JPH0785794A - ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法 - Google Patents
ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法Info
- Publication number
- JPH0785794A JPH0785794A JP5227104A JP22710493A JPH0785794A JP H0785794 A JPH0785794 A JP H0785794A JP 5227104 A JP5227104 A JP 5227104A JP 22710493 A JP22710493 A JP 22710493A JP H0785794 A JPH0785794 A JP H0785794A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent screen
- image
- television camera
- light
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 テレビカメラを用いてブラウン管の蛍光面検
査装置において、テレビカメラとブラウン管の位置合わ
せをブラウン管の外面側からも可能にし、高精度に検査
できる装置を得る。 【構成】 蛍光面のパターン像を受光するためのテレビ
カメラ１と、テレビカメラで得られた信号は画像処理回
路11と、パターンが形成された蛍光面に焦点を合わせる
ために用いるスリット光３と、このテレビカメラ１、ス
リット光源３を移動可能に支持する計測ヘッド６と、計
測ヘッド６の位置決め動作を行わせるロボット８と、蛍
光面のホールの像の発生するための照明装置４と、これ
らの結果等を演算・制御を行う演算制御回路12と、検査
結果を必要に応じて外部に出力する表示回路13から構成
する。
査装置において、テレビカメラとブラウン管の位置合わ
せをブラウン管の外面側からも可能にし、高精度に検査
できる装置を得る。 【構成】 蛍光面のパターン像を受光するためのテレビ
カメラ１と、テレビカメラで得られた信号は画像処理回
路11と、パターンが形成された蛍光面に焦点を合わせる
ために用いるスリット光３と、このテレビカメラ１、ス
リット光源３を移動可能に支持する計測ヘッド６と、計
測ヘッド６の位置決め動作を行わせるロボット８と、蛍
光面のホールの像の発生するための照明装置４と、これ
らの結果等を演算・制御を行う演算制御回路12と、検査
結果を必要に応じて外部に出力する表示回路13から構成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ブラウン管蛍光面製
造作業における蛍光面のパターン形状（ストライプ幅、
ホール径）を検査するブラウン管蛍光面検査装置に関す
る。
造作業における蛍光面のパターン形状（ストライプ幅、
ホール径）を検査するブラウン管蛍光面検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図８は、例えば特開昭54-83763号公報に
示された従来のブラウン管ブラックストライプサイズ測
定装置を示す断面図である。図において、５はパネルで
その内面にはブラックストライプ22が形成されている。
１は測定用のテレビカメラで、拡大レンズ系24及びホト
アレー素子25を持つ。23は非接触変位計で、図示のよう
に拡大レンズ系24の先端等に設けられている。４は測定
用の光源でパネル５の外面側に設けられている。
示された従来のブラウン管ブラックストライプサイズ測
定装置を示す断面図である。図において、５はパネルで
その内面にはブラックストライプ22が形成されている。
１は測定用のテレビカメラで、拡大レンズ系24及びホト
アレー素子25を持つ。23は非接触変位計で、図示のよう
に拡大レンズ系24の先端等に設けられている。４は測定
用の光源でパネル５の外面側に設けられている。
【０００３】従来のブラウン管蛍光面測定装置は前記の
ように構成され、パネル５に形成されたブラックストラ
イプ22はテレビカメラ１によって拡大された状態で取り
込まれる。前記のように取り込まれた画像は、ホトアレ
ー素子25によりパネル５との間隔に応じた信号に変換さ
れる。また前記のように変換された信号を電気的に処理
して得られた信号と、ホトアレー素子25を構成するホト
ダイオードの数との関係によりサイズ変換し、ブラック
ストライプ22のサイズを得る。
ように構成され、パネル５に形成されたブラックストラ
イプ22はテレビカメラ１によって拡大された状態で取り
込まれる。前記のように取り込まれた画像は、ホトアレ
ー素子25によりパネル５との間隔に応じた信号に変換さ
れる。また前記のように変換された信号を電気的に処理
して得られた信号と、ホトアレー素子25を構成するホト
ダイオードの数との関係によりサイズ変換し、ブラック
ストライプ22のサイズを得る。
【０００４】従来のブラウン管蛍光面測定装置は前記の
ように構成され、例えば、測定対象に空気を吹き付け反
射の空気圧を測定して対象までの距離を測定するエアー
マイクロでパネル内面との位置決めを行い測定する。
ように構成され、例えば、測定対象に空気を吹き付け反
射の空気圧を測定して対象までの距離を測定するエアー
マイクロでパネル内面との位置決めを行い測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記のようなブラウン
管蛍光面測定方式では、パネルの内面から計測している
が、ブラウン管組立ラインのコンベア上ではパネル内面
側の空間は限られているので計測スペースが不足してい
た。パネルの外面側から計測しようとするとパネルの肉
厚に影響されブラックストライプ22のサイズの高精度な
測定ができなかった。さらにエアーマイクロを用いると
エアー圧によっては蛍光面のストライプがはがれるなど
の問題点があった。
管蛍光面測定方式では、パネルの内面から計測している
が、ブラウン管組立ラインのコンベア上ではパネル内面
側の空間は限られているので計測スペースが不足してい
た。パネルの外面側から計測しようとするとパネルの肉
厚に影響されブラックストライプ22のサイズの高精度な
測定ができなかった。さらにエアーマイクロを用いると
エアー圧によっては蛍光面のストライプがはがれるなど
の問題点があった。
【０００６】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたものであり、位置合せのための非接触変位計
（エアーマイクロ等）を必要とせず、パネルの外面側か
らでも内面側からでも蛍光面のパターン形状（ホール
径、ストライプ幅）を高精度に測定ができるブラウン管
蛍光面検査装置および検査方法を提供することを目的と
している。
になされたものであり、位置合せのための非接触変位計
（エアーマイクロ等）を必要とせず、パネルの外面側か
らでも内面側からでも蛍光面のパターン形状（ホール
径、ストライプ幅）を高精度に測定ができるブラウン管
蛍光面検査装置および検査方法を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１および請求項６
の発明は、ブラウン管の蛍光面に一定の角度から光を照
射して蛍光面の反射像を発生させ、この反射像をテレビ
カメラで撮像して得た像が基準の位置に出来るようにテ
レビカメラを移動させて位置合せを行う。位置合せを行
った後にブラウン管の蛍光面のパターンをテレビカメラ
で撮像し、しきい値と比較して検査を行うものである。
の発明は、ブラウン管の蛍光面に一定の角度から光を照
射して蛍光面の反射像を発生させ、この反射像をテレビ
カメラで撮像して得た像が基準の位置に出来るようにテ
レビカメラを移動させて位置合せを行う。位置合せを行
った後にブラウン管の蛍光面のパターンをテレビカメラ
で撮像し、しきい値と比較して検査を行うものである。
【０００８】請求項２の発明は蛍光面の反射像を得るた
めに、スリット光またはスポット光を照射するものであ
る。
めに、スリット光またはスポット光を照射するものであ
る。
【０００９】請求項３の発明は、蛍光面の反射像を得る
ために、交叉する２本のスリット光を照射するものであ
る。
ために、交叉する２本のスリット光を照射するものであ
る。
【００１０】請求項４の発明は、蛍光面の反射像を得る
ために、レーザ光を照射するものである。
ために、レーザ光を照射するものである。
【００１１】請求項５の発明は、テレビカメラとの位置
合わせが終了したブラウン管の蛍光面に対し光を照射し
て透過光または反射光によって蛍光面のパターン像を発
生させるものである。
合わせが終了したブラウン管の蛍光面に対し光を照射し
て透過光または反射光によって蛍光面のパターン像を発
生させるものである。
【００１２】
【作用】請求項１および請求項６の発明は、蛍光面に一
定の角度から光を照射し、その反射像をテレビカメラで
撮像し、反射像が基準の位置に出来るようテレビカメラ
を移動させるようにしたので、ブラウン管とテレビカメ
ラとの位置合わせがブラウン管のパネルの外面側から可
能となった。これにより、パネルの外面側からでも内面
側からでも蛍光面のパターンを高精度に測定できるよう
になる。位置合わせのためにエアーマイクロを使う必要
は無くなった。
定の角度から光を照射し、その反射像をテレビカメラで
撮像し、反射像が基準の位置に出来るようテレビカメラ
を移動させるようにしたので、ブラウン管とテレビカメ
ラとの位置合わせがブラウン管のパネルの外面側から可
能となった。これにより、パネルの外面側からでも内面
側からでも蛍光面のパターンを高精度に測定できるよう
になる。位置合わせのためにエアーマイクロを使う必要
は無くなった。
