JPH0782943B2 - 非晶質磁気光学層 - Google Patents
非晶質磁気光学層Info
- Publication number
- JPH0782943B2 JPH0782943B2 JP59089619A JP8961984A JPH0782943B2 JP H0782943 B2 JPH0782943 B2 JP H0782943B2 JP 59089619 A JP59089619 A JP 59089619A JP 8961984 A JP8961984 A JP 8961984A JP H0782943 B2 JPH0782943 B2 JP H0782943B2
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- amorphous
- optical layer
- film
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はハードデイスク、フロツピーデイスク、ドキユ
メントフアイル等に使用される光磁気記録媒体に関する
ものであり、特に磁気光学的に優れた非晶質磁気光学層
に係るものである。
メントフアイル等に使用される光磁気記録媒体に関する
ものであり、特に磁気光学的に優れた非晶質磁気光学層
に係るものである。
従来技術 近年、半導体レーザー光により磁気記録を行う光磁気記
録媒体が高密度記録用として種々研究されている。特に
高密度記録用として使用されるためには磁性膜がその膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有することが必要とされ
る。従来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜と
してはGd−Co,Gd−Fe,Tb−Fe,Gd−Tb−Fe,Tb−Dy−Fe等
の非晶質合金を用いたもの等が知られているが、これら
非晶質合金磁性体を用いた光磁気記録媒体は記録感度が
高く半導体レーザー光によつて高速度（周波数、数MHz
において）で記録できるという利点はあるものの磁気光
学効果が十分満足できるものではない問題点を有するも
のである。かかることからTb−Dy−Fe−Coよりなる４元
系非晶質磁性膜を用いることによりカー回転角θｋを大
きくして磁気光学効果を向上させることを本件出願人は
既に提案している。このような磁性膜を用いて光磁気記
録媒体を作るには一般にガラス板のような基板上に前記
磁性体を真空蒸着、スパツタリング等の方法で付着させ
て磁性膜を形成している。こうして得られる光磁気記録
媒体への記録、再生は次のようにして行われる。すなわ
ち、記録は磁性膜のキユリー温度または補償温度近傍に
おける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特性を利
用して情報信号で変調されたレーザー光を磁性膜に照射
加熱して磁性膜表面磁化の向きを反転させることにより
行われる。また再生はこうして反転記録された磁性膜の
カー回転角を読出すことにより行われる。このような非
晶質合金磁性体のように光が透過しにくい場合の情報信
号の記録、再生はカー効果を利用するものである。カー
効果とは磁性体の表面で光が反射する際の偏光面の回転
現象であり、ａ）極（polar）効果、ｂ）縦（longitudi
nal）効果、ｃ）横（transverse）効果があり、特に非
晶質合金磁性体の場合にはａの極効果が用いられ、その
カー回転角θｋを利用して再生が行われる。従つてカー
回転角θｋが少しでも大きくなればそれだけ磁気光学効
果が増し、再生特性が向上することになる。
録媒体が高密度記録用として種々研究されている。特に
高密度記録用として使用されるためには磁性膜がその膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有することが必要とされ
る。従来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜と
してはGd−Co,Gd−Fe,Tb−Fe,Gd−Tb−Fe,Tb−Dy−Fe等
の非晶質合金を用いたもの等が知られているが、これら
非晶質合金磁性体を用いた光磁気記録媒体は記録感度が
高く半導体レーザー光によつて高速度（周波数、数MHz
において）で記録できるという利点はあるものの磁気光
学効果が十分満足できるものではない問題点を有するも
のである。かかることからTb−Dy−Fe−Coよりなる４元
系非晶質磁性膜を用いることによりカー回転角θｋを大
きくして磁気光学効果を向上させることを本件出願人は
既に提案している。このような磁性膜を用いて光磁気記
録媒体を作るには一般にガラス板のような基板上に前記
磁性体を真空蒸着、スパツタリング等の方法で付着させ
て磁性膜を形成している。こうして得られる光磁気記録
媒体への記録、再生は次のようにして行われる。すなわ
ち、記録は磁性膜のキユリー温度または補償温度近傍に
おける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特性を利
用して情報信号で変調されたレーザー光を磁性膜に照射
加熱して磁性膜表面磁化の向きを反転させることにより
行われる。また再生はこうして反転記録された磁性膜の
カー回転角を読出すことにより行われる。このような非
晶質合金磁性体のように光が透過しにくい場合の情報信
号の記録、再生はカー効果を利用するものである。カー
効果とは磁性体の表面で光が反射する際の偏光面の回転
現象であり、ａ）極（polar）効果、ｂ）縦（longitudi
nal）効果、ｃ）横（transverse）効果があり、特に非
晶質合金磁性体の場合にはａの極効果が用いられ、その
カー回転角θｋを利用して再生が行われる。従つてカー
回転角θｋが少しでも大きくなればそれだけ磁気光学効
果が増し、再生特性が向上することになる。
しかしながら、前述のTb−Dy−Fe−Coよりなる４元系非
晶質合金磁性膜のカー回転角θｋはその組成により0.29
deg、もしくは0.30deg程度であり、光再生特性の向上が
望まれている状況にある。
晶質合金磁性膜のカー回転角θｋはその組成により0.29
deg、もしくは0.30deg程度であり、光再生特性の向上が
望まれている状況にある。
目的 本発明の目的は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質合金磁性膜におけるカー回転角θｋをより増大せ
しめ、それにより光再生特性を向上させた非晶質磁気光
学層を提供することにある。
非晶質合金磁性膜におけるカー回転角θｋをより増大せ
しめ、それにより光再生特性を向上させた非晶質磁気光
学層を提供することにある。
構成 本発明は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するTb−Dy
−Fe−Co−Cuの５元系非晶質合金磁性膜からなる非晶質
磁気光学層である。
−Fe−Co−Cuの５元系非晶質合金磁性膜からなる非晶質
磁気光学層である。
また本発明の非晶質磁気光学層は垂直磁気異方性を示
し、かつ高保磁力Hcを有する必要があり、そのために本
発明の磁性材料の組成式を、 ｛(Tb1-XDyX)Z(Fe1-YCOY)1-Z｝1-ACuA と表わした場合、０＜Ｘ＜1,0.01≦Ｙ≦0.5,0.1≦Ｚ≦
0.5,0.001≦Ａ≦0.1であることが望ましい。
し、かつ高保磁力Hcを有する必要があり、そのために本
発明の磁性材料の組成式を、 ｛(Tb1-XDyX)Z(Fe1-YCOY)1-Z｝1-ACuA と表わした場合、０＜Ｘ＜1,0.01≦Ｙ≦0.5,0.1≦Ｚ≦
0.5,0.001≦Ａ≦0.1であることが望ましい。
本発明の非晶質磁気光学層は適宜の支持体上に真空蒸
着、スパツタリング、イオンプレーテイング等の方法で
膜厚0.01〜１μｍ程度に形成する。これにより得られる
磁性膜は膜面に垂直磁化されたものとなる。
着、スパツタリング、イオンプレーテイング等の方法で
膜厚0.01〜１μｍ程度に形成する。これにより得られる
磁性膜は膜面に垂直磁化されたものとなる。
スパツタリングにて磁性体の薄膜形成を行う場合には、
各材料成分を各個にあるいは組合わせてターゲツトと
し、磁性体組成はターゲツト表面の面積比でコントロー
ルするようにする。
各材料成分を各個にあるいは組合わせてターゲツトと
し、磁性体組成はターゲツト表面の面積比でコントロー
ルするようにする。
支持体としてはガラス、プラスチツク、セラミツク等が
使用できる。
使用できる。
なお、本発明の磁気光学層を光磁気記録媒体に使用する
場合はそれを単独に用いてもよいし、あるいは他の膜と
一緒に用いてもよい。例えばTb−Dy−Fe−Co−Cu膜の上
面または上下面に保護膜としてアクリル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホ
ン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、TiN,Si3N4,Al
N,CrN,TaN,SiO2,SiO等を樹脂の場合は塗布法で、その他
の材料の場合は真空蒸着、スパツタリング、反応スパツ
タリング、CVD等の方法で膜厚0.1〜10μｍ程度に付着さ
せるようにしてもよい。
場合はそれを単独に用いてもよいし、あるいは他の膜と
一緒に用いてもよい。例えばTb−Dy−Fe−Co−Cu膜の上
面または上下面に保護膜としてアクリル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホ
ン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、TiN,Si3N4,Al
N,CrN,TaN,SiO2,SiO等を樹脂の場合は塗布法で、その他
の材料の場合は真空蒸着、スパツタリング、反応スパツ
タリング、CVD等の方法で膜厚0.1〜10μｍ程度に付着さ
せるようにしてもよい。
効果 このようにして得られるTb−Dy−Fe−Co−Cuからなる非
晶質磁気光学層に情報信号で変調されたレーザー光を照
射加熱した場合、前記非晶質磁気光学層のカー回転角θ
ｋが従来のものに比べて大きいため、これをカー効果に
より再生する際の光再生特性が良好となり、S/N比が向
上するとともに記録ピツト数も増大し、高密度記録再生
可能な光磁気記録媒体が得られることになる。
晶質磁気光学層に情報信号で変調されたレーザー光を照
射加熱した場合、前記非晶質磁気光学層のカー回転角θ
ｋが従来のものに比べて大きいため、これをカー効果に
より再生する際の光再生特性が良好となり、S/N比が向
上するとともに記録ピツト数も増大し、高密度記録再生
可能な光磁気記録媒体が得られることになる。
以下に実施例を示す。
実施例 スライドガラス支持体上にスパツタリング法によりTb−
Dy−Fe−Co−Cuからなる非晶質磁気光学層を形成した。
ターゲツトはコンポジツト法を用い、Fe0.9Co0.1合金円
板上にTb0.5Dy0.5の合金チツプおよびCuチツプをのせて
構成し、各組成比をターゲツト表面の面積比でコントロ
ールしつつ膜を形成した。
Dy−Fe−Co−Cuからなる非晶質磁気光学層を形成した。
ターゲツトはコンポジツト法を用い、Fe0.9Co0.1合金円
板上にTb0.5Dy0.5の合金チツプおよびCuチツプをのせて
構成し、各組成比をターゲツト表面の面積比でコントロ
ールしつつ膜を形成した。
非晶質磁気光学層の作成条件を次表に示す。
各非晶質磁気光学層は保磁力Hcの大きい補償組成付近の
(Fe0.9Co0.1)0.79(Tb0.5Dy0.5)0.21の組成において、(T
b0.5Dy0.5)の一部をCuで置換した形、すなわち(Fe0.9Co
0.1)0.79｛(Tb0.5Dy0.5)1-XCuX｝0.21の組成となし、作
製した。
(Fe0.9Co0.1)0.79(Tb0.5Dy0.5)0.21の組成において、(T
b0.5Dy0.5)の一部をCuで置換した形、すなわち(Fe0.9Co
0.1)0.79｛(Tb0.5Dy0.5)1-XCuX｝0.21の組成となし、作
製した。
膜の評価は基板側からHe−Neレーザー（λ＝633nm）を
照射し、カー効果を用いてカー回転角θｋおよび保磁力
Hcを求めた。
照射し、カー効果を用いてカー回転角θｋおよび保磁力
Hcを求めた。
それらの結果を第１図に示す。これらの図よりＸ、すな
わちCuの量を増加させることによりHcは小さくなるもの
のθｋは大きくなることがわかる。本実施例では（Tb
0.5Dy0.5）の一部をCuで置換したため、Cu量を増大させ
ると異方性に寄与しているTbの量が減り、Hcは小さくな
るためCu量をそれ程増大できなかつたが、（Fe0.9C
