JPH0788758A - 研磨具の面圧均一化装置 - Google Patents
研磨具の面圧均一化装置Info
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- JPH0788758A JPH0788758A JP23327493A JP23327493A JPH0788758A JP H0788758 A JPH0788758 A JP H0788758A JP 23327493 A JP23327493 A JP 23327493A JP 23327493 A JP23327493 A JP 23327493A JP H0788758 A JPH0788758 A JP H0788758A
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- Japan
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- magnetic field
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- polishing
- polishing tool
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工物への押圧力が所望の分布となるよう
に圧力を可変とし、押圧力や被加工物の剛性、研磨具の
硬さ等の変動に容易に対処できるようにした研磨具の面
圧均一化装置を提供することにある。 【構成】 複数の磁界発生器３，５，７と、この磁界発
生器３，５，７からの磁界を所定位置に誘導する複数の
磁路と、この磁路の端部に設けられ袋状体２３に包含し
た磁性流体２１と、複数の磁路端部を覆うと共に前記磁
性流体２１を介して磁路端部の反対側に設けられた弱剛
性体２５と、を備えてなることを特徴とする。
に圧力を可変とし、押圧力や被加工物の剛性、研磨具の
硬さ等の変動に容易に対処できるようにした研磨具の面
圧均一化装置を提供することにある。 【構成】 複数の磁界発生器３，５，７と、この磁界発
生器３，５，７からの磁界を所定位置に誘導する複数の
磁路と、この磁路の端部に設けられ袋状体２３に包含し
た磁性流体２１と、複数の磁路端部を覆うと共に前記磁
性流体２１を介して磁路端部の反対側に設けられた弱剛
性体２５と、を備えてなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被加工物を研磨する
研磨具の面圧を均一化せしめる研磨具の面圧均一化装置
に関する。
研磨具の面圧を均一化せしめる研磨具の面圧均一化装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（Ａ）に示されているように、剛体
円板１０１の研磨あるいはポリシングを、弾性体１０３
を用いて行うとき、荷重Ｗで剛体円板１０１を均等に押
圧すると、図３（Ａ）に示されているごとく、ブシネス
ク（Ｂｏｕｓｓｉｎｅｓｑ）の式で表わされるような平
均圧となる。
円板１０１の研磨あるいはポリシングを、弾性体１０３
を用いて行うとき、荷重Ｗで剛体円板１０１を均等に押
圧すると、図３（Ａ）に示されているごとく、ブシネス
ク（Ｂｏｕｓｓｉｎｅｓｑ）の式で表わされるような平
均圧となる。
【０００３】Ｐ（ｒ）＝Ｗ／２πａ・√（ａ−ｒ） 但し、Ｗ：荷重、ａ：剛体円板１０１の半径、ｒ：剛体
円板１０１の中心からの距離、このため、この状態で研
磨あるいはポリシングを続行すると、図３（Ｂ）、
（Ｃ）の様に、圧力分布が均一化するにつれて剛体円板
１０１の方が変形する。
円板１０１の中心からの距離、このため、この状態で研
磨あるいはポリシングを続行すると、図３（Ｂ）、
（Ｃ）の様に、圧力分布が均一化するにつれて剛体円板
１０１の方が変形する。
【０００４】また、図４に示されているように、被加工
物１０５の剛性が低く、更に荷重Ｗが中心部に負荷され
るような大面積のヘッドでは、圧力分布は中心部が高く
なり、研磨形状は中凹となってしまうものである。
物１０５の剛性が低く、更に荷重Ｗが中心部に負荷され
るような大面積のヘッドでは、圧力分布は中心部が高く
なり、研磨形状は中凹となってしまうものである。
【０００５】上述した根拠を基にして、従来技術におい
ては、変形を見込んで予め弯曲して加工した押え板を作
り、この押え板に被加工物を貼付するか、または図５に
示されているように、押し板１０７と被加工物１０９と
の間に、リング状の介在物１１１を入れて、図４の特性
のときの周辺部の圧力低下を防止しているものなどが知
られている。
ては、変形を見込んで予め弯曲して加工した押え板を作
り、この押え板に被加工物を貼付するか、または図５に