【００１３】請求項２の発明のスリット光は最も一般的
な光源である。スリット光がホール等のパターンに照射
されるとパターンによって途切れた反射像となる。これ
を避けるためスポット光をパターンの間の部分の蛍光面
に照射したり、パターンに比し十分大きな径のスポット
光を照射してパターンの影響を受けにくくする。
な光源である。スリット光がホール等のパターンに照射
されるとパターンによって途切れた反射像となる。これ
を避けるためスポット光をパターンの間の部分の蛍光面
に照射したり、パターンに比し十分大きな径のスポット
光を照射してパターンの影響を受けにくくする。
【００１４】請求項３の発明は、交叉する２本のスリッ
ト光を使って蛍光面から２本の交叉する反射像を得て位
置合せをするので位置合わせが２方向からされることに
なり位置合わせがより正確にできる。
ト光を使って蛍光面から２本の交叉する反射像を得て位
置合せをするので位置合わせが２方向からされることに
なり位置合わせがより正確にできる。
【００１５】請求項４の発明は、レーザ光を使うので光
束を絞り易い。
束を絞り易い。
【００１６】請求項５の発明は、透過光または反射光の
いづれによっても蛍光面のパターン像を計測できる。
いづれによっても蛍光面のパターン像を計測できる。
【００１７】
実施例１．図１はこの発明による検査装置の一実施例を
示す断面図である。１は蛍光面のホール像を受光するた
めのテレビカメラであり、テレビカメラ１で得られた信
号は画像処理回路11に取り込まれる。３は蛍光面のホー
ル像に焦点を合わせるために用いるスリット光である。
なお、テレビカメラ１、スリット光３によって計測ヘッ
ド６を構成し、前記計測ヘッド６はロボット８により位
置決め動作を行う。４は蛍光面のホールの像を発生する
ための照明装置である。また、演算制御回路12は、画像
処理回路11によって取り込まれた画像処理の結果を演算
したり、計測ヘッド６の位置決めを制御したり、スリッ
ト光３の発光を制御したり、計測結果等を表示回路13に
送ったりするものである。
示す断面図である。１は蛍光面のホール像を受光するた
めのテレビカメラであり、テレビカメラ１で得られた信
号は画像処理回路11に取り込まれる。３は蛍光面のホー
ル像に焦点を合わせるために用いるスリット光である。
なお、テレビカメラ１、スリット光３によって計測ヘッ
ド６を構成し、前記計測ヘッド６はロボット８により位
置決め動作を行う。４は蛍光面のホールの像を発生する
ための照明装置である。また、演算制御回路12は、画像
処理回路11によって取り込まれた画像処理の結果を演算
したり、計測ヘッド６の位置決めを制御したり、スリッ
ト光３の発光を制御したり、計測結果等を表示回路13に
送ったりするものである。
【００１８】前記のように構成された検査装置において
は、蛍光面のホール像に焦点を合わせるために用いるス
リット光３をテレビカメラに対して一定の角度に置いて
照射、前記のスリット光のパネル内面での反射光像を集
光レンズ２によって結像しテレビカメラ１で撮像する。
前記テレビカメラ１によって取り込む様子を図２、図３
に示し、テレビカメラ１で取り込んだ撮像画面を図４に
示す。図４において、14はテレビカメラ１の撮像画面、
15-1は蛍光面のホール像に焦点が合った状態でのスリッ
ト光３の反射光像、15-2は焦点が合っていないときの反
射光像である。まず、演算制御回路12で予め与えられた
計測ヘッド７の位置をロボット８に位置決め動作を行わ
せ、前記のスリット光３の反射光像15を画像処理回路11
に認識させて、三角測量の原理によりロボット９に測定
ヘッド６の高さ補正を行わせる。
は、蛍光面のホール像に焦点を合わせるために用いるス
リット光３をテレビカメラに対して一定の角度に置いて
照射、前記のスリット光のパネル内面での反射光像を集
光レンズ２によって結像しテレビカメラ１で撮像する。
前記テレビカメラ１によって取り込む様子を図２、図３
に示し、テレビカメラ１で取り込んだ撮像画面を図４に
示す。図４において、14はテレビカメラ１の撮像画面、
15-1は蛍光面のホール像に焦点が合った状態でのスリッ
ト光３の反射光像、15-2は焦点が合っていないときの反
射光像である。まず、演算制御回路12で予め与えられた
計測ヘッド７の位置をロボット８に位置決め動作を行わ
せ、前記のスリット光３の反射光像15を画像処理回路11
に認識させて、三角測量の原理によりロボット９に測定
ヘッド６の高さ補正を行わせる。
【００１９】三角測量について説明する。図２でパネル
５に対しテレビカメラ１の位置決めが正しくされている
場合にはパネル５の内面からの反射光像15-1が得られ
る。仮にパネル５のが破線の位置にあり、位置ずれが生
じている場合は反射光像15-2が得られる。図３に、反射
光像15-1と15-2との距離Ｘ、スリット光の入射角度θ、
パネル５の位置ずれＹの関係を示す。位置ずれＹを入射