o0.1）と（Tb0.5Dy0.5）の量の比を一定にしてCu量を増
すようにすればHcの低下は抑えられCu量を増大させるこ
とができる。
わちCuの量を増加させることによりHcは小さくなるもの
のθｋは大きくなることがわかる。本実施例では（Tb
0.5Dy0.5）の一部をCuで置換したため、Cu量を増大させ
ると異方性に寄与しているTbの量が減り、Hcは小さくな
るためCu量をそれ程増大できなかつたが、（Fe0.9C
o0.1）と（Tb0.5Dy0.5）の量の比を一定にしてCu量を増
すようにすればHcの低下は抑えられCu量を増大させるこ
とができる。
ここで改めて各実施例における非晶質磁気光学層におい
て最もカー回転角が大きくなる場合のTb−Dy−Fe−Co−
Cu膜組成、カー回転角θｋおよびCuを含有させない場合
と比べたθｋの増加値を示す。
て最もカー回転角が大きくなる場合のTb−Dy−Fe−Co−
Cu膜組成、カー回転角θｋおよびCuを含有させない場合
と比べたθｋの増加値を示す。
第１図は実施例における各非晶質磁気光学層中のCuの量
を変えた場合のθｋおよびHcの変化図である。
を変えた場合のθｋおよびHcの変化図である。
Claims (1)
- 【請求項１】膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するTb
−Dy−Fe−Co−Cuの５元系非晶質合金磁性膜からなる非
晶質磁気光学層。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59089619A JPH0782943B2 (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 非晶質磁気光学層 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59089619A JPH0782943B2 (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 非晶質磁気光学層 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233810A JPS60233810A (ja) | 1985-11-20 |
| JPH0782943B2 true JPH0782943B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13975767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59089619A Expired - Lifetime JPH0782943B2 (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | 非晶質磁気光学層 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782943B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6140012A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録用材料 |
| JPS61172237A (ja) * | 1985-01-28 | 1986-08-02 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
| JP2601796B2 (ja) * | 1985-12-05 | 1997-04-16 | 日立マクセル株式会社 | 光磁気記録媒体 |
| US4950556A (en) * | 1987-10-26 | 1990-08-21 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Magneto-optic recording medium |
| JP2918889B2 (ja) * | 1988-07-22 | 1999-07-12 | ティーディーケイ株式会社 | 光磁気記録媒体および光磁気記録方法 |
| JP2770027B2 (ja) * | 1988-07-22 | 1998-06-25 | ティーディーケイ株式会社 | 光磁気記録媒体および光磁気記録方法 |
| JPH0233745A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Tdk Corp | 光磁気記録媒体および光磁気記録方法 |
| KR950005965B1 (ko) * | 1993-02-25 | 1995-06-07 | 주식회사금성사 | 광자기 기록 매체 |
| US5858565A (en) * | 1995-11-09 | 1999-01-12 | Eastman Kodak Company | Magneto-optic compositionally modulated structure |
| US6479169B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-11-12 | Trace Storage Technology Corp. | Low noise magnetic recording media having a interlayer film |
| CN112466409B (zh) * | 2020-11-19 | 2023-09-22 | 江苏科技大学 | 基于两种四元非晶合金元素组合的五元高熵非晶合金成分设计方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58165306A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-09-30 | Hitachi Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-05-04 JP JP59089619A patent/JPH0782943B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60233810A (ja) | 1985-11-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |