JPH0785807A - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
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- JPH0785807A JPH0785807A JP23386193A JP23386193A JPH0785807A JP H0785807 A JPH0785807 A JP H0785807A JP 23386193 A JP23386193 A JP 23386193A JP 23386193 A JP23386193 A JP 23386193A JP H0785807 A JPH0785807 A JP H0785807A
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- Japan
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- cathode
- grid electrode
- electron
- axis
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 グリッドエミッションを抑制し、かつ高電流
時のいわゆるハローを低減させる。 【構成】 ヒータと、このヒータに熱せられて電子を放
出するカソードと、このカソードからの電子を一方向へ
導くグリッド電極が同一軸上に配置され、前記グリッド
電極は前記軸を中心軸とする電子透過孔が形成された導
電板からなる電子銃において、前記カソードはその電子
放出領域が前記軸を中心軸とする領域で形成されている
とともに、前記グリッド電極の電子透過孔よりも小さい
面積を有している。
時のいわゆるハローを低減させる。 【構成】 ヒータと、このヒータに熱せられて電子を放
出するカソードと、このカソードからの電子を一方向へ
導くグリッド電極が同一軸上に配置され、前記グリッド
電極は前記軸を中心軸とする電子透過孔が形成された導
電板からなる電子銃において、前記カソードはその電子
放出領域が前記軸を中心軸とする領域で形成されている
とともに、前記グリッド電極の電子透過孔よりも小さい
面積を有している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子銃に係り、特に、
そのカソードの改良に関する。
そのカソードの改良に関する。
【0002】
【従来の技術】陰極線管等に用いられる電子銃は、ヒー
タと、このヒータに熱せられて電子を放出するカソード
と、このカソードからの電子を一方向へ導くグリッド電
極等で構成されている。
タと、このヒータに熱せられて電子を放出するカソード
と、このカソードからの電子を一方向へ導くグリッド電
極等で構成されている。
【0003】そして、これらヒータ、カソード、および
グリッド電極は同一軸上に配置され、該グリッド電極は
前記軸を中心軸とする電子透過孔が形成された導電板に
よって形成されている。
グリッド電極は同一軸上に配置され、該グリッド電極は
前記軸を中心軸とする電子透過孔が形成された導電板に
よって形成されている。
【0004】また、カソードとしてはたとえば含浸形カ
ソードが用いられ、この含浸形カソードは、多孔質のタ
ングステン(W)の基体にBaO、CaO、Al2Oか
らなるアルミネート化合物を含浸させて構成されてい
る。
ソードが用いられ、この含浸形カソードは、多孔質のタ
ングステン(W)の基体にBaO、CaO、Al2Oか
らなるアルミネート化合物を含浸させて構成されてい
る。
【0005】このような含浸形カソードは、空孔中に含
浸した化合物と金属基体であるWとが反応することによ
ってBaが遊離され、基体表面に拡散し単原子層を形成
することになる。これにより、基体表面の仕事関数が低
下して熱電子放出が起こりやすくなる。
浸した化合物と金属基体であるWとが反応することによ
ってBaが遊離され、基体表面に拡散し単原子層を形成
することになる。これにより、基体表面の仕事関数が低
下して熱電子放出が起こりやすくなる。
【0006】したがって、含浸形カソードは、蒸発され
たBaが基体内部から補給されることから、寿命が長く
かつ動作電流密度を大きくすることができるようにな
る。
たBaが基体内部から補給されることから、寿命が長く
かつ動作電流密度を大きくすることができるようにな
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された電子銃は、カソードから蒸発されるBa
がグリッド電極に付着してしまい、このグリッド電極が
該カソードからの輻射熱で高温に熱せられていることと
相俟って、電子が放出されてしまうという問題点が残さ
れていた。
