JPH0786454B2 - 粒度分布測定装置の散乱光検出器 - Google Patents
粒度分布測定装置の散乱光検出器Info
- Publication number
- JPH0786454B2 JPH0786454B2 JP62335935A JP33593587A JPH0786454B2 JP H0786454 B2 JPH0786454 B2 JP H0786454B2 JP 62335935 A JP62335935 A JP 62335935A JP 33593587 A JP33593587 A JP 33593587A JP H0786454 B2 JPH0786454 B2 JP H0786454B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle size
- scattered light
- size distribution
- light
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は，たとえば媒体中に分散された粒子群に光を
照射し，粒子群からの散乱光（回折光）を検出して粒子
群の粒度分布を測定する装置に好適な散乱光検出器に関
する。
照射し，粒子群からの散乱光（回折光）を検出して粒子
群の粒度分布を測定する装置に好適な散乱光検出器に関
する。
（従来の技術） 粒度分布の測定には光散乱法がよく用いられる。光散乱
法では，被測定粒子群に単色光（レーザ光）を照射し，
粒子からの散乱光の強度をいくつかの散乱角について測
定して，この測定値からFraunhofer回折法（平均粒径数
μｍ〜数十μｍの粗い粒子），またはMie散乱法（微小
粒子）により統計的演算処理を施し，粒度分布が求めら
れる。
法では，被測定粒子群に単色光（レーザ光）を照射し，
粒子からの散乱光の強度をいくつかの散乱角について測
定して，この測定値からFraunhofer回折法（平均粒径数
μｍ〜数十μｍの粗い粒子），またはMie散乱法（微小
粒子）により統計的演算処理を施し，粒度分布が求めら
れる。
この散乱光の強度をいくつかの散乱角について測定する
ための検出器として，ホトダイオード等の受光素子を複
数個リング状に組み合わせたリングデテクタがある（特
開昭62−100637号）。このリングデテクタは散乱光強度
の角度分布を瞬間的に高感度かつ高精度に検出できる特
徴を有している。
ための検出器として，ホトダイオード等の受光素子を複
数個リング状に組み合わせたリングデテクタがある（特
開昭62−100637号）。このリングデテクタは散乱光強度
の角度分布を瞬間的に高感度かつ高精度に検出できる特
徴を有している。
（発明が解決しようとする問題点） しかし，リングデテクタではクロストークの問題から各
受光素子は適当なギャップ（不感体）をもって配置され
ており，他方受光素子の幅を極端に小さくすると感度が
低下し，またリード線が取り付けられなくなるので，配
列できるリング状受光素子数には，必然的に，特に中心
部分において限度がある。このことは中心部分における
検出精度，感度の低下をもたらし，粒度分布の測定にお
いては比較的粒子径の大きい測定の場合に測定誤差を生
じる。粒子からの回折光の角度は粒子径に関連し，粒子
径が大きい程回折角度が小さくなるためである。
受光素子は適当なギャップ（不感体）をもって配置され
ており，他方受光素子の幅を極端に小さくすると感度が
低下し，またリード線が取り付けられなくなるので，配
列できるリング状受光素子数には，必然的に，特に中心
部分において限度がある。このことは中心部分における
検出精度，感度の低下をもたらし，粒度分布の測定にお
いては比較的粒子径の大きい測定の場合に測定誤差を生
じる。粒子からの回折光の角度は粒子径に関連し，粒子
径が大きい程回折角度が小さくなるためである。
（問題点を解決するための手段） この発明は，上述の問題点を解決するために改良された
ものであって，リングデテクタを少なくとも２分割し，
互いに他方側のギャップを一方側の受光素子がカバーす
るようにずらせて組み合わせた粒度分布測定装置の散乱
光検出器である。
ものであって，リングデテクタを少なくとも２分割し，
互いに他方側のギャップを一方側の受光素子がカバーす
るようにずらせて組み合わせた粒度分布測定装置の散乱
光検出器である。
（作用） この発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器によれば，
各角度に配列された受光素子数を実質的に増加すること
になり，各角度方向から散乱する散乱光強度を高精度に
検出することができる。
各角度に配列された受光素子数を実質的に増加すること
になり，各角度方向から散乱する散乱光強度を高精度に
検出することができる。
（実施例） 以下，この発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器を図
面の実施例により説明する。
面の実施例により説明する。
第１図は，この発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器
の基本構成を示すもので，リングデテクタ５は同一ウェ
ハ上に異なる曲率を有する円弧状のホトダイオードP1〜
Pnを同心状に適当な幅のギャップG1〜Gnをもって複数個
配列したものであるが，これを分割し，互いに他方側の
各ギャップＧ（通常数10μｍ）と一方側の各ホトダイオ
ードＰ（通常数10μｍ）が重なるようにずらせる。この
ようにすることによって，他方側の各ギャップＧ部分に
散乱する光も一方側の各ホトダイオードＰで検出され，
測定点数が倍増されることになる。
の基本構成を示すもので，リングデテクタ５は同一ウェ
ハ上に異なる曲率を有する円弧状のホトダイオードP1〜
Pnを同心状に適当な幅のギャップG1〜Gnをもって複数個
配列したものであるが，これを分割し，互いに他方側の
各ギャップＧ（通常数10μｍ）と一方側の各ホトダイオ
ードＰ（通常数10μｍ）が重なるようにずらせる。この
ようにすることによって，他方側の各ギャップＧ部分に
散乱する光も一方側の各ホトダイオードＰで検出され，
測定点数が倍増されることになる。
第２図はこの発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器
を，レーザ光回折を利用した粒度分布測定装置に適用し
た実施例の構成を示すもので，レーザ光源１からの出力
ビームはコリメータ２を介してフローセル３に照射され
る。フローセル３内には，粒子群が希釈液中に分散飛し
ょう状態で存在しており，照射されたレーザ光はこの各
粒子の大きさに応じた角度で回折する。この回折光は集
光用のレンズ４により，このレンズ４の焦点位置に置か
れたリングデテクタ５上に回折像を結ぶ。
を，レーザ光回折を利用した粒度分布測定装置に適用し
た実施例の構成を示すもので，レーザ光源１からの出力
ビームはコリメータ２を介してフローセル３に照射され
る。フローセル３内には，粒子群が希釈液中に分散飛し
ょう状態で存在しており，照射されたレーザ光はこの各
粒子の大きさに応じた角度で回折する。この回折光は集
光用のレンズ４により，このレンズ４の焦点位置に置か
れたリングデテクタ５上に回折像を結ぶ。
リングデテクタ５の各ホトダイオードＰからの出力はマ
ルチプレクサ６を介してそれぞれのホトダイオードに対
応して設けられたアンプ７…７に導かれ,A−Ｄ変換器８
によりデジタル化された後，マイクロコンピュータに採
り込まれる。
ルチプレクサ６を介してそれぞれのホトダイオードに対
応して設けられたアンプ７…７に導かれ,A−Ｄ変換器８
によりデジタル化された後，マイクロコンピュータに採
り込まれる。
マイクロコンピュータはCPU9,ROM10,RAM11等を備えてお
り，キーボード12およびCRT13が接続されている。CPU9
は,ROM10に書き込まれたプログラムにより，公知の算法
によってRAM11内に格納されているリングデテクタ５の
各ホトダイオードＰへの入射光強度に基づいて，フロー
セル３内の粒子群の粒度分布を求めることができ，その
結果はCRT12に表示される。
り，キーボード12およびCRT13が接続されている。CPU9
は,ROM10に書き込まれたプログラムにより，公知の算法
によってRAM11内に格納されているリングデテクタ５の
各ホトダイオードＰへの入射光強度に基づいて，フロー
セル３内の粒子群の粒度分布を求めることができ，その
結果はCRT12に表示される。
（発明の効果） この発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器によれば，
クロストークによる影響を除去しうるギャップを有し，
かつ受光素子の幅をリード線の取り付けが困難になる程
極端に小さくすることもなく，配列しうる受光素子数を
実質上大幅に増加させることができ，比較的大きな粒子
径の粒度分布の測定の場合にも高精度，高感度の測定が
可能となる。
クロストークによる影響を除去しうるギャップを有し，
かつ受光素子の幅をリード線の取り付けが困難になる程
極端に小さくすることもなく，配列しうる受光素子数を
実質上大幅に増加させることができ，比較的大きな粒子
径の粒度分布の測定の場合にも高精度，高感度の測定が
可能となる。
第１図はこの発明の粒度分布測定装置の散乱光検出器の
基本構成を示す図，第２図はこの発明の粒度分布測定装
置の散乱光検出器をレーザ光回折粒度分布測定装置に適
用した実施例を示す図である。 図中,1はレーザ光源,3はフローセル,5はリングデテク
タ,Pはホトダイオード,Gはギャップである。
基本構成を示す図，第２図はこの発明の粒度分布測定装
置の散乱光検出器をレーザ光回折粒度分布測定装置に適
用した実施例を示す図である。 図中,1はレーザ光源,3はフローセル,5はリングデテク
タ,Pはホトダイオード,Gはギャップである。
Claims (1)
- 【請求項１】被測定粒子群に単色光を照射し、粒子から
の散乱光の強度をいくつかの散乱角について、複数個の
受光素子を適当なギャップをもって同心円状に配置して
なるリングデテクタにより測定し、この測定値から粒度
分布を求める粒度分測定装置の散乱光検出器において、 前記リングデテクタを少なくとも２分割し、互いに他方
側のギャップと一方側の受光素子が重なるようにずらせ
て組み合わせたことを特徴とする粒度分測定装置の散乱
光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335935A JPH0786454B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 粒度分布測定装置の散乱光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62335935A JPH0786454B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 粒度分布測定装置の散乱光検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01174937A JPH01174937A (ja) | 1989-07-11 |
| JPH0786454B2 true JPH0786454B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=18293990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62335935A Expired - Lifetime JPH0786454B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 粒度分布測定装置の散乱光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0786454B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4593144B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2010-12-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 微粒子化条件の決定方法、決定装置、及び微粒子の製造方法、製造装置 |
| JP5532981B2 (ja) | 2010-02-03 | 2014-06-25 | 日本電気株式会社 | ネットワーク管理装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144406U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-06 | ||
| DE3616144A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrische messeinrichtung |
| JPS62267606A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-20 | Shinetsu Eng Kk | 干渉縞の測定方法 |
-
1987
- 1987-12-29 JP JP62335935A patent/JPH0786454B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01174937A (ja) | 1989-07-11 |
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