JPH0782963B2 - 積層型セラミツクスの製造方法 - Google Patents
積層型セラミツクスの製造方法Info
- Publication number
- JPH0782963B2 JPH0782963B2 JP61126066A JP12606686A JPH0782963B2 JP H0782963 B2 JPH0782963 B2 JP H0782963B2 JP 61126066 A JP61126066 A JP 61126066A JP 12606686 A JP12606686 A JP 12606686A JP H0782963 B2 JPH0782963 B2 JP H0782963B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated
- ceramics
- ceramic
- ceramic green
- laminate
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- Expired - Lifetime
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はエレクトロニクス機器に使用される積層型の各
種セラミックスに利用される積層型セラミックスの製造
方法に関するものである。
種セラミックスに利用される積層型セラミックスの製造
方法に関するものである。
従来の技術 エレクトロニクス機器の急激な進歩により使用されるエ
レクトロニクスセラミックス製品も多様化，高度化して
きた。特に最近では、エレクトロニクス機器の小型化・
低電圧化が進み、これらに対応して、電極間距離が短く
積層構造を特徴とする例えば積層セラミックコンデン
サ，積層型チップバリスタ，積層型圧電体などの積層型
セラミックスが非常に多く使用されるようになってき
た。
レクトロニクスセラミックス製品も多様化，高度化して
きた。特に最近では、エレクトロニクス機器の小型化・
低電圧化が進み、これらに対応して、電極間距離が短く
積層構造を特徴とする例えば積層セラミックコンデン
サ，積層型チップバリスタ，積層型圧電体などの積層型
セラミックスが非常に多く使用されるようになってき
た。
これらの積層型セラミックスは、セラミック粉末と有機
物からなるセラミックグリーンシートに白金，パラジウ
ム，銀などの高温で安定な貴金属と有機物からなる電極
ペーストを塗布し、これらをくり返し行い積層構造とす
るもので、その後、大気中で有機物を300〜500℃で除去
し、さらに1200〜1400℃でセラミックスを焼結させる方
法で得られるものである。
物からなるセラミックグリーンシートに白金，パラジウ
ム，銀などの高温で安定な貴金属と有機物からなる電極
ペーストを塗布し、これらをくり返し行い積層構造とす
るもので、その後、大気中で有機物を300〜500℃で除去
し、さらに1200〜1400℃でセラミックスを焼結させる方
法で得られるものである。
発明が解決しようとする問題点 しかし、上述したように積層型セラミックスはセラミッ
クグリーンシート，電極ペースト中に多量の有機物が複
有されている。このため、大気中で有機物を分解させる
と、電極間の有機物が完全に分解されずにガスとして残
留し、焼結後にデラミネーションとなる。このデラミネ
ーションの発生は、セラミックスの電気的特性を著しく
低下させ、性能，信頼性の面で大きな問題となってい
る。このことは、「工業用材料，第33巻，第４号のP30
〜34の積層チップバリスタ、及びエレクトロ・セラミッ
クス,1976年，冬号P38〜40のセラミックコンデンサ（積
層セラミックキャパシタ）」でも報告されている。
クグリーンシート，電極ペースト中に多量の有機物が複
有されている。このため、大気中で有機物を分解させる
と、電極間の有機物が完全に分解されずにガスとして残
留し、焼結後にデラミネーションとなる。このデラミネ
ーションの発生は、セラミックスの電気的特性を著しく
低下させ、性能，信頼性の面で大きな問題となってい
る。このことは、「工業用材料，第33巻，第４号のP30
〜34の積層チップバリスタ、及びエレクトロ・セラミッ
クス,1976年，冬号P38〜40のセラミックコンデンサ（積
層セラミックキャパシタ）」でも報告されている。
そこで本発明は、デラミネーションのない積層型セラミ
ックスを提供することを目的とするものである。
ックスを提供することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明は、セラミックグリー
ンシート上に内部電極となる貴金属ペーストを印刷し、
次にこのグリーンシートを積層して積層体を形成し、次
にこの積層体を酸素分圧が０〜10％でかつAr,He,N2の内
いずれか一種以上よりなる不活性ガス中で前記積層体中
の有機物を除去し、その後前記積層体を大気中で焼結さ
せるものである。
ンシート上に内部電極となる貴金属ペーストを印刷し、
次にこのグリーンシートを積層して積層体を形成し、次
にこの積層体を酸素分圧が０〜10％でかつAr,He,N2の内
いずれか一種以上よりなる不活性ガス中で前記積層体中
の有機物を除去し、その後前記積層体を大気中で焼結さ
せるものである。
作用 この構成によれば、セラミックグリーンシート，貴金属
電極ペースト中の有機物を酸素分圧が０〜10％の不活性
ガス中で除去することにより、有機物の分解がゆるやか
になるとともに、デラミネーションの原因となっていた
分解ガスが残留せずに有機物を除去できることが可能と
なり、積層体の内部にデラミネーションがなく良好なも
のが得られる。
電極ペースト中の有機物を酸素分圧が０〜10％の不活性
ガス中で除去することにより、有機物の分解がゆるやか
になるとともに、デラミネーションの原因となっていた
分解ガスが残留せずに有機物を除去できることが可能と
なり、積層体の内部にデラミネーションがなく良好なも
のが得られる。
実施例 以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
まず、セラミック粉末（BaTiO3を主成分とする高誘電体
材料）100重量部，ポリビニルブチラール樹脂10重量
部，ジオクチルフタレート10重量部，トルエン15重量
部，トリクロルエタン22重量部を加えてスラリー化す
る。このスラリーをドクターブレートを使って50μのセ
ラミックグリーンシートを得た。このセラミックグリー
ンシートを70×100mmの大きさに切断し、内部電極ペー
スト（パラジウム50wt％，有機樹脂10wt％，有機溶剤40
wt％）をEIA規格の12タイプ（幅1mm,長さ2mm）の印刷パ
ターンを用いて印刷し、積層数が15層のくし型構造と
し、500kg/cm2の圧力をかけ電極とセラミックグリーン
シートとを一体化させる。これを細かく切断して12タイ
プのセラミックグリーンチップ（積層セラミックコンデ
ンサ用グリーンチップ）を造る。この断面図を第１図に
示し、１はセラミックグリーンシート、２は内部電極ペ
ーストである。このグリーンチップを用い、下記に示す
第１表のガス及び酸素分圧のもとで、第２図に示す昇温
カーブで有機物を除去した。その後、これを大気中で12
50℃−２時間で焼成した（昇降温速度200℃/hr）。そし
て、各々の焼結体を20ケずつ取出し、焼結体の両端に銀
ペーストを塗布し800℃で焼付を行って積層セラミック
コンデンサを作製し、静電容量，誘電体損質，絶縁抵抗
の電気的特性を測定した。次に、焼結体の断面を観察し
デラミネーションを有無を調べた。その結果を第１表に
併せて示す。
材料）100重量部，ポリビニルブチラール樹脂10重量
部，ジオクチルフタレート10重量部，トルエン15重量
部，トリクロルエタン22重量部を加えてスラリー化す
る。このスラリーをドクターブレートを使って50μのセ
ラミックグリーンシートを得た。このセラミックグリー
ンシートを70×100mmの大きさに切断し、内部電極ペー
スト（パラジウム50wt％，有機樹脂10wt％，有機溶剤40
wt％）をEIA規格の12タイプ（幅1mm,長さ2mm）の印刷パ
ターンを用いて印刷し、積層数が15層のくし型構造と
し、500kg/cm2の圧力をかけ電極とセラミックグリーン
シートとを一体化させる。これを細かく切断して12タイ
プのセラミックグリーンチップ（積層セラミックコンデ
ンサ用グリーンチップ）を造る。この断面図を第１図に
示し、１はセラミックグリーンシート、２は内部電極ペ
ーストである。このグリーンチップを用い、下記に示す
第１表のガス及び酸素分圧のもとで、第２図に示す昇温
カーブで有機物を除去した。その後、これを大気中で12
50℃−２時間で焼成した（昇降温速度200℃/hr）。そし
て、各々の焼結体を20ケずつ取出し、焼結体の両端に銀
ペーストを塗布し800℃で焼付を行って積層セラミック
コンデンサを作製し、静電容量，誘電体損質，絶縁抵抗
の電気的特性を測定した。次に、焼結体の断面を観察し
デラミネーションを有無を調べた。その結果を第１表に
併せて示す。
上記第１表のように不活性ガスを用いた本発明の焼結体
は、静電容量，誘電体損失，絶縁抵抗がともに向上し、
さらにデラミネーションもなくなった。次に、本発明で
酸素分圧を０〜10％としたのは、10％を越えると酸化雰
囲気状態となり不活性雰囲気にならず、デラミネーショ
ンが発生するからである。また、不活性ガスはAr,He,N2
を混合して用いても良いものである。
は、静電容量，誘電体損失，絶縁抵抗がともに向上し、
さらにデラミネーションもなくなった。次に、本発明で
酸素分圧を０〜10％としたのは、10％を越えると酸化雰
囲気状態となり不活性雰囲気にならず、デラミネーショ
ンが発生するからである。また、不活性ガスはAr,He,N2
を混合して用いても良いものである。
発明の効果 本発明によれば、積層体の内部にデラミネーションのな
いセラミックスを得ることができ、実施例の積層セラミ
ックコンデンサのほか、積層チップバリスタ，積層体圧
電体，積層型NTC（負特性）サーミスタ，積層型PTC（正
特性）サーミスタ、及びそのほかセラミックスの内部に
貴金属ペーストを有するものの製造方法として応用でき
る。今後、益々エレクトロニクス機器の小型化，低電圧
化に伴って、積層型のセラミックスは望まれてくる中
で、本発明のもたらす産業的価値は大なるものである。
いセラミックスを得ることができ、実施例の積層セラミ
ックコンデンサのほか、積層チップバリスタ，積層体圧
電体，積層型NTC（負特性）サーミスタ，積層型PTC（正
