JPH0781709A - ガラス基板アライメント装置 - Google Patents
ガラス基板アライメント装置Info
- Publication number
- JPH0781709A JPH0781709A JP22711593A JP22711593A JPH0781709A JP H0781709 A JPH0781709 A JP H0781709A JP 22711593 A JP22711593 A JP 22711593A JP 22711593 A JP22711593 A JP 22711593A JP H0781709 A JPH0781709 A JP H0781709A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- shaft
- fixed
- cassette
- rotatably attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセットに収納されたガラス基板のアライメ
ント作業を能率よく行なう。 【構成】 下板１０と上板１１との間に柱材１２を設
け、下板１０にエアシリンダ１３を回動可能に取り付
け、シャフト１４、２１、２８をベアリング（図示せ
ず）を介して下板１０、上板１１に回転可能に支持し、
シャフト１４、２１、２８にレバー１５、２２、２９を
固定し、レバー１５、２２、２９にチューブ１７、２
４、３１で覆った回転可能なガイドシャフト１６、２
３、３０を固定し、シャフト１４、２１、２８に連結バ
ー１８、２５、歯車を介しての３５を固定し、連結バー
１８、２５、３５にシャフト１９、２６、３６を回転可
能に取り付け、エアシリンダ１３のピストンロッドの先
端をシャフト１９に回転可能に取り付け、シャフト１
９、２６、３６に連結バー２０、２７を回転可能に取り
付ける。
ント作業を能率よく行なう。 【構成】 下板１０と上板１１との間に柱材１２を設
け、下板１０にエアシリンダ１３を回動可能に取り付
け、シャフト１４、２１、２８をベアリング（図示せ
ず）を介して下板１０、上板１１に回転可能に支持し、
シャフト１４、２１、２８にレバー１５、２２、２９を
固定し、レバー１５、２２、２９にチューブ１７、２
４、３１で覆った回転可能なガイドシャフト１６、２
３、３０を固定し、シャフト１４、２１、２８に連結バ
ー１８、２５、歯車を介しての３５を固定し、連結バー
１８、２５、３５にシャフト１９、２６、３６を回転可
能に取り付け、エアシリンダ１３のピストンロッドの先
端をシャフト１９に回転可能に取り付け、シャフト１
９、２６、３６に連結バー２０、２７を回転可能に取り
付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は側板間にすき間を有す
るカセットに収納されたガラス基板たとえば液晶表示板
用の四角形状のガラス基板のアライメントを行なうガラ
ス基板アライメント装置に関するものである。
るカセットに収納されたガラス基板たとえば液晶表示板
用の四角形状のガラス基板のアライメントを行なうガラ
ス基板アライメント装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は液晶表示板用のガラス基板のカセ
ットを示す概略正面図、図７は図６に示したカセットを
示す一部切断概略平面図、図８は図６に示したカセット
を示す概略側面図である。図に示すように、下板１と上
板２との間に側板３が設けられ、側板３の間にすき間が
設けられている。側板３に断面が円状の保持部４が設け
られ、下板１と上板２との間に柱状の基板止め５が設け
られ、上板２の取手６が設けられている。
ットを示す概略正面図、図７は図６に示したカセットを
示す一部切断概略平面図、図８は図６に示したカセット
を示す概略側面図である。図に示すように、下板１と上
板２との間に側板３が設けられ、側板３の間にすき間が
設けられている。側板３に断面が円状の保持部４が設け
られ、下板１と上板２との間に柱状の基板止め５が設け
られ、上板２の取手６が設けられている。
【０００３】図９は図６〜図８に示したカセットをロー
ディング部にセットした状態を示す概略図である。図に
示すように、液晶表示板用の四角形状のガラス基板７が
保持部４に保持されて、カセット内に収納されている。
カセットは昇降台８の上面に設けられた位置決め部材９
によって位置決めされている。
ディング部にセットした状態を示す概略図である。図に
示すように、液晶表示板用の四角形状のガラス基板７が
保持部４に保持されて、カセット内に収納されている。
カセットは昇降台８の上面に設けられた位置決め部材９
によって位置決めされている。
【０００４】液晶表示板を製造する場合には、昇降台８
を上昇または下降しながら、カセットに収納されたガラ
ス基板７をロボットアーム（図示せず）により１枚ずつ
取り出して、基板処理装置（図示せず）に搬送してい
る。
を上昇または下降しながら、カセットに収納されたガラ
ス基板７をロボットアーム（図示せず）により１枚ずつ
取り出して、基板処理装置（図示せず）に搬送してい
る。
【０００５】この場合、カセットに収納されたガラス基
板７の位置にバラツキがあると、基板処理装置のステー
