JPH07811B2 - シャドウマスク用素材の製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用素材の製造方法Info
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- JPH07811B2 JPH07811B2 JP60029970A JP2997085A JPH07811B2 JP H07811 B2 JPH07811 B2 JP H07811B2 JP 60029970 A JP60029970 A JP 60029970A JP 2997085 A JP2997085 A JP 2997085A JP H07811 B2 JPH07811 B2 JP H07811B2
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- JP
- Japan
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- shadow mask
- etching
- nickel
- mask
- mask material
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties of ferrous metals or ferrous alloys by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/02—Modifying the physical properties of ferrous metals or ferrous alloys by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips
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- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はシヤドウマスク用素材の製造方法に関する。
通常、シヤドウマスク素材としてはアルミキルド鋼が用
いられているが、最近カラーブラウン管が種々なOA機器
のデイスプレイ、コンピユータの端末等に多く用いられ
ている。これらの用途では静止画像が多く、このため電
子ビームによつてシヤドウマスクが局部的に加熱され、
熱膨張によつてシヤドウマスクの一部がドーム状に膨れ
上がるいわゆるドーミング現象を起こし、画像が乱れる
という問題を発生している。この問題を解消するにはシ
ヤドウマスクの材質を熱膨張率の小さいものとすればよ
く、また低熱膨張率の材料としてはニツケル−鉄合金で
あるアンバー型合金（以下アンバー材という）が知られ
ているので、シヤドウマスク用素材としてアンバー材を
用いればよいと考えられる。ところが市販のアンバー材
は普通Ｃ＜0.1％、Mn＜0.5％を含むもので、穿孔性が悪
く、また、鉄とニツケルの腐蝕速度が異なることもあつ
て、エツチング面が滑らかにならないという現象を起こ
し、このために良好な孔形状が得られずシヤドウマスク
全体のムラレベルを低下させている。
いられているが、最近カラーブラウン管が種々なOA機器
のデイスプレイ、コンピユータの端末等に多く用いられ
ている。これらの用途では静止画像が多く、このため電
子ビームによつてシヤドウマスクが局部的に加熱され、
熱膨張によつてシヤドウマスクの一部がドーム状に膨れ
上がるいわゆるドーミング現象を起こし、画像が乱れる
という問題を発生している。この問題を解消するにはシ
ヤドウマスクの材質を熱膨張率の小さいものとすればよ
く、また低熱膨張率の材料としてはニツケル−鉄合金で
あるアンバー型合金（以下アンバー材という）が知られ
ているので、シヤドウマスク用素材としてアンバー材を
用いればよいと考えられる。ところが市販のアンバー材
は普通Ｃ＜0.1％、Mn＜0.5％を含むもので、穿孔性が悪
く、また、鉄とニツケルの腐蝕速度が異なることもあつ
て、エツチング面が滑らかにならないという現象を起こ
し、このために良好な孔形状が得られずシヤドウマスク
全体のムラレベルを低下させている。
そこで本発明が解決しようとする問題点はフオトエツチ
ングにより良好な孔を形成でき、滑らかなエツチング面
を得ることができる、シヤドウマスク用ニツケル−鉄合
金素材を提供することにある。
ングにより良好な孔を形成でき、滑らかなエツチング面
を得ることができる、シヤドウマスク用ニツケル−鉄合
金素材を提供することにある。
本発明者は上記の問題点を解決すべく研究の結果、Ｃ含
有量を0.001〜0.008重量％に規制し、且つ冷間圧延工程
での最終圧下率を40〜70％に規制することで、フオトエ
ツチング適性を改善し、フオトエツチングにより良好な
孔を形成でき、滑らかなエツチング面を得ることがで
き、シヤドウマスク全体のムラレベルを向上させること
ができることを見いだし、かかる知見にもとづいて本発
明を完成したものである。
有量を0.001〜0.008重量％に規制し、且つ冷間圧延工程
での最終圧下率を40〜70％に規制することで、フオトエ
ツチング適性を改善し、フオトエツチングにより良好な
孔を形成でき、滑らかなエツチング面を得ることがで
き、シヤドウマスク全体のムラレベルを向上させること
ができることを見いだし、かかる知見にもとづいて本発
明を完成したものである。
即、本発明に係るシャドウマスク用素材の製造方法は、
ニッケル−鉄合金を素材とする熱延鋼板に１回以上の冷
間圧延と焼鈍を施して所定板厚とするニッケルおよび鉄
を主成分とする、シャドウマスク用素材の製造方法にお
いて、Ｃ含有量を0.001〜0.008重量％に規制し、かつ、
冷間圧延工程での最終圧下率を40〜70％に規制すること
を特徴とするものである。
ニッケル−鉄合金を素材とする熱延鋼板に１回以上の冷
間圧延と焼鈍を施して所定板厚とするニッケルおよび鉄
を主成分とする、シャドウマスク用素材の製造方法にお
いて、Ｃ含有量を0.001〜0.008重量％に規制し、かつ、
冷間圧延工程での最終圧下率を40〜70％に規制すること
を特徴とするものである。
以下に本発明の製造方法につき詳細に説明する。
本発明におけるシャドウマスク用素材の材料としては、
従来公知のニッケル−鉄合金であるアンバー材が用いら
れる。具体的には、米国のMilitary規格で規定されてい
る公知の「36％Ni-Fe合金」が用いられ得る。この場合
の36％Ni-Fe合金は、Niが35〜37重量％、残部がFeなら
びに不可避的不純物からなる。
従来公知のニッケル−鉄合金であるアンバー材が用いら
れる。具体的には、米国のMilitary規格で規定されてい
る公知の「36％Ni-Fe合金」が用いられ得る。この場合
の36％Ni-Fe合金は、Niが35〜37重量％、残部がFeなら
びに不可避的不純物からなる。
ニツケル−鉄合金は、転炉溶製後真空脱ガス装置によつ
て脱炭処理を行うが、真空度、溶鋼温度、処理時間等の
各種処理条件を選択しＣ含有量を0.001〜0.008重量％に
調整する。溶鋼を鋳型に鋳込み熱間圧延によつて熱延鋼
帯（板）とした後１回以上の冷間圧延と焼鈍を施して所
定板厚とするが、冷間圧延工程において最終圧下率を40
〜70％に規制する。Ｃ含有量を0.001〜0.008重量％に規
制したのは、0.008重量％を超えるＣ含有量では素材中
の炭化物が増加しフオトエツチング時エツチング面の結
晶粒界に析出してエツチング面が凹凸となつてしまうた
めであり0.001重量％未満のＣ含有量では合金中の酸素
量が高くなり、酸化物系介在物の量がフオトエツチング
時に穿孔性を損なうほどの量になるためである。最終圧
下率を40〜70％に規制したのは、40％以下の圧下率では
結晶粒径が大きいためフオトエツチング時エチツング面
に結晶粒界が顕著に現れ、エツチング面が凹凸となつて
しまうためであり、70％以上の圧下率では板形状を均一
にすることがむずかしくなり、またシヤドウマスクとな
つた後のプレス成型のためのチユーブメーカーでのアニ
ール後、結晶粒の成長が悪く安定したプレス成型性が得
られないためである。
て脱炭処理を行うが、真空度、溶鋼温度、処理時間等の
各種処理条件を選択しＣ含有量を0.001〜0.008重量％に
調整する。溶鋼を鋳型に鋳込み熱間圧延によつて熱延鋼
帯（板）とした後１回以上の冷間圧延と焼鈍を施して所
定板厚とするが、冷間圧延工程において最終圧下率を40
〜70％に規制する。Ｃ含有量を0.001〜0.008重量％に規
制したのは、0.008重量％を超えるＣ含有量では素材中
の炭化物が増加しフオトエツチング時エツチング面の結
晶粒界に析出してエツチング面が凹凸となつてしまうた
めであり0.001重量％未満のＣ含有量では合金中の酸素
量が高くなり、酸化物系介在物の量がフオトエツチング
時に穿孔性を損なうほどの量になるためである。最終圧
下率を40〜70％に規制したのは、40％以下の圧下率では
結晶粒径が大きいためフオトエツチング時エチツング面
に結晶粒界が顕著に現れ、エツチング面が凹凸となつて
しまうためであり、70％以上の圧下率では板形状を均一
にすることがむずかしくなり、またシヤドウマスクとな
つた後のプレス成型のためのチユーブメーカーでのアニ
ール後、結晶粒の成長が悪く安定したプレス成型性が得
られないためである。
〔作用〕 本発明ではニツケル−鉄合金のＣ含有量を0.001〜0.008
重量％に規制することでフオトエツチング時穿孔性に有
害となる炭化物を少なくすることが可能となり、また最
終圧下率を40〜70％に規制することで結晶粒径が小さく
なり、エツチング面に結晶粒界が顕著に現れることが解
消され、エツチング面が滑らかとなる。これによつて形
状の良好な孔が形成され、シヤドウマスク全体のムラレ
ベルが向上する。
重量％に規制することでフオトエツチング時穿孔性に有
害となる炭化物を少なくすることが可能となり、また最
終圧下率を40〜70％に規制することで結晶粒径が小さく
なり、エツチング面に結晶粒界が顕著に現れることが解
消され、エツチング面が滑らかとなる。これによつて形
状の良好な孔が形成され、シヤドウマスク全体のムラレ
ベルが向上する。
次に本発明の実施例を説明する。
Ｃ含有量及び最終圧下率の異なる２種類のニツケル−鉄
合金を、同一条件にてフオトエツチング工程を進行させ
エツチング状況を比較してみた。２種類のサンプルの成
分、最終圧下率等は表１に示す。サンプル１はＣ含有量
0.018wt％、最終圧下率20％であるが、供試サンプルの
エツチング面を走査電子顕微鏡で観察した結果エツチン
グ面において結晶粒界がはつきりと現れ、エツチング面
が凹凸となつてしまつていることが判明した。このた
め、シヤドウマスクのムラレベルは悪くなつている。こ
れに対して本発明の実施例であるサンプル２は、Ｃ含有
量0.004wt％、最終圧下率55％であるが、エツチング面
が滑らかとなつており、シヤドウマスクのムラレベルも
良くなつている。
合金を、同一条件にてフオトエツチング工程を進行させ
エツチング状況を比較してみた。２種類のサンプルの成
分、最終圧下率等は表１に示す。サンプル１はＣ含有量
0.018wt％、最終圧下率20％であるが、供試サンプルの
エツチング面を走査電子顕微鏡で観察した結果エツチン
グ面において結晶粒界がはつきりと現れ、エツチング面