特性）サーミスタ、及びそのほかセラミックスの内部に
貴金属ペーストを有するものの製造方法として応用でき
る。今後、益々エレクトロニクス機器の小型化，低電圧
化に伴って、積層型のセラミックスは望まれてくる中
で、本発明のもたらす産業的価値は大なるものである。
第１図は本発明方法を説明するためのセラミックス積層
体の断面図、第２図は本発明方法を説明するための有機
物の除去温度のスケジュールを示す図である。 １……セラミックグリーンシート、２……印刷した内部
電極ペースト。
体の断面図、第２図は本発明方法を説明するための有機
物の除去温度のスケジュールを示す図である。 １……セラミックグリーンシート、２……印刷した内部
電極ペースト。
Claims (1)
- 【請求項１】セラミックグリーンシート上に内部電極と
なる貴金属ペーストを印刷し、次にこのグリーンシート
を積層して積層体を形成し、次にこの積層体を酸素分圧
が０〜10％でかつAr,He,N2の内いずれか一種以上よりな
る不活性ガス中で前記積層体中の有機物を除去し、その
後前記積層体を大気中で焼結させる積層型セラミックス
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61126066A JPH0782963B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 積層型セラミツクスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61126066A JPH0782963B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 積層型セラミツクスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62282427A JPS62282427A (ja) | 1987-12-08 |
| JPH0782963B2 true JPH0782963B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=14925776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61126066A Expired - Lifetime JPH0782963B2 (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 積層型セラミツクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782963B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54148263A (en) * | 1978-05-12 | 1979-11-20 | Nippon Electric Co | Electrode material and method of producing same |
| JPS5717468A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-29 | Toyota Motor Co Ltd | Manufacture of ceramic sintered body |
| JPS608992B2 (ja) * | 1980-09-03 | 1985-03-07 | 株式会社村田製作所 | セラミツク成形体の前処理方法 |
| JPS57139916A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-30 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Method of producing laminated ceramic condenser |
| JPS60176296A (ja) * | 1984-02-23 | 1985-09-10 | 松下電器産業株式会社 | グレ−ズ抵抗素子一体型多層基板の製造方法 |
| JPS60160192A (ja) * | 1983-10-12 | 1985-08-21 | 日立粉末冶金株式会社 | 混成集積回路基板の製造方法 |
| JPS6167214A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | 日本電気株式会社 | 積層セラミツクコンデンサの製造方法 |
| JPS62106612A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | 東光株式会社 | 積層電子部品の製造方法 |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP61126066A patent/JPH0782963B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62282427A (ja) | 1987-12-08 |
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