ジの所定位置にガラス基板７を搬送することができない
ため、昇降台８に位置決めされたカセット内のガラス基
板７のアライメントを行なう必要がある。
板７の位置にバラツキがあると、基板処理装置のステー
ジの所定位置にガラス基板７を搬送することができない
ため、昇降台８に位置決めされたカセット内のガラス基
板７のアライメントを行なう必要がある。
【０００６】従来、カセットに収納されたガラス基板７
のアライメントを行なうには、作業員がアライメント作
業を行なっている。
のアライメントを行なうには、作業員がアライメント作
業を行なっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、作業員がアラ
イメント作業を行なったときには、カセットに収納され
たガラス基板のアライメント作業を能率よく行なうこと
ができない。
イメント作業を行なったときには、カセットに収納され
たガラス基板のアライメント作業を能率よく行なうこと
ができない。
【０００８】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、カセットに収納されたガラス基板のアラ
イメント作業を能率よく行なうことができるガラス基板
アライメント装置を提供することを目的とする。
されたもので、カセットに収納されたガラス基板のアラ
イメント作業を能率よく行なうことができるガラス基板
アライメント装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、側板間にすき間を有するカセ
ットに収納されたガラス基板のアライメントを行なうガ
ラス基板アライメント装置において、上記すき間に露出
した上記ガラス基板の端面を押す押し部材と、上記押し
部材を駆動する駆動装置とを設ける。
め、この発明においては、側板間にすき間を有するカセ
ットに収納されたガラス基板のアライメントを行なうガ
ラス基板アライメント装置において、上記すき間に露出
した上記ガラス基板の端面を押す押し部材と、上記押し
部材を駆動する駆動装置とを設ける。
【００１０】
【作用】このガラス基板アライメント装置においては、
駆動装置により押し部材を駆動してガラス基板のアライ
メントを行なうため、ガラス基板のアライメント作業を
自動的に行なうことができる。
駆動装置により押し部材を駆動してガラス基板のアライ
メントを行なうため、ガラス基板のアライメント作業を
自動的に行なうことができる。
【００１１】
【実施例】図１はこの発明に係るガラス基板アライメン
ト装置を示す一部切断概略底面図、図２は図１のＡ−Ａ
断面図である。図に示すように、下板１０と上板１１と
の間に柱材１２が設けられ、下板１０、上板１１、柱材
１２でフレームを構成している。下板１０にエアシリン
ダ１３が回動可能に取り付けられ、シャフト１４がベア
リング（図示せず）を介して下板１０、上板１１に回転
可能に支持され、シャフト１４にレバー１５が固定さ
れ、レバー１５にチューブ１７で覆った回転可能なガイ
ドシャフト１６が固定され、レバー１５、ガイドシャフ
ト１６、チューブ１７で横方向すなわち図１の紙面上下
方向の第１の押し部材を構成している。シャフト１４に
連結バー１８が固定され、連結バー１８にシャフト１９
が回転可能に取り付けられ、エアシリンダ１３のピスト
ンロッドの先端がシャフト１９に回転可能に取り付けら
れ、シャフト１９に連結バー２０が回転可能に取り付け
られ、シャフト２１がベアリング（図示せず）を介して
下板１０、上板１１に回転可能に支持され、シャフト２
１にレバー２２が固定され、レバー２２にチューブ２４
で覆った回転可能なガイドシャフト２３が固定され、レ
バー２２、ガイドシャフト２３、チューブ２４で横方向
の第２の押し部材を構成している。シャフト２１に連結
バー２５が固定され、連結バー２５にシャフト２６が回
転可能に取り付けられ、連結バー２０がシャフト２６に
回転可能に取り付けられ、シャフト２６に連結バー２７
が回転可能に取り付けられ、シャフト２８がベアリング
（図示せず）を介して下板１０、上板１１に回転可能に
支持され、シャフト２８にレバー２９が固定され、レバ
ー２９にチューブ３１で覆った回転可能なガイドシャフ
ト３０が固定され、レバー２９、ガイドシャフト３０、
チューブ３１で縦方向すなわち図１の紙面左右方向の押
し部材を構成している。シャフト２８に歯車３２が固定
され、下板１０にシャフト３３が回転可能に取り付けら
れ、シャフト３３に歯車３４が固定され、歯車３４は歯
車３２と噛み合っている。シャフト３３に連結バー３５
が固定され、連結バー３５にシャフト３６に回転可能に
取り付けられ、シャフト３６に連結バー２７が回転可能
に取り付けられ、エアシリンダ１３、連結バー１８、２
０、２５、２７、３５、歯車３２、３４等で横方向の第
１、第２の押し部材、縦方向の押し部材の駆動装置を構
成している。
ト装置を示す一部切断概略底面図、図２は図１のＡ−Ａ
断面図である。図に示すように、下板１０と上板１１と
の間に柱材１２が設けられ、下板１０、上板１１、柱材
１２でフレームを構成している。下板１０にエアシリン
ダ１３が回動可能に取り付けられ、シャフト１４がベア
リング（図示せず）を介して下板１０、上板１１に回転