角度θと反射光像間の距離Ｘから演算により求め、テレ
ビカメラ１を設けた計測ヘッド６をＹだけ移動させれば
正しく位置決めされて焦点が合った状態となる。これ
は、反射光像15-2が正しい位置15-1に出来るよう計測ヘ
ッド６を移動させることを意味する。
５に対しテレビカメラ１の位置決めが正しくされている
場合にはパネル５の内面からの反射光像15-1が得られ
る。仮にパネル５のが破線の位置にあり、位置ずれが生
じている場合は反射光像15-2が得られる。図３に、反射
光像15-1と15-2との距離Ｘ、スリット光の入射角度θ、
パネル５の位置ずれＹの関係を示す。位置ずれＹを入射
角度θと反射光像間の距離Ｘから演算により求め、テレ
ビカメラ１を設けた計測ヘッド６をＹだけ移動させれば
正しく位置決めされて焦点が合った状態となる。これ
は、反射光像15-2が正しい位置15-1に出来るよう計測ヘ
ッド６を移動させることを意味する。
【００２０】次に、前記のように計測ヘッド６の位置決
めが終わるとスリット光３の発光が終わる。前記スリッ
ト光３の発光が終わると照明装置４が発光し、照明装置
４により蛍光面のホールの透過光像を集光レンズ２によ
って結像しテレビカメラ１で撮像する。前記テレビカメ
ラ１の撮像画面を図５に示す。16は蛍光面のホールの
像、17はテレビカメラ１の走査線、(a) は走査線17の映
像信号を示す。次に画像処理回路11は、前記蛍光面のホ
ール像16の映像信号から、蛍光面のホール像21の水平位
置Ｈ1 、Ｈ2 、垂直位置Ｖ1 、Ｖ2 を求める。画像処理
回路11の処理結果は、演算制御回路12で予め与えられた
正常な蛍光面のホール径の直径と比較演算し、演算結果
と蛍光面のホール径の良否を表示回路13に表示する。照
明装置４はテレビカメラ１と同じ側に設けて蛍光面のホ
ールの反射光像を得るようにしても良い。
めが終わるとスリット光３の発光が終わる。前記スリッ
ト光３の発光が終わると照明装置４が発光し、照明装置
４により蛍光面のホールの透過光像を集光レンズ２によ
って結像しテレビカメラ１で撮像する。前記テレビカメ
ラ１の撮像画面を図５に示す。16は蛍光面のホールの
像、17はテレビカメラ１の走査線、(a) は走査線17の映
像信号を示す。次に画像処理回路11は、前記蛍光面のホ
ール像16の映像信号から、蛍光面のホール像21の水平位
置Ｈ1 、Ｈ2 、垂直位置Ｖ1 、Ｖ2 を求める。画像処理
回路11の処理結果は、演算制御回路12で予め与えられた
正常な蛍光面のホール径の直径と比較演算し、演算結果
と蛍光面のホール径の良否を表示回路13に表示する。照
明装置４はテレビカメラ１と同じ側に設けて蛍光面のホ
ールの反射光像を得るようにしても良い。
【００２１】実施例２．前記実施例１ではスリット光を
１つ用い高さ方向を保証していたが、もう１つ用いてパ
ネル内面にならう方向テレビカメラを合わせることで高
精度に測定できる。図６は２つのスリット光を用いた場
合の計測ヘッド部分を示す。１は像を受光するためのテ
レビカメラであり、３、19は蛍光面とテレビカメラ１の
距離を計測するために用いるスリット光である。
１つ用い高さ方向を保証していたが、もう１つ用いてパ
ネル内面にならう方向テレビカメラを合わせることで高
精度に測定できる。図６は２つのスリット光を用いた場
合の計測ヘッド部分を示す。１は像を受光するためのテ
レビカメラであり、３、19は蛍光面とテレビカメラ１の
距離を計測するために用いるスリット光である。
【００２２】前記のように構成された検査装置において
は、蛍光面のホール像に焦点を合わせるために用いるス
リット光３をテレビカメラに対して一定の角度に置いて
照射、前記のスリット光のパネル内面での反射画像を集
光レンズ２によって結像しテレビカメラ１で撮像する。
さらに、スリット光19を前記スリット光３に対してクロ
スさせた位置に照射、前記のスリット光のパネル内面で
の反射光像を集光レンズ２によって結像しテレビカメラ
１で撮像する。取り込んだ撮像画像を図７に示す。図７
において、21はテレビカメラ１の撮像画面、15、20はス
リット光３、19の反射光像である。
は、蛍光面のホール像に焦点を合わせるために用いるス
リット光３をテレビカメラに対して一定の角度に置いて
照射、前記のスリット光のパネル内面での反射画像を集
光レンズ２によって結像しテレビカメラ１で撮像する。
さらに、スリット光19を前記スリット光３に対してクロ
スさせた位置に照射、前記のスリット光のパネル内面で
の反射光像を集光レンズ２によって結像しテレビカメラ
１で撮像する。取り込んだ撮像画像を図７に示す。図７
において、21はテレビカメラ１の撮像画面、15、20はス
リット光３、19の反射光像である。
【００２３】まず、演算制御回路12で予め与えられた計
測ヘッド６の位置をロボット８に位置決め動作を行わ
せ、前記スリット光３、19の反射光像21、22を曲面にな
らうことで画像処理回路11に認識させて、三角測量の原
理によりロボット８に測定ヘッド６の高さ補正を行わせ
る。例えば、測定ヘッドの高さが合っていなく撮像画像
が図７(a) のようになっていた場合、画像処理回路11に
認識させて、ロボット８に高さ補正を行わせる。
測ヘッド６の位置をロボット８に位置決め動作を行わ
せ、前記スリット光３、19の反射光像21、22を曲面にな
らうことで画像処理回路11に認識させて、三角測量の原
理によりロボット８に測定ヘッド６の高さ補正を行わせ
る。例えば、測定ヘッドの高さが合っていなく撮像画像
が図７(a) のようになっていた場合、画像処理回路11に
認識させて、ロボット８に高さ補正を行わせる。
【００２４】前記において高さ補正を行い位置決め完了
できた時点で、実施例１のように蛍光面のホール径を測
定し、良否の判定を行う。
できた時点で、実施例１のように蛍光面のホール径を測
定し、良否の判定を行う。
【００２５】実施例３．前記実施例１、２ではパネルの
外面側に計測ヘッド６を置き測定していたが、パネルの
内面側に計測ヘッド６を置くことによって内面側からの
測定も可能である。
外面側に計測ヘッド６を置き測定していたが、パネルの
内面側に計測ヘッド６を置くことによって内面側からの
測定も可能である。
【００２６】前記実施例では蛍光面のホール像に焦点を
合わせるためにスリット光を使用したが、前記のスリッ
ト光としてレーザを使用しても同様の測定が可能であ
る。レーザ光の光束は集束し易いので測定という用途に
は適している。
合わせるためにスリット光を使用したが、前記のスリッ
ト光としてレーザを使用しても同様の測定が可能であ
る。レーザ光の光束は集束し易いので測定という用途に
は適している。
【００２７】スリット光が蛍光面のホールに照射される
とホールの部分からは光が反射しないので一部欠けた反
射像となる。小さな径のスポット光をホールのない部分
に照射するか、ホール径より相当大きい径のスポット光
で大面積に照射することによりホールの影響を少なくす
ることができる。
とホールの部分からは光が反射しないので一部欠けた反
射像となる。小さな径のスポット光をホールのない部分
に照射するか、ホール径より相当大きい径のスポット光
で大面積に照射することによりホールの影響を少なくす
ることができる。
【００２８】前記各実施例では蛍光面のホール径を測定
するものであったが、蛍光面のストライプを測定するも
のであっても良い。この発明によれば、ホール形状であ
れストライプ形状であれ、またその他の形状であれ、蛍
光面のパターン形状を測定できることは明らかであろ
う。
するものであったが、蛍光面のストライプを測定するも
のであっても良い。この発明によれば、ホール形状であ
れストライプ形状であれ、またその他の形状であれ、蛍
光面のパターン形状を測定できることは明らかであろ
う。
【００２９】
【発明の効果】請求項１および請求項６は、蛍光面に一
定の角度から光を照射し、その反射像をテレビカメラで
撮像し、反射像が基準の位置に出来るようテレビカメラ
を移動させるようにしたので、ブラウン管とテレビカメ
ラとの位置合せがブラウン管パネルの外側から可能とな
った。パネルの外側からでも内側からでも蛍光面のパタ
ーン（ストライプ幅、ホール径）を高精度に測定できる
ようになった。
定の角度から光を照射し、その反射像をテレビカメラで
撮像し、反射像が基準の位置に出来るようテレビカメラ
を移動させるようにしたので、ブラウン管とテレビカメ
ラとの位置合せがブラウン管パネルの外側から可能とな
った。パネルの外側からでも内側からでも蛍光面のパタ
ーン（ストライプ幅、ホール径）を高精度に測定できる
ようになった。
【００３０】請求項２では、スポット光を蛍光面に照射
することによりパターンの影響を受けにくい反射光を得
ることができる。
することによりパターンの影響を受けにくい反射光を得
ることができる。
【００３１】請求項３は、交叉する２本のスリット光を
使って蛍光面からの反射像を得て位置合せをするので位
置合わせが２方向から正確にできる。
使って蛍光面からの反射像を得て位置合せをするので位
置合わせが２方向から正確にできる。
【００３２】請求項４は、レーザ光を使うので光束を絞
り易い効果がある。
り易い効果がある。
【００３３】請求項５によれば、透過光または反射光の
いづれによっても蛍光面のパターン像を検査できる。
いづれによっても蛍光面のパターン像を検査できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるブラウン管の蛍光面検査装置の
一実施例を示す構成図である。
一実施例を示す構成図である。
【図２】この発明によるブラウン管の蛍光面検査装置の
一実施例の光学系を示す図である。
一実施例の光学系を示す図である。
【図３】この発明で位置合わせに採用している三角測量
の原理図である。
の原理図である。
【図４】この発明によるブラウン管の蛍光面検査装置の
