JPH0782984B2 - 試料の固定装置 - Google Patents
試料の固定装置Info
- Publication number
- JPH0782984B2 JPH0782984B2 JP61287533A JP28753386A JPH0782984B2 JP H0782984 B2 JPH0782984 B2 JP H0782984B2 JP 61287533 A JP61287533 A JP 61287533A JP 28753386 A JP28753386 A JP 28753386A JP H0782984 B2 JPH0782984 B2 JP H0782984B2
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- JP
- Japan
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- sample
- main body
- clamp
- pressing
- mounting surface
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の属する技術分野］ 本発明は荷電ビーム描画装置における試料の固定装置に
係り、特に１種類の固定装置で大小異なるサイズの試料
を高精度にクランプ可能にした固定装置に関する。
係り、特に１種類の固定装置で大小異なるサイズの試料
を高精度にクランプ可能にした固定装置に関する。
［従来の技術］ 従来の荷電ピーム描画装置における試料の固定装置は、
試料の大きさが異なる場合その大きさに対応した試料ホ
ルダが必要であると共に、試料の大きさに対応したクラ
ンプ力を試料周辺部の３点或いは４点に作用させて固定
していた。このため試料の大きさの種類だけ試料ホルダ
が必要になり、コストが高くかつ作業性も悪かった。さ
らに３点或いは４点支持で固定するため試料が大型の場
合１個所当りのクランプ力は大くなり、このため試料の
レジスト面に大きな面圧が作用しレジストが剥離して製
品の品質を落すと共に、この剥離したレジストが相手側
に付着したり周囲に飛散して試料面上のゴミ発生の原因
になっていた。
試料の大きさが異なる場合その大きさに対応した試料ホ
ルダが必要であると共に、試料の大きさに対応したクラ
ンプ力を試料周辺部の３点或いは４点に作用させて固定
していた。このため試料の大きさの種類だけ試料ホルダ
が必要になり、コストが高くかつ作業性も悪かった。さ
らに３点或いは４点支持で固定するため試料が大型の場
合１個所当りのクランプ力は大くなり、このため試料の
レジスト面に大きな面圧が作用しレジストが剥離して製
品の品質を落すと共に、この剥離したレジストが相手側
に付着したり周囲に飛散して試料面上のゴミ発生の原因
になっていた。
［発明の目的］ 本発明はこのような欠点を除去したものでその目的は、
１種類の試料ホルダにより各種サイズの試料を固定する
と共に、試料のサイズに関係なく均等なクランプ力を作
用させるようにするこにより、コストが低くかつレジス
トの剥離をなくした試料の固定装置を提供することにあ
る。
１種類の試料ホルダにより各種サイズの試料を固定する
と共に、試料のサイズに関係なく均等なクランプ力を作
用させるようにするこにより、コストが低くかつレジス
トの剥離をなくした試料の固定装置を提供することにあ
る。
［発明の要点］ 本発明における試料の固定装置は、試料を載置する本体
と、本体に設けたガイド或いは溝を介して一方向へ移動
可能に取つけられた部材と、本体の試料載置面に沿いか
つ前記の部材の移動方向に対し直角に伸びると共に試料
載置面に対向する位置ならびに試料載置面から離れた位
置をとるため前記部材へ回転自在に取り付けられた複数
のクランプバーと、試料を押圧するため複数のクランプ
バーのそれぞれに複数配列して設けた押圧機構とからな
ることを特徴としている。
と、本体に設けたガイド或いは溝を介して一方向へ移動
可能に取つけられた部材と、本体の試料載置面に沿いか
つ前記の部材の移動方向に対し直角に伸びると共に試料
載置面に対向する位置ならびに試料載置面から離れた位
置をとるため前記部材へ回転自在に取り付けられた複数
のクランプバーと、試料を押圧するため複数のクランプ
バーのそれぞれに複数配列して設けた押圧機構とからな
ることを特徴としている。
［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例を示した第１図ないし第４図につ
いて説明する。試料12は試料ホルダ11の本体13の上面す
なわち試料載置面に載置され、本体13の反試料載置面に
は２組のガイド支え14が不図示のネジ等により取り付け
られており、両ガイド支え14にはそれぞれガイド15が平
行に位置すべく取り付けられている。ガイド15には２個
のクランプバー受板16が移動可能に挿入され、クランプ
バー受板16の一端から本体13の試料載置面側へ向かって
直角に伸びた端部にはピン17を支点として回転自在にク
ランプバー18の一端が係合している。クランプバー受板
16の他端にはピン19によって押え金20が回転自在に取り
付けられ、この押え金20はクランプバー18の他端に形成
した溝21の係合可能に形成され、先端の大径頭部によっ
てクランプバー18をクランプ位置に保持するようになっ
ている。
いて説明する。試料12は試料ホルダ11の本体13の上面す
なわち試料載置面に載置され、本体13の反試料載置面に
は２組のガイド支え14が不図示のネジ等により取り付け
られており、両ガイド支え14にはそれぞれガイド15が平