が凹凸となつてしまつていることが判明した。このた
め、シヤドウマスクのムラレベルは悪くなつている。こ
れに対して本発明の実施例であるサンプル２は、Ｃ含有
量0.004wt％、最終圧下率55％であるが、エツチング面
が滑らかとなつており、シヤドウマスクのムラレベルも
良くなつている。
（エツチング条件） ニツケル−鉄合金よりなる素材の一方の面に0.25mmピツ
チで配列された多数の大円ドツト状開口部（直径0.150m
m）を有する第１レジストパターンを設け、他方の面に
0.25mmピツチで配列された多数の小円ドツト状開口部
（直径0.090mm）を有する第２レジストパターンを設
け、液温60℃の46°Be′FeCl3腐蝕液を用い、20Kg/cm2
のスプレイ圧で両面からスプレイエツチングして大孔部
の口径0.220mm、小孔部の口径0.110mmの開孔を多数エツ
チング加工し、製品を得た。
チで配列された多数の大円ドツト状開口部（直径0.150m
m）を有する第１レジストパターンを設け、他方の面に
0.25mmピツチで配列された多数の小円ドツト状開口部
（直径0.090mm）を有する第２レジストパターンを設
け、液温60℃の46°Be′FeCl3腐蝕液を用い、20Kg/cm2
のスプレイ圧で両面からスプレイエツチングして大孔部
の口径0.220mm、小孔部の口径0.110mmの開孔を多数エツ
チング加工し、製品を得た。
以上、詳記した通り、本発明の製造方法によればフオト
エツチングにより良好な孔を形成でき、滑らかなエツチ
ング面を得ることができるシヤドウマスク用ニツケル−
鉄合金素材を提供でき、それによつてシヤドウマスク全
体のムラレベルを向上させることができる。
エツチングにより良好な孔を形成でき、滑らかなエツチ
ング面を得ることができるシヤドウマスク用ニツケル−
鉄合金素材を提供でき、それによつてシヤドウマスク全
体のムラレベルを向上させることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】ニッケル−鉄合金を素材とする熱延鋼板に
１回以上の冷間圧延と焼鈍を施して所定板厚とするニッ
ケルおよび鉄を主成分とする、シャドウマスク用素材の
製造方法において、Ｃ含有量を0.001〜0.008重量％に規
制し、かつ、冷間圧延工程での最終圧下率を40〜70％に
規制することを特徴とする、シャドウマスク用素材の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029970A JPH07811B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | シャドウマスク用素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029970A JPH07811B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | シャドウマスク用素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190023A JPS61190023A (ja) | 1986-08-23 |
| JPH07811B2 true JPH07811B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=12290819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60029970A Expired - Lifetime JPH07811B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | シャドウマスク用素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07811B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6452022A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-28 | Nippon Mining Co | Production of shadow mask material |
| EP0567989B1 (en) * | 1992-04-27 | 1997-07-09 | Hitachi Metals, Ltd. | Shadow mask sheet, method of producing the same and cathode ray tube provided therewith |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200721A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-14 | Toshiba Corp | シヤドウマスクの製造方法 |
| JPS6021331A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-02-02 | Nippon Steel Corp | Ｆｅ−Ｎｉ系低熱膨張合金板の製造方法 |
-
1985
- 1985-02-18 JP JP60029970A patent/JPH07811B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61190023A (ja) | 1986-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |