JPH0782075B2 - 被検査体の装着位置及びプローブコンタクト位置への移動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示デバイス
（ＬＣＤと称する）の接続パターン等にプローブを接触
させて、試験、検査等を行うのに利用される装置に係わ
り、とくに作業性を向上した被検査体の装着位置及びプ
ローブコンタクト位置への移動装置。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤの点灯状態を試験、検査する場
合、ＬＣＤをパレット上に平面的に載置し、このパレッ
トを平面的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、回転（θ）方向に位
置調整し、所定位置に設置されているプローブを近付け
て、接続パターンに電気的接触を行い、試験、検査を行
っている。

【０００３】ここで、パレットを調整する装置は、Ｘ軸
方向用のステージ、Ｙ軸方向用のステージ、θ方向用の
ステージを積み重ねることにより構成されている。そし
て、パレット及びその上面のＬＣＤを位置調整する場
合、ビデオカメラにより監視しており、調整位置パター
ンを写し出して調整作業を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】まず従来のステージ装
置によると、Ｘ、Ｙ軸、θ方向の各ステージが積み重ね
られているために、厚みが非常に大きく、ステージ全体
の高さが高く、作業者の視点も高くなり見にくいという
問題がある。また、ビデオカメラにより調整位置パター
ンを監視する場合、ビデオカメラの配置位置が問題とな
る。調整位置パターンを監視する場合、ビデオカメラを
ＬＣＤの鉛直方向の上側、または下側に配置することに
なるが、上側に配置した場合、作業側にカメラが突出し
危険である。またＬＣＤの装着や取り外し時にカメラが
邪魔になり作業性が悪い。カメラが作業者に接触するこ
とがあり、このような場合、カメラの光軸が狂い正確な
位置パターンの監視が得られなくなる。ＬＣＤの下側に
カメラを配置して監視する場合、バックライトと干渉
し、良好な監視像を得られなくなる。また、ＬＣＤの配
置位置を高くせざるを得ず、作業者の視点が高くなり作
業性が悪い。

【０００５】そこでこの発明は、位置調整ステージが薄
型化し、調整作業が容易であり、また監視用ビデオカメ
ラの配置空間に余裕が得られ、ビデオカメラのために作
業上で支障が生じることのないようにし精度の高いコン
タクトが行えるプローブコンタクト用ステージ装置を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、被検査板体
が所定位置に載置されるパレットと、前記パレットを上
面で平面的に可動自在に受けるベースと、前記ベース上
のパレットをそのエッジ方向から駆動して、Ｙ軸方向、
及び平面回転方向に位置調整する第１の調整手段と、前
記ベースを前記Ｙ軸と直交するＸ軸方向に移動自在に支
持し、前記被検査板体を前記パレットへ装着するための
第１の位置、前記被検査板体に対してプローブをコンタ
クトさせる第２の位置へ搬送可能な第２の調整手段とを
備えるものである。

【０００７】

【作用】上記の手段により、調整手段が平面的であり、
装置全体を薄型化することができ、かつ被検査体をパレ
ットの装着する位置と、プローブをコンタクトさせてビ
デオカメラで監視する場所がＸ軸方向に異なるために、
ビデオカメラやプローブ等の周辺機器が邪魔になること
がなく作業性が良い。また、精度の高いプローブコンタ
クトが行える。

【０００８】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。

【０００９】図１はこの発明の一実施例である。１００
は長方形のベースである。ベース１００の上面中央に
は、長方形のパレット２００が載置される。このパレッ
ト２００の面積は、ベース１００のそれよりも小さく、
ベース上を平面的に可動自在な支持手段を介して載置さ
れている。

【００１０】ベース１００のＸ軸方向の一辺側の上面に
は、例えばプランジャー１０１、１０１が取り付けら
れ、パレット２００のエッジを弾性的に矢印Ｘ（−）方
向へ押さえるように構成されている。このプランジャー
１０１、１０１に対向したベース１００の他方の辺側の
上面には、ボールベアリング１０４が設けられ、パレッ
ト２００がＸ（＋）方向に移動するのを規制している。
また、ベース１００のＹ軸方向の一辺側の上面には、例
えばプランジャー１０２、１０２が取り付けられ、パレ
ット２００のエッジを弾性的に矢印Ｙ（−）方向へ押さ
えるように構成されている。このプランジャー１０２、
１０２に対向したベース１００の他方の辺側の上面に
は、調整ねじ１０６、１０８が軸受け１０５、１０７に
縲合されており、この調整ねじ１０６、１０８を所定方
向に回転すると、パレット２００のエッジを押し、Ｙ
（＋）方向にパレット２００を駆動することができる。
回転（θ）方向の調整は、調整ねじ１０６、１０８の回
転量により調整することができる。

【００１１】ここで、Ｙ軸方向及びθ軸方向の調整は、
第１の調整手段により行われる。つまり、ベース１００
の上面には、調整モータ６０１、６０２が配置され、ギ
ア６０３、６０４を介してそれぞれ調整ねじ１０６、１
０８を回転駆動できるようになっている。

【００１２】次にＸ軸方向の調整及び移動は次のように
行われる。即ち、ベース１００の下面には、Ｘ軸方向に
平行にかつ水平に配置されたガイド棒７０１、７０２に
より支持される軸受け部が設けられている。これによ
り、ベース１００はＸ軸方向へ移動自在である。さらに
Ｘ軸と平行にかつ水平に送りねじ８０１が配設され、こ
のシャフト８０１を回転させるとベース１００は、水平
方向へ水平に駆動される。送りねじ８０１は、調整及び
移動モータ８０２により回転制御される。

【００１３】次に、パレット２００の中央部の所定位置
には、液晶表示デバイス（ＬＣＤ）３００を配置できる
ようになっている。パレット２００の位置調整を行うこ
とにより、ＬＣＤ３００のコンタクトに対する位置決め
が行われる。

【００１４】ところでベース１００には、さらに真空吸
着装置の吸着部９０１、９０２（パレット支持手段の兼
ねる）が上面側を向いて設けられており、真空吸着装置
を動作させると、ベース上にパレット３００を固定する
ことができる。吸着部９０１、９０２は、それぞれベー
ス１００内部をと押してエッジに導出された真空用継手
９０３、９０４、ホースを介して吸着装置本体に結合さ
れている。上述した第１、第２の調整手段によりパレッ
ト２００の位置が決まると、真空吸着装置によりパレッ
トがその位置で固定される。

【００１５】上記の装置によると、ＬＣＤ３００のＹ軸
方向の調整、θ方向の調整を第１の調整手段で調整し、
Ｘ軸方向の調整を第２の調整手段で調整できる。この調
整は、例えば一点鎖線で示す位置３００Ａにおいて行わ
れ、例えば上面側に設けられているビデオカメラにより
監視しながら行われる。調整の後は、プローブがＬＣＤ
３００側の降りてきて各種の検査が行われる。ビデオカ
メラは例えばＬＣＤの配線パターンを拡大撮像し、この
パターンの内部に記憶している基準パターンとを画面上
で比較できるようになっている。基準パターンと撮像パ
ターンとを一致させると、ビデオカメラの位置とＬＣＤ
の位置の関係が所定の関係になることである。よってビ
デオカメラとプローブの位置関係を所定の関係に固定し
ておけば、プローブをＬＣＤ側に降ろしたときに、プロ
ーブは所望の配線や端子に接続できることになる。検査
内容としては、プローブ装置自体がＬＣＤドライブＩＣ
を持ち、実際にＬＣＤを駆動し、画素欠陥、ライン欠陥
等の検査が行われる。

【００１６】検査終了の後は、Ｘ軸調整手段により、ベ
ース１００とともに、図示の実線で示すような位置に移
動させられる。すると、この部分の周辺空間は十分なス
ペースがあり、ＬＣＤ３００の取り離しや、次のＬＣＤ
の装着が容易になり作業性が良い。また、ビデオカメラ
やプローブ装置も存在せず、従来の如く周辺機器に作業
者が触れて、変形を生じたり、故障を発生させたりする
こともない。

【００１７】なお、上記の実施例では、Ｘ軸方向、θ方
向の調整に調整ねじを用いたが、リニアアクチュエータ
等でも良い。また調整モータとしては、パルスモータ、
サーボモータ等の制御が可能なモータであれば良い。さ
らに、このシステムは、パレット（＝ＬＣＤ）の位置決
め調整を自動化することが容易であり、例えばビデオカ
メラの映像をパターン比較し、予め設定されているパタ
ーンに撮像した映像パターンが合致するように各モータ
が制御される。

【００１８】

【発明の効果】上記したこの発明によると、まず、Ｘ
軸、Ｙ軸方向、θ方向の調整手段が平面的に配列される
ために、装置全体が薄型化する。よって、作業者の視点
が低くなり、非検査体をパレットに装着する作業が容易
である。加えて、被検査体をパレットの装着する位置
と、プローブをコンタクトさせてビデオカメラで監視す
る場所がＸ軸方向に異なるために、ビデオカメラや周辺
機器がが邪魔になることがなく、被検査体の交換作業性
が良い。また、作業者が、プローブの上下機構に手を挟
むこともなく、安全性が高く、さらに作業者がプローブ
に触れてプローブを破損するようなこともなくなる。ま
たプローブをコンタクトさせる位置をビデオカメラで監
視する場所が同一であるため、精度の高いコンタクトが
行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す平面図と側面図。

【符号の説明】

１００…ベース、２００…パレット、３００…ＬＣＤ、
１０１、１０２…プランジャー、１０４、１０６、１０
８…調整ねじ、６０１、６０２、８０２…調整モータ、
７０１、７０２…ガイド棒、８０１…シャフト、９０
１、９０２…吸着部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査板体が所定位置に載置されるパレッ
   トと、 前記パレットを上面で平面的に可動自在に受けるベース
   と、 前記ベース上のパレットをそのエッジ方向から駆動し
   て、Ｙ軸方向、及び平面回転方向に位置調整する第１の
   調整手段と、 前記ベースを前記Ｙ軸と直交するＸ軸方向に移動自在に
   支持し、前記被検査板体を前記パレットへ装着するため
   の第１の位置、前記被検査板体に対してプローブをコン
   タクトさせる第２の位置へ搬送可能な第２の調整手段と を具備したことを特徴とする被検査体の装着位置及びプ
   ローブコンタクト位置への移動装置。