うに構成された電子銃は、カソードから蒸発されるBa
がグリッド電極に付着してしまい、このグリッド電極が
該カソードからの輻射熱で高温に熱せられていることと
相俟って、電子が放出されてしまうという問題点が残さ
れていた。
【0008】このような現象はグリッドエミッションと
称され、表示画面の品位を劣化させる原因となってい
た。
称され、表示画面の品位を劣化させる原因となってい
た。
【0009】また、このような電子銃から照射される電
子ビームにおいていわゆるハローが大きくなり、該電子
ビームによって画像表示がなされる表示面の画像解像度
が劣化し易いという問題点が残されていた。
子ビームにおいていわゆるハローが大きくなり、該電子
ビームによって画像表示がなされる表示面の画像解像度
が劣化し易いという問題点が残されていた。
【0010】ここで、ハローとは、電子ビームの中心部
の電流密度の高い部分(コア)の周りに広がった低電流
密度の裾の部分のことである。
の電流密度の高い部分(コア)の周りに広がった低電流
密度の裾の部分のことである。
【0011】それ故、本発明はこのような事情に基づい
てなされたものであり、その目的とするところのもの
は、グリッドエミッションを抑制し、かつ高電流時のい
わゆるハローを低減させた電子銃を提供することにあ
る。
てなされたものであり、その目的とするところのもの
は、グリッドエミッションを抑制し、かつ高電流時のい
わゆるハローを低減させた電子銃を提供することにあ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、基本的には、ヒータと、このヒー
タに熱せられて電子を放出するカソードと、このカソー
ドからの電子を一方向へ導くグリッド電極が同一軸上に
配置され、前記グリッド電極は前記軸を中心軸とする電
子透過孔が形成された導電板からなる電子銃において、
前記カソードはその電子放出領域が前記軸を中心軸とす
る領域で形成されているとともに、前記グリッド電極の
電子透過孔よりも小さい面積を有していることを特徴と
するものである。
るために、本発明は、基本的には、ヒータと、このヒー
タに熱せられて電子を放出するカソードと、このカソー
ドからの電子を一方向へ導くグリッド電極が同一軸上に
配置され、前記グリッド電極は前記軸を中心軸とする電
子透過孔が形成された導電板からなる電子銃において、
前記カソードはその電子放出領域が前記軸を中心軸とす
る領域で形成されているとともに、前記グリッド電極の
電子透過孔よりも小さい面積を有していることを特徴と
するものである。
【0013】
【作用】このように構成された電子銃は、同一軸上に位
置づけられるカソードの形成領域とグリッドの電子透過
孔との関係において、カソードの形成領域の面積がグリ
ッドの電子透過孔の面積よりも小さく構成されている。
置づけられるカソードの形成領域とグリッドの電子透過
孔との関係において、カソードの形成領域の面積がグリ
ッドの電子透過孔の面積よりも小さく構成されている。
【0014】このため、カソードからのBaの蒸発領域
はグリッド電極の電子透過孔となることから該グリッド
電極(該電子透過孔を除いた導電板面)に極めて付着し
難くくなる。したがって、グリッドエミッションを大幅
に抑制できるようになる。
はグリッド電極の電子透過孔となることから該グリッド
電極(該電子透過孔を除いた導電板面)に極めて付着し
難くくなる。したがって、グリッドエミッションを大幅
に抑制できるようになる。
【0015】また、カソードからの電子放出は、その中
心軸から大きく離れた個所からなされることがなくなる
ことから、該個所からの電子放出によって生じるいわゆ
るハローの発生を低減させることができる。
心軸から大きく離れた個所からなされることがなくなる
ことから、該個所からの電子放出によって生じるいわゆ
るハローの発生を低減させることができる。
【0016】
【実施例】図2は、本発明が適用される電子銃の概略を
示した全体構成図である。
示した全体構成図である。
【0017】同図において、カソードKはヒータ1で熱
せられるようになっており、カソードペレット3の表面
から熱電子が放出されるようになっている。この電子は
グリッド電極G1で制御され、グリッド電極G2、グリ
ッド電極G3で加速されることによって電子ビームとな
るようになっている。
せられるようになっており、カソードペレット3の表面
から熱電子が放出されるようになっている。この電子は
グリッド電極G1で制御され、グリッド電極G2、グリ
ッド電極G3で加速されることによって電子ビームとな
るようになっている。
【0018】そして、この電子ビームはグリッド電極G
3、グリッド電極G4、グリッド電極G5によって形成
される静電主レンズの作用によって蛍光体スクリーン2
面に集束されるようになっている。
