JPH0783151B2 - レーザ電源装置 - Google Patents
レーザ電源装置Info
- Publication number
- JPH0783151B2 JPH0783151B2 JP24768187A JP24768187A JPH0783151B2 JP H0783151 B2 JPH0783151 B2 JP H0783151B2 JP 24768187 A JP24768187 A JP 24768187A JP 24768187 A JP24768187 A JP 24768187A JP H0783151 B2 JPH0783151 B2 JP H0783151B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- voltage
- charging
- power supply
- power source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，例えば炭素ガス・レーザに用いられる繰り返
し充電・放電するコンデンサの充電をするコンデンサ充
電器を含むレーザ電源装置，特に安定化した充電電圧特
性を有するコンデンサ充電器を含むレーザ電源装置に関
する。
し充電・放電するコンデンサの充電をするコンデンサ充
電器を含むレーザ電源装置，特に安定化した充電電圧特
性を有するコンデンサ充電器を含むレーザ電源装置に関
する。
従来，繰り返し充電・放電するコンデンサの充電をする
コンデンサ充電器を含むレーザ電源装置としては，例え
ば第３図に示すような装置が用いられている。同図にお
いて，充電電源１より限流インピーダンス２を介してコ
ンデンサ３に電荷が蓄積されている。コンデンサ３に
は，互いに直列接続されたスイッチ手段４とレーザ管５
が並列に接続されている。そして駆動回路６よりスイッ
チ手段４にオン信号が供給されると，コンデンサ３に蓄
えられた電荷が放電してレーザ管５に瞬間的に大電流を
流す。
コンデンサ充電器を含むレーザ電源装置としては，例え
ば第３図に示すような装置が用いられている。同図にお
いて，充電電源１より限流インピーダンス２を介してコ
ンデンサ３に電荷が蓄積されている。コンデンサ３に
は，互いに直列接続されたスイッチ手段４とレーザ管５
が並列に接続されている。そして駆動回路６よりスイッ
チ手段４にオン信号が供給されると，コンデンサ３に蓄
えられた電荷が放電してレーザ管５に瞬間的に大電流を
流す。
まず駆動回路６よりアイソレータ７を介してスイッチ手
段４のオンした時刻を検知して積分回路12を作動させ
て，基準電圧をゆっくりと立ち上がらせる。そしてこの
基準電圧を比較器10の一端に接続して，検出回路８から
得られる検出電圧と比較する。比較器10において発生し
た誤差信号を充電電源１の制御端子に供給して，充電電
源１を前記基準電圧に比例した出力が得られるように立
ち上がされて，再びコンデンサ３に電荷を蓄積させるた
めに充電電源１を所定の傾斜で立ち上がらせる。このよ
うにしてコンデンサ３の充電・放電を繰り返して，レー
ザ管に必要な電力を供給している。
段４のオンした時刻を検知して積分回路12を作動させ
て，基準電圧をゆっくりと立ち上がらせる。そしてこの
基準電圧を比較器10の一端に接続して，検出回路８から
得られる検出電圧と比較する。比較器10において発生し
た誤差信号を充電電源１の制御端子に供給して，充電電
源１を前記基準電圧に比例した出力が得られるように立
ち上がされて，再びコンデンサ３に電荷を蓄積させるた
めに充電電源１を所定の傾斜で立ち上がらせる。このよ
うにしてコンデンサ３の充電・放電を繰り返して，レー
ザ管に必要な電力を供給している。
ところがこのように構成された従来のレーザ電源装置に
おいて，スイッチ手段４に流れる電流が数百アンペア乃
至数千アンペアで，電圧が数万ボルトと高エネルギーの
ため，アイソレータ７の絶縁耐圧を大きくする必要があ
る。また，レーザ管側は高電圧，高エネルギーのため単
に絶縁耐圧を大きくしても，アイソレータを介しても雑
音信号として伝達され回路を誤動作させる問題点があっ
た。
おいて，スイッチ手段４に流れる電流が数百アンペア乃
至数千アンペアで，電圧が数万ボルトと高エネルギーの
ため，アイソレータ７の絶縁耐圧を大きくする必要があ
る。また，レーザ管側は高電圧，高エネルギーのため単
に絶縁耐圧を大きくしても，アイソレータを介しても雑
音信号として伝達され回路を誤動作させる問題点があっ
た。
本発明は以上のべた問題点を解決すべく， 充電電源と該充電電源からのエネルギーで充電されるコ
ンデンサとレーザ管に直列接続されたスイッチ手段及び
該スイッチ手段をトリガする駆動回路からなるレーザ電
源装置において， 前記スイッチ手段が導通するときに前記充電電源の出力
電圧の検出電圧を波形整形回路を介して積分回路に与え
てその積分動作を開始させて，基準電圧を立ち上がら
せ，該基準電圧にほぼ比例した充電電圧に前記コンデン
サを充電させることを特徴とするレーザ電源装置を提案
するものである。
ンデンサとレーザ管に直列接続されたスイッチ手段及び
該スイッチ手段をトリガする駆動回路からなるレーザ電
源装置において， 前記スイッチ手段が導通するときに前記充電電源の出力
電圧の検出電圧を波形整形回路を介して積分回路に与え
てその積分動作を開始させて，基準電圧を立ち上がら
せ，該基準電圧にほぼ比例した充電電圧に前記コンデン
サを充電させることを特徴とするレーザ電源装置を提案
するものである。
本発明は以上のように構成されているので，先ず，充電
電源の出力電圧より波形整形回路を介してレーザ管側の
スイッチ手段の放電時刻毎に積分回路を開始させる。そ
して積分回路の出力として基準電圧を立ち上がらせ，こ
の基準電圧に比例した充電電圧により前記コンデンサを
充電させる。このようにしてレーザ管側のスイッチ手段
の駆動回路より放電時刻検知信号を供給されなくとも，
充電電源側のみ回路構成で積分回路の開始時期を得るこ
とができる。
電源の出力電圧より波形整形回路を介してレーザ管側の
スイッチ手段の放電時刻毎に積分回路を開始させる。そ
して積分回路の出力として基準電圧を立ち上がらせ，こ
の基準電圧に比例した充電電圧により前記コンデンサを
充電させる。このようにしてレーザ管側のスイッチ手段
の駆動回路より放電時刻検知信号を供給されなくとも，
充電電源側のみ回路構成で積分回路の開始時期を得るこ
とができる。
第１図は本発明のレーザ電源装置のブロック図を示す。
同図において，充電電源１より比較的低インピーダンス
の限流インピーダンス２を介してコンデンサ３に電荷が
蓄積されている。コンデンサ３よりスイッチ手段４を介
してレーザ管５が接続されている。そしてスイッチ手段
４に駆動回路６よりオン信号が供給されると，コンデン
サ３に蓄えられた電荷が放電してレーザ管５に瞬間的に
大電流が流れる。
同図において，充電電源１より比較的低インピーダンス
の限流インピーダンス２を介してコンデンサ３に電荷が
蓄積されている。コンデンサ３よりスイッチ手段４を介
してレーザ管５が接続されている。そしてスイッチ手段
４に駆動回路６よりオン信号が供給されると，コンデン
サ３に蓄えられた電荷が放電してレーザ管５に瞬間的に
大電流が流れる。
この時検出回路８の出力電圧は第２図（ａ）に示すよう
に急激に０になる。すると波形整形回路13の中のコンパ
レータU1の出力電圧は第２図（ｂ）に示すように低レベ
ルから高レベルに変化する。そしてコンデンサC2と抵抗
器R3で構成される微分器により微分されて，波形整形回
路13の出力点（ｃ）には第２図（ｃ）に示すようなパル
ス波形が発生する。一方，基準電圧源11より積分回路12
の中の抵抗器R1を介してコンデンサC1に充電されてい
る。そして波形成形回路13の出力のパルスがトランジス
タQ1のベースに送られて，コンデンサC1の充電電荷が一
旦放電して第２図（ｄ）に示すように低レベルに落ち
て，ここを充電開始点として再びゆっくりと積分回路12
の出力電圧は上昇する。そしてこの積分回路12の出力電
圧を比較器10の一端に接続して，検出回路８から得られ
る検出電圧と比較する。比較器10において発生した誤差
信号を充電電源１の制御端子に供給して，再びコンデン
サ３に電荷を蓄積させるために，充電電源１を前記基準
電圧に比例した出力が得られるように，立ち上がらせ
て，所望のコンデンサ充電特性を得る。このようにして
コンデンサ３の充電・放電を繰り返して，レーザ管に必
要な電力を供給する。
に急激に０になる。すると波形整形回路13の中のコンパ
レータU1の出力電圧は第２図（ｂ）に示すように低レベ
ルから高レベルに変化する。そしてコンデンサC2と抵抗
器R3で構成される微分器により微分されて，波形整形回
路13の出力点（ｃ）には第２図（ｃ）に示すようなパル
ス波形が発生する。一方，基準電圧源11より積分回路12
の中の抵抗器R1を介してコンデンサC1に充電されてい
る。そして波形成形回路13の出力のパルスがトランジス
タQ1のベースに送られて，コンデンサC1の充電電荷が一
旦放電して第２図（ｄ）に示すように低レベルに落ち
て，ここを充電開始点として再びゆっくりと積分回路12
の出力電圧は上昇する。そしてこの積分回路12の出力電
圧を比較器10の一端に接続して，検出回路８から得られ
る検出電圧と比較する。比較器10において発生した誤差
信号を充電電源１の制御端子に供給して，再びコンデン
サ３に電荷を蓄積させるために，充電電源１を前記基準
電圧に比例した出力が得られるように，立ち上がらせ
て，所望のコンデンサ充電特性を得る。このようにして
コンデンサ３の充電・放電を繰り返して，レーザ管に必
要な電力を供給する。
本発明は以上のように構成さてれいて，レーザ管側のス
イッチ手段の放電時刻を充電器側の回路のみで検出して
いるので，アイソレータが不要となり，高電圧，大電流
のスイッチの作動時のサージ電圧による誤動作や破壊の
原因がなくなる効果を有する。
イッチ手段の放電時刻を充電器側の回路のみで検出して
いるので，アイソレータが不要となり，高電圧，大電流
のスイッチの作動時のサージ電圧による誤動作や破壊の
原因がなくなる効果を有する。
第１図は本発明のレーザ電源装置のブロック図を示し，
第２図は第１図に示すレーザ電源装置の動作を説明する
ための各部の波形図であり，第３図は従来のレーザ電源
装置のブロック図を示す。 １……充電電源、２……限流インピーダンス ３……コンデンサ ４……スイッチ ５……レーザ管,6……駆動回路 ７……アイソレータ,8……検出回路 10……比較器 11……基準電圧源 12……積分回路 13……波形整形回路 C1,C2……コンデンサ R1〜R7……抵抗器 Q1……トランジスタ U1……コンパレータ
第２図は第１図に示すレーザ電源装置の動作を説明する
ための各部の波形図であり，第３図は従来のレーザ電源
装置のブロック図を示す。 １……充電電源、２……限流インピーダンス ３……コンデンサ ４……スイッチ ５……レーザ管,6……駆動回路 ７……アイソレータ,8……検出回路 10……比較器 11……基準電圧源 12……積分回路 13……波形整形回路 C1,C2……コンデンサ R1〜R7……抵抗器 Q1……トランジスタ U1……コンパレータ
Claims (1)
- 【請求項１】充電電源と該充電電源からのエネルギーで
充電されるコンデンサとレーザ管に直列接続されたスイ
ッチ手段及び該スイッチ手段をトリガする駆動回路から
なるレーザ電源装置において， 前記スイッチ手段が導通するときに前記充電電源の出力
電圧の検出電圧を波形整計回路を介して積分回路に与え
てその積分動作を開始させて，基準電圧を立ち上がら
せ，該基準電圧にほぼ比例した充電電圧に前記コンデン
サを充電させることを特徴とするレーザ電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24768187A JPH0783151B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | レーザ電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24768187A JPH0783151B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | レーザ電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6489578A JPS6489578A (en) | 1989-04-04 |
| JPH0783151B2 true JPH0783151B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17167068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24768187A Expired - Lifetime JPH0783151B2 (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 | レーザ電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783151B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090120924A1 (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-14 | Stephen Moffatt | Pulse train annealing method and apparatus |
| US9498845B2 (en) | 2007-11-08 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | Pulse train annealing method and apparatus |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP24768187A patent/JPH0783151B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6489578A (en) | 1989-04-04 |
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