04-29 | Concept Laser GmbH | Determination device for determining at least one parameter of an energy beam |
| CN113751887A (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-07 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 一种激光加工设备的检测方法、装置、设备及存储介质 |
-
1993
- 1993-09-16 JP JP5229778A patent/JPH0780671A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011505252A (ja) * | 2007-11-19 | 2011-02-24 | コーニック システムズ カンパニー リミテッド | レーザー加工装置 |
| CN106152983A (zh) * | 2015-04-20 | 2016-11-23 | 陈俊杰 | 一种检测激光光路中激光偏差与否的装置 |
| EP3644010A1 (en) * | 2018-10-26 | 2020-04-29 | Concept Laser GmbH | Determination device for determining at least one parameter of an energy beam |
| EP4056948A1 (en) * | 2018-10-26 | 2022-09-14 | Concept Laser GmbH | Determination device for determining at least one parameter of an energy beam |
| US11850798B2 (en) | 2018-10-26 | 2023-12-26 | Concept Laser Gmbh | Determination device for determining at least one parameter of an energy beam |
| US12240179B2 (en) | 2018-10-26 | 2025-03-04 | Concept Laser Gmbh | Determination device for determining at least one parameter of an energy beam |
| CN113751887A (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-07 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 一种激光加工设备的检测方法、装置、设备及存储介质 |
| CN113751887B (zh) * | 2020-05-28 | 2023-10-10 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 一种激光加工设备的检测方法、装置、设备及存储介质 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5108518B2 (ja) | レーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を求める方法、およびレーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を調整する方法、ならびに当該方法に代わる装置を有するレーザ加工装置 | |
| KR20050084436A (ko) | 레이저 스폿 용접 방법 및 디바이스 | |
| JPH1114945A (ja) | レーザビームコリメーション装置およびそれを用いるレーザ加工機 | |
| JPH04272122A (ja) | レーザ加工装置 | |
| CN114535787A (zh) | 激光加工系统以及夹具 | |
| JPH0780671A (ja) | レーザ加工機のビーム異常検知方法及び装置 | |
| EP0562492B1 (en) | A laser device, particularly a laser robot, with a focusing head having sensor means for monitoring the quality of a process in an automated production system | |
| CN114749799B (zh) | 一种自动监测的复合焊接装置 | |
| JP2002346783A (ja) | レーザ溶接制御方法及びその装置 | |
| JP2001246489A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2011115806A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS6330192A (ja) | レ−ザ出力検出装置を備えたレーザ加工機 | |
| JPH05348A (ja) | 鍛造装置 | |
| KR200164249Y1 (ko) | 레이저 가공장치 | |
| CN222643542U (zh) | 激光功率计和激光加工设备 | |
| JP3142453B2 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
| JPH08215873A (ja) | レーザ加工機のアライメント補正方法および装置 | |
| CN118613346A (zh) | 射束切割方法、计算机程序和射束切割设施 | |
| JP3301696B2 (ja) | 高出力レーザ伝送方法及びその装置 | |
| WO1993003882A1 (en) | Apparatus and method for monitoring laser material processing | |
| JP2747064B2 (ja) | レーザ加工中のガウジングおよびバーニング検出方法およびその装置 | |
| JPH05177372A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2000314673A (ja) | Ｙａｇレーザ用ファイバの断線検出方法およびその装置 | |
| JP2820939B2 (ja) | Ｎｃレーザ装置 | |
| JPH04367385A (ja) | レーザ加工機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020129 |