行に位置すべく取り付けられている。ガイド15には２個
のクランプバー受板16が移動可能に挿入され、クランプ
バー受板16の一端から本体13の試料載置面側へ向かって
直角に伸びた端部にはピン17を支点として回転自在にク
ランプバー18の一端が係合している。クランプバー受板
16の他端にはピン19によって押え金20が回転自在に取り
付けられ、この押え金20はクランプバー18の他端に形成
した溝21の係合可能に形成され、先端の大径頭部によっ
てクランプバー18をクランプ位置に保持するようになっ
ている。
クランプバー18には試料12を押圧して固定するための押
圧機構26が適宜な間隔を置いて複数設けてあり、これの
詳細を第４図により説明する。クランプバー18には大小
径からなる段付き孔27が複数設けられており、段付き孔
27の小径部にはクランプピン28が摺動自在に挿入されて
おり、クランプピン28の試料12側の一端は大径になって
おり、この大径部と段付き孔27の段部との間にスプリン
グ29を設け、クランプピン28を常時下方に付勢しクラン
プピン28が試料12と対向しているときは、第４図の右方
に示すように試料12を押圧して固定する。クランプピン
28の他側にはストッパ30が螺着されてクランプピン28の
第４図において下方へのストロークを制限し、第４図の
左方に示すように試料12がない場合クランプピン28が本
体13に接しないように形成されている。
圧機構26が適宜な間隔を置いて複数設けてあり、これの
詳細を第４図により説明する。クランプバー18には大小
径からなる段付き孔27が複数設けられており、段付き孔
27の小径部にはクランプピン28が摺動自在に挿入されて
おり、クランプピン28の試料12側の一端は大径になって
おり、この大径部と段付き孔27の段部との間にスプリン
グ29を設け、クランプピン28を常時下方に付勢しクラン
プピン28が試料12と対向しているときは、第４図の右方
に示すように試料12を押圧して固定する。クランプピン
28の他側にはストッパ30が螺着されてクランプピン28の
第４図において下方へのストロークを制限し、第４図の
左方に示すように試料12がない場合クランプピン28が本
体13に接しないように形成されている。
このような構成の試料ホルダ11に試料12を固定するとき
は、第１図において２個のクランプバー18を試料12の大
きさに応じて左右方向の位置を決め、次いで第２図にお
いて押え金20を外してから２個のクランバー18を反時計
方向に約90゜回動させ本体13上に試料12を載置した後、
クランプバー18を時計方向に回動させ押え金20をセット
すれば試料12は自動的にクランプされる。第１図はサイ
ズがほぼ最大の試料12をクランプした場合を示してお
り、サイズがこれより小型のときはその大きさに応じて
一方のクランプバー18かまたは２個のクランプバー18を
それぞれ内側に移動させることにより対応する。
は、第１図において２個のクランプバー18を試料12の大
きさに応じて左右方向の位置を決め、次いで第２図にお
いて押え金20を外してから２個のクランバー18を反時計
方向に約90゜回動させ本体13上に試料12を載置した後、
クランプバー18を時計方向に回動させ押え金20をセット
すれば試料12は自動的にクランプされる。第１図はサイ
ズがほぼ最大の試料12をクランプした場合を示してお
り、サイズがこれより小型のときはその大きさに応じて
一方のクランプバー18かまたは２個のクランプバー18を
それぞれ内側に移動させることにより対応する。
第５図は細長い２枚の試料12Aを横に置いてクランプし
た場合を示しており、第６図は細長い２枚の試料12Bを
縦に置いてクランプした場合を示しており、図示の例で
は中央のクランプバー18Aは押圧機構26が２列に設けて
あるが、これは左右に設けた通常のクランプバー18と同
様のものを２個使用してもよい。このようにクランプバ
ー18、18Aはクランプバー受板16と一諸にまたは予備の
クランプバー受板16を設けておくことにより適宜に追加
したり、または交換したりすることができるように、本
体13に対して着脱自在に取り付けることが好ましい。
た場合を示しており、第６図は細長い２枚の試料12Bを
縦に置いてクランプした場合を示しており、図示の例で
は中央のクランプバー18Aは押圧機構26が２列に設けて
あるが、これは左右に設けた通常のクランプバー18と同
様のものを２個使用してもよい。このようにクランプバ
ー18、18Aはクランプバー受板16と一諸にまたは予備の
クランプバー受板16を設けておくことにより適宜に追加
したり、または交換したりすることができるように、本
体13に対して着脱自在に取り付けることが好ましい。
第７図および第８図は本発明の他の実施例を示してお
り、前述した第１実施例では押圧機構26のスプリング29
はコイルスプリングであったがこの例では板バネ32を用
いたものである。すなわち、この押圧機構30において
は、クランプバー18の複数の孔には下側の一端を大径に
したクランプピン31が挿入され、クランプピン31の他端
はネジになっており、このネジにはクランプバー18に一
側を固着した板バネ32の他側が挿入されかつナット33に
より固定されている。この方式は板バネ32自身がストッ
パの役目をしているため、クランプピン31が試料12に対
向していない場合もクランプピン31は本体13に接しな
い。
り、前述した第１実施例では押圧機構26のスプリング29
はコイルスプリングであったがこの例では板バネ32を用
いたものである。すなわち、この押圧機構30において