可能に支持され、シャフト１４にレバー１５が固定さ
れ、レバー１５にチューブ１７で覆った回転可能なガイ
ドシャフト１６が固定され、レバー１５、ガイドシャフ
ト１６、チューブ１７で横方向すなわち図１の紙面上下
方向の第１の押し部材を構成している。シャフト１４に
連結バー１８が固定され、連結バー１８にシャフト１９
が回転可能に取り付けられ、エアシリンダ１３のピスト
ンロッドの先端がシャフト１９に回転可能に取り付けら
れ、シャフト１９に連結バー２０が回転可能に取り付け
られ、シャフト２１がベアリング（図示せず）を介して
下板１０、上板１１に回転可能に支持され、シャフト２
１にレバー２２が固定され、レバー２２にチューブ２４
で覆った回転可能なガイドシャフト２３が固定され、レ
バー２２、ガイドシャフト２３、チューブ２４で横方向
の第２の押し部材を構成している。シャフト２１に連結
バー２５が固定され、連結バー２５にシャフト２６が回
転可能に取り付けられ、連結バー２０がシャフト２６に
回転可能に取り付けられ、シャフト２６に連結バー２７
が回転可能に取り付けられ、シャフト２８がベアリング
（図示せず）を介して下板１０、上板１１に回転可能に
支持され、シャフト２８にレバー２９が固定され、レバ
ー２９にチューブ３１で覆った回転可能なガイドシャフ
ト３０が固定され、レバー２９、ガイドシャフト３０、
チューブ３１で縦方向すなわち図１の紙面左右方向の押
し部材を構成している。シャフト２８に歯車３２が固定
され、下板１０にシャフト３３が回転可能に取り付けら
れ、シャフト３３に歯車３４が固定され、歯車３４は歯
車３２と噛み合っている。シャフト３３に連結バー３５
が固定され、連結バー３５にシャフト３６に回転可能に
取り付けられ、シャフト３６に連結バー２７が回転可能
に取り付けられ、エアシリンダ１３、連結バー１８、２
０、２５、２７、３５、歯車３２、３４等で横方向の第
１、第２の押し部材、縦方向の押し部材の駆動装置を構
成している。
【００１２】このガラス基板アライメント装置において
は、ガラス基板７が収納されたカセットが位置決めされ
た昇降台８を下降して、カセットを図４に示す位置とし
たのち、図３に示すように、エアシリンダ１３を縮小す
ると、連結バー１８、２５が回動し、シャフト１４、２
５が回転し、図５に示すように、レバー１５、２２が回
動して、ガイドシャフト１６、２３が側板３のすき間に
露出したガラス基板７の端面を押すから、ガラス基板７
は横方向にアライメントされる。また、エアシリンダ１
３を縮小すると、連結バー３５が回動し、歯車３４、３
２が回転し、シャフト２８が回転し、レバー２９が回動
して、図４、図５に示すように、ガイドシャフト３０が
ガラス基板７のカセット入口側端面を押すから、ガラス
基板７のカセット入口側端面とは反対側の端面が基板止
め５に押しつけられるので、ガラス基板７は縦方向にア
ライメントされる。こののち、昇降台８を上昇しなが
ら、カセットに収納されたガラス基板７をロボットアー
ムにより１枚ずつ取り出して、基板処理装置に搬送す
る。
は、ガラス基板７が収納されたカセットが位置決めされ
た昇降台８を下降して、カセットを図４に示す位置とし
たのち、図３に示すように、エアシリンダ１３を縮小す
ると、連結バー１８、２５が回動し、シャフト１４、２
５が回転し、図５に示すように、レバー１５、２２が回
動して、ガイドシャフト１６、２３が側板３のすき間に
露出したガラス基板７の端面を押すから、ガラス基板７
は横方向にアライメントされる。また、エアシリンダ１
３を縮小すると、連結バー３５が回動し、歯車３４、３
２が回転し、シャフト２８が回転し、レバー２９が回動
して、図４、図５に示すように、ガイドシャフト３０が
ガラス基板７のカセット入口側端面を押すから、ガラス
基板７のカセット入口側端面とは反対側の端面が基板止
め５に押しつけられるので、ガラス基板７は縦方向にア
ライメントされる。こののち、昇降台８を上昇しなが
ら、カセットに収納されたガラス基板７をロボットアー
ムにより１枚ずつ取り出して、基板処理装置に搬送す
る。
【００１３】このようなガラス基板アライメント装置に
おいては、駆動装置により横方向の第１、第２の押し部
材、縦方向の押し部材を駆動してガラス基板７の横方向
および縦方向のアライメントを行なうから、ガラス基板
７のアライメント作業を自動的に行なうことができるの
で、ガラス基板７のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。
おいては、駆動装置により横方向の第１、第２の押し部
材、縦方向の押し部材を駆動してガラス基板７の横方向
および縦方向のアライメントを行なうから、ガラス基板
７のアライメント作業を自動的に行なうことができるの
で、ガラス基板７のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るガ
ラス基板アライメント装置においては、ガラス基板の横
方向のアライメント作業を自動的に行なうことができる
ので、ガラス基板のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。このように、この発明の効果は顕著であ
る。
ラス基板アライメント装置においては、ガラス基板の横
方向のアライメント作業を自動的に行なうことができる
ので、ガラス基板のアライメント作業を能率よく行なう
ことができる。このように、この発明の効果は顕著であ
る。
【図１】この発明に係るガラス基板アライメント装置を
示す一部切断概略底面図である。
示す一部切断概略底面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１、図２に示したガラス基板アライメント装
置の動作説明図である。
置の動作説明図である。
【図４】図３の一部省略Ｂ−Ｂ断面図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。
【図６】液晶表示板用のガラス基板のカセットを示す概
略正面図である。
略正面図である。
【図７】図６に示したカセットを示す一部切断概略平面
図である。
図である。
【図８】図６に示したカセットを示す概略側面図であ
る。
る。
【図９】図６〜図８に示したカセットをローディング部
にセットした状態を示す概略図である。
にセットした状態を示す概略図である。
３…側板 ７…ガラス基板 １３…エアシリンダ １５…レバー １６…ガイドシャフト １７…チューブ １８…連結バー ２０…連結バー ２２…レバー ２３…ガイドシャフト ２４…チューブ ２５…連結バー
Claims (1)
- 【請求項１】側板間にすき間を有するカセットに収納さ
れたガラス基板のアライメントを行なうガラス基板アラ
イメント装置において、上記すき間に露出した上記ガラ
ス基板の端面を押す押し部材と、上記押し部材を駆動す
る駆動装置とを具備することを特徴とするガラス基板ア
ライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22711593A JPH0781709A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ガラス基板アライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22711593A JPH0781709A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ガラス基板アライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0781709A true JPH0781709A (ja) | 1995-03-28 |
Family
ID=16855717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22711593A Pending JPH0781709A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ガラス基板アライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781709A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102540878A (zh) * | 2012-03-16 | 2012-07-04 | 广东电网公司电力科学研究院 | 串级增益自调度pid控制器 |
| KR101488584B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2015-02-02 | 주식회사 한일하이테크 | 액정 패널 적재 카세트 |
| WO2019118397A1 (en) * | 2017-12-12 | 2019-06-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer apparatus and method for positioning and clamping a substrate on non contact gripper |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP22711593A patent/JPH0781709A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102540878A (zh) * | 2012-03-16 | 2012-07-04 | 广东电网公司电力科学研究院 | 串级增益自调度pid控制器 |
| KR101488584B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2015-02-02 | 주식회사 한일하이테크 | 액정 패널 적재 카세트 |
| WO2019118397A1 (en) * | 2017-12-12 | 2019-06-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer apparatus and method for positioning and clamping a substrate on non contact gripper |
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