一実施例の蛍光面からの反射像のテレビカメラによる撮
像画面である。
一実施例の蛍光面からの反射像のテレビカメラによる撮
像画面である。
【図５】この発明による蛍光面のホール像である。
【図６】この発明の実施例２による測定ヘッド部分を示
す図である。
す図である。
【図７】この発明の実施例２による撮像画面である。
【図８】従来のブラウン管ブラックストライプサイズ測
定装置を示す断面図である。
定装置を示す断面図である。
１ テレビカメラ ２ 集光レンズ ３ スリット光 ４ 照明装置 ５ パネル ６ 測定ヘッド ７ モータ ８ ロボット ９ ロボットコントローラ 10 スリット光コントローラ 11 画像処理回路 12 演算制御回路 13 表示回路 14 撮像画面 15-1 スリット光の反射光像の基準位置 15-2 スリット光の反射光像 16 蛍光面のホール像 17 テレビカメラの走査線 18 撮像画面 19 スリット光 20 スリット光の反射光像 21 撮像画面 22 ブラックストライプ 23 非接触変位計 24 拡大レンズ系 25 集積素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 火原 辰則 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機 株式会社生産技術研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 ブラウン管の蛍光面に形成されたパター
ンをテレビカメラで撮像して得た像をしきい値と比較す
る検査装置であって、 前記蛍光面に光を一定の角度から照射することによって
蛍光面の反射像を発生させる手段と、 前記テレビカメラで撮像された反射像が基準の位置に出
来るよう前記テレビカメラを移動させる手段とを備えた
ブラウン管の蛍光面検査装置。 - 【請求項２】 反射像を発生する手段が、スリット光ま
たはスポット光を照射する請求項１に記載のブラウン管
の蛍光面検査装置。 - 【請求項３】 反射像を発生する手段が、交叉する２本
のスリット光を照射する請求項１に記載のブラウン管の
蛍光面検査装置。 - 【請求項４】 反射像を発生する手段がレーザ光を照射
する請求項１に記載のブラウン管の蛍光面検査装置。 - 【請求項５】 蛍光面に光を照射して透過光または反射
光によって蛍光面のパターンの像を発生させる照明を備
えた請求項１に記載のブラウン管の蛍光面検査装置。 - 【請求項６】 ブラウン管の蛍光面に一定の角度から光
を照射することによって蛍光面の反射像を発生させるス
テップと、テレビカメラで撮像された蛍光面からの反射
像が基準位置に出来るよう前記テレビカメラを移動させ
るステップと、前記蛍光面のパターンを前記テレビカメ
ラで撮像して得たパターン像をしきい値と比較するステ
ップとを含むブラウン管の蛍光面検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5227104A JPH0785794A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5227104A JPH0785794A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785794A true JPH0785794A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16855546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5227104A Pending JPH0785794A (ja) | 1993-09-13 | 1993-09-13 | ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785794A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000031519A1 (en) * | 1998-11-25 | 2000-06-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of manufacturing a cathode ray tube, in which a display screen is inspected |
| US6583812B1 (en) | 1997-12-26 | 2003-06-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for inspecting phosphor screen of cathode ray tube |
| KR100822874B1 (ko) * | 2002-01-07 | 2008-04-16 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치 |
| CN111958328A (zh) * | 2020-07-22 | 2020-11-20 | 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 | 一种工件加工控制方法、装置及系统 |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP5227104A patent/JPH0785794A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6583812B1 (en) | 1997-12-26 | 2003-06-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for inspecting phosphor screen of cathode ray tube |
| WO2000031519A1 (en) * | 1998-11-25 | 2000-06-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of manufacturing a cathode ray tube, in which a display screen is inspected |
| KR100822874B1 (ko) * | 2002-01-07 | 2008-04-16 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치 |
| CN111958328A (zh) * | 2020-07-22 | 2020-11-20 | 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 | 一种工件加工控制方法、装置及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6686591B2 (en) | Apparatus for inspecting mask | |
| JP3967518B2 (ja) | オフセット測定方法、ツール位置検出方法およびボンディング装置 | |
| US6291817B1 (en) | Moire apparatus having projection optical system and observation optical system which have optical axes parallel to each other | |
| JP2002116013A (ja) | 非接触型外形測定装置 | |
| JPH04105341A (ja) | 半導体装置のリード曲がり、浮き検出方法及び検出装置 | |
| JPH0754684B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH01282410A (ja) | 曲面性状検査装置 | |
| CN114543697A (zh) | 测量设备、控制设备和控制方法 | |
| JPH0785794A (ja) | ブラウン管の蛍光面検査装置および検査方法 | |
| JP2006038775A (ja) | フラットパネルディスプレイ用透明基板の画像検査装置及び画像検査方法 | |
| JPH0969973A (ja) | 固体撮像素子の位置調整方法 | |
| JP3135063B2 (ja) | 比較検査方法および装置 | |
| JP2929701B2 (ja) | 表面性状観測装置 | |
| JPH11316113A (ja) | 形状測定装置 | |
| JP2008209295A (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP2002093359A (ja) | 電子ビーム画像生成装置 | |
| JP3725093B2 (ja) | リブ内蛍光体埋込量検査方法およびその検査装置 | |
| JPH0785796A (ja) | ブラウン管の組立状態検査装置および検査方法 | |
| JP3027674B2 (ja) | レーザ発光放射角度の検出方法 | |
| JPH0634578A (ja) | 回路基板の構造検出装置 | |
| JP3572867B2 (ja) | 電子銃偏芯測定装置および電子銃偏芯測定方法 | |
| JP3575576B2 (ja) | 表面状態検査装置および検査方法 | |
| JPH11251791A (ja) | 部品認識方法及び部品実装方法 | |
| JPH09225884A (ja) | 配電工事用マニピュレータの電線位置測定方法 | |
| KR900004371B1 (ko) | 헤드라이트의 광축조정방법 및 장치 |