3、グリッド電極G4、グリッド電極G5によって形成
される静電主レンズの作用によって蛍光体スクリーン2
面に集束されるようになっている。
【0019】なお、この電子ビームは陰極線管の外部に
設けた偏向ヨーク(図示せず)によって形成される磁界
の作用によって偏向され、前記蛍光体スクリーン2上に
走査されるようになって、前記電子ビームの強弱に応じ
た画像が表示されるようになっている。
設けた偏向ヨーク(図示せず)によって形成される磁界
の作用によって偏向され、前記蛍光体スクリーン2上に
走査されるようになって、前記電子ビームの強弱に応じ
た画像が表示されるようになっている。
【0020】図1は、前記カソードKおよびその近傍の
構成の一実施例を示した断面図である。
構成の一実施例を示した断面図である。
【0021】同図において、まず、モリブデン(Mo)
の円筒体からなる内側スリーブ4Aおよび外側スリーブ
4Bを互いに重ね合わせて構成したスリーブ4がある。
内側スリーブ4Aはそのグリッド電極G側の端部が閉塞
されている。そして、この閉塞部におけるグリッド電極
G側の中央表面にはカソードペレット3が固着されて載
置されている。
の円筒体からなる内側スリーブ4Aおよび外側スリーブ
4Bを互いに重ね合わせて構成したスリーブ4がある。
内側スリーブ4Aはそのグリッド電極G側の端部が閉塞
されている。そして、この閉塞部におけるグリッド電極
G側の中央表面にはカソードペレット3が固着されて載
置されている。
【0022】カソードペレット3は、いわゆる含浸形カ
ソードと称されるものであり、多孔質のタングステン
(W)の基体にBaO、CaO、Al2Oからなるアル
ミネート化合物を含浸させて構成されている。
ソードと称されるものであり、多孔質のタングステン
(W)の基体にBaO、CaO、Al2Oからなるアル
ミネート化合物を含浸させて構成されている。
【0023】また、外側スリーブ4Bはそのグリッド電
極G側の端部が内側スリーブ4Aと同様に閉塞されてい
るが、その中央部に孔が開けられ、この孔に前記カソー
ドペレット3が位置づけられるようになっている。これ
により、前記カソードペレット3は外側スリーブ4Bか
ら露呈された状態で配置されることになる。
極G側の端部が内側スリーブ4Aと同様に閉塞されてい
るが、その中央部に孔が開けられ、この孔に前記カソー
ドペレット3が位置づけられるようになっている。これ
により、前記カソードペレット3は外側スリーブ4Bか
ら露呈された状態で配置されることになる。
【0024】スリーブ4がこのように二重構造となって
いるのは、後に詳述するように、他の各部材間の中心軸
の位置あわせを精度よく行うためである。
いるのは、後に詳述するように、他の各部材間の中心軸
の位置あわせを精度よく行うためである。
【0025】また、内側スリーブ4Aは外側スリーブ4
Bに対して固定され、外側スリーブ4Bは支持線7およ
び支持体8を介して図示しない部材に固定されている。
Bに対して固定され、外側スリーブ4Bは支持線7およ
び支持体8を介して図示しない部材に固定されている。
【0026】そして、このスリーブ4にはヒータ1が内
蔵され、このヒータ1の端子は該スリーブ4の他の一端
である開口端から引き出されている。
蔵され、このヒータ1の端子は該スリーブ4の他の一端
である開口端から引き出されている。
【0027】そして、このように構成されたカソードK
のカソードペレット3側には第1グリッド電極G1およ
び第2グリッド電極G2が順次配置され、これら第1グ
リッド電極G1および第2グリッド電極G2は図示しな
いビードガラスに固定されている。
のカソードペレット3側には第1グリッド電極G1およ
び第2グリッド電極G2が順次配置され、これら第1グ
リッド電極G1および第2グリッド電極G2は図示しな
いビードガラスに固定されている。
【0028】第1グリッド電極G1および第2グリッド
電極G2はそれぞれ電子透過孔P1、P2が形成された
導電板によって形成されている。
電極G2はそれぞれ電子透過孔P1、P2が形成された
導電板によって形成されている。
【0029】第1グリッド電極G1の電子透過孔P1、
および第2グリッド電極G2の電子透過孔P2はそれぞ
れ同一軸上に位置づけられたたとえば同径の円透孔から
なり、前記軸の延長上に前記カソードペレット3が位置
づけられるようになっている。
および第2グリッド電極G2の電子透過孔P2はそれぞ
れ同一軸上に位置づけられたたとえば同径の円透孔から
なり、前記軸の延長上に前記カソードペレット3が位置
づけられるようになっている。
【0030】ここで、本実施例では、特に、カソードペ
レット3が前記軸を中心軸とする領域で形成されている
とともに、前記グリッド電極G1の電子透過孔P1より
も小さい面積を有している。
レット3が前記軸を中心軸とする領域で形成されている
とともに、前記グリッド電極G1の電子透過孔P1より
も小さい面積を有している。
【0031】次にこのように構成された電子銃の組立て
の際の軸合わせについて図3および図4を用いて説明す
る。
の際の軸合わせについて図3および図4を用いて説明す
る。
【0032】工程1.(図3) 図3は、外側スリーブ4B、第1グリッド電極G1、第
2グリッド電極G2等のそれぞれの軸合わせを示す図で
あり、軸合わせ棒10にそれぞれを挿入した状態で、図
示しないビードガラスに固定する。
2グリッド電極G2等のそれぞれの軸合わせを示す図で
あり、軸合わせ棒10にそれぞれを挿入した状態で、図
示しないビードガラスに固定する。
【0033】このようにした場合、外側スリーブの透過
孔6、第1グリッド電極G1の電子透過孔P1、第2グ
リッド電極G2の電子透過孔P2等のそれぞれの中心軸
を同軸とさせることができるようになる。
孔6、第1グリッド電極G1の電子透過孔P1、第2グ
リッド電極G2の電子透過孔P2等のそれぞれの中心軸
を同軸とさせることができるようになる。
【0034】工程1.(図4) 前記軸合わせ棒10を取り除いた後、外側スリーブ4B
内に内側スリーブ4Aを挿入し固定させる。
内に内側スリーブ4Aを挿入し固定させる。
【0035】内側スリーブ4Aは外側スリーブ4Bとの
関係で形成され、該外側スリーブ4Bに形成されている
透過孔6に対応する位置にカソードペレット3が固着載
置されたものとなっている。
関係で形成され、該外側スリーブ4Bに形成されている
透過孔6に対応する位置にカソードペレット3が固着載
置されたものとなっている。
【0036】このように構成された電子銃は、同一軸上
に位置づけられるカソードペレット3とグリッド電極G
1の電子透過孔P1との関係において、カソードペレッ
ト3の面積がグリッド電極G1の電子透過孔P1の面積
よりも小さく構成されている。
に位置づけられるカソードペレット3とグリッド電極G
1の電子透過孔P1との関係において、カソードペレッ
ト3の面積がグリッド電極G1の電子透過孔P1の面積
よりも小さく構成されている。
【0037】このため、カソードペレット3からのBa
の蒸発領域はグリッド電極G1の電子透過孔P1より小
さくなることから該グリッド電極G1(該電子透過孔P
1を除いた導電板面)に極めて付着し難くくなる。した
がって、グリッドエミッションを大幅に抑制できるよう
になる。
の蒸発領域はグリッド電極G1の電子透過孔P1より小
さくなることから該グリッド電極G1(該電子透過孔P
1を除いた導電板面)に極めて付着し難くくなる。した
がって、グリッドエミッションを大幅に抑制できるよう
になる。
【0038】また、カソードペレット3からの電子放出
は、その中心軸から大きく離れた個所からなされること
がなくなることから、該個所からの電子放出によって生
じるいわゆるハローの発生を低減させることができる。
は、その中心軸から大きく離れた個所からなされること
がなくなることから、該個所からの電子放出によって生
じるいわゆるハローの発生を低減させることができる。
【0039】図5は、カソードペレット3の中心軸から
の距離(縦軸)に応じて放射される電子の軌跡を示した
図である。
の距離(縦軸)に応じて放射される電子の軌跡を示した
図である。
【0040】この図から明らかなように、カソードペレ
ット3の中心軸の近傍から放射される電子は、そのカソ
ードペレット3から遠方にある位置(たとえばXの個
所)に集束されることになるが、カソードの中心軸から
0.2mm離れた個所から放射される電子は、そのカソ
ードから近距離にある位置(たとえばYの個所)に集束
されることになる。
ット3の中心軸の近傍から放射される電子は、そのカソ
ードペレット3から遠方にある位置(たとえばXの個
所)に集束されることになるが、カソードの中心軸から
0.2mm離れた個所から放射される電子は、そのカソ
ードから近距離にある位置(たとえばYの個所)に集束
されることになる。
【0041】このことから、カソードペレット3の径は
小さい方がハローの発生を低減させることができること
が判る。
小さい方がハローの発生を低減させることができること
が判る。
【0042】図6は、前記カソードKおよびその近傍の
構成の他の実施例を示した断面図である。
構成の他の実施例を示した断面図である。
【0043】図6に示すカソードは、いわゆるCDP
(Controlled Porosity Dispenser:多孔状態を制御した
含浸形)カソードと称されるものである。
(Controlled Porosity Dispenser:多孔状態を制御した
含浸形)カソードと称されるものである。
【0044】スリーブ4のグリッド電極G側の閉塞面に
の全域にカソードペレット20が載置され、このカソー
ドペレット20を被うようにしてモリブデン(Mo)か
らなるキャップ9が前記スリーブ4に固定されている。
の全域にカソードペレット20が載置され、このカソー
ドペレット20を被うようにしてモリブデン(Mo)か
らなるキャップ9が前記スリーブ4に固定されている。
【0045】そして、前記キャップ4のグリッド電極G
側の面に微小孔群15が形成されている。この微小孔群
15の各微小孔はたとえば約3ミクロン径で隣接する微
小孔と約10ミクロンの間隔を有したものとなってい
る。
側の面に微小孔群15が形成されている。この微小孔群
15の各微小孔はたとえば約3ミクロン径で隣接する微
小孔と約10ミクロンの間隔を有したものとなってい
る。
【0046】なお、支持線7による支持はスリーブ4の
外枠として配置される前記キャップ9においてなされて
いる。
外枠として配置される前記キャップ9においてなされて
いる。
【0047】このように構成されるカソードは金属基体
(キャップ9)のポーラス(多孔)をたとえばレーザ加
工により整列させて形成することができ、バリウムはこ
のポーラスを通じて供給されることから、安定した電子
放出特性が得られるようになる。
(キャップ9)のポーラス(多孔)をたとえばレーザ加
工により整列させて形成することができ、バリウムはこ
のポーラスを通じて供給されることから、安定した電子
放出特性が得られるようになる。
【0048】そして、この微小孔群15が形成されてい
る領域は、この実施例では特に、その中心がグリッド電
極Gの透過孔Pの中心軸に一致づけられかつグリッド電
極Gの電子透過孔Pの径より小さなものとなっている。
る領域は、この実施例では特に、その中心がグリッド電
極Gの透過孔Pの中心軸に一致づけられかつグリッド電
極Gの電子透過孔Pの径より小さなものとなっている。
【0049】図7は、図6においてグリッド電極側Gか
ら観た図であり、該グリッド電極Gの電子透過孔Pと同
軸でかつその透過孔Pよりも小さな径でキャップ面に微
小孔群15が形成されている。
ら観た図であり、該グリッド電極Gの電子透過孔Pと同
軸でかつその透過孔Pよりも小さな径でキャップ面に微
小孔群15が形成されている。
【0050】このため、前記微小孔群15の形成にあっ
ては、該グリッド電極Gの電子透過孔Pを基準にするこ
とにより、たとえばレーザ加工で同軸かつ所定の径に容
易に形成することができる。
ては、該グリッド電極Gの電子透過孔Pを基準にするこ
とにより、たとえばレーザ加工で同軸かつ所定の径に容
易に形成することができる。
【0051】図8は、このように構成された電子銃の製
造方法の一実施例を示した説明図である。キャップ9、
グリッド電極Gは図4に示したと同様にして位置合わせ
を行ない(この場合、グリッド電極Gに対するキャップ
9の位置合わせは厳密にする必要はない)、その後、レ
ーザ加工等を用いてキャップ9に微小孔群15を形成す
る。
造方法の一実施例を示した説明図である。キャップ9、
グリッド電極Gは図4に示したと同様にして位置合わせ
を行ない(この場合、グリッド電極Gに対するキャップ
9の位置合わせは厳密にする必要はない)、その後、レ
ーザ加工等を用いてキャップ9に微小孔群15を形成す
る。
【0052】さらに、カソードペレット20が固着され
たスリーブ4を前記キャップ9内に挿入し、このスリー
ブ4とキャップ9との固着を行なう。
たスリーブ4を前記キャップ9内に挿入し、このスリー
ブ4とキャップ9との固着を行なう。
【0053】上述した各実施例では、そのいずれにおい
ても、カソードの電子放射領域の形状が円形となってい
るものであるが、これに限定されることはなく、他の形
状(楕円、四角等)であっても同様の効果を奏すること
はいうまでもない。
ても、カソードの電子放射領域の形状が円形となってい
るものであるが、これに限定されることはなく、他の形
状(楕円、四角等)であっても同様の効果を奏すること
はいうまでもない。
【0054】また、上述した実施例では含浸形カソード
について説明したものであるが、アルカリ土類金属の酸
化物(たとえばBaO)を金属基体に塗布させたいわゆ
る酸化物カソードの場合にも適用できることはいうまで
もない。
について説明したものであるが、アルカリ土類金属の酸
化物(たとえばBaO)を金属基体に塗布させたいわゆ
る酸化物カソードの場合にも適用できることはいうまで
もない。
【0055】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による電子銃によれば、グリッドエミッションを
抑制し、かつ高電流時のいわゆるハローを低減させるこ
とができるようになる。
本発明による電子銃によれば、グリッドエミッションを
抑制し、かつ高電流時のいわゆるハローを低減させるこ
とができるようになる。
【図1】本発明による電子銃の一実施例を示す図で、そ
のカソードとその周辺部を示した断面図である。
のカソードとその周辺部を示した断面図である。
【図2】本発明による電子銃の一実施例を示す概略図で
ある。
ある。
【図3】図1に示した電子銃における軸合わせの工程
1.を示す説明図である。
1.を示す説明図である。
【図4】図1に示した電子銃における軸合わせの工程
2.を示す説明図である。
2.を示す説明図である。
【図5】本発明による電子銃の効果を示す説明図であ
る。
る。
【図6】本発明による電子銃の他の実施例を示す図で、
そのカソードとその周辺部を示した断面図である。
そのカソードとその周辺部を示した断面図である。
【図7】図6に示す図において、グリッド電極側から観
た構成図である。
た構成図である。
【図8】図6に示した電子銃の製造方法の一実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
K カソード G グリッド電極 P 電子透過孔 3、20 カソードペレット 9 キャップ 15 微小孔群
Claims (1)
- 【請求項1】 ヒータと、このヒータに熱せられて電子
を放出するカソードと、このカソードからの電子を一方
向へ導くグリッド電極が同一軸上に配置され、前記グリ
ッド電極は前記軸を中心軸とする電子透過孔が形成され
た導電板からなる電子銃において、 前記カソードはその電子放出領域が前記軸を中心軸とす
る領域で形成されているとともに、前記グリッド電極の
電子透過孔よりも小さい面積を有していることを特徴と
する電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23386193A JPH0785807A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23386193A JPH0785807A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子銃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785807A true JPH0785807A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16961727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23386193A Pending JPH0785807A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785807A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5990608A (en) * | 1997-02-07 | 1999-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electron gun having a cathode with limited electron discharge region |
| WO2005117054A1 (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
| JP2006518109A (ja) * | 2003-02-14 | 2006-08-03 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | ディスペンサ陰極 |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP23386193A patent/JPH0785807A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5990608A (en) * | 1997-02-07 | 1999-11-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electron gun having a cathode with limited electron discharge region |
| JP2006518109A (ja) * | 2003-02-14 | 2006-08-03 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | ディスペンサ陰極 |
| WO2005117054A1 (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
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