示されているように、押し板１０７と被加工物１０９と
の間に、リング状の介在物１１１を入れて、図４の特性
のときの周辺部の圧力低下を防止しているものなどが知
られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のいずれもが固定方式のため、押付力や被加工物の剛
性、研磨具の硬さ等の変動には容易に対処しきれないと
いう問題があった。なお、平面の場合について説明した
が、曲面についても同様の事がいえる。
来のいずれもが固定方式のため、押付力や被加工物の剛
性、研磨具の硬さ等の変動には容易に対処しきれないと
いう問題があった。なお、平面の場合について説明した
が、曲面についても同様の事がいえる。
【０００７】この発明の目的は、上記問題点を改善する
ために、被加工物への押付力が所望の分布となるように
圧力を可変とし、押圧力や被加工物の剛性、研磨具の硬
さ等の変動に容易に対応できるようにした研磨具の面圧
均一化装置を提供することにある。
ために、被加工物への押付力が所望の分布となるように
圧力を可変とし、押圧力や被加工物の剛性、研磨具の硬
さ等の変動に容易に対応できるようにした研磨具の面圧
均一化装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、複数の磁界発生器と、この磁界発生器
からの磁界を所定位置に誘導する複数の磁路と、この磁
路の端部に設けられ袋状体に包含した磁性流体と、複数
の磁路端部を覆うと共に前記磁性流体を介して磁路端部
の反対側に設けられた弱剛性体と、を備えて、研磨具の
面圧均一化装置を構成した。
に、この発明は、複数の磁界発生器と、この磁界発生器
からの磁界を所定位置に誘導する複数の磁路と、この磁
路の端部に設けられ袋状体に包含した磁性流体と、複数
の磁路端部を覆うと共に前記磁性流体を介して磁路端部
の反対側に設けられた弱剛性体と、を備えて、研磨具の
面圧均一化装置を構成した。
【０００９】前記研磨具の面圧均一化装置において、磁
界発生器を永久磁石とすると共に、前記磁路の一部に巻
回したコイルを設けたり、あるいは、複数の磁界発生器
をコイルとすると共に、各々のコイルに任意の電圧を負
荷したり、さらには複数の磁界発生器をコイルとし、コ
イルの全部に一定電圧を負荷するか、または各々のコイ
ルに定電圧を負荷すると共に、各コイルそれぞれに副巻
線を設け、この各副巻線に可変電圧を供給してなること
が望ましいものである。
界発生器を永久磁石とすると共に、前記磁路の一部に巻
回したコイルを設けたり、あるいは、複数の磁界発生器
をコイルとすると共に、各々のコイルに任意の電圧を負
荷したり、さらには複数の磁界発生器をコイルとし、コ
イルの全部に一定電圧を負荷するか、または各々のコイ
ルに定電圧を負荷すると共に、各コイルそれぞれに副巻
線を設け、この各副巻線に可変電圧を供給してなること
が望ましいものである。
【００１０】
【作用】この発明の研磨具の面圧均一化装置を採用する
ことにより、複数の磁界発生器により発生した磁界は磁
路を経て研磨面の先端に集中し、袋状体内の磁性流体を
Ｎ−Ｓ極で強く吸引し、袋状体内で磁性流体による複数
のリング状高圧部が創成される。この創成されたリング
状高圧部の磁場（磁界の強さ）を変えることにより、凝
集圧力が変えられるから、押圧力が可変されて、面圧の
均一化が図られる。
ことにより、複数の磁界発生器により発生した磁界は磁
路を経て研磨面の先端に集中し、袋状体内の磁性流体を
Ｎ−Ｓ極で強く吸引し、袋状体内で磁性流体による複数
のリング状高圧部が創成される。この創成されたリング
状高圧部の磁場（磁界の強さ）を変えることにより、凝
集圧力が変えられるから、押圧力が可変されて、面圧の
均一化が図られる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
【００１２】図１を参照するに、研磨具の面圧均一化装
置１は、中心部に円柱からなる磁路としての第１コア３
を備えており、この第１コア３の外周に適宣な間隔で同
芯円筒からなる磁路としての第２コア５，第３コア７が
設けられている。第１コア３と第２コア５との間、第２
コア５と第３コア７との間にはそれぞれ磁界発生器とし
ての例えばリング状永久磁石９，１１が挿入されて各コ
ア３，５，７は接続され、反対側である研磨（ポリシン
グ）側平面のコア（強磁性体）先端に交互にＮ、Ｓ極が
形成されるようになっている。
置１は、中心部に円柱からなる磁路としての第１コア３
を備えており、この第１コア３の外周に適宣な間隔で同
芯円筒からなる磁路としての第２コア５，第３コア７が
設けられている。第１コア３と第２コア５との間、第２
コア５と第３コア７との間にはそれぞれ磁界発生器とし
ての例えばリング状永久磁石９，１１が挿入されて各コ
ア３，５，７は接続され、反対側である研磨（ポリシン
グ）側平面のコア（強磁性体）先端に交互にＮ、Ｓ極が
形成されるようになっている。
【００１３】また、前記第１コア３，第２コア５の外周
にはそれぞれコイル１３，１５が巻回されていると共
に、研磨（ポリシング）側（図１において下側）の第１
コア３と第２コア５との間、第２コア５と第３コア７と
の間には平面創成のための非磁性体からなる充填物１
７，１９が埋設されている。
にはそれぞれコイル１３，１５が巻回されていると共
に、研磨（ポリシング）側（図１において下側）の第１
コア３と第２コア５との間、第２コア５と第３コア７と
の間には平面創成のための非磁性体からなる充填物１
７，１９が埋設されている。
【００１４】第１，第２および第３コア３，５，７の研
磨面側（図１において下側）は、磁性流体２１を内蔵し
た袋状体２３で包含され、袋状体２３を介し、研磨平面
の反対側はほぼ研磨平面と同等な大きさを有する非磁性
体からなる弱剛性の薄円板２５が設けられている。
磨面側（図１において下側）は、磁性流体２１を内蔵し
た袋状体２３で包含され、袋状体２３を介し、研磨平面
の反対側はほぼ研磨平面と同等な大きさを有する非磁性
体からなる弱剛性の薄円板２５が設けられている。
【００１５】上記構成により、リング状永久磁石９，１
１により発生した第１，第２，第３コア３，５，７の磁
界は、研磨面側の先端に集中し、袋状体２３に内蔵され
た磁性流体２１をＮ−Ｓ極間で強く吸引し、袋状体２３
内で第１コア３と第２コア５との間および第２コア５と
第３コア７との間で圧力（凝集力）の高い部分が作られ
る。
１により発生した第１，第２，第３コア３，５，７の磁
界は、研磨面側の先端に集中し、袋状体２３に内蔵され
た磁性流体２１をＮ−Ｓ極間で強く吸引し、袋状体２３
内で第１コア３と第２コア５との間および第２コア５と
第３コア７との間で圧力（凝集力）の高い部分が作られ
る。
【００１６】これは、コアの全周にわたるため、研磨面
側（袋状体２３側）より見ると、図１では磁性流体２１
による２本のリング状高圧部が創成される。すなわち、
高圧部は第１コア３と第２コア５との隙間、第２コア５
と第３コア７との隙間に集中し、かつ同心円的に放射状
方向に断続して続く。
側（袋状体２３側）より見ると、図１では磁性流体２１
による２本のリング状高圧部が創成される。すなわち、
高圧部は第１コア３と第２コア５との隙間、第２コア５
と第３コア７との隙間に集中し、かつ同心円的に放射状
方向に断続して続く。
【００１７】この断続は、弱剛性の薄円板２５によって
緩和される。薄円板２５は、例えば、非磁性体であるス
テンレス鋼のうちＳＶＳ３０４等で形成され、厚さは直
径が大きくなる程、厚くする必要があるが、例えば直径
が１００ｍｍの場合には、厚さを０．５〜１．０ｍｍ程
度に定めることが好ましい。。
緩和される。薄円板２５は、例えば、非磁性体であるス
テンレス鋼のうちＳＶＳ３０４等で形成され、厚さは直
径が大きくなる程、厚くする必要があるが、例えば直径
が１００ｍｍの場合には、厚さを０．５〜１．０ｍｍ程
度に定めることが好ましい。。
【００１８】さらに、リング状高圧部においては、第１
コア３、第２コア５に巻回されたコイルイ１３，１５に
直流電圧を加えることにより、永久磁石９，１１の磁界
の強さに加減した磁界を加えることができるので、その
最終的すなわち磁性流体２１のリング状高圧部の磁界の
強さを変えることができる。したがって、その凝集圧力
を変えることができる。
コア３、第２コア５に巻回されたコイルイ１３，１５に
直流電圧を加えることにより、永久磁石９，１１の磁界
の強さに加減した磁界を加えることができるので、その
最終的すなわち磁性流体２１のリング状高圧部の磁界の
強さを変えることができる。したがって、その凝集圧力
を変えることができる。
【００１９】図１の薄円板２５の下部に被加工物（ある
いは研磨具としての例えば研磨布）を設け、その下方に
研磨布（あるいは被加工物）を設けると、被加工物と研
磨布（研磨布と被加工物）との間で研磨を行うとき、通
電の程度により押圧力を可変できるから、従来の不均一
圧力の均一化を容易に図ることができる。しかも、被加
工物の剛性、研磨布の硬さの変動に容易に対処できる。
いは研磨具としての例えば研磨布）を設け、その下方に
研磨布（あるいは被加工物）を設けると、被加工物と研
磨布（研磨布と被加工物）との間で研磨を行うとき、通
電の程度により押圧力を可変できるから、従来の不均一
圧力の均一化を容易に図ることができる。しかも、被加
工物の剛性、研磨布の硬さの変動に容易に対処できる。
【００２０】図２には図１に代る他の実施例が示されて
いる。図２は固定磁界を電磁石とした場合の例で、通常
の研削盤などの電磁チャックの断面を示したものであ
る。
いる。図２は固定磁界を電磁石とした場合の例で、通常
の研削盤などの電磁チャックの断面を示したものであ
る。
【００２１】図２において、強磁性体からなる円板２７
には同心円溝２９が形成されており、この各溝２９に磁
石発生器としての例えば電磁石３１，３３，３５，３
７，３９，４１が埋設されている。この各コイル３１，
３３，３５，３７，３９，４１の下部には対向させた円
心円溝が形成され、この同心円溝に非磁性体４３，４５
が埋設されている。
には同心円溝２９が形成されており、この各溝２９に磁
石発生器としての例えば電磁石３１，３３，３５，３
７，３９，４１が埋設されている。この各コイル３１，
３３，３５，３７，３９，４１の下部には対向させた円
心円溝が形成され、この同心円溝に非磁性体４３，４５
が埋設されている。
【００２２】この同心円溝に埋設された各非磁性体４
３，４５を介して対向してＮ−Ｓ極が発生されるため、
この非磁性体４３と４５との間に磁性流体の高圧凝集部
ができることになる。
３，４５を介して対向してＮ−Ｓ極が発生されるため、
この非磁性体４３と４５との間に磁性流体の高圧凝集部
ができることになる。
【００２３】前記円板２７の研磨面側（図２において下
側）は図１と同様に、磁性流体２１を内蔵した袋状体２
３で包含され、袋状体２３を介し、非磁性体からなる弱
剛性の薄円板２５が設けられている。
側）は図１と同様に、磁性流体２１を内蔵した袋状体２
３で包含され、袋状体２３を介し、非磁性体からなる弱
剛性の薄円板２５が設けられている。
【００２４】上記構成により、固定磁界を電磁石とした
場合、コイル３１〜４１に対向して設けられた各非磁性
体４３と４５との間にその磁界が発生するため、必要な
圧力分布に応じてコイル３１〜４１の各々の通電量を適
当に変えることで押圧力の均一化を図ることができ、上
述の実施例と同様の効果を奏するものである。さらに微
細なコントロールをするために、コイル３１〜４１の各
々に副巻線（図示せず）を設け、この副巻線への通電制
御で押圧力をコントロールさせることもできるものであ
る。
場合、コイル３１〜４１に対向して設けられた各非磁性
体４３と４５との間にその磁界が発生するため、必要な
圧力分布に応じてコイル３１〜４１の各々の通電量を適
当に変えることで押圧力の均一化を図ることができ、上
述の実施例と同様の効果を奏するものである。さらに微
細なコントロールをするために、コイル３１〜４１の各
々に副巻線（図示せず）を設け、この副巻線への通電制
御で押圧力をコントロールさせることもできるものであ
る。
【００２５】なお、前述した実施例では、弱剛性体とし
て薄円板２５を設け、この下面に被加工物又は研磨材と
しての研磨布を設ける例を示したが、被加工物又は研磨
材が弱剛性体として作用可能な場合には、これらを弱剛
性体とし、薄円板２５は省略ないし非常に薄い部材とし
てもよい。
て薄円板２５を設け、この下面に被加工物又は研磨材と
しての研磨布を設ける例を示したが、被加工物又は研磨
材が弱剛性体として作用可能な場合には、これらを弱剛
性体とし、薄円板２５は省略ないし非常に薄い部材とし
てもよい。
【００２６】この発明は、前述した実施例に限定される
ことなく、適宣な変更を行うことにより、その他の態様
で実施し得るものである。本実施例では平面に対して説
明したが，曲面であっても適用できるものである。
ことなく、適宣な変更を行うことにより、その他の態様
で実施し得るものである。本実施例では平面に対して説
明したが，曲面であっても適用できるものである。
【００２７】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載さ
れているとおりの構成であるから、磁性流体凝集力の差
を用い、個々をコントロールするようにしたので、各層
の押圧力（面圧）を均一にさせることができると共に、
押圧力、被加工物の剛性、研磨具の硬さなどの変動に容
易に対処させることができる。しかも、広範囲な設定が
できると共に、微細な制御も可能である。
るように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載さ
れているとおりの構成であるから、磁性流体凝集力の差
を用い、個々をコントロールするようにしたので、各層
の押圧力（面圧）を均一にさせることができると共に、
押圧力、被加工物の剛性、研磨具の硬さなどの変動に容
易に対処させることができる。しかも、広範囲な設定が
できると共に、微細な制御も可能である。
【００２８】
【００２９】
【図１】この発明の研磨具の面圧均一化装置の一実施例
を示す正面断面図である。
を示す正面断面図である。
【００３０】
【図２】図１に代る他の実施例を示す正面断面図であ
る。
る。
【００３１】
【図３】従来のポリシングにおける押付圧の不均一分布
による加工説明図である。
による加工説明図である。
【００３２】
【図４】中心部を押圧したときの不均一押圧説明図であ
る。
る。
【００３３】
【図５】中心部を押圧したときの不均一押圧の均一化方
法を説明する説明図である。
法を説明する説明図である。
【００３４】
１ 研磨具の面圧均一化装置 ３，５，７ 第１，第２，第３コア ９，１１ リング状永久磁石（磁界発生器） １３，１５ コイル １７，１９ 充填物 ２１ 磁性流体 ２３ 袋状体 ２５ 薄円板（非磁性体） ２７ 円板 ２９ 溝 ３１〜４１ コイル ４３，４５ 非磁性体
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】図３（Ａ）に示されているように、剛体
円板１０１の研磨あるいはポリシングを、弾性体１０３
を用いて行うとき、荷重Ｗで剛体円板１０１を均等に押
圧すると、図３（Ａ）に示されているごとく、ブシネス
ク（Ｂｏｕｓｓｉｎｅｓｑ）の式で表わされるような面
圧分布となる。
円板１０１の研磨あるいはポリシングを、弾性体１０３
を用いて行うとき、荷重Ｗで剛体円板１０１を均等に押
圧すると、図３（Ａ）に示されているごとく、ブシネス
ク（Ｂｏｕｓｓｉｎｅｓｑ）の式で表わされるような面
圧分布となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】この断続は、弱剛性の薄円板２５によって
緩和される。薄円板２５は、例えば、非磁性体であるス
テンレス鋼のうちＳＵＳ３０４等で形成され、厚さは直
径が大きくなる程、厚くする必要があるが、例えば直径
が１００ｍｍの場合には、厚さを０．５〜１．０ｍｍ程
度に定めることが好ましい。。
緩和される。薄円板２５は、例えば、非磁性体であるス
テンレス鋼のうちＳＵＳ３０４等で形成され、厚さは直
径が大きくなる程、厚くする必要があるが、例えば直径
が１００ｍｍの場合には、厚さを０．５〜１．０ｍｍ程
度に定めることが好ましい。。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】さらに、リング状高圧部においては、第１
コア３、第２コア５に巻回されたコイル１３，１５に直
流電圧を加えることにより、永久磁石９，１１の磁界の
強さに加減した磁界を加えることができるので、その最
終的すなわち磁性流体２１のリング状高圧部の磁界の強
さを変えることができる。したがって、その凝集圧力を
変えることができる。
コア３、第２コア５に巻回されたコイル１３，１５に直
流電圧を加えることにより、永久磁石９，１１の磁界の
強さに加減した磁界を加えることができるので、その最
終的すなわち磁性流体２１のリング状高圧部の磁界の強
さを変えることができる。したがって、その凝集圧力を
変えることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】この同心円溝に埋設された各非磁性体４
３，４５をそれぞれ介し対向してＮ−Ｓ極が発生される
ため、この非磁性体４３，４５をそれぞれ挾むように磁
性流体の高圧凝集部ができることになる。
３，４５をそれぞれ介し対向してＮ−Ｓ極が発生される
ため、この非磁性体４３，４５をそれぞれ挾むように磁
性流体の高圧凝集部ができることになる。
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の磁界発生器と、この磁界発生器か
らの磁界を所定位置に誘導する複数の磁路と、この磁路
の端部に設けられ袋状体に包含した磁性流体と、複数の
磁路端部を覆うと共に前記磁性流体を介して磁路端部の
反対側に設けられた弱剛性体と、を備えてなることを特
徴とする研磨具の面圧均一化装置。 - 【請求項２】 磁界発生器を永久磁石とすると共に、前
記磁路の一部に巻回したコイルを設けてなることを特徴
とする請求項１記載の研磨具の面圧均一化装置。 - 【請求項３】 複数の磁界発生器をコイルとすると共
に、各々のコイルに任意の電圧を負荷してなることを特
徴とする請求項１記載の研磨具の面圧均一化装置。 - 【請求項４】 複数の磁界発生器をコイルとし、コイル
の全部に一定電圧を負荷するか、または各々のコイルに
定電圧を負荷すると共に、各コイルそれぞれに副巻線を
設け、この各副巻線に可変電圧を供給してなることを特
徴とする請求項１記載の研磨具の面圧均一化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23327493A JPH0788758A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 研磨具の面圧均一化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23327493A JPH0788758A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 研磨具の面圧均一化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0788758A true JPH0788758A (ja) | 1995-04-04 |
Family
ID=16952525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23327493A Pending JPH0788758A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 研磨具の面圧均一化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0788758A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0976152A (ja) * | 1995-09-18 | 1997-03-25 | Nec Corp | ウェハー研磨方法およびその装置 |
| JP2000006003A (ja) * | 1998-04-21 | 2000-01-11 | Asahi Glass Co Ltd | 板状材への加圧方法及び加圧装置 |
| US6350186B1 (en) | 1998-11-18 | 2002-02-26 | Nec Corporation | Apparatus and method for chemical mechanical polishing |
| JP2003526527A (ja) * | 2000-03-17 | 2003-09-09 | モトローラ・インコーポレイテッド | ウェーハ研磨ヘッド及び研磨方法 |
| JP2011148011A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Nagase Integrex Co Ltd | マグネットチャックの着磁力調整装置 |
| CN104772727A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-15 | 严瑾 | 刚柔混合夹具 |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP23327493A patent/JPH0788758A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0976152A (ja) * | 1995-09-18 | 1997-03-25 | Nec Corp | ウェハー研磨方法およびその装置 |
| JP2000006003A (ja) * | 1998-04-21 | 2000-01-11 | Asahi Glass Co Ltd | 板状材への加圧方法及び加圧装置 |
| US6350186B1 (en) | 1998-11-18 | 2002-02-26 | Nec Corporation | Apparatus and method for chemical mechanical polishing |
| JP2003526527A (ja) * | 2000-03-17 | 2003-09-09 | モトローラ・インコーポレイテッド | ウェーハ研磨ヘッド及び研磨方法 |
| JP4829458B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2011-12-07 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | ウェーハ研磨ヘッド及び研磨方法 |
| JP2011148011A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Nagase Integrex Co Ltd | マグネットチャックの着磁力調整装置 |
| CN104772727A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-15 | 严瑾 | 刚柔混合夹具 |
| CN104772727B (zh) * | 2015-04-24 | 2017-05-17 | 严瑾 | 刚柔混合夹具 |
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