は、クランプバー18の複数の孔には下側の一端を大径に
したクランプピン31が挿入され、クランプピン31の他端
はネジになっており、このネジにはクランプバー18に一
側を固着した板バネ32の他側が挿入されかつナット33に
より固定されている。この方式は板バネ32自身がストッ
パの役目をしているため、クランプピン31が試料12に対
向していない場合もクランプピン31は本体13に接しな
い。
第９図も本発明の他の実施例を示しており前述した実施
例のガイド15とクランプバー受板16等の代りに、本体13
Aの側部両面に溝36を形成し、ローラ支持体37に固着し
た軸38へ回転自在に支持されたローラ39が上記溝36内を
転動するようになっている。ローラ支持体37の一端には
ピン17を支点として回転自在なクランプバー18の一端が
係合されており、クランプバー18の他端が不図示の押え
金具20（第２図参照）に係合することは前述した実施例
と同じである。この例では複数のクランプバー18はロー
ラ39により本体13Aに対し移動する。なお本体13Aは溝36
を形成したことと厚さが厚いことのみが本体13と異な
る。
例のガイド15とクランプバー受板16等の代りに、本体13
Aの側部両面に溝36を形成し、ローラ支持体37に固着し
た軸38へ回転自在に支持されたローラ39が上記溝36内を
転動するようになっている。ローラ支持体37の一端には
ピン17を支点として回転自在なクランプバー18の一端が
係合されており、クランプバー18の他端が不図示の押え
金具20（第２図参照）に係合することは前述した実施例
と同じである。この例では複数のクランプバー18はロー
ラ39により本体13Aに対し移動する。なお本体13Aは溝36
を形成したことと厚さが厚いことのみが本体13と異な
る。
第10図もさらに本発明の他の実施例を示している。この
例は前述した実施例の本体13が押圧機構26の押圧力によ
り曲げモーメントを受けて形成するのを防止した例であ
る。本体13の両側面の端部４個所にガイド支え41を取り
付けこのガイド支え41にそれぞれガイド15を平行に配置
して固定し、両ガイド15に対しクランプバー受板42を移
動自在に挿入する。クランプバー受板42の一端（図にお
いて下側）にはピン17を交点として回転自在なクランプ
バー18の一端が係合しており、クランプバー18の他端は
出し入れが自在なピン43によりクランプバー受板42に固
定されている。
例は前述した実施例の本体13が押圧機構26の押圧力によ
り曲げモーメントを受けて形成するのを防止した例であ
る。本体13の両側面の端部４個所にガイド支え41を取り
付けこのガイド支え41にそれぞれガイド15を平行に配置
して固定し、両ガイド15に対しクランプバー受板42を移
動自在に挿入する。クランプバー受板42の一端（図にお
いて下側）にはピン17を交点として回転自在なクランプ
バー18の一端が係合しており、クランプバー18の他端は
出し入れが自在なピン43によりクランプバー受板42に固
定されている。
クランプバー受板42にはクランバー18の押圧機構26を設
けた位置と同じ位置に押圧機構26とほぼ同じ押し圧力の
バックアップ機構44が複数設けられている。図において
押圧機構26の上下２個は試料12に対向しておらずかつ本
体13にも接していないにもかかわらず、バックアップ機
構44は全てが本体13に接している。このため図示してい
ないがバックアップ機構44のクランプピンを90゜回転し
て引込めたとき、その位置に停止して押圧力が働かない
ようにすることが好ましい。
けた位置と同じ位置に押圧機構26とほぼ同じ押し圧力の
バックアップ機構44が複数設けられている。図において
押圧機構26の上下２個は試料12に対向しておらずかつ本
体13にも接していないにもかかわらず、バックアップ機
構44は全てが本体13に接している。このため図示してい
ないがバックアップ機構44のクランプピンを90゜回転し
て引込めたとき、その位置に停止して押圧力が働かない
ようにすることが好ましい。
なお、前述した実施例は、いずれもクランプバー18、18
A、押え金21、さらにはバックアップ機構44を取り付け
たクランプバー受板42をすべてガイド15に沿って移動可
能にした例を示したが、１組は本13、13Aの端部寄りに
固定的に設置してもよい。
A、押え金21、さらにはバックアップ機構44を取り付け
たクランプバー受板42をすべてガイド15に沿って移動可
能にした例を示したが、１組は本13、13Aの端部寄りに
固定的に設置してもよい。
［発明の効果］ 本発明における試料の固定装置は以上説明したように、
試料を載置する本体に対し移動可能な複数のクランプバ
ーに、複数の押圧機構を設けこの押圧機構により試料を
本体に固定するようにした。従って大小ある各種サイズ
の試料に対しクランプバーをその試料の大きさに適合し
た位置へ移動すればよいため、１種類の試料ホルダで各
種試料を固定することが可能になってコストを低くでき
る。さらに試料固定はクランプ力が集中することなく複
数個所に分散するためレジストの剥離がなくなる利点を
有する。
試料を載置する本体に対し移動可能な複数のクランプバ
ーに、複数の押圧機構を設けこの押圧機構により試料を
本体に固定するようにした。従って大小ある各種サイズ
の試料に対しクランプバーをその試料の大きさに適合し
た位置へ移動すればよいため、１種類の試料ホルダで各
種試料を固定することが可能になってコストを低くでき
る。さらに試料固定はクランプ力が集中することなく複
数個所に分散するためレジストの剥離がなくなる利点を
有する。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示し第１図は
平面図、第２図は第１図の２方向矢視図、第３図は第１
図の３方向矢視図、第４図は押圧機構の細部拡大断面
図、第５図および第６図は異なる使用状態を示す平面
図、第７図および第８図は本発明の他の実施例を示し第
７図は一部断面図、第８図は一部平面図、第９図および
第10図は異なる形状のさらに本発明の他の実施例を示し
第９図は一部側面図、第10図は側面図である。 12……試料,13、13A……本体,15……ガイド,16、37……
部材,18……クランプバー,26……押圧機構,36……溝,44
……バックアップ機構。
平面図、第２図は第１図の２方向矢視図、第３図は第１
図の３方向矢視図、第４図は押圧機構の細部拡大断面
図、第５図および第６図は異なる使用状態を示す平面
図、第７図および第８図は本発明の他の実施例を示し第
７図は一部断面図、第８図は一部平面図、第９図および
第10図は異なる形状のさらに本発明の他の実施例を示し
第９図は一部側面図、第10図は側面図である。 12……試料,13、13A……本体,15……ガイド,16、37……
部材,18……クランプバー,26……押圧機構,36……溝,44
……バックアップ機構。
Claims (4)
- 【請求項１】試料を載置する本体と、同本体に設けたガ
イド或いは溝を介して該本体の一方向へ移動可能に取り
付けられた部材と、前記本体の試料載置面に沿いかつ前
記部材の移動方向に対し直角に伸びると共に前記試料載
置面に対向する位置ならびに該試料載置面から離れた位
置をとるため一端を前記部材または本体へ回転自在に取
り付けられた複数のクランプバーと、前記試料を押圧す
るため前記複数のクランプバーのそれぞれに複数配列し
て設けた押圧機構とからなり、前記試料を固定するとき
前記複数の押圧機構のうち前記試料に対向している一部
或いは全部の押圧機構を使用するようにした試料の固定
装置。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載の試料の固定装
置において、試料に対向していない押圧機構のクランプ
ピンが本体に接しないように繰出量を制限されているこ
とを特徴とする試料の固定装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項記載の試料の固定装
置において、クランプバーは前記部材または本体から取
り外しが可能であることを特徴とする試料の固定装置。 - 【請求項４】試料を載置する本体と、同本体に設けたガ
イド或いは溝を介して該本体の一方向へ移動可能に取り
付けられた部材と、前記本体の試料載置面に沿いかつ前
記部材の移動方向に対し直角に伸びると共に前記試料載
置面に対向する位置ならびに該試料載置面から離れた位
置をとるため一端を前記部材または本体へ回転自在に取
り付けられた複数のクランプバーと、前記試料を押圧す
るため前記複数のクランプバーのそれぞれに複数配列し
て設けた押圧機構と、前記部材または本体に設けられ前
記本体の反前記試料載置面側を押圧するため前記押圧機
構にほぼ等しい押圧圧力を有する複数のバックアップ機
構とからなる試料の固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287533A JPH0782984B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 試料の固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61287533A JPH0782984B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 試料の固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140532A JPS63140532A (ja) | 1988-06-13 |
| JPH0782984B2 true JPH0782984B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17718570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61287533A Expired - Fee Related JPH0782984B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 試料の固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782984B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011051561A1 (de) * | 2011-07-05 | 2013-01-10 | BÄHR-Thermoanalyse GmbH | Dilatometer zur Messung von metallischen Proben |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP61287533A patent/JPH0782984B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63140532A (ja) | 1988-06-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |